JPH04291615A - 荷電粒子装置 - Google Patents
荷電粒子装置Info
- Publication number
- JPH04291615A JPH04291615A JP3057111A JP5711191A JPH04291615A JP H04291615 A JPH04291615 A JP H04291615A JP 3057111 A JP3057111 A JP 3057111A JP 5711191 A JP5711191 A JP 5711191A JP H04291615 A JPH04291615 A JP H04291615A
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- JP
- Japan
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- mouse
- monitor
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- charged particle
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- Pending
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- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims abstract description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 8
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 5
- 238000000609 electron-beam lithography Methods 0.000 description 4
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子線描画装置，縮小
投影露光装置，測長ＳＥＭ等のクリーンルーム内で使用
する荷電粒子装置に関する。
投影露光装置，測長ＳＥＭ等のクリーンルーム内で使用
する荷電粒子装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の装置は、装置を制御する計算機へ
の指示を、専用、もしくは汎用のキーボードにより入力
する場合が多く、スタイラスペン，タッチパネル等も利
用されている。又、最近では、ワークステーション等の
急速な普及により、装置制御にワークステーション等を
利用する場合があり、この場合は、入力装置として、マ
ウスを使用する場合もある。一般的なマウスの構造は、
自在に回転するボールとＸ，Ｙ方向に配された軸を接触
させ、前記ボールを、例えば机等に接触、回転させ、ボ
ールの回転に伴いボールと接触しているＸ，Ｙ軸を回転
させ、回転量をエンコーダによりピックアップし、モニ
タ上の相対位置に置換するものである。前記した通り、
エンコードされるＸ，Ｙ軸を回転させる為に、机とボー
ル、ボールとＸ，Ｙ軸を接触させ、回転させるので、ボ
ールの回転、すなわちマウスによるモニタ上の位置指定
に伴い、塵が発生する。荷電粒子により露光，測定する
装置は、一般的には、非常にクリーン度の高いクリーン
ルーム内に配置される場合が通常で有り、装置への指示
，データ等を入力する目的を持つマウスもクリーンルー
ム内に配置される可能性が有る。この場合、マウスによ
る発塵は、クリーンルーム内のクリーン度を阻害すると
言う問題が有った。
の指示を、専用、もしくは汎用のキーボードにより入力
する場合が多く、スタイラスペン，タッチパネル等も利
用されている。又、最近では、ワークステーション等の
急速な普及により、装置制御にワークステーション等を
利用する場合があり、この場合は、入力装置として、マ
ウスを使用する場合もある。一般的なマウスの構造は、
自在に回転するボールとＸ，Ｙ方向に配された軸を接触
させ、前記ボールを、例えば机等に接触、回転させ、ボ
ールの回転に伴いボールと接触しているＸ，Ｙ軸を回転
させ、回転量をエンコーダによりピックアップし、モニ
タ上の相対位置に置換するものである。前記した通り、
エンコードされるＸ，Ｙ軸を回転させる為に、机とボー
ル、ボールとＸ，Ｙ軸を接触させ、回転させるので、ボ
ールの回転、すなわちマウスによるモニタ上の位置指定
に伴い、塵が発生する。荷電粒子により露光，測定する
装置は、一般的には、非常にクリーン度の高いクリーン
ルーム内に配置される場合が通常で有り、装置への指示
，データ等を入力する目的を持つマウスもクリーンルー
ム内に配置される可能性が有る。この場合、マウスによ
る発塵は、クリーンルーム内のクリーン度を阻害すると
言う問題が有った。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記した問
題を解決し、マウス操作に伴う発塵を防止する事を目的
とする。
題を解決し、マウス操作に伴う発塵を防止する事を目的
とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】マウスの形態として、最
近、発光部と受光部を備え、非接触でメッシュパターン
等を読みだす事により、相対的にモニタ上の場所を差し
示す事が可能な光学式マウスがある。又、非接触センサ
として、磁気センサ等を備えたマウスを構成する事も可
能である。本発明は、このような非接触センサを応用し
たマウスに注目し、クリーンルーム内で使用する荷電粒
子を利用した露光，測定装置の入力装置として、特に非
接触形マウスを使用する事により、クリーンルームでの
発塵を抑える様にしたものである。
近、発光部と受光部を備え、非接触でメッシュパターン
等を読みだす事により、相対的にモニタ上の場所を差し
示す事が可能な光学式マウスがある。又、非接触センサ
として、磁気センサ等を備えたマウスを構成する事も可
能である。本発明は、このような非接触センサを応用し
たマウスに注目し、クリーンルーム内で使用する荷電粒
子を利用した露光，測定装置の入力装置として、特に非
接触形マウスを使用する事により、クリーンルームでの
発塵を抑える様にしたものである。
【０００５】
【作用】前記した非接触形マウスは、ボールを機械的に
回転させる機械式マウスと比較し、モニタ上のポイント
設定入力に際して接触する部分が無く、接触による塵の
発生が無い。このため、装置への入力指示をマウスで実
施しても、クリーンルーム内のクリーン度を低下させな
い。
回転させる機械式マウスと比較し、モニタ上のポイント
設定入力に際して接触する部分が無く、接触による塵の
発生が無い。このため、装置への入力指示をマウスで実
施しても、クリーンルーム内のクリーン度を低下させな
い。
【０００６】
【実施例】本発明の一実施例を、電子線描画装置を例に
とり、図１により説明する。図１は、電子線描画装置の
全体ブロック図を示す。
とり、図１により説明する。図１は、電子線描画装置の
全体ブロック図を示す。
【０００７】装置全体を制御するモニタを有するワーク
ステーション１は、ＣＰＵインターフェイス２を介し、
描画データを一時格納するバッファメモリ３，描画デー
タより電子ビームを偏向制御する信号を発生し、描画シ
ーケンスを管理する描画制御系４，描画に連動して、試
料を搭載しているステージを移動制御するステージ制御
系５，ステージ上へ試料を搬送，着脱するローダ制御系
６，装置本体７を真空に保持する真空排気系８，電子ビ
ーム１１を発生させる為の高圧電源１０と接続しており
、又、これらの制御系は、装置本体７と接続している。
ステーション１は、ＣＰＵインターフェイス２を介し、
描画データを一時格納するバッファメモリ３，描画デー
タより電子ビームを偏向制御する信号を発生し、描画シ
ーケンスを管理する描画制御系４，描画に連動して、試
料を搭載しているステージを移動制御するステージ制御
系５，ステージ上へ試料を搬送，着脱するローダ制御系
６，装置本体７を真空に保持する真空排気系８，電子ビ
ーム１１を発生させる為の高圧電源１０と接続しており
、又、これらの制御系は、装置本体７と接続している。
【０００８】ここで、この電子線描画装置にて、試料上
への、一連の描画作業を起動する場合、オペレータは、
装置本体７に試料カセットをセットし、続いてワークス
テーション１のモニタ上にグラフィック的に配されたス
イッチ類をマウス９により選択し、ワークステーション
１に動作モード等を入力し、ワークステーション１を介
し、前記制御系を起動する。この時、マウス９には、光
学式マウスに代表される非接触センサを備えたマウスを
特に採用し、モニタ上の座標指示が、非接触にて可能な
構成とし、オペレータのマウス操作に際しての発塵を防
止する。
への、一連の描画作業を起動する場合、オペレータは、
装置本体７に試料カセットをセットし、続いてワークス
テーション１のモニタ上にグラフィック的に配されたス
イッチ類をマウス９により選択し、ワークステーション
１に動作モード等を入力し、ワークステーション１を介
し、前記制御系を起動する。この時、マウス９には、光
学式マウスに代表される非接触センサを備えたマウスを
特に採用し、モニタ上の座標指示が、非接触にて可能な
構成とし、オペレータのマウス操作に際しての発塵を防
止する。
【０００９】本発明の一実施例によれば、コンピュータ
への入力機器として、一般的に、最もヒューマンインタ
ーフェイスが良いと評価のあるマウスをクリーンルーム
内で応用でき、クリーンルーム内の無塵化を阻害せず、
装置の操作効率を向上できる。
への入力機器として、一般的に、最もヒューマンインタ
ーフェイスが良いと評価のあるマウスをクリーンルーム
内で応用でき、クリーンルーム内の無塵化を阻害せず、
装置の操作効率を向上できる。
【００１０】
【発明の効果】本発明によれば、クリーンルーム内で、
荷電粒子により試料を露光，測定する装置において、一
般的に最もヒューマンインターフェイスが良いと評価の
あるマウスを、クリーンルーム内に発塵を起こさず使用
でき、装置の操作性を向上できると言う効果が発生する
。
荷電粒子により試料を露光，測定する装置において、一
般的に最もヒューマンインターフェイスが良いと評価の
あるマウスを、クリーンルーム内に発塵を起こさず使用
でき、装置の操作性を向上できると言う効果が発生する
。
【図１】電子線描画装置により本発明の一実施例を示し
た概略ブロック図である。
た概略ブロック図である。
１…ワークステーション、９…マウス。
Claims (1)
- 【請求項１】感光剤を塗布したウエハ，マスク等の試料
，本試料を搭載するステージ、前記試料上の感光剤を感
光し、試料上にＬＳＩパターンを形成、又は、試料上の
既作成パターンを観測する為の荷電粒子源、前記ステー
ジ、荷電粒子源を制御する制御部、本制御部を管理する
、モニタ及びモニタ上を差し示し指示を入力するポイン
ティングデバイスとしてのマウスを有した制御計算機よ
りなる装置において、発光部と受光部より成り、非接触
でメッシュパターン等を読む事により、相対的にモニタ
上の場所を差し示す事の可能な、光学式マウス，磁気セ
ンサを有した磁気式マウス等、モニタ上での位置指定を
内臓の非接触センサからの入力情報により実施する事が
可能な入力装置としてのマウスを備えた事を特徴とした
荷電粒子装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3057111A JPH04291615A (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 荷電粒子装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3057111A JPH04291615A (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 荷電粒子装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04291615A true JPH04291615A (ja) | 1992-10-15 |
Family
ID=13046414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3057111A Pending JPH04291615A (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 荷電粒子装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04291615A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2416838A (en) * | 2004-07-30 | 2006-02-08 | Agilent Technologies Inc | Reducing dust contamination in computer optical mice |
| JP2009140468A (ja) * | 2007-07-27 | 2009-06-25 | Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte Ltd | ガラス状のナビゲーション面上で光学ナビゲーションを実行するためのシステムおよび方法 |
-
1991
- 1991-03-20 JP JP3057111A patent/JPH04291615A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2416838A (en) * | 2004-07-30 | 2006-02-08 | Agilent Technologies Inc | Reducing dust contamination in computer optical mice |
| US7940247B2 (en) | 2004-07-30 | 2011-05-10 | Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Reducing dust contamination in optical mice |
| JP2009140468A (ja) * | 2007-07-27 | 2009-06-25 | Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte Ltd | ガラス状のナビゲーション面上で光学ナビゲーションを実行するためのシステムおよび方法 |
| JP4684320B2 (ja) * | 2007-07-27 | 2011-05-18 | アバゴ・テクノロジーズ・イーシービーユー・アイピー（シンガポール）プライベート・リミテッド | ガラス状のナビゲーション面上で光学ナビゲーションを実行するためのシステムおよび方法 |
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