JPH04356921A - ドライエッチング装置のウェハ保持盤 - Google Patents
ドライエッチング装置のウェハ保持盤Info
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- JPH04356921A JPH04356921A JP3131172A JP13117291A JPH04356921A JP H04356921 A JPH04356921 A JP H04356921A JP 3131172 A JP3131172 A JP 3131172A JP 13117291 A JP13117291 A JP 13117291A JP H04356921 A JPH04356921 A JP H04356921A
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Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えばウェハの表面
に所定の被膜を被膜形成させるとともに、その被膜の上
に所望のパターンでレジストを被膜形成し、これにアル
ゴンなどの原子を当てることにより、レジスト以外の部
分のエッチングを行うドライエッチング装置における、
ウェハを保持するウェハ保持盤の改良に関するものであ
る。
に所定の被膜を被膜形成させるとともに、その被膜の上
に所望のパターンでレジストを被膜形成し、これにアル
ゴンなどの原子を当てることにより、レジスト以外の部
分のエッチングを行うドライエッチング装置における、
ウェハを保持するウェハ保持盤の改良に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来一般のドライエッチング装置
の概略図、図５は図４をａ−ａ線方向に見た図であり、
１１はアルゴン（Ａｒ）ガスガンで、図示しないＡｒガ
スボンベからのＡｒガスが供給され、チャンバー１２内
に配設されたグリッド１１ａからＡｒイオンが放射され
るようになっている。１３は熱電子を放射させるニュー
トラライザで、これによって放射された熱電子をＡｒイ
オンに結合させてＡｒ原子にする。
の概略図、図５は図４をａ−ａ線方向に見た図であり、
１１はアルゴン（Ａｒ）ガスガンで、図示しないＡｒガ
スボンベからのＡｒガスが供給され、チャンバー１２内
に配設されたグリッド１１ａからＡｒイオンが放射され
るようになっている。１３は熱電子を放射させるニュー
トラライザで、これによって放射された熱電子をＡｒイ
オンに結合させてＡｒ原子にする。
【０００３】１４はウェハ保持盤で、この例においては
４個のウェハ保持盤１４が回転し得る基台１５に回転し
得るように設けられている。各ウェハ保持盤１４には、
図５に示すように、それぞれ３個のウェハＷが保持され
ている。このウェハＷの表面には、所定の被膜が被膜形
成されるとともに、その被膜の上に所望のパターンでレ
ジストが被膜形成されており、このウェハＷの表面にＡ
ｒ原子を当ててレジスト以外の部分のエッチングを行う
ようにしている。
４個のウェハ保持盤１４が回転し得る基台１５に回転し
得るように設けられている。各ウェハ保持盤１４には、
図５に示すように、それぞれ３個のウェハＷが保持され
ている。このウェハＷの表面には、所定の被膜が被膜形
成されるとともに、その被膜の上に所望のパターンでレ
ジストが被膜形成されており、このウェハＷの表面にＡ
ｒ原子を当ててレジスト以外の部分のエッチングを行う
ようにしている。
【０００４】図６は前記ウェハ保持盤１４の正面図、図
７は図６のｂ−ｂ線における断面図、図８は図６のｃ−
ｃ線における断面図であり、このウェハ保持盤１４は、
平面１４ａにウェハＷを嵌入する凹平面部１４ｂが形成
されたウェハホルダートップ１４１ と、このウェハホ
ルダートップ１４１ の背面と接合される面に冷却水の
流通溝１４ｃが形成されたウェハホルダーボトム１４２
との中央部と外周部とが複数の締め付け螺子１４ｄで
接合固定されている。
７は図６のｂ−ｂ線における断面図、図８は図６のｃ−
ｃ線における断面図であり、このウェハ保持盤１４は、
平面１４ａにウェハＷを嵌入する凹平面部１４ｂが形成
されたウェハホルダートップ１４１ と、このウェハホ
ルダートップ１４１ の背面と接合される面に冷却水の
流通溝１４ｃが形成されたウェハホルダーボトム１４２
との中央部と外周部とが複数の締め付け螺子１４ｄで
接合固定されている。
【０００５】図９は前記ウェハホルダートップ１４１
の平面図であり、前記ウェハＷを嵌入する凹平面部１４
ｂには、弾性を有し熱伝導性の良いシート１４ｅを真空
吸着する、いわゆる真空キャッチングを形成するための
吸着溝１４ｆが形成されており、この吸着溝１４ｆの上
にシート１４ｅを介してウェハＷを載置し、このウェハ
Ｗの前面を露出させ、外周縁Ｗ１ を押圧するとともに
、前記凹平面部１４ｂ以外の平面１４ａを覆うシールド
板１４ｇをウェハホルダートップ１４１ の平面に固定
螺子１４ｈで固定して、ウェハＷが固定される。前記凹
平面部１４ｂに嵌入されたウェハＷを取外すときには、
前記吸着溝１４ｆに逆に空気を送ることにより、容易に
取外すことができる。
の平面図であり、前記ウェハＷを嵌入する凹平面部１４
ｂには、弾性を有し熱伝導性の良いシート１４ｅを真空
吸着する、いわゆる真空キャッチングを形成するための
吸着溝１４ｆが形成されており、この吸着溝１４ｆの上
にシート１４ｅを介してウェハＷを載置し、このウェハ
Ｗの前面を露出させ、外周縁Ｗ１ を押圧するとともに
、前記凹平面部１４ｂ以外の平面１４ａを覆うシールド
板１４ｇをウェハホルダートップ１４１ の平面に固定
螺子１４ｈで固定して、ウェハＷが固定される。前記凹
平面部１４ｂに嵌入されたウェハＷを取外すときには、
前記吸着溝１４ｆに逆に空気を送ることにより、容易に
取外すことができる。
【０００６】図１０はウェハホルダーボトム１４２ の
平面図で、図１１は図１０のｄ−ｄ線における断面図で
あり、このウェハホルダーボトム１４２ の平面に形成
された冷却水の流通溝１４ｃの図１０に示す左回転方向
の流通溝１４ｃ１ が、図７に示す二重パイプ回転軸１
６の内側パイプ１６ａに連通され、右回転方向の流通溝
１４ｃ２ が外側パイプ１６ｂに連通されている。１４
ｉは前記ウェハホルダートップ１４１ をウェハホルダ
ーボトム１４２ に接合固定する締め付け螺子１４ｄを
締め付ける螺子孔である。
平面図で、図１１は図１０のｄ−ｄ線における断面図で
あり、このウェハホルダーボトム１４２ の平面に形成
された冷却水の流通溝１４ｃの図１０に示す左回転方向
の流通溝１４ｃ１ が、図７に示す二重パイプ回転軸１
６の内側パイプ１６ａに連通され、右回転方向の流通溝
１４ｃ２ が外側パイプ１６ｂに連通されている。１４
ｉは前記ウェハホルダートップ１４１ をウェハホルダ
ーボトム１４２ に接合固定する締め付け螺子１４ｄを
締め付ける螺子孔である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】前記従来のドライエッ
チング装置のウェハ保持盤においては、内部に冷却水が
流通されて冷却されている金属製のウェハホルダートッ
プ１４１ の上に、チタンなどの硬質金属製のシールド
板１４ｇが直接に接合固定されている。しかし、金属板
どうしの接合であるために、硬質金属製のシールド板１
４ｇが金属製のウェハホルダートップ１４１ の上に、
完全に密着されないで接合固定される恐れがある。した
がって、ドライエッチング装置のチャンバー１２内で、
Ａｒ原子がこのシールド板１４ｇに当たって加熱された
熱（例えば２００℃）がウェハホルダートップ１４１
に逃げないでウェハＷに伝導され、レジスト焼けのよう
なウェハＷ上に被膜形成した被膜に悪影響を与える問題
があった。
チング装置のウェハ保持盤においては、内部に冷却水が
流通されて冷却されている金属製のウェハホルダートッ
プ１４１ の上に、チタンなどの硬質金属製のシールド
板１４ｇが直接に接合固定されている。しかし、金属板
どうしの接合であるために、硬質金属製のシールド板１
４ｇが金属製のウェハホルダートップ１４１ の上に、
完全に密着されないで接合固定される恐れがある。した
がって、ドライエッチング装置のチャンバー１２内で、
Ａｒ原子がこのシールド板１４ｇに当たって加熱された
熱（例えば２００℃）がウェハホルダートップ１４１
に逃げないでウェハＷに伝導され、レジスト焼けのよう
なウェハＷ上に被膜形成した被膜に悪影響を与える問題
があった。
【０００８】また、ウェハホルダートップ１４１ と冷
却水の流通溝１４ｃが形成されたウェハホルダーボトム
１４２ との外周部および中央部とが複数の締め付け螺
子１４ｄで接合固定されているが、外周部と中央部との
間は固定されていないので、前記冷却水の流通溝１４ｃ
に加わる水圧によって、ウェハホルダートップ１４１
の平面１４ａおよび凹平面部１４ｂに歪みが生じ、この
凹平面部１４ｂに取り付けるウェハＷに悪影響を与える
問題があった。
却水の流通溝１４ｃが形成されたウェハホルダーボトム
１４２ との外周部および中央部とが複数の締め付け螺
子１４ｄで接合固定されているが、外周部と中央部との
間は固定されていないので、前記冷却水の流通溝１４ｃ
に加わる水圧によって、ウェハホルダートップ１４１
の平面１４ａおよび凹平面部１４ｂに歪みが生じ、この
凹平面部１４ｂに取り付けるウェハＷに悪影響を与える
問題があった。
【０００９】この発明は、前記のような課題、すなわち
、ウェハを押さえたシールド板およびウェハを異常に加
熱しないようにし、また、ウェハホルダートップの平面
に歪みを与えるようなことをなくした、ドライエッチン
グ装置のウェハ保持盤を提供することを目的としたもの
である。
、ウェハを押さえたシールド板およびウェハを異常に加
熱しないようにし、また、ウェハホルダートップの平面
に歪みを与えるようなことをなくした、ドライエッチン
グ装置のウェハ保持盤を提供することを目的としたもの
である。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明は、前記目的を
達成するために、図１に示すように、平面１ａにウェハ
Ｗを嵌入する凹平面部１ｂが形成され、内部に冷却水の
流通溝１ｃが形成されたウェハホルダー１と、前記凹平
面部１ｂに嵌入されたウェハＷの前面を露出させ、外周
縁Ｗ１ を押圧してウェハＷを保持するとともに、前記
凹平面部１ｂ以外の平面１ａを覆うシールド板２とより
構成されたドライエッチング装置のウェハ保持盤におい
て、前記シールド板２の背面と前記ウェハホルダー１の
平面１ａとの間に、熱伝導が良く、かつ、弾力性があり
、シールド板２がウェハホルダー１の平面１ａに密接し
得る弾性部材３を介在させたドライエッチング装置のウ
ェハ保持盤としたものである。
達成するために、図１に示すように、平面１ａにウェハ
Ｗを嵌入する凹平面部１ｂが形成され、内部に冷却水の
流通溝１ｃが形成されたウェハホルダー１と、前記凹平
面部１ｂに嵌入されたウェハＷの前面を露出させ、外周
縁Ｗ１ を押圧してウェハＷを保持するとともに、前記
凹平面部１ｂ以外の平面１ａを覆うシールド板２とより
構成されたドライエッチング装置のウェハ保持盤におい
て、前記シールド板２の背面と前記ウェハホルダー１の
平面１ａとの間に、熱伝導が良く、かつ、弾力性があり
、シールド板２がウェハホルダー１の平面１ａに密接し
得る弾性部材３を介在させたドライエッチング装置のウ
ェハ保持盤としたものである。
【００１１】
【作用】この発明は、前記のような手段により、ウェハ
ホルダー１の凹平面部１ｂに嵌入されたウェハＷの前面
を露出させ、外周縁Ｗ１ を押圧してウェハＷをウェハ
ホルダー１に保持するとともに、前記凹平面部１ｂ以外
のウェハホルダー１の平面１ａを覆うシールド板２が、
Ａｒ原子の衝突によって加熱されようとしても、このシ
ールド板２の背面と前記ウェハホルダー１の平面１ａと
の間に、熱伝導が良く、かつ、弾力性があり、シールド
板２がウェハホルダー１の平面１ａに密接し得る弾性部
材３が介在されているので、シールド板２の熱は水冷さ
れたウェハホルダー１に逃げて、シールド板２の熱がウ
ェハＷおよびウェハ上の被膜に伝導して、たとえばレジ
スト焼けなどの悪影響を与えるようなことがなくなる。
ホルダー１の凹平面部１ｂに嵌入されたウェハＷの前面
を露出させ、外周縁Ｗ１ を押圧してウェハＷをウェハ
ホルダー１に保持するとともに、前記凹平面部１ｂ以外
のウェハホルダー１の平面１ａを覆うシールド板２が、
Ａｒ原子の衝突によって加熱されようとしても、このシ
ールド板２の背面と前記ウェハホルダー１の平面１ａと
の間に、熱伝導が良く、かつ、弾力性があり、シールド
板２がウェハホルダー１の平面１ａに密接し得る弾性部
材３が介在されているので、シールド板２の熱は水冷さ
れたウェハホルダー１に逃げて、シールド板２の熱がウ
ェハＷおよびウェハ上の被膜に伝導して、たとえばレジ
スト焼けなどの悪影響を与えるようなことがなくなる。
【００１２】
【実施例】以下、この発明のドライエッチング装置のウ
ェハ保持盤の実施例を図１乃至図３に従って説明する。 図１はこのドライエッチング装置のウェハ保持盤の一部
の断面図、図２はウェハ保持盤のシールド板を取り外し
た状態のウェハホルダートップの平面図、図３は図２の
ｅ−ｅ線における断面図である。これらの図において、
１はウェハホルダーで、その平面１ａにウェハＷを嵌入
する凹平面部１ｂが形成され、内部に冷却水の流通溝１
ｃが形成されている。
ェハ保持盤の実施例を図１乃至図３に従って説明する。 図１はこのドライエッチング装置のウェハ保持盤の一部
の断面図、図２はウェハ保持盤のシールド板を取り外し
た状態のウェハホルダートップの平面図、図３は図２の
ｅ−ｅ線における断面図である。これらの図において、
１はウェハホルダーで、その平面１ａにウェハＷを嵌入
する凹平面部１ｂが形成され、内部に冷却水の流通溝１
ｃが形成されている。
【００１３】２はシールド板で、前記凹平面部１ｂに嵌
入されたウェハＷの前面を露出させ、外周縁Ｗ１ を押
圧してウェハＷを保持するとともに、前記凹平面部１ｂ
以外の平面１ａを覆うようにしている。３は前記シール
ド板２の背面と前記ウェハホルダー１の平面１ａとの間
に、熱伝導が良く、かつ、弾力性があり、シールド板２
がウェハホルダー１の平面１ａに密接し得る弾性部材で
あり、この弾性部材は、たとえば導電性シリコーン製の
シートである。このような弾性部材３をウェハホルダー
１の平面１ａとシールド板２の背面との間に介在させた
ので、シールド板２の背面がウェハホルダー１の平面１
ａに密着し、エッチング時に加熱されたシールド板２の
熱は水冷されたウェハホルダー１に逃げて、従来はエッ
チング時にシールド板２が２００℃にも加熱されたもの
が１／３以下に下がり、ウェハを異常に加熱するような
ことがなくなる。
入されたウェハＷの前面を露出させ、外周縁Ｗ１ を押
圧してウェハＷを保持するとともに、前記凹平面部１ｂ
以外の平面１ａを覆うようにしている。３は前記シール
ド板２の背面と前記ウェハホルダー１の平面１ａとの間
に、熱伝導が良く、かつ、弾力性があり、シールド板２
がウェハホルダー１の平面１ａに密接し得る弾性部材で
あり、この弾性部材は、たとえば導電性シリコーン製の
シートである。このような弾性部材３をウェハホルダー
１の平面１ａとシールド板２の背面との間に介在させた
ので、シールド板２の背面がウェハホルダー１の平面１
ａに密着し、エッチング時に加熱されたシールド板２の
熱は水冷されたウェハホルダー１に逃げて、従来はエッ
チング時にシールド板２が２００℃にも加熱されたもの
が１／３以下に下がり、ウェハを異常に加熱するような
ことがなくなる。
【００１４】前記ウェハホルダー１は、平面１ａにウェ
ハＷを嵌入する凹平面部１ｂが形成されたウェハホルダ
ートップ１１ と、このウェハホルダートップ１１ の
背面と接合される面に冷却水の流通溝１ｃが形成された
ウェハホルダーボトム１２ とが、ウェハホルダートッ
プ１１ の平面１ａに歪みが生じないように、ウェハホ
ルダートップ１１ とウェハホルダーボトム１２ との
外周部および中心部とが複数の締め付け螺子４で締め付
けて接合固定されるとともに、前記外周部と中心部との
間も複数の締めつけ螺子４で締め付けて接合固定し、ウ
ェハホルダートップ１１ の平面１ａに歪みが生じない
ようにしてある。
ハＷを嵌入する凹平面部１ｂが形成されたウェハホルダ
ートップ１１ と、このウェハホルダートップ１１ の
背面と接合される面に冷却水の流通溝１ｃが形成された
ウェハホルダーボトム１２ とが、ウェハホルダートッ
プ１１ の平面１ａに歪みが生じないように、ウェハホ
ルダートップ１１ とウェハホルダーボトム１２ との
外周部および中心部とが複数の締め付け螺子４で締め付
けて接合固定されるとともに、前記外周部と中心部との
間も複数の締めつけ螺子４で締め付けて接合固定し、ウ
ェハホルダートップ１１ の平面１ａに歪みが生じない
ようにしてある。
【００１５】前記ウェハＷを嵌入する凹平面部１ｂには
、弾性を有し熱伝導性の良いシート１ｄを真空吸着する
、いわゆる真空キャッチングを形成するための吸着溝１
ｅが形成されており、この吸着溝１ｅの上にシート１ｄ
を介してウェハＷを載置し、このウェハＷの前面を露出
させ、外周縁Ｗ１ を押圧するとともに、前記凹平面部
１ｂ以外の平面１ａを覆うシールド板２をウェハホルダ
ートップ１１ の平面に固定螺子で固定して、ウェハＷ
が固定される。前記凹平面部１ｂに嵌入されたウェハＷ
を取外すときには、前記吸着溝１ｅに逆に空気を送るこ
とにより、容易に取外すことができる。
、弾性を有し熱伝導性の良いシート１ｄを真空吸着する
、いわゆる真空キャッチングを形成するための吸着溝１
ｅが形成されており、この吸着溝１ｅの上にシート１ｄ
を介してウェハＷを載置し、このウェハＷの前面を露出
させ、外周縁Ｗ１ を押圧するとともに、前記凹平面部
１ｂ以外の平面１ａを覆うシールド板２をウェハホルダ
ートップ１１ の平面に固定螺子で固定して、ウェハＷ
が固定される。前記凹平面部１ｂに嵌入されたウェハＷ
を取外すときには、前記吸着溝１ｅに逆に空気を送るこ
とにより、容易に取外すことができる。
【００１６】前記ウェハホルダートップ１１ の平面１
ａに形成したウェハＷを嵌入する３つの凹平面部１ｂは
、従来のような真円形でなく、ウェハＷのオリフラ部に
合わせた弦部１ｂ′が互いにウェハホルダートップ１１
の平面１ａの中心に向くように形成されて、このウェ
ハホルダートップ１１ の平面１ａの中心部の肉厚を従
来より厚くしている。この中心部には、図３に示すよう
にウェハホルダーボトム１２ に形成した冷却水の流通
溝１ｃに連通する二重パイプ回転軸５が接続され、この
二重パイプ回転軸５の内側パイプ５ａからの水圧が前記
中心部にかかるので、この中心部の肉厚を厚くしたこと
により、水圧によってウェハホルダートップ１１ の平
面１ａに歪みが生じるようなことがなくなる。
ａに形成したウェハＷを嵌入する３つの凹平面部１ｂは
、従来のような真円形でなく、ウェハＷのオリフラ部に
合わせた弦部１ｂ′が互いにウェハホルダートップ１１
の平面１ａの中心に向くように形成されて、このウェ
ハホルダートップ１１ の平面１ａの中心部の肉厚を従
来より厚くしている。この中心部には、図３に示すよう
にウェハホルダーボトム１２ に形成した冷却水の流通
溝１ｃに連通する二重パイプ回転軸５が接続され、この
二重パイプ回転軸５の内側パイプ５ａからの水圧が前記
中心部にかかるので、この中心部の肉厚を厚くしたこと
により、水圧によってウェハホルダートップ１１ の平
面１ａに歪みが生じるようなことがなくなる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、この発明のドライ
エッチング装置のウェハ保持盤は、ウェハホルダーの凹
平面部に嵌入されたウェハの前面を露出させ、外周縁を
押圧してウェハをウェハホルダーに保持するとともに、
前記凹平面部以外のウェハホルダーの平面を覆うシール
ド板が、ドライエッチング装置におけるＡｒ原子の衝突
によって加熱されようとしても、このシールド板の背面
と前記ウェハホルダーの平面との間に、熱伝導が良く、
かつ、弾力性があり、シールド板がウェハホルダーの平
面に密接し得る弾性部材が介在されているので、シール
ド板の熱は水冷されたウェハホルダーに逃げて下がり、
シールド板の熱がウェハおよびウェハ上の被膜に伝導し
て、たとえばレジスト焼けなどの悪影響を与えるような
ことがなくなる。
エッチング装置のウェハ保持盤は、ウェハホルダーの凹
平面部に嵌入されたウェハの前面を露出させ、外周縁を
押圧してウェハをウェハホルダーに保持するとともに、
前記凹平面部以外のウェハホルダーの平面を覆うシール
ド板が、ドライエッチング装置におけるＡｒ原子の衝突
によって加熱されようとしても、このシールド板の背面
と前記ウェハホルダーの平面との間に、熱伝導が良く、
かつ、弾力性があり、シールド板がウェハホルダーの平
面に密接し得る弾性部材が介在されているので、シール
ド板の熱は水冷されたウェハホルダーに逃げて下がり、
シールド板の熱がウェハおよびウェハ上の被膜に伝導し
て、たとえばレジスト焼けなどの悪影響を与えるような
ことがなくなる。
【００１８】また、ウェハホルダーは、平面にウェハを
嵌入する凹平面部が形成されたウェハホルダートップと
、このウェハホルダートップの背面と接合される面に冷
却水の流通溝が形成されたウェハホルダーボトムとが、
ウェハホルダートップの平面に歪みが生じないように、
中央部と外周部と、さらに、中央部と外周部との中間部
とを、複数の締め付け螺子で接合固定したので、前記冷
却水の流通溝に加わる水圧によって、ウェハホルダート
ップの平面に歪みが生じるようなことがなくなる。
嵌入する凹平面部が形成されたウェハホルダートップと
、このウェハホルダートップの背面と接合される面に冷
却水の流通溝が形成されたウェハホルダーボトムとが、
ウェハホルダートップの平面に歪みが生じないように、
中央部と外周部と、さらに、中央部と外周部との中間部
とを、複数の締め付け螺子で接合固定したので、前記冷
却水の流通溝に加わる水圧によって、ウェハホルダート
ップの平面に歪みが生じるようなことがなくなる。
【図１】この発明のドライエッチング装置のウェハ保持
盤の一部の断面図である。
盤の一部の断面図である。
【図２】この発明のウェハ保持盤のウェハホルダートッ
プの平面図である。
プの平面図である。
【図３】図２のｅ−ｅ線における断面図である。
【図４】従来一般のドライエッチング装置の概略図であ
る。
る。
【図５】図４をａ−ａ線方向に見た図である。
【図６】従来のウェハ保持盤の正面図である。
【図７】図６のｂ−ｂ線における断面図である。
【図８】図６のｃ−ｃ線における断面図である。
【図９】従来のウェハ保持盤のウェハホルダートップの
平面図である。
平面図である。
【図１０】従来のウェハ保持盤のウェハホルダーボトム
の平面図である。
の平面図である。
【図１１】図１０のｄ−ｄ線における断面図である。
１ ウェハホルダー
１１ ウェハホルダートップ
１２ ウェハホルダーボトム
１ａ 平面
１ｂ 凹平面部
１ｂ′ 弦部
１ｃ 冷却水の流通溝
１ｄ シート
１ｅ 吸着溝
２ シールド板
３ 弾性部材
４ 締め付け螺子
５ 二重パイプ回転軸
５ａ 内側パイプ
１１ Ａｒガスガン
１１ａ グリッド
１２ チャンバー
１３ ニュートラライザ
１４ ウェハ保持盤
１４１ ウェハホルダートップ
１４２ ウェハホルダーボトム
１４ａ 平面
１４ｂ 凹平面部
１４ｃ 冷却水の流通溝
１４ｄ 締め付け螺子
１４ｅ シート
１４ｆ 吸着溝
１４ｇ シールド板
１４ｈ 固定螺子
１４ｉ 螺子孔
１５ 基台
１６ 二重パイプ回転軸
１６ａ 内側パイプ
１６ｂ 外側パイプ
Claims (2)
- 【請求項１】平面（１ａ）にウェハ（Ｗ）を嵌入する凹
平面部（１ｂ）が形成され、内部に冷却水の流通溝（１
ｃ）が形成されたウェハホルダー（１）と、前記凹平面
部（１ｂ）に嵌入されたウェハ（Ｗ）の前面を露出させ
、外周縁（Ｗ１ ）を押圧してウェハ（Ｗ）を保持する
とともに、前記凹平面部（１ｂ）以外の平面（１ａ）を
覆うシールド板（２）とより構成されたドライエッチン
グ装置のウェハ保持盤において、前記シールド板（２）
の背面と前記ウェハホルダー（１）の平面（１ａ）との
間に、熱伝導が良く、かつ、弾力性があり、シールド板
（２）がウェハホルダー（１）の平面（１ａ）に密接し
得る弾性部材（３）を介在させたことを特徴とするドラ
イエッチング装置のウェハ保持盤。 - 【請求項２】ウェハホルダー（１）は、平面（１ａ）に
ウェハを嵌入する凹平面部（１ｂ）が形成されたウェハ
ホルダートップ（１１ ）と、このウェハホルダートッ
プ（１１ ）の背面と接合される面に冷却水の流通溝（
１ｃ）が形成されたウェハホルダーボトム（１２ ）と
が、ウェハホルダートップ（１１ ）の平面（１ａ）に
歪みが生じないように、中央部と外周部と、さらに、中
央部と外周部との中間部とを、複数の締め付け螺子（４
）で接合固定したことを特徴とする請求項１に記載のド
ライエッチング装置のウェハ保持盤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13117291A JP3141208B2 (ja) | 1991-06-03 | 1991-06-03 | ドライエッチング装置のウェハ保持盤 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13117291A JP3141208B2 (ja) | 1991-06-03 | 1991-06-03 | ドライエッチング装置のウェハ保持盤 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04356921A true JPH04356921A (ja) | 1992-12-10 |
| JP3141208B2 JP3141208B2 (ja) | 2001-03-05 |
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ID=15051696
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP13117291A Expired - Fee Related JP3141208B2 (ja) | 1991-06-03 | 1991-06-03 | ドライエッチング装置のウェハ保持盤 |
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| JP (1) | JP3141208B2 (ja) |
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1991
- 1991-06-03 JP JP13117291A patent/JP3141208B2/ja not_active Expired - Fee Related
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