JP2021015446A

JP2021015446A - 加工装置

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Publication number: JP2021015446A
Application number: JP2019129631A
Authority: JP
Inventors: 崇史大森; Takashi Omori; 幸久角田; Yukihisa Tsunoda
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2019-07-11
Filing date: 2019-07-11
Publication date: 2021-02-12
Anticipated expiration: 2039-07-11
Also published as: CN112216628A; TW202103225A; KR20210007838A; JP7349278B2

Abstract

【課題】エラーの原因を発見しやすい加工装置を提供すること。【解決手段】本発明に係る加工装置は、保持テーブルと、加工部と、撮像部と、タッチパネルと、各機構を制御する制御部とを備え、制御部は、タッチパネルに表示されている画面を連続的に画像として記録する画像記録部と、オペレータが触れて操作したタッチパネルの座標を検出する接触検出部と、を備え、画像記録部は、画像を接触検出部が検出した座標に任意のマークを表示させた状態で記録することを特徴とする。【選択図】図１

Description

本発明は、加工装置に関する。

従来、半導体ウエーハなどの被加工物をチャックテーブルに保持し、保持した被加工物をストリートに沿って切削加工し、個々のデバイスチップに分割する加工装置が知られている。この種の加工装置の中には、撮像ユニットによって撮像されたウエーハ表面の画像と複数の操作キーとを表示するタッチパネル式の操作パネルを備え、この操作パネルを介して加工装置の各種操作が行われるものがある（例えば、特許文献１参照）。

また、上記加工装置では、各機構の作動履歴や測定値などがログとして記録されている。

特開２０１０−４９４６６号公報

上記加工装置においてエラーが発生した場合、オペレータはエラーの原因を探し出す必要があるが、加工装置に記録されている上記ログを参照しても、エラーの原因を探し出すことができない場合がある。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、エラーの原因を発見しやすい加工装置を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、加工装置であって、保持テーブルと、加工部と、撮像部と、タッチパネルと、各機構を制御する制御部とを備え、該制御部は、該タッチパネルに表示されている画面を連続的に画像として記録する画像記録部と、オペレータが触れて操作した該タッチパネルの座標を検出する接触検出部と、を備え、該画像記録部は、該画像を該接触検出部が検出した座標に任意のマークを表示させた状態で記録することを特徴とする。

また、上記加工装置において、該制御部は、エラーを検知するエラー検出部をさらに備え、該画像記録部は、エラー前後の事前に設定された時間内に記録された該画像を蓄積し、その他の時間に記録された該画像は所定時間が経過後に消去することを特徴とする。

本発明によれば、エラーの原因を発見しやすい加工装置を提供できるという効果を奏する。

図１は、実施形態に係る加工装置の構成例を模式的に示す斜視図である。図２は、実施形態に係る加工装置で加工されるウエーハの構成例を示す平面図である。図３は、実施形態に係る撮像ユニットの光源の構成例を示す概略正面図である。図４は、実施形態に係る加工装置の機能構成の一例を模式的に示すブロック図である。図５は、実施形態に係るコマ送り画像の生成を概念的に示す図である。図６は、実施形態に係るコマ送り画像を構成する操作用画面の画像の表示例を示す図である。図７は、実施形態に係るコマ送り画像を構成する操作用画面の画像の表示例を示す図である。図８は、実施形態に係るコマ送り画像を構成する操作用画面の画像の表示例を示す図である。図９は、実施形態に係るコマ送り画像を構成する操作用画面の画像の表示例を示す図である。図１０は、実施形態に係るコマ送り画像を構成する操作用画面の画像の表示例を示す図である。図１１は、実施形態に係るコマ送り画像を構成する操作用画面の画像の表示例を示す図である。図１２は、実施形態に係るコマ送り画像を構成する操作用画面の画像の表示例を示す図である。図１３は、実施形態に係るコマ送り画像を構成する操作用画面の画像の表示例を示す図である。図１４は、実施形態に係るコマ送り画像を構成する操作用画面の画像の表示例を示す図である。図１５は、実施形態に係る加工装置の処理の一例を示すフローチャートである。図１６は、変形例に係る加工装置の機能構成の一例を模式的に示すブロック図である。図１７は、変形例に係る画像情報の処理例を模式的に示す図である。

以下、図面を参照しつつ、本発明の実施形態を詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

以下に説明する実施形態において、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部の位置関係について説明する。水平面内の一方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと直交する方向をＺ軸方向とする。Ｘ軸及びＹ軸を含むＸＹ平面は、水平面と平行である。ＸＹ平面と直交するＺ軸方向は、鉛直方向である。

図面を参照しつつ、実施形態に係る加工装置１について説明する。図１は、実施形態に係る加工装置の構成例を模式的に示す斜視図である。図２は、実施形態に係る加工装置で加工されるウエーハの構成例を示す平面図である。図３は、実施形態に係る撮像ユニットの光源の構成例を示す概略正面図である。図４は、実施形態に係る加工装置の機能構成の一例を模式的に示すブロック図である。

実施形態に係る加工装置１０（加工装置の一例）は、ウエーハ１００をストリート（分割予定ライン）１０３に沿って切削する切削装置である。加工装置１０は、図１に示すように、基本的な構成として、ウエーハ１００を保持するチャックテーブル１１、撮像ユニット１２、加工ユニット１３、駆動手段１４、Ｚ軸移動手段１５、タッチパネル１７、及び制御ユニット４０を備える。

ウエーハ（被加工物）１００は、図２に示すように、環状のフレーム１０８に装着された粘着テープ１０７の表面に貼着されている。また、ウエーハ１００は、表面１０１に格子状に形成された複数のストリート１０３によって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ，ＬＳＩ等の半導体チップ構成のデバイス１０４が形成されている。このように構成されたウエーハ１００は、環状のフレーム１０８に装着された粘着テープ１０７に表面１０１を上側にして裏面１０２が貼着される。

チャックテーブル１１（保持テーブルの一例）は、ウエーハ１００を吸着保持する保持面１１ａを有し、モータ１９に連結されて回転可能に設けられている。また、チャックテーブル１１は、ボールねじ２０、ナット、パルスモータ２１等による周知構成のＸ軸移動手段２２によって保持面１１ａに対して水平方向となるＸ軸方向に移動可能に設けられる。これにより、加工装置１０は、チャックテーブル１１に保持されたウエーハ１００を、撮像ユニット１２や加工ユニット１３に対して相対的にＸ軸方向に移動させることができる。

撮像ユニット１２は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）やＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等のイメージセンサを搭載した電子顕微鏡である。撮像ユニット１２は、チャックテーブル１１の保持面１１ａ上に保持されたウエーハ１００の表面１０１を撮像する。撮像ユニット１２は、低倍率（Ｌｏ）のマクロ撮像または高倍率（Ｈｉ）のミクロ撮像に切り替え、ウエーハ１００の表面１０１を撮像可能となっている。撮像ユニット１２によって取得した画像情報（キーパターン）を基に切削すべき領域部分（ストリート）が検出され、加工ユニット１３による加工動作の位置付けに用いられる。撮像ユニット１２は、図３に示すように、チャックテーブル１１の保持面１１ａに保持されたウエーハ１００の表面に照明光を照射する光源２３を備える。この光源２３は、ウエーハ１００を真上から照明する落射光源２３１と、斜め方向から照明する斜光光源２３２とからなる。

加工ユニット１３は、チャックテーブル１１の保持面１１ａに保持されたウエーハ１００を回転するリング形状の極薄の切削ブレード２４によってストリート１０３に沿って切削して切削溝（カーフ）を形成するものである。撮像ユニット１２は、加工ユニット１３用のハウジング２５の一部に取り付け支持されることで一体化されており、ボールねじ、ナット、パルスモータ２６等によるＺ軸移動手段１５によってＺ軸方向に移動可能に設けられている。また、チャックテーブル１１の保持面１１ａに対して撮像ユニット１２や加工ユニット１３を相対的にＹ軸方向に移動させるＹ軸移動手段２７は、ボールねじ２８、ナット、パルスモータ２９等からなり、Ｘ軸移動手段２２とともに駆動手段１４を構成する。

タッチパネル１７は、制御ユニット４０による制御の下、撮像ユニット１２が撮像したウエーハ１００の表面１０１の画像や加工処理に必要な各種情報を表示するとともに、加工処理に必要な入力操作等をオペレータから受け付ける。タッチパネル１７は、加工装置１０の筐体において見やすくて操作しやすい箇所に配設される。タッチパネル１７は、表示装置及び入力装置を備えて構成される。タッチパネル１７は、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどの表示デバイスと、表示デバイスの表示面における入力位置や座標を指定するタッチスクリーンとを備えたタッチスクリーンディスプレイにより構成されてもよい。

上記した構成の加工装置１０は、高速回転させた切削ブレード２４をウエーハ１００に所定の切り込み深さで切り込ませながら、加工ユニット１３に対してチャックテーブル１１をＸ軸移動手段２２でＸ軸方向に相対的に加工送りさせる。これにより、ウエーハ１００上のストリート１０３を切削加工して切削溝（カーフ）を形成することができる。続いて、加工装置１０は、チャックテーブル１１の回転によりウエーハ１００を９０°回転させた後、新たにＸ軸方向に配されたすべてのストリート１０３について加工ユニット１３で同様の切削加工を繰り返す。これにより、ウエーハ１００を個々のデバイス１０４に分割できる。

図４に示すストレージ３０は、制御ユニット４０により実行される各種処理等の機能を実現する制御プログラムや、かかる制御プログラムによる処理に用いられるデータなどを記憶する。ストレージ３０は、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）や半導体メモリ等により実装できる。ストレージ３０は、制御ユニット４０が備えるプロセッサが制御プログラムに記述された命令を実行する際の一時的な作業領域としても利用されてもよい。

ストレージ３０は、タッチパネル１７に表示される操作用画面の画像情報を記憶する画像記憶部３１を備える。画像記憶部３１に記憶される画像情報は、後述する画像記録部４４により連続的に記録された操作用画面の複数の画像で構成される。画像記憶部３１に記憶される画像情報として、アライメントティーチ時やマニュアルアライメント時などに、オペレータにより実施される任意の一連の操作に伴って、タッチパネル１７に順次切り替えて表示される操作用画面を連続的に記録した複数の画像が例示される。また、画像情報を構成する画像には、後述する接触検出部４３が検出した座標（操作用画面上の座標）を示すマークが含まれる。すなわち、このマークは、タッチパネル１７に表示される操作用画面においてオペレータが操作（タッチ）した位置を、操作用画面の画像上に識別可能に表示することができる状態で、操作用画面の画像に組み込まれる。

制御ユニット４０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などの演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）などの記憶装置と、入出力インタフェース装置とを備える。制御ユニット４０は、かかる装置を用いて、加工装置１０が実施する一連の加工工程に従い、上述した各構成要素を制御するための制御プログラムなどを実行可能なコンピュータである。

制御ユニット４０は、図４に示すように、中央制御部４１と、画面表示制御部４２と、接触検出部４３と、画像記録部４４と、画像表示制御部４５とを備え、かかる各部によって、以下に説明する各種処理の機能又は作用を実現又は実行する。

中央制御部４１は、タッチパネル１７を介してオペレータにより設定された加工条件に従って、加工装置１０の動作全般を制御する。また、中央制御部４１は、光源２３を有する撮像ユニット１２に対してアライメント時やカーフチェック時の撮像動作を制御する。

画面表示制御部４２は、タッチパネル１７を介して、オペレータから入力される操作内容に従って、タッチパネル１７の表示を制御する。画面表示制御部４２は、例えば、マニュアルアライメントにおいて、オペレータにより実施される一連の操作に従い、操作用画面を順次切り替えてタッチパネル１７に表示する。

接触検出部４３は、オペレータが触れて操作したタッチパネル１７の座標を検出する。すなわち、接触検出部４３は、オペレータが操作（タッチ）した操作用画面上の位置を検出する。

画像記録部４４は、タッチパネル１７に表示されている画面（操作用画面）を連続的に画像として記録する。画像記録部４４は、例えば、画面表示制御部４２により実行される操作用画面の表示制御のバックグラウンドで、操作用画面の画像（静止画）を連続的にキャプチャして記録する。画像記録部４４により、オペレータにより実施される任意の一連の操作に伴って、タッチパネル１７に順次切り替えて表示される操作用画面の複数の画像が連続的に記録される。画像記録部４４は、記録した操作用画面の画像情報をオペレータの操作の順番（時系列）に沿って画像記憶部３１に格納する。画像記録部４４は、画像情報を画像記憶部３１に格納する際、画像を記録した日時や操作内容を対応付けて格納できる。操作内容は、カーフチェックやアライメントティーチなど、全てのオペレータが指定することが一般的な操作内容を採用できる。画像記録部４４は、操作用画面の画像を記録する際、操作用画面の画像を接触検出部４３が検出した座標に任意のマークを表示させた状態で記録できる。また、画像記録部４４は、操作用画面の画像を記録する際、接触検出部４３により検出されたタッチパネル１７の座標に基づいて、オペレータが操作（タッチ）した操作用画面上の位置を操作用画面の画像に関連付けて記録してもよい。

画像表示制御部４５は、画像記憶部３１に記憶される画像情報の表示を制御する。すなわち、画像表示制御部４５は、オペレータにより実施される任意の一連の操作に伴って、タッチパネル１７に順次切り替えて表示される操作用画面の複数の画像を、オペレータの操作の順序（時系列）に沿って連続的に表示する。画像表示制御部４５は、例えば、オペレータにより実施された一連の操作のバックグラウンドで連続的に記録された操作用画面の複数の画像を時系列で並べたコマ送り画像を再生することにより、操作用画面の複数の画像を操作の順番で連続的に表示できる。画像表示制御部４５は、操作用画面の画像を連続的に表示する際、操作用画面の画像を接触検出部４３が検出した座標に任意のマークを表示させた状態で表示できる。また、操作用画面の画像を連続的に表示する際、画像表示制御部４５は、接触検出部５３により検出された操作画面上の位置に基づいて、オペレータが操作（タッチ）した位置に任意のマークなどを付与してもよい。これにより、例えば、アライメントティーチ時やマニュアルアライメント時などにオペレータが操作（タッチ）した位置が操作用画面の画像上に識別可能に表示される。

図５〜図１４を参照して、実施形態に係る加工装置が記録する操作用画面の画像について説明する。図５は、実施形態に係るコマ送り画像の生成を概念的に示す図である。図６〜図１４は、実施形態に係るコマ送り画像を構成する操作用画面の画像の表示例を示す図である。

図５に示すように、画像記録部４４は、オペレータにより実施される任意の一連の操作に伴い、タッチパネル１７に順次切り替えて表示される操作用画面の複数の画像（静止画）をオペレータの操作の順番（時系列）に沿って連続的に記録する。画像記録部４４は、図６から図１４に示す操作用画面の画像１７−１〜１７−９などを操作の順番で記録する。画像表示制御部４５は、例えば、マニュアルアライメント時に画像記録部４４により記録された複数の操作用画面の画像を時系列に沿って並べたコマ送り画像１７−１０を生成する。画像表示制御部４５は、生成したコマ送り画像１７−１０を再生することにより、画像記録部４４により記録された操作用画面の複数の画像を操作の順番でタッチパネル１７に連続的に表示できる。このようにして、加工装置１０は、例えばマニュアルアライメントにおいてオペレータにより実施された操作用画面に対する一連の操作の様子を、事後的にオペレータに視認させることができる。

図６に示す画像１７−１は、コマ送り画像１７−１０として最初に表示される画像の一例を示している。図６に示す画像１７−１は、マニュアルアライメントにおけるカットステータスを表示する操作用画面５０−１の全体像を記録したものである。図６に示す操作用画面５０−１には、メイン領域５１とサブ領域５２とが含まれる。メイン領域５１に設けられた表示エリア５１−１には、例えば、エリアの外周部に沿って内側に種々のボタンが設けられる。図６に示す表示エリア５１−１には、例えば、ウエーハマップ６０が表示される。ウエーハマップ６０は、ウエーハ１００の形状（円形状）とストリート１０３（複数本の横線）の模式図を示すものであって、切削の進行状況を目視可能に示すことができる。サブ領域５２には、マニュアルアライメントに必要なウィンドウ調整ボタン５２−１、θ合わせボタン５２−２、光量ボタン５２−３、フォーカスボタン５２−４、倍率変更ボタン５２−５などが設けられる。

図７に示す画像１７−２は、コマ送り画像１７−１０として、画像１７−１の次に再生される画像の一例を示している。図７に示す画像１７−２は、マニュアルアライメントにおいてカーフチェックの実施中に表示される操作用画面５０−２を記録したものである。図７に示す操作用画面５０−２には、メイン領域５１の表示エリア５１−１に、例えば、カーフ画像６２−１〜６２−４などの複数の画像が表示される。カーフ画像６２−１は、ウエーハ１００においてカーフチェックを行う設定エリアを示すものである。カーフ画像６２−２〜６２−４は、それぞれカーフ画像６２−１の設定エリアに対応する切削溝（カーフ）を所定の倍率で拡大した画像を相互に異なるコントラストで表示するものである。

図８に示す画像１７−３は、コマ送り画像１７−１０として、画像１７−２の次に再生される画像の一例を示している。図８に示す画像１７−３は、マニュアルアライメントにおいて発生したカーフチェックエラー時に表示される操作用画面５０−３を記録したものである。図８に示す操作用画面５０−３には、メイン領域５１の表示エリア５１−１に、例えば、カーフ画像６３が表示される。カーフ画像６３には、切削溝（カーフ）の画像６３−１とストリート１０３の画像６３−２とが含まれ、切削溝（カーフ）の位置がストリート１０３からずれている様子が映し出されている。

また、図８に示す画像１７−３には、コマ送り画像１７−１０として再生される際、サブ領域５２に設けられたアラーム解除ボタン５２−６に重畳されたマーク７１が表示される。マーク７１は、図８に示す操作用画面５０−３がタッチパネル１７に表示されている時に、マニュアルアライメントに関する一連の操作においてオペレータにより操作（タッチ）された操作用画面５０−３における位置を示している。すなわち、マーク７１により、図８に示す画像１７−３が記録された時点において、オペレータによりアラーム解除ボタン５２−６が操作されたことを確認できる。

図９示す画像１７−４は、コマ送り画像１７−１０として、画像１７−３の次に再生される画像の一例を示している。図９に示す画像１７−４は、マニュアルアライメントにおいてエラーリカバリーを実施する際に表示される操作用画面５０−４を記録したものである。操作用画面５０−４のメイン領域５１には、例えば、カーフチェックリトライボタン５１−２、カーフチェックティーチボタン５１−３、ストップ補正ボタン５１−４、及びカット続行ボタン５１−５などが設けられる。また、操作用画面５０−４のサブ領域５２には、例えば、カット位置補正ボタン５２−７、及びヘアライン補正ボタン５２−８などが設けられる。

また、図９に示す画像１７−４には、コマ送り画像１７−１０として再生される際、メイン領域５１に設けられたストップ補正ボタン５１−４に重畳されたマーク７２が表示される。マーク７２は、図９に示す操作用画面５０−４がタッチパネル１７に表示されている時に、マニュアルアライメントに関する一連の操作においてオペレータにより操作（タッチ）された操作用画面５０−４における位置を示している。すなわち、マーク７２により、図９に示す画像１７−４が記録された時点において、オペレータによりストップ補正ボタン５１−４が操作されたことを確認できる。

図１０示す画像１７−５は、コマ送り画像１７−１０として、画像１７−４の次に再生される画像の一例を示している。図１０に示す画像１７−５は、マニュアルアライメントにおいてストップ補正を実施する際に表示される操作用画面５０−５を記録したものである。操作用画面５０−５には、メイン領域５１の表示エリア５１−１に、図８に示す操作用画面５０−３と同じカーフ画像６３が表示される。また、図１０に示す表示エリア５１−１には、図８に示す切削溝（カーフ）の画像６３−１及びストリート１０３の画像６３−２に加えて、ヘアラインの画像６３−３が含まれ、切削位置の指定が行われている様子が映し出されている。

また、操作用画面５０−５のメイン領域５１には、例えば、方向キー５１−６が設けられる。図１０に示す画像１７−５には、コマ送り画像１７−１０として再生される際、メイン領域５１に設けられた方向キー５１−６に重畳されたマーク７３が表示される。マーク７３は、図１０に示す操作用画面５０−５がタッチパネル１７に表示されている時に、マニュアルアライメントに関する一連の操作においてオペレータにより操作（タッチ）された操作用画面５０−５における位置を示している。すなわち、マーク７３により、図１０に示す画像１７−５が記録された時点において、オペレータにより方向キー５１−６が操作されたことを確認できる。

図１１に示す画像１７−６は、コマ送り画像１７−１０として、画像１７−５の次に再生される画像の一例を示している。図１１に示す画像１７−６は、オペレータにより方向キー５１−６が操作された後の操作用画面５０−５を記録したものである。図１１に示す操作用画面５０−５は、図１０に示す操作用画面と同じ構成を備える。図１１に示す画像１７−６は、コマ送り画像１７−１０として再生される際、サブ領域５２に設けられたカット位置補正ボタン５２−７に重畳されたマーク７４が表示される。マーク７４は、図１１に示す操作用画面５０−５がタッチパネル１７に表示されている時に、マニュアルアライメントに関する一連の操作においてオペレータにより操作（タッチ）された操作用画面５０−５における位置を示している。すなわち、マーク７４により、図１１に示す画像１７−６が記録された時点において、オペレータによりカット位置補正ボタン５２−７が操作されたことを確認できる。

図１２に示す画像１７−７は、コマ送り画像１７−１０として、画像１７−６の次に再生される画像の一例を示している。図１２に示す画像１７−７は、図１１に示す操作用画面５０−５においてオペレータによりカット位置補正ボタン５２−７が操作された後にタッチパネル１７に表示された操作用画面５０−１を記録したものである。図１２に示す操作用画面５０−１は、図６に示す操作用画面と同じ構成を備える。

図１３に示す画像１７−８は、コマ送り画像１７−１０として、画像１７−７の次に再生される画像の一例を示している。図１３に示す画像１７−８は、図７と同じ操作用画面５０−２であり、図１２に示すカットステータス表示を経由して、カーフチェックの実施中に表示される操作用画面５０−２を記録したものである。

図１４に示す画像１７−９は、コマ送り画像１７−１０として、画像１７−８の次に再生される画像の一例を示している。図１４に示す画像１７−９は、図８と同じ操作用画面５０−３であり、図１３に示すカーフチェック実施を経由して、カーフチェックエラー時に表示される操作用画面５０−３を記録したものである。図１４に示す操作用画面５０−３には、メイン領域５１の表示エリア５１−１に、例えば、カーフ画像６４が表示される。カーフ画像６４には、切削溝（カーフ）の画像６４−１とストリート１０３の画像６４−２とが含まれ、切削溝（カーフ）の位置がストリート１０３からずれている様子が映し出されている。

図６〜図１４に示すコマ送り画像１７−１０を再生することにより、オペレータにより実施された操作用画面（５０−１〜５０−５など）に対する一連の操作の様子を確認できる。例えば、コマ送り画像１７−１０として再生される画像１７−４〜１７−６を確認することにより、画像１７−９で記録されたカーフチェックエラーが、カット位置の補正が正しく行われなかったことを原因とすることを突き止めることができる。

例えば、実施形態に係る加工装置１０による処理は、オペレータが手動でθ合わせを行い、アライメントのターゲットを設定し、ターゲットからストリートの位置合わせを行うマニュアルアライメントにおいてカットずれが発生した場合に特に有用である。具体的には、切削溝（カーフ）がしきい値よりずれているというカーフチェックエラーが発生した場合、オペレータがカット位置を再度指定しなおす操作を行ったとする。このとき、オペレータにより再指定されたカット位置が間違っていることを原因として、再度カーフチェックエラーが発生した場合、オペレータの操作が画像として記録されていれば、オペレータにより再指定されたカット位置が間違っていたのか否かを容易に確認できる。

図１５は、実施形態に係る加工装置の処理の一例を示すフローチャートである。図１５に示す加工装置１０の処理は、制御ユニット４０の各部により実行される。

図１５に示すように、画像表示制御部４５は、画像記憶部３１から操作用画面の画像情報を読み込む（ステップＳ１０１）。画像表示制御部４５が読み込む画像情報は、オペレータにより指定される。オペレータは、日時や操作内容を指定して、画像情報を指定できる。

続いて、画像表示制御部４５は、ステップＳ１０１で読み込んだ画像情報を用いて、コマ送り画像を生成する（ステップＳ１０２）。コマ送り画像は、時系列に沿って再生可能な状態で生成される。

続いて、画像表示制御部４５は、ステップＳ１０２で生成したコマ送り画像を表示して（ステップＳ１０３）、図１５に示す処理を終了する。

上記実施形態では、加工装置１０は、操作用画面の複数の画像（静止画）から生成したコマ送りの画像（例えば、画像１７−１０）をタッチパネル１７に表示する例を説明したが、この例には特に限定される必要はない。例えば、オペレータが、遠隔で操作する外部の情報処理装置などに外部の装置や加工装置１０の情報を管理するサーバなどに送信してもよい。

また、上記実施形態では、操作用画面の複数の画像（静止画）からコマ送りの画像を生成する例を説明したが、この例には特に限定される必要はない。例えば、画像記録部４４は、操作用画面の動画を記録してもよい。

〔変形例〕
図１６は、変形例に係る加工装置の機能構成の一例を模式的に示すブロック図である。図１６に示すように、変形例に係る加工装置１０は、エラーを検知するエラー検出部４６を備える。エラー検出部４６は、例えば、マニュアルアライメントにおいて発生したカーフチェックエラーなどを検知する。

画像記録部４４は、オペレータの一連の操作に伴って操作用画面の画像の記録を開始するが、エラー前後の事前に設定された時間内に記録された画像を蓄積し、その他の時間に記録された画像は所定時間が経過後に消去する。図１７は、変形例に係る画像情報の処理例を模式的に示す図である。

図１７に示すように、画像記録部４４は、所定時間経過後、画像記憶部３１に格納した画像のうち、画像情報Ｊ_２，及びＪ_３をそのまま蓄積する画像情報に決定し、画像情報Ｊ_１，及びＪ_４を消去する画像情報に決定する。所定時間は、例えば、オペレータにより実施された一連の操作が終了した時点からの経過時間であってよい。画像情報Ｊ_２は、エラー検出部４６により検出されたエラーＥ_１の検出時点から一定時間遡った時点Ｔ_１までに画像記録部４４が記録した画像の情報である。画像情報Ｊ_３は、エラー検出部４６により検出されたエラーＥ_１の検出時点から一定時間経過した時点Ｔ_２までに記録した画像記録部４４が記録した画像の情報である。画像情報Ｊ_１は、エラーＥ_１の検出時点から一定時間遡った時点Ｔ_１よりも前に画像記録部４４が記録した画像の情報であり、画像情報Ｊ_４は、エラーＥ_１の検出時点から一定時間経過した時点Ｔ_２よりも後に画像記録部４４が記録した画像の情報である。

〔その他の実施形態〕
本発明に係る加工装置１は、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、加工装置１の一例として説明した切削装置に限定されるものではなく、レーザー加工装置や研削装置であってもよい。

また、上記の実施形態において説明した加工装置１の各構成要素は機能概念的なものであり、必ずしも物理的に図示の如く構成されていることを要しない。すなわち、加工装置１の分散・統合の具体的形態は図示のものに限られず、その全部または一部を、各種の負荷や使用状況などに応じて、任意の単位で機能的または物理的に分散または統合して構成することができる。制御ユニット４０は、制御ユニット４０が備える各部の処理の内容に応じて、かかる各部が適宜分散または統合されてもよい。例えば、制御ユニット４０の画面表示制御部４２及び画像表示制御部４５は、機能的又は物理的に統合された状態で制御ユニット４０に実装されてもよい。

１０加工装置
１１チャックテーブル
１２撮像ユニット
１３加工ユニット
１７タッチパネル
２３光源
３０ストレージ
３１画像記憶部
４０制御ユニット
４１中央制御部
４２画面表示制御部
４３接触検出部
４４画像記録部
４５画像表示制御部
４６エラー検出部
１００ウエーハ（被加工物）
１０３ストリート（分割予定ライン）
１０４デバイス

Claims

加工装置であって、
保持テーブルと、加工部と、撮像部と、タッチパネルと、各機構を制御する制御部とを備え、
該制御部は、
該タッチパネルに表示されている画面を連続的に画像として記録する画像記録部と、
オペレータが触れて操作した該タッチパネルの座標を検出する接触検出部と、を備え、
該画像記録部は、該画像を該接触検出部が検出した座標に任意のマークを表示させた状態で記録することを特徴とする加工装置。
該制御部は、
エラーを検知するエラー検出部をさらに備え、
該画像記録部は、
エラー前後の事前に設定された時間内に記録された該画像を蓄積し、
その他の時間に記録された該画像は所定時間が経過後に消去することを特徴とする、
請求項１に記載の加工装置。