JPH0434979Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、例えば半導体装置の製造工程で用い
るモールドプレス装置等の所謂プレス装置におけ
る金型の着脱及び搬送に供する金型搬送台車に関
する。

〔考案の概要〕

本考案は、プレス装置における金型の着脱及び
搬送に使用される金型搬送台車において、搬送台
車本体上に上下動可能な金型支持テーブルを有す
ると共に、このテーブル上に金型を移動可能なら
しめるローラを設け、且つ金型に対する予備加熱
用の手段を具備することによつて、金型の着脱及
び搬送を安全、正確、迅速に行えるようにし、ま
たプレス装置に金型を装着した後の作業開始時間
を早めることができるようにしたのである。

〔従来の技術〕 半導体装置の製造工程では、リードフレームに
マウントした半導体素子を樹脂モールドする工程
があり、モールドプレス装置が用いられる。従
来、このようなモールドプレス装置における金型
の着脱及び搬送は、フオークリフト等種々の方法
で行われていた。第９図はフオークリフト１を使
用して金型２をモールドプレス装置３に搬送する
場合の例であり、フオークリフト１からのモール
ドプレス装置３へ金型２を移す際には、ころ４等
を用いて行われる。

〔考案が解決しようとする問題点〕

従来のフオークリフト等の種々の搬送手段は、
いずれも安全、正確、迅速等に欠けており、特に
700Kg〜1.5tの重量のある金型の場合には危険が
非常に高く熟練を要するものであつた。

例えば金型２を第９図に示すフオークリフト１
に積むときには金型２の下にころ４等を敷き、転
がして移動させる。金型２が前方に移動すると金
型の重みのためフオーク５の前方が傾むくので、
絶えず傾き調整や高さ調整が行われる。また傾き
調整が出来ない場合は金型２が前方に転がり出な
い様に、また落下しない様にたえず押えたりしな
ければならない。一方、第９図に示す如く金型２
をフオークリフト１からモールドプレス装置３に
移す際には、金型２の前進と共にフオーク５が前
傾するため（５′の位置）、チルトを修正して高さ
を合わせる。そして、金型２がフオーク５からモ
ールドプレス装置３内に移動しフオーク５が金型
２より離れる時にフオーク５にかかる荷重が急激
に減少する為、フオーク５が反動で激しく浮き上
がる。（５″の位置）。この動作を防ぐ為には金型
２が離れる手前よりチルト修正及び高さ合せ等を
繰り返し、荷重をモールドプレス装置３に移し替
えてから積み替えを行うようにしていた。従つ
て、危険が伴うと同時に非常に時間を費やしてい
た。

そして、金型の交換に際しては一台のフオーク
リフトを用いて、先ずモールドプレス装置３内か
ら金型２を取り出し、他所に搬送して後、新らた
な金型２を積み込みモールドプレス装置３内に搬
入せしめており交換に極めて時間を要していた。
また金型をモールドプレス装置内に配したのち、
作業温度まで加熱するのにも時間がかかり、作業
開始までには長時間を要するものであつた。

本考案は、上述の点に鑑み、プレス装置に対す
る金型の着脱及び搬送を安全に、正確に、迅速に
行うことができ、且つ金型の予備加熱をも可能な
らしめ、半導体製造作業室のようなクリーンルー
ムでの使用を可能にした金型搬送台車を提供する
ものである。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案は、半導体装置製造用の金型をクリーン
ルーム内で搬送する金型搬送台車において、搬送
台車本体１２上に例えば油圧シリンダ３６にて上
下動可能な複数の金型支持テヒブル１３，１３′
を有し、各テーブル１３，１３′上に金型を移動
可能ならしめるローラを設け、且つ金型２に対す
る予備加熱用の手段即ち電源コントロール７２及
び温度調整装置７３を内蔵して成る。

搬送台車本体１２には駆動車輪１４及び車輪１
５が設けられ、これによつて自在に移動できる。
テーブル１３，１３′は本体１２に対して夫々上
下動機構３１，３１′の支持体３４，３５で強固
に支持されている。各上下動機構３１及び３１′
は夫々独立に又は運動して駆動できるように構成
される。テーブル１３，１３′上には夫々金型２
を積み込んだときに金型２が移動しないように金
型の左右を位置規制する１対のガイドレール２７
と、前後を位置規制する１対のストツパ部材２８
が設けられる。ローラ２３は少くとも２本の平行
なレール２５上に臨むように配され、この場合、
ローラ２３は固定された状態で配されるか、又は
レール２５の面を規準に上下移動し（即ち突出、
引き込み）できるように配される。ローラ２３が
上下移動可能な構成のときにはストツパ部材２８
は省略可能となる。

一方、金型２を設置するプレス装置３において
は、金型２の配置面に同様のローラ６１が配さ
れ、この場合ローラ６１は配置面を基準に上下移
動できるように配される。

〔作用〕

金型搬送台車１１の一方のテーブル１３′上に
交換すべき金型２が積み込まれる。この状態で搬
送台車１１を運転してプレス装置３に横付けす
る。そして油圧シリンダ３６によつて他方のテー
ブル１３の高さを調整し、テーブル１３とプレス
装置３の面を同一とした後、プレス装置３内の金
型２をテーブル１３上に移す。このとき、金型２
がローラ６１及び２３上を移動するので、移送は
軽く行える。また、荷重の移動に対してもテーブ
ル１３は傾くことがなく、水平状態に維持され
る。次にプレス装置３と一方のテーブル１３′が
対応するように搬送台車１１を少し移動し、テー
ブル１３′を油圧シリンダ３６を介して上昇し、
そのテーブル１３′とプレス装置３の面を同一と
した後、テーブル１３′上の金型２をローラ２３
及び６１をしてプレス装置３内に移送する。

従つて、プレス装置３の金型交換に際しての金
型２の着脱及び搬送が安全、確実、迅速に行え
る。

又、交換すべき金型２をテーブル１３′上に載
せた状態で金型２側の加熱手段のソケツトを電源
コントロール７２に接続し、電源コントロール７
２よりの電源ソケツトを室内の外部電源に差し込
み、且つ温度調整装置７３で所定の温度に設定す
れば、待期中に金型２は予備加熱される。

〔実施例〕

以下、図面を参照して本考案による金型搬送台
車の実施例を説明する。

第１図〜第３図は本考案の一例であり、同図
中、３はモールドプレス装置、２はその金型であ
る。

１１は本考案の金型搬送台車の全体を示し、１
２はその搬送台車本体、１３及び１３′はこの本
体１２に上下動可能に取付けられた金型支持テー
ブルを示す。

搬送台車本体１２はウレタン製の駆動車輪１４
及び車輪１５を備え、本搬送台車１１の前進、後
退がハンドル部１６のレバー操作で行われる。ハ
ンドル部１６には前進・後退切換用スイツチ１
７、高速・低速切換用スイツチ１８、キースイツ
チ１９が設けられる。２０はバツテリーである。
金型支持テーブル１３及び１３′上には夫々テー
ブル全幅にわたる様に多数のローラ２３〔２３
ａ，２３ｂ，２３ｃ〕を配列して成る２本の平行
するローラ部２４が配される。ローラ部２４は表
面が平坦である２本のレール２５に埋置するよう
に配される。この場合、ローラ部２４においては
例えば３つに分割され、中央のローラ部２４ｂの
ローラ２３ｂは金型２を全方向に移動可能なよう
に全方向回転のローラで構成され、両端部のロー
ラ部２４ａ，２４ｃのローラ２３ａ，２３ｃは金
型２を一方向（レール２５の延長方向）に移動可
能なように一方向回転のローラで構成される。３
つに分割された夫々のローラ部２４ａ，２４ｂ，
２４ｃはレール２５内に対して着脱可能に配され
る。各ローラ部２４ａ，２４ｂ，２４ｃは固定
（第６図参照）又は上下動可能（第５図参照）に
配することができるも、本例では油圧シリンダ２
６を介して上下動可能に配される。即ち、上動し
たときにはローラ２３ａ，２３ｂ，２３ｃがレー
ル２５の面より上方に突出し、下動したときには
レール２５の面より内方に引込むようになされ
る。また各ローラ部２４ａ及び２４ｃは連動して
上下動し、ローラ部２４ｂはローラ部２４ａ，２
４ｃとは独立に上下動する。テーブル１３及び１
３′上には金型２を載せたときに所定位置に保持
させるため、金型２の左右を位置規制する１対の
ガイドレール２７と、金型２の前後を位置規制す
る１対のストツパ部材２８とが設けられる。ガイ
ドレール２７は２本のローラ部２４を挾む両側に
ネジ２９で取付けられ、ストツパ部材２８はレー
ル２５上にガイドレール２７と直交する方向にネ
ジ３０で取付けられる。これらガイドレール２７
及びストツパ部材２８は金型２の大きさに応じて
その取付位置をずらすことにより、両ガイドレー
ル２７間の間隔、両ストツパ部材２８間の間隔が
調整される。

一方、テーブル１３及び１３′は夫々同一機構
をとる上下動機構３１及び３１′を介して本体１
２に支持される。この上下動機構３１（３１′も
同様である）は２つの部材３２及び３３が交叉す
るように中央部で互に回転可能に軸支してなる１
対の支持体３４及び３５と、油圧シリンダ３６で
構成される。即ち支持体３４及び３５は夫々テー
ブル１３と本体１２間で両側に設けられ、その一
方の部材３２の上端がテーブル１３下面の一端に
回動自在に固定されると共に、その下端がローラ
３７を介して本体１２の他端側に転接され、また
他方の部材３３の下端が本体１２の一端に回動自
在に固定されると共に、その上端がローラ３８を
介してテーブル１３下面に転接される。そして一
方の両部材３２間に差渡る軸３９と他方の両部材
３３間に差渡る軸４０間に油圧シリンダ３６が配
され、この油圧シリンダ３６により支持体３４，
３５を伸縮させて上下動が行われる。このテーブ
ル１３の上下動はスイツチ４２で操作する。

搬送台車１１には金型２の予備加熱用に電源コ
ントロール７２及び温度調整装置７３が内蔵され
る。

上下動機構３１及びテーブル１３と対向する本
体１１の側面には金型着脱時にテーブル１３とモ
ールドプレス装置３との高さを合せする場合に用
いる所謂リフトスケール４２が設けられる。この
スケール４２は一般的なスケール例えば磁気スケ
ール等を使用することができる。また、テーブル
１３及び上下動機構３１の全周囲、テーブル１
３′及び上下動機構３１′の全周に夫々スライド式
安全カバー４３が設けられる。同時にこの安全カ
バー４３内には集塵機が配され、上下動機構３
１，３１′のスライド部から発生するごみを集塵
し外部に出さないように構成される。安全カバー
４３の外側には図示せざるもさらに二重の安全対
策として全周を囲うように安全枠を配するを可と
する。この安全枠はテーブル１３を一番下までお
ろしたときのテーブル１３の上部の高さより少し
高くなるように形成される。これによつて仮にス
トツパ部材２８が破損されても金型２の落下が防
止される。金型２の積み込み、積み下しのときは
テーブル１３を安全枠より上の位置に移動させて
行う。安全カバー４３及び安全枠は本体１２に固
定される。

本体１２においては、駆動車輪１４及び車輪１
５の近傍に集塵機４５が配され、床４６と両車輪
１４，１５との摩擦で発生するごく僅かなごみを
もこの集塵機４５で集塵するようになされる。ま
た床４６が不安定な場所等でも本搬送台車１１を
床４６に安定に固定できるように、本体１２の例
えば２個所に固定用アジヤストネジ４７が設けら
れる。なお、図示せざるも搬送台車１１には上下
動機構３１の油圧ポンプ、この油圧ポンプに直結
したモータ等が内蔵されており、油圧ポンプはロ
ーラ部２４の油圧シリンダ３６の油圧ポンプを兼
ねることができ、この場合には切換用の電磁弁が
設けられる。

さらに、テーブル１３，１３′の少なくとも一
方の端部、本例では両端部にはローラ部２４に対
応して補助ローラ部５０の取付部５１が設けられ
る。補助ローラ部５０は第４図に示すように一方
向に回転する複数のローラ４９を備え、取付部５
１に対して着脱自在の構成をなし、例えばモール
ドプレス装置３と本搬送台車１１間が広い場合
に、補助ローラ部５０を取付部５１に嵌着して間
隔を埋めるようになす。なお、この取付部５１は
モールドプレス装置３側に取付けることも出来
る。

一方、金型２を設置するモールドプレス装置３
においては、第１図に示すように金型２の配置面
に一方向回転の複数のローラ６１を形成したロー
ラ部６２が配される。このローラ部６２は油圧シ
リンダによつて配置面を基準に上下移動できるよ
うに配される。

而して、かかる金型搬送台車１１の片方の例え
ばテーブル１３に金型２を積み込む際には、上下
動機構３１を操作してテーブル１３を所定高さに
して後、ローラ２３ａ，２３ｂ，２３ｃがレール
２５の面上より突出するように各ローラ部２４を
油圧シリンダ２６によつて上昇させる。そして金
型２をガイドレール２７に案内させながらローラ
部２４上を一方向に移送し、テーブル１３の中央
位置に積み込む。その後、ガイドレール２７上に
１対のストツパ部材２８を取付けて金型２をその
位置に固定する。尚、金型を所定位置に置いた状
態でローラ部２４を油圧シリンダ２６を介して下
方に移動し、ローラ２３ａ，２３ｂ，２３ｃをレ
ール２５の面より下方に引込ませれば、金型２は
平坦なレール２５の面に接し、ストツパ部材２８
が無くとも金型２の重量で安定にその位置に保持
することができる。金型２を搬送台車１１に積み
込んだ後は一旦テーブル１３を最下位置まで降下
するを可とする。次に、搬送台車１１を運転して
金型２をモールドプレス装置３に横付けする。そ
して、上下動機構３１を操作してテーブル１３を
モールドプレス装置３の高さに合せる。このとき
スケール４２によりテーブル１３とモールドプレ
ス装置３の高さは正確に且つ容易に行える。磁気
スケール等を用いれば設定した高さ位置でテーブ
ル１３は自動的に止まる。床４６が悪い場合には
固定用アジヤストネジ４７を床面に当接して搬送
台車１１を安定に固定する。モールドプレス装置
３ではローラ部６２を上昇させてローラ６１を金
型２の配置面上に臨ましめる。又、搬送台車１１
においてもテーブル１３面のローラ部２４を上昇
させローラ２３ａ〜２３ｃをレール２５面上に臨
ませる。この状態で一方のストツパ部材２８を外
し、金型２を軽く押せば金型２はローラ部２４上
を通つてモールドプレス装置３内に収容される。
モールドプレス装置３への収容に先立つて、仮に
金型２が逆向きで搬送台車１１上に積まれていて
も、全方向回転のローラ部２４ｂ上で金型２を方
向転換することができ、金型２を容易に正しい向
きでモールドプレス装置３に移し替えることがで
きる。ここで、モールドプレス装置３と搬送台車
１１間の間隔が広いときには補助ローラ部５０を
テーブル１３の端部の取付部５１に嵌着させる。
これにより金型２の移し替えが容易に行える。そ
して、この搬送台車１１からモールドプレス装置
３に金型２を移す際に荷重が移動するが、テーブ
ル１３は両側の支持体３４，３５で支えられてい
るので、テーブル１３自体が傾むくことがなく、
水平状態に維持されるため、金型の移し替えは楽
に行える。ローラ部２４は油圧シリンダ２６で上
下動でき、従つて、金型２の搬送時、移し替え時
の安全が確保される。金型搬送時、駆動車輪１４
及び車輪１５と床４６との摩擦でごみが発生して
も集塵機４５により集塵されるので、半導体製造
作業室のような所謂クリーンルームでの使用にも
対応できる。またテーブル１３の上下動のスピー
ドが油圧弁の可変により作業に合わせて容易に出
来るので、安全に作業ができる。

モールドプレス装置３の金型２を搬送台車１１
に移し替える場合も同様にすることによつて安
全、確実、迅速に行える。

そして本考案の搬送台車１１においては２組の
テーブル１３及び１３′が設けられることにより、
一方の例えばテーブル１３′上に交換すべき金型
２を積み込み、モールドプレス装置３まで搬送し
た後、先ずモールドプレス装置３内の金型２を他
方のテーブル１３に移し、次に一方のテーブル１
３′上の金型２をモールドプレス装置に移し替え
る。これにより金型の着脱作業が一往復で終了さ
せることができる。又、金型には加熱手段が組込
まれている。従つて交換すべき金型２を一方のテ
ーブル１３′上に載せた状態で金型２の加熱手段
のソケツトを電源コントロール７２に接続し、電
源コントロール７２よりの電源ソケツトを室内の
外部電源に差し込み、且つ温度調整装置７３で所
定の温度に設定することによつて、待期中に金型
２を予備加熱することができる。従つて、この予
備加熱された金型２をモールドプレス装置３に配
した後の加熱時間を短縮でき、作業の開始を早め
ることができる。通常、モールドプレス装置での
金型の作業温度は175℃±５℃であり、予備加熱
も175℃±５℃程度とすることができる。

尚、ローラ部２４の構成としては、上例の他に
例えば第７図に示すようにテーブル１３，１３′
の全幅にわたつて一方向回転のローラ２３ａで構
成することができ、この場合も、ローラ部２４を
固定、又は上下動可能とすることができる。この
構成ではテーブル１３，１３′上で金型２を方向
転換することはできない。さらにローラ部２４の
構成としては、第８図に示すように一方向回転の
ローラ２３ａを有した２本のローラ部２４ａ間の
中央部分に全方向回転のローラ２３ｂを有したロ
ーラ部２４ｂを配した構成とすることもできる。
この場合、各ローラ部２４ａ，２４ｂは上下動可
能とすることができるが、一方向回転の２つのロ
ーラ部２４ａと全方向回転のローラ部２４ｂとは
互に独立に駆動できるようになす。そして、各実
施例ではローラ部２４を複数に分割して形成する
ときは部品交換が少なくて済む利点がある。

上例のローラ部２４の構成においては、必要に
応じて各分割した夫々の領域毎に独立に駆動する
ように構成することもできる。

上例ではモールドプレス装置の金型の着脱及び
搬送に適用したが、本搬送台車はその他のプレス
装置の金型の着脱及び搬送にも適用できる。

〔考案の効果〕

本考案の金型搬送台車によれば、プレス装置に
対する金型の着脱及び搬送が安全に、正確に且つ
迅速に行えるものであり、重量のある金型でも危
険なく扱える。

そして、金型の交換に際しては金型の着脱作業
が一往復で終了させることができる。また交換す
べき金型を搬送台車に載せた状態で待期中に予備
加熱できるので、プレス装置に金型を配した後の
作業の開始時間を早めることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の金型搬送台車を使用して金型
の着脱交換の状態を示す構成図、第２図は本考案
の金型搬送台車の一例を示す正面図、第３図はそ
の平面図、第４図は要部の斜視図、第５図及び第
６図は夫々本考案のローラ部を含む要部の断面
図、第７図及び第８図は夫々ローラ部の他の構成
例を示す平面図、第９図が従来のフオークリフト
を使用して金型の着脱交換の状態を示す構成図で
ある。 ２は金型、３はモールドプレス装置、１１，７
１は金型搬送台車、１２は台車本体、１３はテー
ブル、２４はローラ部、３１は上下動機構であ
る。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 半導体装置製造用の金型をクリーンルーム内で
   搬送する金型搬送台車において、 搬送台車本体上に複数の上下動可能な金型支持
   テーブルを有し、 該各テーブル上に金型を移動可能ならしめるロ
   ーラが設けられ、 且つ上記金型に対する予備加熱用の手段が備え
   られて成る金型搬送台車。