JPH04310597A - 超電導体層を有する金属体からなる物品を製造する方法 - Google Patents
超電導体層を有する金属体からなる物品を製造する方法Info
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- JPH04310597A JPH04310597A JP4027460A JP2746092A JPH04310597A JP H04310597 A JPH04310597 A JP H04310597A JP 4027460 A JP4027460 A JP 4027460A JP 2746092 A JP2746092 A JP 2746092A JP H04310597 A JPH04310597 A JP H04310597A
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- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N60/00—Superconducting devices
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- H10N60/0268—Manufacture or treatment of devices comprising copper oxide
- H10N60/0296—Processes for depositing or forming copper oxide superconductor layers
- H10N60/0352—Processes for depositing or forming copper oxide superconductor layers from a suspension or slurry, e.g. screen printing or doctor blade casting
-
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10S505/70—High TC, above 30 k, superconducting device, article, or structured stock
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- Y10S505/725—Process of making or treating high tc, above 30 k, superconducting shaped material, article, or device
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- Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、高温超伝導体に関する
。
。
【0002】
【従来の技術】ベドノーツとミュラーによってLa−B
a−Cu酸化物系が超伝導性を持つことが発見されるや
世界的に研究が行われ、たちまちのうちに別種の酸化物
超伝導体(しばしば「高Tc」超伝導体と総称される)
が発見されることになった。Bi−Sr−Ca−Cu酸
化物超伝導体もこの高Tc超伝導体の中の一種である。 例えば、ジャパニーズ ジャーナル オブ アプ
ライド フィジックス第27巻(1988年)L20
9のエイチ前田らの研究や米国特許4、880、771
を参照されたい。
a−Cu酸化物系が超伝導性を持つことが発見されるや
世界的に研究が行われ、たちまちのうちに別種の酸化物
超伝導体(しばしば「高Tc」超伝導体と総称される)
が発見されることになった。Bi−Sr−Ca−Cu酸
化物超伝導体もこの高Tc超伝導体の中の一種である。 例えば、ジャパニーズ ジャーナル オブ アプ
ライド フィジックス第27巻(1988年)L20
9のエイチ前田らの研究や米国特許4、880、771
を参照されたい。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】これまで「バルク」高
Tc超伝導体の大々的な商業的使用を阻んでいた門題点
の一つはこれらの物質のバルクサンプルの電流運搬能が
比較的低いことである。バルクサンプルでは多数の超伝
導体粒子または結晶子が比較的緻密な固体を形成してい
る。この電流運搬能は通常温度と磁界の関数である臨界
電流密度Jcによって表される。
Tc超伝導体の大々的な商業的使用を阻んでいた門題点
の一つはこれらの物質のバルクサンプルの電流運搬能が
比較的低いことである。バルクサンプルでは多数の超伝
導体粒子または結晶子が比較的緻密な固体を形成してい
る。この電流運搬能は通常温度と磁界の関数である臨界
電流密度Jcによって表される。
【0004】従来の高Tc酸化物超伝導体のバルクサン
プルにおいてJcが低い値を持っていた理由として少な
くとも2つの問題があげられる(ここで「高Tc」とは
通常Tcが約30K、好ましくは77Kより高いことを
意味する。「Tc」とは直流抵抗がゼロと実験限界値の
間となるような温度の中で最高温度を表す)。この2つ
の内の一つとはいわゆる「弱いリンク」の問題である。 これは一つの超伝導体粒子から隣接する粒子へ抵抗なく
流れることの出来る電流の値が比較的低いことに関係し
ている。この電流はしばしば「粒子間」電流と呼ばれて
いる。もう一つの問題はいわゆる「フラックスフロー」
問題である。これはフラックスピン止めが弱いことによ
り、ある一つの超伝導体粒子内で本質的に抵抗なく流れ
ることの出来る電流が比較的低いことに関係している。 しかし臨界電流密度の値が低いことは、高Tc酸化物超
伝導体の固有の性質ではない。というのも高Tc酸化物
超伝導体の薄膜においては1、000、000A/cm
2のオーダーの電流密度が観察されているからである。
プルにおいてJcが低い値を持っていた理由として少な
くとも2つの問題があげられる(ここで「高Tc」とは
通常Tcが約30K、好ましくは77Kより高いことを
意味する。「Tc」とは直流抵抗がゼロと実験限界値の
間となるような温度の中で最高温度を表す)。この2つ
の内の一つとはいわゆる「弱いリンク」の問題である。 これは一つの超伝導体粒子から隣接する粒子へ抵抗なく
流れることの出来る電流の値が比較的低いことに関係し
ている。この電流はしばしば「粒子間」電流と呼ばれて
いる。もう一つの問題はいわゆる「フラックスフロー」
問題である。これはフラックスピン止めが弱いことによ
り、ある一つの超伝導体粒子内で本質的に抵抗なく流れ
ることの出来る電流が比較的低いことに関係している。 しかし臨界電流密度の値が低いことは、高Tc酸化物超
伝導体の固有の性質ではない。というのも高Tc酸化物
超伝導体の薄膜においては1、000、000A/cm
2のオーダーの電流密度が観察されているからである。
【0005】この弱いリンクの問題を解決することに関
しては、大きな進歩が既になされている。1988年の
アプライド フィジックス レターズ 52(2
4)巻、2074ー2076頁、エス ジンらの報告
、および1989年のアプライドフィジックス レタ
ーズ54(6)巻584ー586頁、エス ジンらの
報告を参照されたい。この進展はいわゆる「メルトーテ
クスチャー成長法」(MTG)と呼ばれる(全面的また
は部分的)溶融と配向させた再凝固を行うことにより、
高度に組織化した物質をつくる加工法の発見から生まれ
た。これによれば、従来製造されたバルク高Tc超伝導
体よりも、はるかに高い電流密度が達成できる。前記フ
ラックスフロー問題の克服に関しても進展がみられる。 例えばネーチャー342巻55ー57頁のアール ビ
ー ファン ドーバーらの報告、および1989年
11月28日受理されたエス ジンらの米国特許出願
番号07/442、285を参照されたい。
しては、大きな進歩が既になされている。1988年の
アプライド フィジックス レターズ 52(2
4)巻、2074ー2076頁、エス ジンらの報告
、および1989年のアプライドフィジックス レタ
ーズ54(6)巻584ー586頁、エス ジンらの
報告を参照されたい。この進展はいわゆる「メルトーテ
クスチャー成長法」(MTG)と呼ばれる(全面的また
は部分的)溶融と配向させた再凝固を行うことにより、
高度に組織化した物質をつくる加工法の発見から生まれ
た。これによれば、従来製造されたバルク高Tc超伝導
体よりも、はるかに高い電流密度が達成できる。前記フ
ラックスフロー問題の克服に関しても進展がみられる。 例えばネーチャー342巻55ー57頁のアール ビ
ー ファン ドーバーらの報告、および1989年
11月28日受理されたエス ジンらの米国特許出願
番号07/442、285を参照されたい。
【0006】すでに銀被覆Bi−Sr−Ca−Cu酸化
物超伝導体線材がかなり高いJcを持つことが観察され
ている。例えば、ケー ハイネらは「パウダー イ
ン チューブ法」(米国特許4、952、554参照
)により短い銀被覆Bi2Sr2CaCu2O8+x(
2212)細線をつくり、4.2K、磁界ゼロにおいて
5.5x10000A/cm2までのJcと4.2K、
26Tにおいて1.5x10000A/cm2までのJ
cを観察したと報告している(アプライド フィジッ
クスレターズ 55(23)巻、2441ー2443
頁)。またクライオジェニックス、30巻422ー42
6頁のジェー テンブリンクらの報告も参照されたい
。
物超伝導体線材がかなり高いJcを持つことが観察され
ている。例えば、ケー ハイネらは「パウダー イ
ン チューブ法」(米国特許4、952、554参照
)により短い銀被覆Bi2Sr2CaCu2O8+x(
2212)細線をつくり、4.2K、磁界ゼロにおいて
5.5x10000A/cm2までのJcと4.2K、
26Tにおいて1.5x10000A/cm2までのJ
cを観察したと報告している(アプライド フィジッ
クスレターズ 55(23)巻、2441ー2443
頁)。またクライオジェニックス、30巻422ー42
6頁のジェー テンブリンクらの報告も参照されたい
。
【0007】Jcの増加に関し、大きな進展がなされて
いるものの、さらに増加が望まれている。現在の重要な
問題は長尺物の高Tc超伝導体を作る技術がないことが
である。例えば1991年1月7日のスーパーコンダク
ター ウィーク5(1)巻1頁では次のような報告が
なされている。「...(アレン)ヘルマン博士は、こ
の導電体の長さを増加させることは、依然としてある程
度まで問題であるとの(ダグラス)フィンモア博士に同
意している。しかし、氏は研究者たちが現在何メートル
もの銀被覆線を製作しつつあると指摘した。」導体には
メートルではなくキロメートルの単位の長さが必要であ
る。一層困るのは引き続いて高Tc超伝導体の長尺物(
例えば100m以上)を連続加工することの出来る製造
技術が現在ないことである。
いるものの、さらに増加が望まれている。現在の重要な
問題は長尺物の高Tc超伝導体を作る技術がないことが
である。例えば1991年1月7日のスーパーコンダク
ター ウィーク5(1)巻1頁では次のような報告が
なされている。「...(アレン)ヘルマン博士は、こ
の導電体の長さを増加させることは、依然としてある程
度まで問題であるとの(ダグラス)フィンモア博士に同
意している。しかし、氏は研究者たちが現在何メートル
もの銀被覆線を製作しつつあると指摘した。」導体には
メートルではなくキロメートルの単位の長さが必要であ
る。一層困るのは引き続いて高Tc超伝導体の長尺物(
例えば100m以上)を連続加工することの出来る製造
技術が現在ないことである。
【0008】例えば、パウダー イン チューブ法
を用いて長尺物の針金を作ろうとすると、原料「ビレッ
ト」の大断面積縮小が必要になる。具体的には、1mの
長さの原料チューブから1kmの細線を手に入れるため
には、断面積において1000対1の縮小が必要となる
。 粉体が詰まった金属管のような複合体でこれを行うのは
しばしば困難である。他方ケースら(前掲引用書中)に
よって用いられたドクターブレード法では原則として長
尺リボンを形成することが可能であるが、このドクター
ブレード法では薄層(例えば10ミクロン未満)を形成
することがしばしば困難であり、この酸化物材の界面誘
起組織は銀・酸化物界面から数ミクロンの深さに限定さ
れているため、ケースらの方法では一般的に超伝導体物
質を有効に使用することが出来ないのである。求める高
Jcを達成するには組織化(特にc軸アラインメント)
が必要なのである。
を用いて長尺物の針金を作ろうとすると、原料「ビレッ
ト」の大断面積縮小が必要になる。具体的には、1mの
長さの原料チューブから1kmの細線を手に入れるため
には、断面積において1000対1の縮小が必要となる
。 粉体が詰まった金属管のような複合体でこれを行うのは
しばしば困難である。他方ケースら(前掲引用書中)に
よって用いられたドクターブレード法では原則として長
尺リボンを形成することが可能であるが、このドクター
ブレード法では薄層(例えば10ミクロン未満)を形成
することがしばしば困難であり、この酸化物材の界面誘
起組織は銀・酸化物界面から数ミクロンの深さに限定さ
れているため、ケースらの方法では一般的に超伝導体物
質を有効に使用することが出来ないのである。求める高
Jcを達成するには組織化(特にc軸アラインメント)
が必要なのである。
【0009】さらに、超伝導体薄層(例えば厚さ1ミク
ロン未満)を作製するためには現在一般的にスパッタリ
ング、蒸発またはレーザーアブレーションといった比較
的高価で複雑な技法が用いられている。先行技術の技法
によって比較的大きな面積を持つ(例えば100cm2
以上)高品位超伝導体薄膜を製造するのは通常困難であ
る。
ロン未満)を作製するためには現在一般的にスパッタリ
ング、蒸発またはレーザーアブレーションといった比較
的高価で複雑な技法が用いられている。先行技術の技法
によって比較的大きな面積を持つ(例えば100cm2
以上)高品位超伝導体薄膜を製造するのは通常困難であ
る。
【0010】長尺高Jc超伝導体を製造する能力がいか
に重要であるかとの見地から、本質的に無制限の長さを
持ち高Jcである高Tc超伝導体リボンを効率よく製造
する技法、また簡単に連続プロセスで実現できる技法は
大変重要性となろう。本出願はかかる技法を明らかにす
るものである。本出願はまた比較的大面積を持つ薄超伝
導体シートを簡単に製造する方法をも明らかにするもの
である。
に重要であるかとの見地から、本質的に無制限の長さを
持ち高Jcである高Tc超伝導体リボンを効率よく製造
する技法、また簡単に連続プロセスで実現できる技法は
大変重要性となろう。本出願はかかる技法を明らかにす
るものである。本出願はまた比較的大面積を持つ薄超伝
導体シートを簡単に製造する方法をも明らかにするもの
である。
【0011】「Jc]とはある所定の温度、所定の磁界
で超伝導体によって搬送される最大電流密度である。
で超伝導体によって搬送される最大電流密度である。
【0012】「リボン」とはここではその厚みtが幅w
よりはるかに小さく(通常少なくとも10分の1以下)
であり、またwが長さlよりはるかに小さい(少なくと
も10分の1以下)であるものを言う。「シート状の」
とはtがその他の二つのディメンションよりもはるかに
小さくこの二つのディメンションが通常は同じオーダー
の大きさであるものを指す。
よりはるかに小さく(通常少なくとも10分の1以下)
であり、またwが長さlよりはるかに小さい(少なくと
も10分の1以下)であるものを言う。「シート状の」
とはtがその他の二つのディメンションよりもはるかに
小さくこの二つのディメンションが通常は同じオーダー
の大きさであるものを指す。
【0013】ここである物質の「理論密度」とはその物
質の単結晶の密度のことであり、その物質の空隙を持た
ない多結晶サンプルの密度と等しい。
質の単結晶の密度のことであり、その物質の空隙を持た
ない多結晶サンプルの密度と等しい。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明は特許請求の範囲
に規定されるとおりである。幅広い観点からは本発明は
金属基板上の超伝導酸化物層からなる複合体からなる物
体の作製方法として具体的に表される。かかる物体は長
尺(例えば100m以上、または1km以上)、あるい
は比較的大面積のシート状(例えば100cm2以上、
または0.1m2以上)の前記複合体を作製するのに使
用でき、また連続加工が容易にできるものである。本法
は比較的大きなJcで表される高電流搬送能を持つ複合
超伝導体を効率よく(即ち比較的小量の超伝導体物質を
使用して)製造するのに用いることが出来る。さらに広
い観点からは、本発明は連続した長尺(例えば100m
以上)の、あるいは大面積を持つ連続したシート(例え
ば100cm2以上)状の比較的大電流搬送能(具体的
にはJcが温度20K以下、磁界5以下で10、000
A/cm2以上、より好ましくは100、000A/c
m2以上)を持つ複合超伝導体からなる物体として具体
的に表される。
に規定されるとおりである。幅広い観点からは本発明は
金属基板上の超伝導酸化物層からなる複合体からなる物
体の作製方法として具体的に表される。かかる物体は長
尺(例えば100m以上、または1km以上)、あるい
は比較的大面積のシート状(例えば100cm2以上、
または0.1m2以上)の前記複合体を作製するのに使
用でき、また連続加工が容易にできるものである。本法
は比較的大きなJcで表される高電流搬送能を持つ複合
超伝導体を効率よく(即ち比較的小量の超伝導体物質を
使用して)製造するのに用いることが出来る。さらに広
い観点からは、本発明は連続した長尺(例えば100m
以上)の、あるいは大面積を持つ連続したシート(例え
ば100cm2以上)状の比較的大電流搬送能(具体的
にはJcが温度20K以下、磁界5以下で10、000
A/cm2以上、より好ましくは100、000A/c
m2以上)を持つ複合超伝導体からなる物体として具体
的に表される。
【0015】本発明の方法の好ましい実施例は金属基板
を準備し(前記金属は続く熱処理の間に基板が実質的に
酸化しない物を選ぶものとする。具体的には前記金属は
銀、または銀で被覆した卑金属である)、前記基板の主
たる表面の上にBi−Sr−Ca−Cu含有酸化物粒子
からなる層を形成することからなる。前記酸化物層にお
ける酸化物物質の密度は比較的低く、通常前記酸化物物
質の理論密度の80%以下である。前記の酸化物層は通
常、前記酸化物粒子(通常の大きさは1ー5ミクロン)
の他に有機バインダー材を含み、ドクターブレード法を
初めとする、適当な厚膜堆積法によって製造することが
できる。いまここで好ましく使用される方法はスプレー
堆積法である。
を準備し(前記金属は続く熱処理の間に基板が実質的に
酸化しない物を選ぶものとする。具体的には前記金属は
銀、または銀で被覆した卑金属である)、前記基板の主
たる表面の上にBi−Sr−Ca−Cu含有酸化物粒子
からなる層を形成することからなる。前記酸化物層にお
ける酸化物物質の密度は比較的低く、通常前記酸化物物
質の理論密度の80%以下である。前記の酸化物層は通
常、前記酸化物粒子(通常の大きさは1ー5ミクロン)
の他に有機バインダー材を含み、ドクターブレード法を
初めとする、適当な厚膜堆積法によって製造することが
できる。いまここで好ましく使用される方法はスプレー
堆積法である。
【0016】この好ましい実施例では前記酸化物層中の
酸化物物質の密度が理論密度の80%以上に増加するよ
う、また続く溶融ステップ後の層の厚みが10ミクロン
以下になるように、前記基板を機械的に変形する(通常
約800゜C以下の温度で圧延する)。この機械的変形
プロセスはまた、リボン状複合体の長さを大きく(例え
ば50%以上)増加させ、またシート状複合体の面積を
大きく(例えば50%以上)増加させる。本実施例には
さらに、基板を実質的に溶融させずに基板上の超伝導体
酸化物を少なくとも部分的に溶融すること、および得ら
れる酸化物層の少なくとも50%(望ましくは少なくと
も75%)がc−軸配向(つまり基板面に対してのc−
軸が実質的に垂直である)結晶子の形となるように、溶
融酸化物物質を再凝固させる過程が含まれる。
酸化物物質の密度が理論密度の80%以上に増加するよ
う、また続く溶融ステップ後の層の厚みが10ミクロン
以下になるように、前記基板を機械的に変形する(通常
約800゜C以下の温度で圧延する)。この機械的変形
プロセスはまた、リボン状複合体の長さを大きく(例え
ば50%以上)増加させ、またシート状複合体の面積を
大きく(例えば50%以上)増加させる。本実施例には
さらに、基板を実質的に溶融させずに基板上の超伝導体
酸化物を少なくとも部分的に溶融すること、および得ら
れる酸化物層の少なくとも50%(望ましくは少なくと
も75%)がc−軸配向(つまり基板面に対してのc−
軸が実質的に垂直である)結晶子の形となるように、溶
融酸化物物質を再凝固させる過程が含まれる。
【0017】本発明の方法では通常、溶融過程に先立ち
不要有機物を前記酸化物層から除去することも含まれる
。通常は酸素含有雰囲気中での従来の加熱工程が用いら
れる。この有機物除去は前記機械的変形過程の前、変形
過程の間、または変形過程に続いて行うことができる。 しかしいずれの場合でも、基板上の酸化物層の溶融に先
立って、この除去が行われる。
不要有機物を前記酸化物層から除去することも含まれる
。通常は酸素含有雰囲気中での従来の加熱工程が用いら
れる。この有機物除去は前記機械的変形過程の前、変形
過程の間、または変形過程に続いて行うことができる。 しかしいずれの場合でも、基板上の酸化物層の溶融に先
立って、この除去が行われる。
【0018】本発明の方法は薄い(例えば1ミクロン未
満、好ましくは0.5ミクロン未満)超伝導体フィルム
を適当な金属基板上に作製するのに使用できる。これに
は通常比較的大規模の機械的変形が伴う。本発明の方法
は従って、大面積薄膜超伝導体物質を低コスト、高速で
製造する技法として役立つ。具体的にはかかる物質は磁
界シールドとして有利に使用することが出来る。
満、好ましくは0.5ミクロン未満)超伝導体フィルム
を適当な金属基板上に作製するのに使用できる。これに
は通常比較的大規模の機械的変形が伴う。本発明の方法
は従って、大面積薄膜超伝導体物質を低コスト、高速で
製造する技法として役立つ。具体的にはかかる物質は磁
界シールドとして有利に使用することが出来る。
【0019】本発明の物品の好ましい実施例は金属基板
の主たる表面上に超伝導酸化物層が設けられている超伝
導体からなる物体からなる。前記基板の少なくとも前記
酸化物と接触している部分は銀からなり、前記超伝導体
酸化物はBi、Sr、Ca、Cuからなる。前記酸化物
層の密度はかかる酸化物の理論密度の80%以上であり
、層の厚みは10ミクロン以下である。前記超伝導体酸
化物層の少なくとも50%の物質はc−軸が基本的に基
板に垂直であるように配向された結晶子の形をとってい
る。重要なのはこの超伝導体がリボン形で少なくとも1
00mの長さ持ち、あるいはシート形で少なくとも10
0cm2の面積を持つことである。この超伝導体層は2
0K以下の温度、5T以下の磁界での臨界電流密度Jc
が10、000A/cm2以上(好ましくは100、0
00A/cm2以上)である。
の主たる表面上に超伝導酸化物層が設けられている超伝
導体からなる物体からなる。前記基板の少なくとも前記
酸化物と接触している部分は銀からなり、前記超伝導体
酸化物はBi、Sr、Ca、Cuからなる。前記酸化物
層の密度はかかる酸化物の理論密度の80%以上であり
、層の厚みは10ミクロン以下である。前記超伝導体酸
化物層の少なくとも50%の物質はc−軸が基本的に基
板に垂直であるように配向された結晶子の形をとってい
る。重要なのはこの超伝導体がリボン形で少なくとも1
00mの長さ持ち、あるいはシート形で少なくとも10
0cm2の面積を持つことである。この超伝導体層は2
0K以下の温度、5T以下の磁界での臨界電流密度Jc
が10、000A/cm2以上(好ましくは100、0
00A/cm2以上)である。
【0020】
【実施例】本発明の方法の具体的実施例は下記の工程か
らなる。従来のBi1.6Pb0.3Sb0.1Sr2
Ca2Cu3Ox粉末、体積で約10%の従来のバイン
ダー(CLADAN No.73140/その他の既
知のバインダー材も使用できる)、およびアセトンの混
合物をエアーブラシで25ミクロンの厚さの銀箔の両面
にスプレーした。この混合物を空気中で乾燥させ、銀箔
の両面に30〜75ミクロンの厚みの層を形成した。こ
の複合体を焼成し(酸素中800゜Cで4時間)前記バ
インダーを除去した。室温まで冷却した後、この複合体
を冷間圧延(8パス)し断面積で約90%の縮小を行っ
た。圧延した複合体はリボン形で全体の厚みは約15ミ
クロン、各超伝導体層の厚みは約3ミクロンであった。
らなる。従来のBi1.6Pb0.3Sb0.1Sr2
Ca2Cu3Ox粉末、体積で約10%の従来のバイン
ダー(CLADAN No.73140/その他の既
知のバインダー材も使用できる)、およびアセトンの混
合物をエアーブラシで25ミクロンの厚さの銀箔の両面
にスプレーした。この混合物を空気中で乾燥させ、銀箔
の両面に30〜75ミクロンの厚みの層を形成した。こ
の複合体を焼成し(酸素中800゜Cで4時間)前記バ
インダーを除去した。室温まで冷却した後、この複合体
を冷間圧延(8パス)し断面積で約90%の縮小を行っ
た。圧延した複合体はリボン形で全体の厚みは約15ミ
クロン、各超伝導体層の厚みは約3ミクロンであった。
【0021】乾燥とバインダー除去の後、冷間圧延前の
各層の密度は実質的にBi−Pb−Sb−Sr−Ca−
Cu酸化物の理論密度の80%以下であったが、冷間圧
延後の密度は理論密度の80%以上となっていた。この
ち密化が本発明の方法の重要な点であり、機械的変形に
よるち密化を行わない場合、通常、超伝導性が劣った超
伝導体ができあがる。ここで劣った物性が観察されるの
はおそらくその再凝固された酸化物層におけるcー軸の
配向の程度が本発明の方法に従って製造される超伝導体
酸化物層に比べて低いことと関係している。さらに、約
10ミクロン以上の厚みを持つ超伝導体層はこの超伝導
体/基板界面から離れた領域においてcー軸組織が通常
比較的貧しいため、本発明の好ましい実施例においては
超伝導体層の厚みは10ミクロン未満となっている。
各層の密度は実質的にBi−Pb−Sb−Sr−Ca−
Cu酸化物の理論密度の80%以下であったが、冷間圧
延後の密度は理論密度の80%以上となっていた。この
ち密化が本発明の方法の重要な点であり、機械的変形に
よるち密化を行わない場合、通常、超伝導性が劣った超
伝導体ができあがる。ここで劣った物性が観察されるの
はおそらくその再凝固された酸化物層におけるcー軸の
配向の程度が本発明の方法に従って製造される超伝導体
酸化物層に比べて低いことと関係している。さらに、約
10ミクロン以上の厚みを持つ超伝導体層はこの超伝導
体/基板界面から離れた領域においてcー軸組織が通常
比較的貧しいため、本発明の好ましい実施例においては
超伝導体層の厚みは10ミクロン未満となっている。
【0022】冷間圧延されたリボンは熱処理にかけられ
、部分溶融加工が行われる。この熱処理は酸素含有雰囲
気(PO2/PN2〜0.08;「P」は分圧を表す)
中で行われ、820゜Cまで加熱し、この温度で12時
間保持し、約880゜Cまで比較的高速(約250゜C
/時)で加熱し、本質的には直ちに830゜Cまで連続
冷却(約60゜C/時)を行うことからなる。この温度
で40時間たった後、リボンを200゜C以下まで炉冷
する。
、部分溶融加工が行われる。この熱処理は酸素含有雰囲
気(PO2/PN2〜0.08;「P」は分圧を表す)
中で行われ、820゜Cまで加熱し、この温度で12時
間保持し、約880゜Cまで比較的高速(約250゜C
/時)で加熱し、本質的には直ちに830゜Cまで連続
冷却(約60゜C/時)を行うことからなる。この温度
で40時間たった後、リボンを200゜C以下まで炉冷
する。
【0023】このように製造された複合体リボン上の超
伝導体層の厚みは、圧延した状態と比べるとすこし減っ
て(約3から2ミクロンまで)いた。この減少は超伝導
体材がよりち密化された事、またおそらくBiやPbの
ような揮発性の成分が幾らか失われる事によるのであろ
う。このリボンは約80KのTc(R=0)を示した。 これは、この超伝導体層がBi−Sr−Ca−Cu含有
超伝導体酸化物系のいわゆる2212相を主として含む
ことを示すX線解析の結果と一致する。
伝導体層の厚みは、圧延した状態と比べるとすこし減っ
て(約3から2ミクロンまで)いた。この減少は超伝導
体材がよりち密化された事、またおそらくBiやPbの
ような揮発性の成分が幾らか失われる事によるのであろ
う。このリボンは約80KのTc(R=0)を示した。 これは、この超伝導体層がBi−Sr−Ca−Cu含有
超伝導体酸化物系のいわゆる2212相を主として含む
ことを示すX線解析の結果と一致する。
【0024】図1と2はこのようにして製造された複合
リボンの上層の走査電子顕微鏡(SEM)による具体的
な顕微鏡写真である。図1はこの超伝導体層のち密な構
造をはっきりと表しており、図2は基底面、結晶子の層
状成長を示している。図3はこの複合体リボンの断面部
分表面の具体的なSEM顕微鏡写真であり、この銀基板
上の超伝導体層のc−軸組織がより一層示されている。
リボンの上層の走査電子顕微鏡(SEM)による具体的
な顕微鏡写真である。図1はこの超伝導体層のち密な構
造をはっきりと表しており、図2は基底面、結晶子の層
状成長を示している。図3はこの複合体リボンの断面部
分表面の具体的なSEM顕微鏡写真であり、この銀基板
上の超伝導体層のc−軸組織がより一層示されている。
【0025】上記の複合体リボンをさらにX線分析する
ことにより75%以上の超伝導体物質がc−軸アライン
メントを持ち、平均粒子の大きさは約10ミクロンであ
ることがわかった。この(001)配向粒子はしかし、
そのaーb軸の配向に関しては実質的にランダムであり
、粒子間に大角度境界を作り出す。この面内不配向(ミ
スオリエンテーション)が図4に図解されている。 ここで数字40は基板を示し、数字410ー412はそ
れぞれ420ー422の領域を占める具体的な結晶子で
あり、430と431の線にそって大きな角度の結晶粒
界を形成している。(001)−配向結晶子間の大角度
結晶粒界の存在にも関わらず、この具体的複合体リボン
は大きなJcを示した。これについては下記に詳しく述
べる。
ことにより75%以上の超伝導体物質がc−軸アライン
メントを持ち、平均粒子の大きさは約10ミクロンであ
ることがわかった。この(001)配向粒子はしかし、
そのaーb軸の配向に関しては実質的にランダムであり
、粒子間に大角度境界を作り出す。この面内不配向(ミ
スオリエンテーション)が図4に図解されている。 ここで数字40は基板を示し、数字410ー412はそ
れぞれ420ー422の領域を占める具体的な結晶子で
あり、430と431の線にそって大きな角度の結晶粒
界を形成している。(001)−配向結晶子間の大角度
結晶粒界の存在にも関わらず、この具体的複合体リボン
は大きなJcを示した。これについては下記に詳しく述
べる。
【0026】本発明の方法に従えば隣接(001)配向
結晶子間に大角度粒界を持つ複合組織で大Jcが得られ
るにしても、具体的に溶融処理によって、この複合体構
造中に温度勾配を移動させる事により、結晶子の核形成
が制御できればさらによい結果を得ることが出来るであ
ろう。これを行うための技法は既に知られている。例え
ばエス ジンらのアプライド フィジックス レ
ターズ52巻2074頁(1988年)を参照されたい
。具体的には、これはこの複合体をホットゾーンの中を
移動させることによって行なうことができる。
結晶子間に大角度粒界を持つ複合組織で大Jcが得られ
るにしても、具体的に溶融処理によって、この複合体構
造中に温度勾配を移動させる事により、結晶子の核形成
が制御できればさらによい結果を得ることが出来るであ
ろう。これを行うための技法は既に知られている。例え
ばエス ジンらのアプライド フィジックス レ
ターズ52巻2074頁(1988年)を参照されたい
。具体的には、これはこの複合体をホットゾーンの中を
移動させることによって行なうことができる。
【0027】上記複合体リボンからサンプルを切取り、
この「トランスポート」Jcを従来の技法で測定した。 結果を図5の曲線50に、同様に製造した片面サンプル
の結果、曲線51、52および53と共に示した。磁界
は基板に垂直に印加した。この幾何学的形状は最も著し
い力線の動きを起こすので、最も厳しい試験を行うもの
として知られている。図5から読み取れるように、10
0、000A/cm2を越えるJc値が観察された。具
体的にはこの両面サンプルは4.2K、基板面に垂直な
磁界H=8TでJcが〜2.3x100、000A/c
m2を示した。この高いJc値は通常約20Kまで維持
された。しかし温度を約30Kまで上げると、超伝導体
における熱的に活性化されたフラックスクリープの開始
に起因するJcの厳しい下落が起こる(曲線53参照)
。
この「トランスポート」Jcを従来の技法で測定した。 結果を図5の曲線50に、同様に製造した片面サンプル
の結果、曲線51、52および53と共に示した。磁界
は基板に垂直に印加した。この幾何学的形状は最も著し
い力線の動きを起こすので、最も厳しい試験を行うもの
として知られている。図5から読み取れるように、10
0、000A/cm2を越えるJc値が観察された。具
体的にはこの両面サンプルは4.2K、基板面に垂直な
磁界H=8TでJcが〜2.3x100、000A/c
m2を示した。この高いJc値は通常約20Kまで維持
された。しかし温度を約30Kまで上げると、超伝導体
における熱的に活性化されたフラックスクリープの開始
に起因するJcの厳しい下落が起こる(曲線53参照)
。
【0028】上記の具体的手順はこの技術分野の当業者
には明らかである様に、様々に変更することが出来る。 例えば、超伝導体層から有機物を除去する前に少なくと
も一部の機械的変形処理を行うことは、この層がバイン
ダーを含んでいると、変形処理の初期段階を通じて(す
なわち圧延機器を通る最初の2、3パスの間に)この層
の基板への接着がしばしば良くなるので多くの場合望ま
しい。
には明らかである様に、様々に変更することが出来る。 例えば、超伝導体層から有機物を除去する前に少なくと
も一部の機械的変形処理を行うことは、この層がバイン
ダーを含んでいると、変形処理の初期段階を通じて(す
なわち圧延機器を通る最初の2、3パスの間に)この層
の基板への接着がしばしば良くなるので多くの場合望ま
しい。
【0029】この機械的変形処理は冷間圧延である必要
はなく、酸化物粉体の劣化が避けられるような温度を選
択するのであれば例えば温間圧延や熱間圧延であっても
よい。もし機械的変形処理中の温度が約800゜Cより
低いのであれば通常はこれが当てはまるであろう。機械
的変形と熱処理を交互に繰り返してもよい。
はなく、酸化物粉体の劣化が避けられるような温度を選
択するのであれば例えば温間圧延や熱間圧延であっても
よい。もし機械的変形処理中の温度が約800゜Cより
低いのであれば通常はこれが当てはまるであろう。機械
的変形と熱処理を交互に繰り返してもよい。
【0030】この機械的変形処理の初期段階は通常主に
この酸化物粉体のち密化の役割を果たし、後期段階は通
常この基板/酸化物複合体に対し主に変形と延伸(面積
を増加させる)を行う。このち密化並びに所望の薄膜化
(高Jc用)のためには少なくとも50%(好ましくは
75%以上あるいは90%)厚みを減少させるように機
械的変形(通常圧延)を行うことが望ましい。別の言い
方をすれば少なくとも20%、好ましくは50%または
100%の長さ(面積)増が望ましい。
この酸化物粉体のち密化の役割を果たし、後期段階は通
常この基板/酸化物複合体に対し主に変形と延伸(面積
を増加させる)を行う。このち密化並びに所望の薄膜化
(高Jc用)のためには少なくとも50%(好ましくは
75%以上あるいは90%)厚みを減少させるように機
械的変形(通常圧延)を行うことが望ましい。別の言い
方をすれば少なくとも20%、好ましくは50%または
100%の長さ(面積)増が望ましい。
【0031】とりわけJcの値は通常機械的変形の量、
フィルムの厚み、および、溶融段階の詳細を含む熱処理
条件に依存する。一般的に、酸化物が液状である時間は
比較的短い(具体的には30分未満)ほうが、過剰な分
解及び/または揮発性成分の蒸発損失を最少にするため
、望ましいと考えられている。溶融に先立つ処理過程、
および再凝固の後の処理過程は従来行われているもので
よく、しばしばこの酸化物の化学量論に依存する。
フィルムの厚み、および、溶融段階の詳細を含む熱処理
条件に依存する。一般的に、酸化物が液状である時間は
比較的短い(具体的には30分未満)ほうが、過剰な分
解及び/または揮発性成分の蒸発損失を最少にするため
、望ましいと考えられている。溶融に先立つ処理過程、
および再凝固の後の処理過程は従来行われているもので
よく、しばしばこの酸化物の化学量論に依存する。
【0032】例1
長さ100m以上の連続した超伝導体リボンをBi−S
r−Ca−Cu酸化物を含有する層を連続的に供給され
る銀リボン(厚さ40ミクロン幅5mm)の片面上にス
プレーコーティングすることにより製造する。この酸化
物とこの酸化物層物質の有機成分は実質的には上記に記
述したものである。被覆した銀リボンは巻取りスプール
に巻取り、この複合体を複合体の全厚が20ミクロンに
なるよう、繰り返し(4パス)冷間圧延し、圧延したリ
ボンをセラミックの巻取りスプールに巻取る。複合体リ
ボンを巻いたスプールを酸素中で4時間700゜Cに加
熱し、この層に含まれる有機成分を除去する。続いて複
合体リボンを再び冷間圧延(4パス)し、巻取りスプー
ルに巻取り、スプールからマルチ−ゾーン管状炉を通じ
て酸素含有雰囲気中に連続的に供給する。この酸化物材
が30秒間液状であるように前記供給速度と前記の炉の
温度プロフィールを選択する。再凝固酸化物付銀リボン
をセラミック巻取りスプールに巻取り、60時間830
゜Cに保持し、ゆっくりと室温まで冷却する。得られた
超伝導体リボンは最大20Kの温度、Hが5T以下の条
件でJcが10、000A/cm2以上である。この酸
化物層は50%以上のc−軸配向を持つ。
r−Ca−Cu酸化物を含有する層を連続的に供給され
る銀リボン(厚さ40ミクロン幅5mm)の片面上にス
プレーコーティングすることにより製造する。この酸化
物とこの酸化物層物質の有機成分は実質的には上記に記
述したものである。被覆した銀リボンは巻取りスプール
に巻取り、この複合体を複合体の全厚が20ミクロンに
なるよう、繰り返し(4パス)冷間圧延し、圧延したリ
ボンをセラミックの巻取りスプールに巻取る。複合体リ
ボンを巻いたスプールを酸素中で4時間700゜Cに加
熱し、この層に含まれる有機成分を除去する。続いて複
合体リボンを再び冷間圧延(4パス)し、巻取りスプー
ルに巻取り、スプールからマルチ−ゾーン管状炉を通じ
て酸素含有雰囲気中に連続的に供給する。この酸化物材
が30秒間液状であるように前記供給速度と前記の炉の
温度プロフィールを選択する。再凝固酸化物付銀リボン
をセラミック巻取りスプールに巻取り、60時間830
゜Cに保持し、ゆっくりと室温まで冷却する。得られた
超伝導体リボンは最大20Kの温度、Hが5T以下の条
件でJcが10、000A/cm2以上である。この酸
化物層は50%以上のc−軸配向を持つ。
【0033】例2
超伝導体ソレノイドを、実質的には例1で説明したよう
に「両面」超伝導体リボンを作ることによって製造する
。但し再凝固酸化物層で被覆された銀リボンは巻取る層
の間に銀シートをはさみ層間を隔離しつつセラミック管
状体上に巻取る。熱処理の終了後超伝導体リボンの端に
電流リード線をとりつける。
に「両面」超伝導体リボンを作ることによって製造する
。但し再凝固酸化物層で被覆された銀リボンは巻取る層
の間に銀シートをはさみ層間を隔離しつつセラミック管
状体上に巻取る。熱処理の終了後超伝導体リボンの端に
電流リード線をとりつける。
【0034】例3
6ミクロンの銀箔の両面に厚さ300nmの超伝導体層
を実質的には上記に記載した方法で製造した。ただし冷
間圧延と溶融処理はそれぞれ2回づつ繰り返した。Bi
1.6Pb0.3Sb0.1Sr2Ca2Cu3Ox粉
体の粒度は約1ミクロンであった。得られた超伝導体層
のJcは20K以下の温度、5T以下の磁界で10、0
00A/cm2以上であった。
を実質的には上記に記載した方法で製造した。ただし冷
間圧延と溶融処理はそれぞれ2回づつ繰り返した。Bi
1.6Pb0.3Sb0.1Sr2Ca2Cu3Ox粉
体の粒度は約1ミクロンであった。得られた超伝導体層
のJcは20K以下の温度、5T以下の磁界で10、0
00A/cm2以上であった。
【0035】
【発明の効果】高いJcおよびTcを持つ超伝導体リボ
ンを効率よく、また簡単に連続プロセスで製造すること
ができる。また比較的大面積を持つ薄い超伝導体シート
を簡単に製造することができる。
ンを効率よく、また簡単に連続プロセスで製造すること
ができる。また比較的大面積を持つ薄い超伝導体シート
を簡単に製造することができる。
【図1】本発明の方法に従って作製された超伝導体層の
表面の顕微鏡写真である。
表面の顕微鏡写真である。
【図2】本発明の方法に従って作製された超伝導体層の
表面の顕微鏡写真である。
表面の顕微鏡写真である。
【図3】本発明の方法に従って作製された複合体リボン
の断面の顕微鏡写真である。
の断面の顕微鏡写真である。
【図4】本発明の方法による具体的な複合体内での結晶
子の配向を示す図である。
子の配向を示す図である。
【図5】本発明の方法に従って作製されたサンプルにお
ける臨界電流密度Jc対磁界Hについての具体的データ
を示す。
ける臨界電流密度Jc対磁界Hについての具体的データ
を示す。
40 基板
410−412 結晶子
420−422 領域
430、431 結晶粒界を示す線
50 両面サンプル51−53
片面サンプル
片面サンプル
Claims (9)
- 【請求項1】 基板の主表面上に30K以上の臨界温
度Tc、臨界電流密度Jc、およびab面とこのab面
に垂直なc−軸からなる結晶構造を持つ超伝導体酸化物
層を有する物品を製造する方法において、工程a)前記
基板を用意するステップと、工程b)前記基板の主表面
にBi−Sr−Ca−Cu含有酸化物からなる層を形成
するステップと、工程c)前記の酸化物層を有する前記
基板をBi−Sr−Ca−Cu含有超伝導体酸化物層が
生成するよう、酸素含有雰囲気中で熱処理するステップ
と、からなり、前記基板は、工程cで実質的に酸化しな
いように選ばれた金属基板であり、前記主表面上に形成
された前記酸化物層は、Bi−Sr−Ca−Cu含有酸
化物粒子からなり、前記層中の酸化物の密度が前記酸化
物の理論密度の80%未満であり、前記酸化物層中のB
i−Sr−Ca−Cu含有酸化物材の密度が、前記Bi
−Sr−Ca−Cu含有酸化物の理論密度の80%以上
に増加し、前記酸化物層の厚みが10ミクロン未満にな
るように、前記酸化物層を有する基板を、機械的に変形
するステップを有し、金属基板を実質的に溶融する事な
く、ち密化層を少なくとも部分的に溶融し、前記酸化物
層の物質の少なくとも50%がc−軸が前記基板の主表
面に対し垂直であるよう配向された結晶子となるよう溶
融物質を再凝固化することを特徴とする超伝導体層を有
する金属体からなる物品を製造する方法。 - 【請求項2】 前記酸化物層を有する基板を機械的に
変形するステップが、800゜C以下の温度で圧延する
ことからなることを特徴とする請求項1の方法。 - 【請求項3】 前記主表面上に形成された酸化物層が
さらにバインダー材を含み、前記溶融ステップに先立ち
、前記の酸化物層を有する基板を前記の層からすべての
バインダー材を基本的に除去するに有効な時間有効な温
度に保持することを特徴とする請求項1の方法。 - 【請求項4】 前記酸化物層を有する基板の機械的変
形の完了前に前記バインダーの除去が行われることを特
徴とする請求項3の方法。 - 【請求項5】 前記酸化物層を有する基板の前記の機
械的変形が、圧延パスを一回以上行った後バインダーを
除去することを伴う、複数回の圧延パスからなることを
特徴とする請求項4の方法。 - 【請求項6】 前記基板がリボン状またはシート状で
あり、かかる圧延がリボン状の基板の長さが少なくとも
50%以上増加するように、またはシート状の基板の面
積が少なくとも50%増加するように行われることを特
徴とする請求項2の方法。 - 【請求項7】 温度が20K以下、磁場が5T以下の
条件でJcが10、000A/cm2以上となるように
行われることを特徴とする請求項1の方法。 - 【請求項8】 前記基板が銀からなり、少なくとも1
00mの長さを持つ連続したリボンであることを特徴と
する請求項7の方法。 - 【請求項9】 前記基板が二つの相対する主表面を持
つリボン状またはシート状の基板であり、前記の方法が
前記二つの主表面の各面にBi−Sr−Ca−Cu含有
酸化物からなる酸化物層を形成することを特徴とする請
求項1の方法。
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