JPH04343461A - 集積回路用パッケージの製造方法 - Google Patents
集積回路用パッケージの製造方法Info
- Publication number
- JPH04343461A JPH04343461A JP11610191A JP11610191A JPH04343461A JP H04343461 A JPH04343461 A JP H04343461A JP 11610191 A JP11610191 A JP 11610191A JP 11610191 A JP11610191 A JP 11610191A JP H04343461 A JPH04343461 A JP H04343461A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating substrate
- leads
- lead
- jig
- integrated circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 66
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 10
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 5
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、絶縁基板の四方より外
方へリードが伸びる集積回路用パッケージの製造方法に
関するものである。
方へリードが伸びる集積回路用パッケージの製造方法に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、端部においてリードが連結され、
この連結されたリードが絶縁基板の各辺単位に設けられ
て、絶縁基板に固着される集積回路用パッケージの製造
方法として、特開昭 61−220363号、特開平
3−29353号公報に開示された技術が知られている
。
この連結されたリードが絶縁基板の各辺単位に設けられ
て、絶縁基板に固着される集積回路用パッケージの製造
方法として、特開昭 61−220363号、特開平
3−29353号公報に開示された技術が知られている
。
【0003】特開昭 61−220363号に開示され
た技術は、リードフレーム位置決め板(第1治具)にサ
ブフレーム(端部が連結され、絶縁基板の各辺単位に設
けられたリード群)をそれぞれ装着し、次いでリードフ
レーム位置決め板に窓枠位置決め板(第2治具)を装着
し、この窓枠位置決め板に窓枠形部材(サブフレームを
挟む絶縁基板の一方)を装着し、サブフレームと窓枠形
部材との位置合わせを行い、サブフレームと窓枠形部材
との接合を行う。次いで、接合されたサブフレームおよ
び窓枠形部材を集成体位置決め板(第3治具)に装着し
、次いで集成体位置決め板に基部位置決め板(第4治具
)を装着し、この基部位置決め板に基部(サブフレーム
を挟む絶縁基板の他方)を装着し、サブフレームを挟ん
で窓枠形部材と基部とを接合し、リード付チップ支持体
(集積回路用パッケージ)を形成するものである。
た技術は、リードフレーム位置決め板(第1治具)にサ
ブフレーム(端部が連結され、絶縁基板の各辺単位に設
けられたリード群)をそれぞれ装着し、次いでリードフ
レーム位置決め板に窓枠位置決め板(第2治具)を装着
し、この窓枠位置決め板に窓枠形部材(サブフレームを
挟む絶縁基板の一方)を装着し、サブフレームと窓枠形
部材との位置合わせを行い、サブフレームと窓枠形部材
との接合を行う。次いで、接合されたサブフレームおよ
び窓枠形部材を集成体位置決め板(第3治具)に装着し
、次いで集成体位置決め板に基部位置決め板(第4治具
)を装着し、この基部位置決め板に基部(サブフレーム
を挟む絶縁基板の他方)を装着し、サブフレームを挟ん
で窓枠形部材と基部とを接合し、リード付チップ支持体
(集積回路用パッケージ)を形成するものである。
【0004】特開平 3−29353号公報に開示され
た技術は、リード集合体(端部が連結され、絶縁基板の
各辺単位に設けられたリード群)の連結部に形成された
円孔により位置決めをして、上下のリングの間に保持さ
せる。 このリング内に下型と上型を配し、リング内にパッケー
ジケース(絶縁基板)が形成されるスペースを形成する
。次いで、上下のリング、下型、上型によって囲まれる
スペース内に絶縁材料を流し込み、パッケージケースを
モールド成形し、集積回路用パッケージを形成するもの
である。
た技術は、リード集合体(端部が連結され、絶縁基板の
各辺単位に設けられたリード群)の連結部に形成された
円孔により位置決めをして、上下のリングの間に保持さ
せる。 このリング内に下型と上型を配し、リング内にパッケー
ジケース(絶縁基板)が形成されるスペースを形成する
。次いで、上下のリング、下型、上型によって囲まれる
スペース内に絶縁材料を流し込み、パッケージケースを
モールド成形し、集積回路用パッケージを形成するもの
である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】特開昭 61−220
363号に開示された技術は、集積回路用パッケージを
形成するのに、4つの治具を必要とする。少なくとも、
リードを絶縁基板に接合するために、2つの治具を必要
とする。この結果、作業工程が多く必要となり、生産性
が悪い問題点を有していた。特開平 3−29353号
公報に開示された技術は、形成された絶縁基板とリード
とを接合する技術は開示されておらず、例えば焼結され
たセラミックにリードを搭載することはできない問題点
を有していた。
363号に開示された技術は、集積回路用パッケージを
形成するのに、4つの治具を必要とする。少なくとも、
リードを絶縁基板に接合するために、2つの治具を必要
とする。この結果、作業工程が多く必要となり、生産性
が悪い問題点を有していた。特開平 3−29353号
公報に開示された技術は、形成された絶縁基板とリード
とを接合する技術は開示されておらず、例えば焼結され
たセラミックにリードを搭載することはできない問題点
を有していた。
【0006】
【発明の目的】本発明は、上記の事情に鑑みてなされた
もので、その目的は、形成された絶縁基板とリードとを
、少ない作業工程で接合できる、生産性に優れた集積回
路用パッケージの製造方法の提供にある。
もので、その目的は、形成された絶縁基板とリードとを
、少ない作業工程で接合できる、生産性に優れた集積回
路用パッケージの製造方法の提供にある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するべ
く、集積回路を搭載するための矩形を呈した絶縁基板と
、この絶縁基板に固着され、前記絶縁基板の四方より外
方へ向かう複数のリードとを備えた集積回路用パッケー
ジの製造方法は、次の技術的手段を採用した。前記リー
ドは端部において連結されるとともに、この連結された
前記リードは前記絶縁基板の各辺単位に設けられる。 そして、前記絶縁基板の各辺単位で連結された前記リー
ドを、治具に位置決めして装着するとともに、前記絶縁
基板も、前記治具に位置決めして装着し、前記リードと
前記絶縁基板との位置決めを行い、その後、前記リード
と前記絶縁基板とを接合する。
く、集積回路を搭載するための矩形を呈した絶縁基板と
、この絶縁基板に固着され、前記絶縁基板の四方より外
方へ向かう複数のリードとを備えた集積回路用パッケー
ジの製造方法は、次の技術的手段を採用した。前記リー
ドは端部において連結されるとともに、この連結された
前記リードは前記絶縁基板の各辺単位に設けられる。 そして、前記絶縁基板の各辺単位で連結された前記リー
ドを、治具に位置決めして装着するとともに、前記絶縁
基板も、前記治具に位置決めして装着し、前記リードと
前記絶縁基板との位置決めを行い、その後、前記リード
と前記絶縁基板とを接合する。
【0008】
【発明の作用】1つの治具に、絶縁基板の各辺単位で設
けられたリードと、リードとを、それぞれ位置決めして
装着する。この結果、絶縁基板とリードとの位置決めが
完了する。次いで、ガラス封着や接着などの接合技術に
よって、絶縁基板とリードとを接合する。
けられたリードと、リードとを、それぞれ位置決めして
装着する。この結果、絶縁基板とリードとの位置決めが
完了する。次いで、ガラス封着や接着などの接合技術に
よって、絶縁基板とリードとを接合する。
【0009】
【発明の効果】本発明の集積回路用パッケージの製造方
法は、上記の作用で示したように、1つの治具に、形成
された絶縁基板とリードとが装着されて、絶縁基板とリ
ードとが位置決めされるため、従来に比較して治具が少
なくて済むとともに、少ない工程で絶縁基板とリードと
の位置決めが完了する。この結果、集積回路用パッケー
ジの生産性が向上するとともに、製造コストを低く抑え
ることができる。
法は、上記の作用で示したように、1つの治具に、形成
された絶縁基板とリードとが装着されて、絶縁基板とリ
ードとが位置決めされるため、従来に比較して治具が少
なくて済むとともに、少ない工程で絶縁基板とリードと
の位置決めが完了する。この結果、集積回路用パッケー
ジの生産性が向上するとともに、製造コストを低く抑え
ることができる。
【0010】
【実施例】次に、本発明の集積回路用パッケージの製造
方法を、図に示す一実施例に基づき説明する。 〔実施例の構成〕図1および図2は本発明の実施例を示
すもので、図1は治具、リードおよび絶縁基板の分解斜
視図を示す。本発明の集積回路用パッケージの製造方法
は、絶縁基板1の表面に、複数のリード2を放射状に接
合する技術である。
方法を、図に示す一実施例に基づき説明する。 〔実施例の構成〕図1および図2は本発明の実施例を示
すもので、図1は治具、リードおよび絶縁基板の分解斜
視図を示す。本発明の集積回路用パッケージの製造方法
は、絶縁基板1の表面に、複数のリード2を放射状に接
合する技術である。
【0011】絶縁基板1は、集積回路(図示しない)が
搭載される、正方形を呈したセラミック焼結基板である
。絶縁基板1の表面(図1では下面)の中央部分に、集
積回路が搭載される窪み3が形成されている。
搭載される、正方形を呈したセラミック焼結基板である
。絶縁基板1の表面(図1では下面)の中央部分に、集
積回路が搭載される窪み3が形成されている。
【0012】リード2は、集積回路用パッケージをマザ
ーボードへ実装する際に、マザーボードの端子と接続さ
れるもので、絶縁基板1の表面にガラス封着によって接
合されている。リード2は、外周側が絶縁基板1の4辺
よりそれぞれ外方へ向かうもので、絶縁基板1の各辺単
位のリード2は、本数、ピッチ、幅、長さ、厚みなど、
各辺単位で同じ形状のものである。このため、リード2
は、各辺単位に形成されて、絶縁基板1の表面に接合さ
れる。各辺単位で形成されるリード2は、端部において
リードフレーム4にて連結されてリード群5とされてい
る。なお、リードフレーム4は、マザーボードへの実装
前に、切断されるものである。絶縁基板1に接合された
際に内側となる各リード2の端は、絶縁基板1に搭載さ
れる集積回路とワイヤで接続されるもので、接合性を向
上する目的で表面にアルミニウムがクラッドされている
。
ーボードへ実装する際に、マザーボードの端子と接続さ
れるもので、絶縁基板1の表面にガラス封着によって接
合されている。リード2は、外周側が絶縁基板1の4辺
よりそれぞれ外方へ向かうもので、絶縁基板1の各辺単
位のリード2は、本数、ピッチ、幅、長さ、厚みなど、
各辺単位で同じ形状のものである。このため、リード2
は、各辺単位に形成されて、絶縁基板1の表面に接合さ
れる。各辺単位で形成されるリード2は、端部において
リードフレーム4にて連結されてリード群5とされてい
る。なお、リードフレーム4は、マザーボードへの実装
前に、切断されるものである。絶縁基板1に接合された
際に内側となる各リード2の端は、絶縁基板1に搭載さ
れる集積回路とワイヤで接続されるもので、接合性を向
上する目的で表面にアルミニウムがクラッドされている
。
【0013】リード2の製造技術について、簡単に説明
する。リード2は、材料となる例えば42アロイ製の薄
板Aを、プレス加工技術により形成されている。このプ
レス加工技術によって形成されるものは、図2に示すよ
うに、各辺単位のリード2を、リードフレーム4で連結
した状態のリード群5である。なお、リード2の内側端
部に形成されるアルミニウムのクラッドは、プレス加工
前に42アロイ製の薄板にアルミニウムクラッドテープ
6を被着し、その後、プレス加工でリード群5を形成す
ることによって、リード2の端部に形成される。なお、
リード2は42アロイの他、例えばコバールなど他の材
料を用いても良い。
する。リード2は、材料となる例えば42アロイ製の薄
板Aを、プレス加工技術により形成されている。このプ
レス加工技術によって形成されるものは、図2に示すよ
うに、各辺単位のリード2を、リードフレーム4で連結
した状態のリード群5である。なお、リード2の内側端
部に形成されるアルミニウムのクラッドは、プレス加工
前に42アロイ製の薄板にアルミニウムクラッドテープ
6を被着し、その後、プレス加工でリード群5を形成す
ることによって、リード2の端部に形成される。なお、
リード2は42アロイの他、例えばコバールなど他の材
料を用いても良い。
【0014】リード群5は、表面にガラスがコーティン
グされた絶縁基板1の表面で位置合わせされたのち、炉
中を通してガラスを溶融させて、絶縁基板1の表面に封
止、接合されるもので、この接合技術を簡単に説明する
。絶縁基板1と、4つに設けられたリード群5との位置
合わせは、図1に示すように、1つの治具7を用いて行
われる。この治具7は、リード2と熱膨張率が同じとな
るように、42アロイ製で、炉中にてリード2と治具7
との熱膨張差から、リード2の位置ずれが発生しないよ
うに設けられている。なお、治具7の材質は、本実施例
に示すように、リード2と同じである必要はなく、例え
ばリード2の材質が42アロイである場合、治具7の材
質に熱膨張差の小さいSUSを用いるなど、他の材質で
形成しても良い。
グされた絶縁基板1の表面で位置合わせされたのち、炉
中を通してガラスを溶融させて、絶縁基板1の表面に封
止、接合されるもので、この接合技術を簡単に説明する
。絶縁基板1と、4つに設けられたリード群5との位置
合わせは、図1に示すように、1つの治具7を用いて行
われる。この治具7は、リード2と熱膨張率が同じとな
るように、42アロイ製で、炉中にてリード2と治具7
との熱膨張差から、リード2の位置ずれが発生しないよ
うに設けられている。なお、治具7の材質は、本実施例
に示すように、リード2と同じである必要はなく、例え
ばリード2の材質が42アロイである場合、治具7の材
質に熱膨張差の小さいSUSを用いるなど、他の材質で
形成しても良い。
【0015】本実施例の治具7は、上面にリード2を搭
載した後に、絶縁基板1の表面を下方に向けた状態で搭
載するもので、リード2の位置決めを行うリード位置決
め部8と、絶縁基板1の位置決めを行う基板位置決め部
9とを備える。リード位置決め部8は、リードフレーム
4の周囲を囲む窪みで、各リード2の端部をそれぞれ治
具7の内側に向けて配置するように設けられている。基
板位置決め部9は、絶縁基板1の各コーナ部のみが当接
するもので、絶縁基板1の配される下の部分は、絶縁基
板1の表面と接触しないように、窓抜きの開口10とさ
れている。そして、リード群5と絶縁基板1との接合時
は、まず、治具7の各リード位置決め部8に、アルミニ
ウムがクラッドされた側を下方に向けて、リードフレー
ム4を嵌め込む。次いで、基板位置決め部9内に、ガラ
スがコーティングされた側を下方に向けて絶縁基板1を
嵌め込む。この状態で、各リード2と絶縁基板1との位
置合わせが完了する。続いて、炉を通して、ガラスを溶
融させてガラス内にリード2を封止し、リード2を絶縁
基板1に接合する。
載した後に、絶縁基板1の表面を下方に向けた状態で搭
載するもので、リード2の位置決めを行うリード位置決
め部8と、絶縁基板1の位置決めを行う基板位置決め部
9とを備える。リード位置決め部8は、リードフレーム
4の周囲を囲む窪みで、各リード2の端部をそれぞれ治
具7の内側に向けて配置するように設けられている。基
板位置決め部9は、絶縁基板1の各コーナ部のみが当接
するもので、絶縁基板1の配される下の部分は、絶縁基
板1の表面と接触しないように、窓抜きの開口10とさ
れている。そして、リード群5と絶縁基板1との接合時
は、まず、治具7の各リード位置決め部8に、アルミニ
ウムがクラッドされた側を下方に向けて、リードフレー
ム4を嵌め込む。次いで、基板位置決め部9内に、ガラ
スがコーティングされた側を下方に向けて絶縁基板1を
嵌め込む。この状態で、各リード2と絶縁基板1との位
置合わせが完了する。続いて、炉を通して、ガラスを溶
融させてガラス内にリード2を封止し、リード2を絶縁
基板1に接合する。
【0016】〔実施例の効果〕本実施例では、上記に示
したように、1つの治具7でセラミック製の絶縁基板1
とリード2とが装着されて、絶縁基板1とリード2とが
位置決めされる。このため、従来に比較して治具7が少
なくて済むとともに、少ない工程で絶縁基板1とリード
2との位置決めが完了する。この結果、集積回路用パッ
ケージの生産性が向上するとともに、製造コストを低く
抑えることができる。絶縁基板1の表面を下方に向けて
治具7に搭載し、この絶縁基板1の下方に開口10を設
けることにより、ガラス封着を行った際、ガラスが絶縁
基板1の下面に付着することが無くなるとともに、破片
が治具7に残留することを無くすことができる。この結
果、集積回路用パッケージの外観不良の発生を抑えるこ
とができる。リード群5は、リードフレーム4の周囲に
よって治具7に位置決めされるため、例えば、リードフ
レーム4内の孔によって位置決めされるものに比較して
、位置ずれの発生量が小さくて済む。この結果、絶縁基
板1とリードフレーム4の位置ずれ量を小さく抑えるこ
とができる。
したように、1つの治具7でセラミック製の絶縁基板1
とリード2とが装着されて、絶縁基板1とリード2とが
位置決めされる。このため、従来に比較して治具7が少
なくて済むとともに、少ない工程で絶縁基板1とリード
2との位置決めが完了する。この結果、集積回路用パッ
ケージの生産性が向上するとともに、製造コストを低く
抑えることができる。絶縁基板1の表面を下方に向けて
治具7に搭載し、この絶縁基板1の下方に開口10を設
けることにより、ガラス封着を行った際、ガラスが絶縁
基板1の下面に付着することが無くなるとともに、破片
が治具7に残留することを無くすことができる。この結
果、集積回路用パッケージの外観不良の発生を抑えるこ
とができる。リード群5は、リードフレーム4の周囲に
よって治具7に位置決めされるため、例えば、リードフ
レーム4内の孔によって位置決めされるものに比較して
、位置ずれの発生量が小さくて済む。この結果、絶縁基
板1とリードフレーム4の位置ずれ量を小さく抑えるこ
とができる。
【0017】
【変形例】上記の実施例では、表面を下方に向けた状態
で治具7に搭載する例を示したが、表面を上方に向けて
治具7に搭載し、その上方にリード2を搭載しても良い
。治具7は、リードフレーム4の周囲を囲むことで位置
決めを行ったが、リードフレーム4に位置決め用の孔を
設け、この孔によってリード群5の位置決めを行っても
良い。治具7は、削り出しや鋳造により当初より単一の
治具として設けたり、あるいは例えばリード位置決め部
8が形成された部材と基板位置決め部9が形成された部
材とを固着して単一の治具として設けても良い。
で治具7に搭載する例を示したが、表面を上方に向けて
治具7に搭載し、その上方にリード2を搭載しても良い
。治具7は、リードフレーム4の周囲を囲むことで位置
決めを行ったが、リードフレーム4に位置決め用の孔を
設け、この孔によってリード群5の位置決めを行っても
良い。治具7は、削り出しや鋳造により当初より単一の
治具として設けたり、あるいは例えばリード位置決め部
8が形成された部材と基板位置決め部9が形成された部
材とを固着して単一の治具として設けても良い。
【図1】治具、リードおよび絶縁基板の分解斜視図であ
る。
る。
【図2】製造時におけるリード群の平面図である。
1 絶縁基板
2 リード
5 リード群(絶縁基板の各辺単位に設けられた複数
のリード) 7 治具
のリード) 7 治具
Claims (1)
- 【請求項1】 集積回路を搭載するための矩形を呈し
た絶縁基板と、この絶縁基板に固着され、前記絶縁基板
の四方より外方へ向かう複数のリードとを備えた集積回
路用パッケージの製造方法であって、前記リードは端部
において連結されるとともに、この連結された前記リー
ドは前記絶縁基板の各辺単位で設けられたもので、前記
絶縁基板の各辺単位で連結された前記リードを、治具に
位置決めして装着するとともに、前記絶縁基板も、前記
治具に位置決めして装着し、前記リードと前記絶縁基板
との位置決めを行い、その後、前記リードと前記絶縁基
板とを接合することを特徴とする集積回路用パッケージ
の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11610191A JPH04343461A (ja) | 1991-05-21 | 1991-05-21 | 集積回路用パッケージの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11610191A JPH04343461A (ja) | 1991-05-21 | 1991-05-21 | 集積回路用パッケージの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04343461A true JPH04343461A (ja) | 1992-11-30 |
Family
ID=14678726
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11610191A Pending JPH04343461A (ja) | 1991-05-21 | 1991-05-21 | 集積回路用パッケージの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04343461A (ja) |
-
1991
- 1991-05-21 JP JP11610191A patent/JPH04343461A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3205235B2 (ja) | リードフレーム、樹脂封止型半導体装置、その製造方法及び該製造方法で用いる半導体装置製造用金型 | |
KR100322825B1 (ko) | 반도체장치 | |
JPH041501B2 (ja) | ||
JPH04343461A (ja) | 集積回路用パッケージの製造方法 | |
EP0711104B1 (en) | Semiconductor device and method for making same | |
KR100201384B1 (ko) | 투명창을구비한반도체패키지및그제조방법 | |
JPH04352351A (ja) | 集積回路用パッケージ | |
JPS629656A (ja) | リ−ドフレ−ム | |
JP2812313B2 (ja) | 半導体装置 | |
JPH065717B2 (ja) | 固 体 撮 像 装 置 | |
JPH05315540A (ja) | 半導体装置 | |
JPH07201928A (ja) | フィルムキャリア及び半導体装置 | |
JP2592181B2 (ja) | 固体撮像素子のサーディップ型パッケージ | |
JP2644194B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2754675B2 (ja) | 半導体装置用リードフレーム、その製造方法および半導体装置 | |
JPS60121751A (ja) | 半導体装置の製法 | |
JPS63248155A (ja) | 半導体装置 | |
JPH0442934Y2 (ja) | ||
JPS63308944A (ja) | 半導体装置 | |
JPH01215050A (ja) | 半導体装置 | |
JPH01125960A (ja) | 半導体装置 | |
JPH07112025B2 (ja) | 混成集積回路装置 | |
JPH01137659A (ja) | リードフレーム及びその製造方法 | |
JPS6155778B2 (ja) | ||
JPS63255954A (ja) | 混成集積回路装置 |