JP2021034403A - 加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の実施形態1に係る加工装置1を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係る加工装置1の構成例を示す斜視図である。実施形態1に係る加工装置1は、被加工物200を切削し、被加工物200に加工痕である切削溝300(図5等参照)を形成する装置である。また、加工装置1は、被加工物200の加工中又は加工後の任意のタイミングで切削加工によって形成された切削溝300のうち予め設定された検査ルート400(図4参照)上の切削溝300を撮像し、表示、記憶する装置でもある。なお、加工装置1は、本発明では、これに限定されず、被加工物200にレーザー光線を照射して被加工物200をレーザー加工し、レーザー加工によって形成されかつ検査ルート400上の加工痕であるレーザー加工溝を撮像し、表示、記憶するレーザー加工装置であってもよい。
本発明の実施形態2に係る加工装置1を図面に基づいて説明する。図6は、実施形態2に係る加工装置1における検査ルート登録の一例を説明する上面図である。図7は、実施形態2に係る加工装置1において登録された検査ルート430の一例を説明する上面図である。なお、図6及び図7では、図3及び図4と同様に、粘着テープ205及び環状フレーム206が省略されている。図6及び図7は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
10 チャックテーブル
11 保持面
20 加工ユニット
30 カメラ
40 表示ユニット
50 移動ユニット
60 制御ユニット
61 検査ルート登録部
62 画像記録部
200 被加工物
202,202−1,202−2 分割予定ライン
300 切削溝
400,430 検査ルート
401,431 第1検査ルート部分
402,432 第2検査ルート部分
403,433 第3検査ルート部分
411,412,413,414,415,416 検査位置
Claims (2)
- 分割予定ラインを備える被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物の該分割予定ラインに沿って加工する加工ユニットと、を備える加工装置であって、
該チャックテーブルに保持された被加工物を撮影するカメラと、
該カメラで撮影した画像を表示する表示ユニットと、
該加工ユニット及び該カメラに対し、該チャックテーブルを該保持面と平行なX方向及びY方向に相対的に移動させる移動ユニットと、
各構成要素を制御する制御ユニットと、を備え、
該制御ユニットは、
該移動ユニットが被加工物を撮影する該カメラを該チャックテーブルに対して相対的に移動させる検査ルートを登録する検査ルート登録部を備え、
該検査ルート登録部に登録された該検査ルートに従って該チャックテーブルに対して相対的に移動する該カメラで被加工物を撮影した画像を、該表示ユニットに表示させる加工装置。 - 該カメラで撮影した画像が記録される画像記録部を備える請求項1に記載の加工装置。
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