CN112216628A - 加工装置 - Google Patents

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CN112216628A CN202010644378.0A CN202010644378A CN112216628A CN 112216628 A CN112216628 A CN 112216628A CN 202010644378 A CN202010644378 A CN 202010644378A CN 112216628 A CN112216628 A CN 112216628A
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大森崇史
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Abstract

提供加工装置，其容易发现出错的原因。本发明的加工装置的特征在于，其具有保持工作台、加工部、拍摄部、触摸面板以及对各机构进行控制的控制部，控制部具有：图像记录部，其将显示在触摸面板上的画面连续地作为图像进行记录；以及接触检测部，其对操作者触摸而操作了的触摸面板的坐标进行检测，图像记录部按照使任意的标记显示在接触检测部所检测的坐标处的状态对图像进行记录。

Description

加工装置
技术领域
本发明涉及加工装置。
背景技术
以往已知有如下的加工装置，该加工装置将半导体晶片等被加工物保持于卡盘工作台，沿着间隔道对所保持的被加工物进行切削加工而分割成各个器件芯片。在这种加工装置中，存在一种加工装置，其具有显示拍摄单元所拍摄的晶片正面的图像和多个操作键的触摸面板式的操作面板，借助该操作面板进行加工装置的各种操作(例如参照专利文献1)。
另外，在上述加工装置中，将各机构的动作履历、测量值等作为日志而进行记录。
专利文献1：日本特开2010-49466号公报
在上述加工装置中，在产生了出错的情况下，操作者需要找到出错的原因，但有时即使参照加工装置所记录的上述日志，也无法找到出错的原因。
发明内容
本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供容易发现出错的原因的加工装置。
为了解决上述课题实现目的，本发明是加工装置，其特征在于，该加工装置具有保持工作台、加工部、拍摄部、触摸面板以及对各机构进行控制的控制部，该控制部具有：图像记录部，其将显示在该触摸面板上的画面连续地作为图像进行记录；以及接触检测部，其对操作者触摸而操作了的该触摸面板的坐标进行检测，该图像记录部按照使任意的标记显示在该接触检测部所检测的坐标处的状态对该图像进行记录。
另外，在上述加工装置中，其特征在于，该控制部还具有对出错进行检测的出错检测部，该图像记录部对在出错前后的事先设定的时间内所记录的该图像进行蓄积，将上述时间以外的时间所记录的该图像在经过规定的时间之后删除。
根据本发明，起到能够提供容易发现出错的原因的加工装置的效果。
附图说明
图1是示意性示出实施方式的加工装置的结构例的立体图。
图2是示出利用实施方式的加工装置进行加工的晶片的结构例的俯视图。
图3是示出实施方式的拍摄单元的光源的结构例的概略主视图。
图4是示意性示出实施方式的加工装置的功能结构的一例的框图。
图5是示意性示出实施方式的帧进图像的生成的图。
图6是示出构成实施方式的帧进图像的操作用画面的图像的显示例的图。
图7是示出构成实施方式的帧进图像的操作用画面的图像的显示例的图。
图8是示出构成实施方式的帧进图像的操作用画面的图像的显示例的图。
图9是示出构成实施方式的帧进图像的操作用画面的图像的显示例的图。
图10是示出构成实施方式的帧进图像的操作用画面的图像的显示例的图。
图11是示出构成实施方式的帧进图像的操作用画面的图像的显示例的图。
图12是示出构成实施方式的帧进图像的操作用画面的图像的显示例的图。
图13是示出构成实施方式的帧进图像的操作用画面的图像的显示例的图。
图14是示出构成实施方式的帧进图像的操作用画面的图像的显示例的图。
图15是示出实施方式的加工装置的处理的一例的流程图。
图16是示意性示出变形例的加工装置的功能结构的一例的框图。
图17是示意性示出变形例的图像信息的处理例的图。
标号说明
10：加工装置；11：卡盘工作台；12：拍摄单元；13：加工单元；17：触摸面板；23：光源；30：存储器；31：图像存储部；40：控制单元；41：中央控制部；42：画面显示控制部；43：接触检测部；44：图像记录部；45：图像显示控制部；46：出错检测部；100：晶片(被加工物)；103：间隔道(分割预定线)；104：器件。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。本发明并不被以下实施方式所记载的内容限定。另外，在以下所记载的结构要素中包含本领域技术人员能够容易想到的内容、实质上相同的内容。另外，以下所记载的结构可以适当组合。另外，可以在不脱离本发明的主旨的范围内进行结构的各种省略、置换或变更。
在以下所说明的实施方式中，设定XYZ直角坐标系，参照该XYZ直角坐标系，对各部的位置关系进行说明。将水平面内的一个方向作为X轴方向，将在水平面内与X轴方向垂直的方向作为Y轴方向，将与X轴方向和Y轴方向分别垂直的方向作为Z轴方向。包含X轴和Y轴的XY平面与水平面平行。与XY平面垂直的Z轴方向是铅垂方向。
参照附图，对实施方式的加工装置1进行说明。图1是示意性示出实施方式的加工装置的结构例的立体图。图2是示出利用实施方式的加工装置进行加工的晶片的结构例的俯视图。图3是示出实施方式的拍摄单元的光源的结构例的概略主视图。图4是示意性示出实施方式的加工装置的功能结构的一例的框图。
实施方式的加工装置10(加工装置的一例)是沿着间隔道(分割预定线)103对晶片100进行切削的切削装置。如图1所示，加工装置10作为基本的结构具有对晶片100进行保持的卡盘工作台11、拍摄单元12、加工单元13、驱动单元14、Z轴移动单元15、触摸面板17以及控制单元40。
如图2所示，晶片(被加工物)100粘贴于安装在环状的框架108上的粘接带107的正面上。另外，晶片100在正面101上由呈格子状形成的多条间隔道103划分成多个区域，在该划分的区域内形成有IC、LSI等半导体芯片构成的器件104。这样构成的晶片100以正面101为上侧而将背面102粘贴于安装在环状的框架108上的粘接带107上。
卡盘工作台11(保持工作台的一例)具有对晶片100进行吸附保持的保持面11a，卡盘工作台11与电动机19连结而设置成能够旋转。另外，卡盘工作台11设置成能够通过基于滚珠丝杠20、螺母、脉冲电动机21等的周知结构的X轴移动单元22而相对于保持面11a在作为水平方向的X轴方向上移动。由此，加工装置10能够使卡盘工作台11所保持的晶片100相对于拍摄单元12或加工单元13在X轴方向上相对地移动。
拍摄单元12是搭载有CCD(Charge Coupled Device，电感耦合元件)或CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor，互补金属氧化物半导体)等图像传感器的电子显微镜。拍摄单元12对保持在卡盘工作台11的保持面11a上的晶片100的正面101进行拍摄。拍摄单元12能够切换成低倍率(Lo)的宏观拍摄或高倍率(Hi)的微观拍摄而对晶片100的正面101进行拍摄。根据拍摄单元12所获取的图像信息(关键图案)而检测要切削的区域部分(间隔道)，并在加工单元13的加工动作的定位中使用。如图3所示，拍摄单元12具有向卡盘工作台11的保持面11a所保持的晶片100的正面照射照明光的光源23。该光源23由从正上方照射晶片100的落射光源231和从斜方向照明的斜光光源232构成。
加工单元13通过旋转的环形状的极薄的切削刀具24沿着间隔道103对卡盘工作台11的保持面11a所保持的晶片100进行切削而形成切削槽(切口)。拍摄单元12通过安装支承于加工单元13用的壳体25的一部分而一体化，设置成能够通过基于滚珠丝杠、螺母、脉冲电动机26等的Z轴移动单元15在Z轴方向上移动。另外，使拍摄单元12或加工单元13相对于卡盘工作台11的保持面11a在Y轴方向上相对地移动的Y轴移动单元27由滚珠丝杠28、螺母、脉冲电动机29等构成，Y轴移动单元27与X轴移动单元22一起构成驱动单元14。
触摸面板17在控制单元40的控制下显示拍摄单元12所拍摄的晶片100的正面101的图像及加工处理所需的各种信息，并且从操作者接受加工处理所需的输入操作等。触摸面板17在加工装置10的壳体上配设于容易观察且容易操作的部位。触摸面板17构成为具有显示装置和输入装置。触摸面板17可以由触摸屏显示器构成，该触摸屏显示器具有液晶显示器、有机EL显示器等显示设备以及对显示设备的显示面上的输入位置及坐标进行指定的触摸屏。
上述结构的加工装置10一边使高速旋转的切削刀具24按照规定的切入深度切入至晶片100一边利用X轴移动单元22使卡盘工作台11相对于加工单元13在X轴方向上相对地进行加工进给。由此，能够对晶片100上的间隔道103进行切削加工而形成切削槽(切口)。接着，加工装置10通过卡盘工作台11的旋转而使晶片100旋转90°，然后对于新配置于X轴方向的所有间隔道103，利用加工单元13重复进行同样的切削加工。由此，能够将晶片100分割成各个器件104。
图4所示的存储器30对实现控制单元40所执行的各种处理等功能的控制程序、基于该控制程序的处理中所用的数据等进行存储。存储器30能够通过HDD(Hard Disk Drive，硬盘驱动器)或半导体存储器等来安装。存储器30也可以用作控制单元40所具有的处理器执行控制程序中所记述的命令时的临时作业区域。
存储器30具有对显示在触摸面板17上的操作用画面的图像信息进行存储的图像存储部31。存储于图像存储部31的图像信息由通过后述的图像记录部44连续地记录的操作用画面的多个图像构成。作为存储于图像存储部31的图像信息，例示出在对准示教时或手动对准时等连续地记录随着操作者所实施的任意的一系列的操作而在触摸面板17上依次切换而显示的操作用画面而得的多个图像。另外，在构成图像信息的图像中包含示出后述的接触检测部43所检测的坐标(操作用画面上的坐标)的标记。即，在能够以能够识别的方式将在显示于触摸面板17的操作用画面中操作者所操作(触摸)的位置显示在操作用画面的图像上的状态下，将该标记纳入操作用画面的图像。
控制单元40具有：CPU(Central Processing Unit，中央处理器)等运算处理装置；ROM(Read Only Memory，只读存储器)或RAM(Random Access Memory，随机存取存储器)等存储装置；以及输入输出接口装置。控制单元40是能够使用上述的装置，按照加工装置10所实施的一系列的加工工序来执行用于控制上述各构成要素的控制程序等的计算机。
如图4所示，控制单元40具有：中央控制部41、画面显示控制部42、接触检测部43、图像记录部44以及图像显示控制部45，通过上述的各部实现或执行以下所说明的各种处理的功能或作用。
中央控制部41按照由操作者借助触摸面板17而设定的加工条件对加工装置10的动作整体进行控制。另外，中央控制部41对具有光源23的拍摄单元12控制对准时及切口检查时的拍摄动作。
画面显示控制部42按照由操作者借助触摸面板17而输入的操作内容对触摸面板17的显示进行控制。画面显示控制部42例如在手动对准中按照由操作者实施的一系列的操作依次切换操作用画面而显示在触摸面板17上。
接触检测部43对操作者触摸而操作的触摸面板17的坐标进行检测。即，接触检测部43对操作者所操作(触摸)的操作用画面上的位置进行检测。
图像记录部44将显示在触摸面板17上的画面(操作用画面)连续地作为图像而记录。图像记录部44例如在画面显示控制部42所执行的操作用画面的显示控制的背景中连续地捕捉操作用画面的图像(静止图像)而记录。通过图像记录部44将随着由操作者实施的任意的一系列的操作而在触摸面板17上依次切换显示的操作用画面的多个图像连续地记录。图像记录部44将所记录的操作用画面的图像信息按照操作者的操作的顺序(时间序列)而保存于图像存储部31。图像记录部44在将图像信息保存于图像存储部31时，能够对应地保存记录了图像的日期时刻及操作内容。操作内容可以采用切口检查或对准示教等所有的由操作者指定的常规操作内容。图像记录部44在记录操作用画面的图像时，能够按照在接触检测部43所检测的坐标处显示任意的标记的状态记录操作用画面的图像。另外，图像记录部44在记录操作用画面的图像时，可以根据接触检测部43所检测的触摸面板17的坐标，在操作用画面的图像上相关联地记录操作者所操作(触摸)的操作用画面上的位置。
图像显示控制部45对存储于图像存储部31的图像信息的显示进行控制。即，图像显示控制部45将随着由操作者实施的任意的一系列的操作而在触摸面板17上依次切换显示的操作用画面的多个图像按照操作者的操作顺序(时间序列)而连续地显示。图像显示控制部45例如通过播放帧进图像，能够按照操作的顺序连续地显示操作用画面的多个图像，其中，该帧进图像是将在由操作者实施的一系列的操作的背景中被连续地记录的操作用画面的多个图像按照时间序列排列而得的。图像显示控制部45在连续地显示操作用画面的图像时，能够按照在接触检测部43所检测的坐标处显示任意的标记的状态显示操作用画面的图像。另外，在连续地显示操作用画面的图像时，图像显示控制部45可以根据接触检测部53所检测的操作画面上的位置而对操作者所操作(触摸)的位置赋予任意的标记等。由此，例如在对准示教时或手动对准时等，以能够识别的方式将操作者所操作(触摸)的位置显示在操作用画面的图像上。
参照图5～图14对实施方式的加工装置所记录的操作用画面的图像进行说明。图5是示意性示出实施方式的帧进图像的生成的图。图6～图14是示出构成实施方式的帧进图像的操作用画面的图像的显示例的图。
如图5所示，图像记录部44将随着由操作者实施的任意的一系列的操作而在触摸面板17上依次切换显示的操作用画面的多个图像(静止图像)按照操作者的操作的顺序(时间序列)连续地记录。图像记录部44按照操作的顺序记录图6至图14所示的操作用画面的图像17-1～17-9等。图像显示控制部45例如生成将在手动对准时图像记录部44所记录的多个操作用画面的图像按照时间序列排列而得的帧进图像17-10。图像显示控制部45通过播放所生成的帧进图像17-10，能够将图像记录部44所记录的操作用画面的多个图像按照操作的顺序连续地显示在触摸面板17上。这样，加工装置10例如能够事后使操作者视认在手动对准中由操作者实施的对操作用画面的一系列的操作的情况。
图6所示的图像17-1示出了作为帧进图像17-10而最初显示的图像的一例。图6所示的图像17-1记录了显示手动对准中的切割状态的操作用画面50-1的整体图像。在图6所示的操作用画面50-1中包含主区域51和子区域52。在设置于主区域51的显示区域51-1中例如沿着区域的外周部在内侧设置有各种按钮。在图6所示的显示区域51-1中例如显示晶片图61。晶片图61是示出晶片100的形状(圆形状)和间隔道103(多条横线)的示意图，能够以能够目视的方式示出切削的进行状况。在子区域52中设置有手动对准所需的窗口调整按钮52-1、θ对齐按钮52-2、光量按钮52-3、对焦按钮52-4、倍率变更按钮52-5等。
图7所示的图像17-2示出了作为帧进图像17-10而在图像17-1之后播放的图像的一例。图7所示的图像17-2记录了在手动对准中在切口检查的实施中所显示的操作用画面50-2。在图7所示的操作用画面50-2中，在主区域51的显示区域51-1中例如显示切口图像62-1～62-4等多个图像。切口图像62-1示出在晶片100中进行切口检查的设定区域。切口图像62-2～62-4分别以相互不同的对比度显示将与切口图像62-1的设定区域对应的切削槽(切口)以规定的倍率放大而得的图像。
图8所示的图像17-3示出了作为帧进图像17-10而在图像17-2之后播放的图像的一例。图8所示的图像17-3记录了在手动对准中所产生的切口检查出错时所显示的操作用画面50-3。在图8所示的操作用画面50-3中，在主区域51的显示区域51-1中例如显示切口图像63。在切口图像63中包含切削槽(切口)的图像63-1和间隔道103的图像63-2，映现了切削槽(切口)的位置从间隔道103偏移的情况。
另外，在图8所示的图像17-3中，显示了当作为帧进图像17-10进行播放时与设置在子区域52的报警清除按钮52-6重叠的标记71。当图8所示的操作用画面50-3显示在触摸面板17时，标记71示出在与手动对准相关的一系列的操作中操作者所操作(触摸)的操作用画面50-3中的位置。即，通过标记71能够确认：在记录图8所示的图像17-3的时刻，由操作者操作了报警清除按钮52-6。
图9所示的图像17-4示出了作为帧进图像17-10而在图像17-3之后播放的图像的一例。图9所示的图像17-4记录了在手动对准中实施出错恢复时所显示的操作用画面50-4。在操作用画面50-4的主区域51中，例如设置有切口检查重试按钮51-2、切口检查示教按钮51-3、停止校正按钮51-4以及切割继续按钮51-5等。另外，在操作用画面50-4的子区域52中，例如设置有切割位置校正按钮52-7以及标线校正按钮52-8等。
另外，在图9所示的图像17-4中，显示了当作为帧进图像17-10进行播放时与设置在主区域51的停止校正按钮51-4重叠的标记72。当图9所示的操作用画面50-4显示在触摸面板17时，标记72示出在与手动对准相关的一系列的操作中操作者所操作(触摸)的操作用画面50-4中的位置。即，通过标记72能够确认：在记录图9所示的图像17-4的时刻，由操作者操作了停止校正按钮51-4。
图10所示的图像17-5示出了作为帧进图像17-10而在图像17-4之后播放的图像的一例。图10所示的图像17-5记录了在手动对准中实施停止校正时所显示的操作用画面50-5。在操作用画面50-5中，在主区域51的显示区域51-1中显示与图8所示的操作用画面50-3相同的切口图像63。另外，在图10所示的显示区域51-1中，除了图8所示的切削槽(切口)的图像63-1和间隔道103的图像63-2以外，还包含标线的图像63-3，映现了进行切削位置的指定的情况。
另外，在操作用画面50-5的主区域51中，例如设置有方向键51-6。在图10所示的图像17-5中，显示了当作为帧进图像17-10进行播放时与设置在主区域51的方向键51-6重叠的标记73。当图10所示的操作用画面50-5显示在触摸面板17时，标记73示出在与手动对准相关的一系列的操作中操作者所操作(触摸)的操作用画面50-5中的位置。即，通过标记73能够确认：在记录图10所示的图像17-5的时刻，由操作者操作了方向键51-6。
图11所示的图像17-6示出了作为帧进图像17-10而在图像17-5之后播放的图像的一例。图11所示的图像17-6记录了由操作者操作了方向键51-6之后的操作用画面50-5。图11所示的操作用画面50-5具有与图10所示的操作用画面相同的结构。图11所示的图像17-6在作为帧进图像17-10进行播放时，显示与设置在子区域52的切割位置校正按钮52-7重叠的标记74。当图11所示的操作用画面50-5显示在触摸面板17时，标记74示出在与手动对准相关的一系列的操作中操作者所操作(触摸)的操作用画面50-5中的位置。即，通过标记74能够确认：在记录图11所示的图像17-6的时刻，由操作者操作了切割位置校正按钮52-7。
图12所示的图像17-7示出了作为帧进图像17-10而在图像17-6之后播放的图像的一例。图12所示的图像17-7记录了在图11所示的操作用画面50-5中由操作者操作了切割位置校正按钮52-7之后显示在触摸面板17的操作用画面50-1。图12所示的操作用画面50-1具有与图6所示的操作用画面相同的结构。
图13所示的图像17-8示出了作为帧进图像17-10而在图像17-7之后播放的图像的一例。图13所示的图像17-8是与图7相同的操作用画面50-2，经由图12所示的切割状态显示而对切口检查的实施中所显示的操作用画面50-2进行记录。
图14所示的图像17-9示出了作为帧进图像17-10而在图像17-8之后播放的图像的一例。图14所示的图像17-9是与图8相同的操作用画面50-3，经由图13所示的切口检查实施而对在切口检查出错时显示的操作用画面50-3进行记录。在图14所示的操作用画面50-3中，在主区域51的显示区域51-1中例如显示切口图像64。在切口图像64中包含切削槽(切口)的图像64-1和间隔道103的图像64-2，映现了切削槽(切口)的位置从间隔道103偏移的情况。
通过对图6～图14所示的帧进图像17-10进行播放，能够确认由操作者实施的对操作用画面(50-1～50-5等)的一系列的操作的情况。例如通过确认作为帧进图像17-10而播放的图像17-4～17-6，能够查明在图像17-9中所记录的切口检查出错是由于未正确地进行切割位置的校正。
基于实施方式的加工装置10的处理例如在由操作者手动进行θ对齐、设定对准的目标以及在相对于目标进行间隔道的对位的手动对准中产生切割偏移的情况下特别有用。具体而言，在产生切削槽(切口)偏离阈值这样的切口检查出错的情况下，操作者进行再次重新指定切割位置的操作。此时，在由于操作者进行了重新指定的切割位置出错而再次产生切口检查出错的情况下，若将操作者的操作作为图像进行记录，则能够容易地确认由操作者进行了重新指定的切割位置是否出错。
图15是示出实施方式的加工装置的处理的一例的流程图。图15所示的加工装置10的处理通过控制单元40的各部来执行。
如图15所示，图像显示控制部45从图像存储部31读入操作用画面的图像信息(步骤S101)。图像显示控制部45所读入的图像信息由操作者指定。操作者能够指定日期时间及操作内容而指定图像信息。
接着，图像显示控制部45使用在步骤S101中读入的图像信息而生成帧进图像(步骤S102)。帧进图像以能够按照时间序列播放的状态生成。
接着，图像显示控制部45显示步骤S102中所生成的帧进图像(步骤S103)，结束图15所示的处理。
在上述实施方式中，对加工装置10将从操作用画面的多个图像(静止图像)生成的帧进的图像(例如图像17-10)显示在触摸面板17的例子进行了说明，但无需特别限定于该例。例如操作者也可以向以远程的方式操作的外部的信息处理装置等外部的装置或对加工装置10的信息进行管理的服务器等发送帧进的图像。
另外，在上述实施方式中，对从操作用画面的多个图像(静止图像)生成帧进的图像的例子进行了说明，但无需特别限定于该例。例如图像记录部44也可以对操作用画面的动态图像进行记录。
[变形例]
图16是示意性示出变形例的加工装置的功能结构的一例的框图。如图16所示，变形例的加工装置10具有对出错进行检测的出错检测部46。出错检测部46例如对在手动对准中产生的切口检查出错等进行检测。
图像记录部44随着操作者的一系列的操作而使操作用画面的图像的记录开始，对出错前后的事先设定的时间内所记录的图像进行蓄积，至于其他时间所记录的图像则在经过规定的时间之后删除。图17是示意性示出变形例的图像信息的处理例的图。
如图17所示，图像记录部44将经过规定的时间后保存在图像存储部31的图像中的图像信息J2和J3确定为继续蓄积的图像信息，将图像信息J1和J4确定为删除的图像信息。规定的时间例如可以是从操作者所实施的一系列的操作结束的时刻起的经过时间。图像信息J2是从出错检测部46所检测的出错E1的检测时刻起到追溯了一定时间的时刻T1为止由图像记录部44所记录的图像的信息。图像信息J3是从出错检测部46所检测的出错E1的检测时刻起到经过了一定时间的时刻T2为止所记录的由图像记录部44记录的图像的信息。图像信息J1是在比从出错E1的检测时刻起追溯了一定时间的时刻T1靠前的时刻由图像记录部44所记录的图像的信息，图像信息J4是在比从出错E1的检测时刻起经过了一定时间的时刻T2靠后的时刻由图像记录部44所记录的图像的信息。
[其他实施方式]
本发明的加工装置1可以在不脱离本发明的主旨的范围内进行各种变形并实施。例如并不限于作为加工装置1的一例进行说明的切削装置，也可以是激光加工装置或磨削装置。
另外，在上述实施方式中所说明的加工装置1的各构成要素是功能概念的构成要素，未必需要在物理上如图示那样构成。即，加工装置1的分散、集成的具体方式不限于图示，可以将其全部或一部分根据各种的负荷或使用状况等而以任意的单位在功能上或物理上进行分散或集成而构成。控制单元40可以根据控制单元40所具有的各部的处理的内容而将上述的各部适当分散或集成。例如控制单元40的画面显示控制部42和图像显示控制部45可以以在功能上或物理上集成的状态安装于控制单元40。

Claims (2)

1.一种加工装置，其特征在于，
该加工装置具有保持工作台、加工部、拍摄部、触摸面板以及对各机构进行控制的控制部，
该控制部具有：
图像记录部，其将显示在该触摸面板上的画面连续地作为图像进行记录；以及
接触检测部，其对操作者触摸而操作了的该触摸面板的坐标进行检测，
该图像记录部按照使任意的标记显示在该接触检测部所检测的坐标处的状态对该图像进行记录。
2.根据权利要求1所述的加工装置，其特征在于，
该控制部还具有对出错进行检测的出错检测部，
该图像记录部对在出错前后的事先设定的时间内所记录的该图像进行蓄积，
将上述时间以外的时间所记录的该图像在经过规定的时间之后删除。
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