JPS617656A - マルチチップパッケ−ジ - Google Patents

マルチチップパッケ−ジ

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JPS617656A
JPS617656A JP59128918A JP12891884A JPS617656A JP S617656 A JPS617656 A JP S617656A JP 59128918 A JP59128918 A JP 59128918A JP 12891884 A JP12891884 A JP 12891884A JP S617656 A JPS617656 A JP S617656A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の技術分野、] 本発明はハイブリッドICにおいて、チップ部品と埋込
配線との接続替えを容易に行なえるマルチチップパッケ
ージに関する。
[発明の技術的背景とその問題点] 電子機器の小型化、軽量化が進むにつれ、電子部品の高
密度実装化が一段と強く要請されるようになってきてい
る。
このような背景のもとで、ハイブリッドICは、モノリ
シックICでは実現が困難な大電力・高電圧分野や、多
品種少量生産あるいは多機能化に好適するところから、
その応用分野は急速に拡大してきている。
第2図はハイブリッドICの一例を示すもので、埋込配
線1を多層埋設したセラミック多層基板2上に、埋込配
fl;A1に導通するボンディングパッド3a〜3「が
形成されており、セラミック多層基板2上に配置したI
Cチップその他のチップ部品48〜4Cの端子はボンド
線58〜5「を介して所定のボンディングパッド38〜
3tに接続されている。
このようなハイブリッドICは、客先ニーズに応じて開
発設計され、試作品を評価して必要な修正を行ない、所
期の機能が発揮されることを確認した後、製品生産に入
るのが一般的であるが、最近では開発設計から生産まで
の時間的余裕が少ないことが多いため、特に少量製品で
は、試年品の試作評価と製品の生産とを平行して進行さ
せる必要を生ずる場合が少なくない。
このような場合、ICチップ48〜4C間、あるいはI
Cチップと入出力回路間の埋込配線1を追加、削除する
必要が生じた際には、従来はセラミツク多層基板2自体
を作り直していたが、これに要する工数と時間およびパ
ターンマスクや金型等の開発設計費を節減するため、第
3図に示すハイブリッドICの変更方法が−考えられて
いる。
即ち、第2図の構成のハイブリッドICを評価した結果
、例えば、ICチップ4aと埋込配線1との導通を解き
、代りにICチップ4aと4bの端子間を導通させる必
要があることが判明した場合には、第3図に示すように
、セラミック多層基板2上の配線替えを行なうIC・チ
ップ4aの端子近傍位置に追加パッド6を取付け、ボン
ド線5bの一端をボンディングパッド3bから取外して
追加パッド6上に接続した後、追加パッド6とボンディ
ングパッド3dの間に追加配線7を配線する。
このようにすれば、原設計のセラミック多層基板を用い
ながら、ICチップ間の接続を容易に変更することがで
き、セラミック多層基板やそれに取付けたICチップを
そのまま利用することができるので、ロスや時間を大幅
に減少させることが可能となる。
また、ボンド線と追加配線の接続は追加パッドを中継し
て行なわれるので、ボンディングは確実に行なわれ、信
頼性が低下することはない。
しかしながら、上述したハイブリッドICの変更方法に
は次のような問題がある。
即ち、マルチチップパッケージにおいては、通常、セラ
ミック多層基板上に金属キャップを固着してチップ部品
を気密に封止するが、この金属キャップの取付は用とし
て基板上にシールリングパターンが設けられているため
、このシールリングパターンをま光いて追加配線を設け
ることはできない。
このため、システム側の変更により、I10リードから
の配線を接続替えする場合には適用することができない
さらに基板の製造工程で、例えば第1図のAの部分・が
オープンとなった場合(符号21.22が薇来はない)
I10シードと接続するにはシーリングパターンを跨い
で追加配線を設けねばならぬため変更不可能であった。
[発明の目的] 本発明は背景技術における上述の如き問題点を解決すべ
くなされたもので、ハイブリッドICの配線変更を更に
容易に行なえるようにしたマルチチップパッケージを提
供することを目的とするものである。
[発明の概要] 本発明のマルチチップパッケージは、埋込配線を配設し
た基板上に°複数個のチップ部品を搭載し、その近傍に
前記埋込配線に導通するボンディング゛パッドを形成し
、さらにこれらを囲んでシールリングパターンを形成す
るとともに、前記チップ部品とボンディングパッドとの
間をボンド線で連結し、かつ前記シールリングパターン
上にキャップを封着してなるハイブリッドICにおいて
、前記基板上のシールリングパターンの内側位置に接続
替え用のボンディングパッドを設け、このボンディング
パッドと前記埋込配線とを分岐配線により接続したこと
を特徴とするものである。
[発明の実施例] 次に、第1図を参照して本発明の詳細な説明する。
同図において、セラミック多層基板10内には多数の埋
込配線11が配設されている。
埋込配線11にはその用途に応じて多くの種類があるが
、これがデータバスであるとすると、その一端は基板の
周縁部に設けたI10バッド12を介してI10リード
13に連結されている。14はI10パッド12とマル
チチップパッケージ13を接続する銀ろう層を示す。
セラミック多層基板10の表面上に設けた接地または電
源電位のダイパッド15上には、ハンダまたは導電性接
着剤16を介してICチップその他のチップ部品17が
固着されている。また、基板10上にはその周縁部より
やや内側にシールリングパターン18が枠状に形成され
ており、金属キャップ19の下端はハンダ層2oにより
シールリングパターン18に気密に接続されている。
埋込配線11はシールリングパターン18よりやや内側
位置に設けた分岐配線20を介して、基板10上に配設
した小径の接続替え用ボンディングパッド21に接続さ
れている。また、埋込配線11から分岐する分岐配線2
2に導通にするボンディングパッド23とチップ部品1
7の端子の間、および他の配線24に導通するボンディ
ングパッド25とチップ部品17の端子の間はそれぞれ
ボンド線26.27でボンディングされている。
上述のように構成した本発明のマルチチップパッケージ
において、例えばチップ部品17とボンディングパッド
25との間のボンド線26をボンディングパッド21側
に接続替えすることが必要になったような場合には、ボ
ンディングパッド25側のボンド線26をボンディング
パッド21側に接続替えすればよい。
[発明の効果] 上述しノ〔ように本発明のマルチチップパッケージでは
基板上に、埋込配線に導通する接続替え用のボンディン
グパッドを設けであるから、ボンド線を接続替えするだ
けで簡単に変更要求に応することができる。
また、接続替え用のボンディングパッド21はシールリ
ングパターン18の内側に設けられているので、第1図
のAの部分がオーブンである場合もボンド線や追加配線
をシールリングパターンを跨いで配設する必要がなく、
キャップ内の気密性を低下させるようなことはない。
【図面の簡単な説明】

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)埋込配線を配設した基板上に複数個のチップ部品
    を搭載し、その近傍に前記埋込配線に導通するボンディ
    ングパッドを形成し、さらにこれらを囲んでシールリン
    グパターンを形成するとともに、前記チップ部品とボン
    ディングパッドとの間をボンド線で連結し、かつ前記シ
    ールリングパターン上にキャップを封着してなるハイブ
    リッドICにおいて、前記基板上のシールリングパター
    ンの内側位置に接続替え用のボンディングパッドを設け
    、このボンディングパッドと前記埋込配線とを分岐配線
    により接続したことを特徴とするマルチチップパッケー
    ジ。
  2. (2)各埋込配線には接続替え用のボンディングパッド
    が複数ずつ接続されていることを特徴とする特許請求の
    範囲第1項記載のマルチチップパッケージ。
JP59128918A 1984-06-22 1984-06-22 マルチチップパッケ−ジ Granted JPS617656A (ja)

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JP59128918A JPS617656A (ja) 1984-06-22 1984-06-22 マルチチップパッケ−ジ

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JPS617656A true JPS617656A (ja) 1986-01-14
JPH0365662B2 JPH0365662B2 (ja) 1991-10-14

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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03113852U (ja) * 1990-03-09 1991-11-21
US5280413A (en) * 1992-09-17 1994-01-18 Ceridian Corporation Hermetically sealed circuit modules having conductive cap anchors
US5315486A (en) * 1991-12-16 1994-05-24 General Electric Company Hermetically packaged HDI electronic system
US5359496A (en) * 1989-12-21 1994-10-25 General Electric Company Hermetic high density interconnected electronic system
US7120069B2 (en) * 1991-02-28 2006-10-10 Hitachi, Ltd. Electronic circuit package
JP2008502155A (ja) * 2004-06-04 2008-01-24 イーストマン コダック カンパニー イメージセンサの金属配線

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5359496A (en) * 1989-12-21 1994-10-25 General Electric Company Hermetic high density interconnected electronic system
JPH03113852U (ja) * 1990-03-09 1991-11-21
US7120069B2 (en) * 1991-02-28 2006-10-10 Hitachi, Ltd. Electronic circuit package
US5315486A (en) * 1991-12-16 1994-05-24 General Electric Company Hermetically packaged HDI electronic system
US5280413A (en) * 1992-09-17 1994-01-18 Ceridian Corporation Hermetically sealed circuit modules having conductive cap anchors
WO1994007350A1 (en) * 1992-09-17 1994-03-31 Ceridian Corporation Hermetically sealed circuit modules having conductive cap anchors
JP2008502155A (ja) * 2004-06-04 2008-01-24 イーストマン コダック カンパニー イメージセンサの金属配線
JP4856064B2 (ja) * 2004-06-04 2012-01-18 オムニヴィジョン テクノロジーズ インコーポレイテッド イメージセンサの金属配線

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JPH0365662B2 (ja) 1991-10-14

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