JPH04262502A - 磁気的にコ−ド化されたデバイス及びその製造方法 - Google Patents
磁気的にコ−ド化されたデバイス及びその製造方法Info
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- JPH04262502A JPH04262502A JP3273526A JP27352691A JPH04262502A JP H04262502 A JPH04262502 A JP H04262502A JP 3273526 A JP3273526 A JP 3273526A JP 27352691 A JP27352691 A JP 27352691A JP H04262502 A JPH04262502 A JP H04262502A
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- C21D8/12—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment during manufacturing of articles with special electromagnetic properties
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- G—PHYSICS
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- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01D5/249—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using pulse code
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- H02K1/272—Inner rotors the magnetisation axis of the magnets being perpendicular to the rotor axis
- H02K1/2726—Inner rotors the magnetisation axis of the magnets being perpendicular to the rotor axis the rotor consisting of a single magnet or two or more axially juxtaposed single magnets
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば米国特許第４，
３４７，０８６号の請求項１の前提部分に詳記されてい
るような永久磁石材料に磁気的にコード化したパターン
を形成する方法並びにそれにより製造されるデバイスに
関する。 本発明は、特に、材料のミクロ構造が磁気的コード化法
の影響を受けない磁気コード化パターンの形成方法に関
するものである。
３４７，０８６号の請求項１の前提部分に詳記されてい
るような永久磁石材料に磁気的にコード化したパターン
を形成する方法並びにそれにより製造されるデバイスに
関する。 本発明は、特に、材料のミクロ構造が磁気的コード化法
の影響を受けない磁気コード化パターンの形成方法に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】自動車及びその他の産業用途では、特殊
なセンサを用いて例えばシャフト速度や角位置（ａｎｇ
ｕｌａｒ ｐｏｓｉｔｉｏｎ）並びに線運動を測定して
いる。一般にこのようなセンサは可変磁気抵抗タイプの
もので、センサから間隔を置いて配される歯車を含み、
センサは磁石と磁気抵抗デバイス又はホール効果デバイ
スとからなる。その他のタイプのセンサは、位置測定や
その他の用途では多ビットデジタル化を必要とする。
なセンサを用いて例えばシャフト速度や角位置（ａｎｇ
ｕｌａｒ ｐｏｓｉｔｉｏｎ）並びに線運動を測定して
いる。一般にこのようなセンサは可変磁気抵抗タイプの
もので、センサから間隔を置いて配される歯車を含み、
センサは磁石と磁気抵抗デバイス又はホール効果デバイ
スとからなる。その他のタイプのセンサは、位置測定や
その他の用途では多ビットデジタル化を必要とする。
【０００３】適当な磁化パターンを有する永久磁石は、
別のバイアス磁石を必要とせずに、磁気抵抗センサの励
磁コンポーネントとして機能することができる。しかし
ながら、現在使用されている常用の製造方法では、極め
て小さな励磁子は必要な解像力をもたらすパターンに磁
化することができず、そして大型の永久磁石の価格とな
るとおそらく甚だ高いものになる。例えば多ビットデジ
タル化のように数種の磁気パターンを横に並べたい場合
には、更に複雑な製造上の問題が起こる。このような励
磁子を一ユニットとして、械加工したり磁化させること
は極めて高費用を要し、めったに行われることでない。
別のバイアス磁石を必要とせずに、磁気抵抗センサの励
磁コンポーネントとして機能することができる。しかし
ながら、現在使用されている常用の製造方法では、極め
て小さな励磁子は必要な解像力をもたらすパターンに磁
化することができず、そして大型の永久磁石の価格とな
るとおそらく甚だ高いものになる。例えば多ビットデジ
タル化のように数種の磁気パターンを横に並べたい場合
には、更に複雑な製造上の問題が起こる。このような励
磁子を一ユニットとして、械加工したり磁化させること
は極めて高費用を要し、めったに行われることでない。
【０００４】クラプリビイ（Ｃｈｒａｐｌｙｖｙ）らの
「マグネシウム−アルミニウム合金の選択的磁化」なる
標題の米国特許第４，３１２，６８４号及びクラプリビ
イらの「希土類遷移金属合金の選択的磁化」なる標題の
米国特許第４，３４７，６８６号は、特殊な非磁性材料
又は軟質磁性材料の基材の特定域をレーザビームに露光
して磁性材料が形成される変態点まで加熱することによ
り、そのような基材内に硬質磁性材料の局部域を形成す
ることを提案している。このように形成される磁性域は
、強い磁界内で磁化されて、磁気テープヘッド等の磁気
センサで読み取り可能となる十分な磁束密度をもった永
久磁石コードを形成する。しかしながら、使用される材
料は高価であり、発生する磁界は約３８０μｍより大き
な距離で非接触センサを用いて測定するには弱すぎる。
「マグネシウム−アルミニウム合金の選択的磁化」なる
標題の米国特許第４，３１２，６８４号及びクラプリビ
イらの「希土類遷移金属合金の選択的磁化」なる標題の
米国特許第４，３４７，６８６号は、特殊な非磁性材料
又は軟質磁性材料の基材の特定域をレーザビームに露光
して磁性材料が形成される変態点まで加熱することによ
り、そのような基材内に硬質磁性材料の局部域を形成す
ることを提案している。このように形成される磁性域は
、強い磁界内で磁化されて、磁気テープヘッド等の磁気
センサで読み取り可能となる十分な磁束密度をもった永
久磁石コードを形成する。しかしながら、使用される材
料は高価であり、発生する磁界は約３８０μｍより大き
な距離で非接触センサを用いて測定するには弱すぎる。
【０００５】以上に加え、アラ（Ａｒａ）等の論文、「
電子／レーザービーム照射による鋼板上への磁気格子（
Ｍａｇｎｅｔｉｃ Ｇｒａｔｉｎｇ）の形成」ＩＥＥＥ
Ｔａｎｓ． Ｍａｇｎｅｔｉｃｓ，第２５巻第５号（
１９８９年）第３８３０頁は、非磁性オーステナイトス
テンレス鋼片をレーザビーム加熱して加熱域がオーステ
ナイト相中に強磁性相の小粒を形成する十分な温度にし
、かつ、ビーム照射によりマルテンサイトに変化したフ
ェライト／パーライト相を含有する強磁性炭素鋼を同様
に加熱することにより磁気センサを製造する試みを開示
している。格子は磁化されて、各トラックからの磁束は
格子上を通過するセンサにより検出された。しかしなが
ら、発生する信号は弱すぎて多くの用途で有用ではなか
った。
電子／レーザービーム照射による鋼板上への磁気格子（
Ｍａｇｎｅｔｉｃ Ｇｒａｔｉｎｇ）の形成」ＩＥＥＥ
Ｔａｎｓ． Ｍａｇｎｅｔｉｃｓ，第２５巻第５号（
１９８９年）第３８３０頁は、非磁性オーステナイトス
テンレス鋼片をレーザビーム加熱して加熱域がオーステ
ナイト相中に強磁性相の小粒を形成する十分な温度にし
、かつ、ビーム照射によりマルテンサイトに変化したフ
ェライト／パーライト相を含有する強磁性炭素鋼を同様
に加熱することにより磁気センサを製造する試みを開示
している。格子は磁化されて、各トラックからの磁束は
格子上を通過するセンサにより検出された。しかしなが
ら、発生する信号は弱すぎて多くの用途で有用ではなか
った。
【０００６】データ蓄積用の特殊材料の極めて薄い膜の
磁気的諸性質を熱磁気法により変えることも提案された
。光磁気ディスクの記録では、非晶質遷移金属−希土類
合金の薄膜（厚み約１μｍ）をディスク上に被覆し、全
ディスクを所与の方向に磁化する。次にレーザを用いて
静磁界を印加した表面を局部的（代表的には直径１．６
μｍのスポット）に加熱し、加熱域内のディスクの磁化
方向を反転させる。磁性域は小さく磁気的にも弱いので
、磁気抵抗デバイスやホール効果デバイス等の磁気セン
サはデータの個々のビットに応答することはできない。 このデータはカー（Ｋｅｒｒ）効果を用いて光学的に読
み取られる。このため、ビーム−スプリッタ、二個の検
出器、二個の直線偏光子、半波プレート及びビーム指向
（ｓｔｅｅｒｉｎｇ）光学装置が必要になる。この光学
的検出系は微妙かつ複雑なので、この型の磁気光学的記
録を基礎に実行可能な自動車センサを形成することはで
きない。
磁気的諸性質を熱磁気法により変えることも提案された
。光磁気ディスクの記録では、非晶質遷移金属−希土類
合金の薄膜（厚み約１μｍ）をディスク上に被覆し、全
ディスクを所与の方向に磁化する。次にレーザを用いて
静磁界を印加した表面を局部的（代表的には直径１．６
μｍのスポット）に加熱し、加熱域内のディスクの磁化
方向を反転させる。磁性域は小さく磁気的にも弱いので
、磁気抵抗デバイスやホール効果デバイス等の磁気セン
サはデータの個々のビットに応答することはできない。 このデータはカー（Ｋｅｒｒ）効果を用いて光学的に読
み取られる。このため、ビーム−スプリッタ、二個の検
出器、二個の直線偏光子、半波プレート及びビーム指向
（ｓｔｅｅｒｉｎｇ）光学装置が必要になる。この光学
的検出系は微妙かつ複雑なので、この型の磁気光学的記
録を基礎に実行可能な自動車センサを形成することはで
きない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明に従って磁化可
能な材料に磁気パターンを与える方法は、請求項１の特
徴部分に明記した事項を特徴とする。従って、本発明の
一目的は、実用的間隔で磁気センサにより読み取り可能
なパターン化された磁界をもつバルク磁石を製造し、か
つ、狭くて密な間隔で存在する磁極をもった小さな低価
格磁石を提供できる熱磁気法を提供することである。本
発明の別の目的は、バルク磁石内で磁界の強さが徐々に
変化するデジタルパターン並びにアナログパターンの形
成方法を提供することである。このような方法で製造さ
れるバルク永久磁石を提供することも本発明の別目的で
ある。
能な材料に磁気パターンを与える方法は、請求項１の特
徴部分に明記した事項を特徴とする。従って、本発明の
一目的は、実用的間隔で磁気センサにより読み取り可能
なパターン化された磁界をもつバルク磁石を製造し、か
つ、狭くて密な間隔で存在する磁極をもった小さな低価
格磁石を提供できる熱磁気法を提供することである。本
発明の別の目的は、バルク磁石内で磁界の強さが徐々に
変化するデジタルパターン並びにアナログパターンの形
成方法を提供することである。このような方法で製造さ
れるバルク永久磁石を提供することも本発明の別目的で
ある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、バルク永久磁
石材料に磁気パターンを付与する方法により実施され、
その方法はパターン状のエネルギーを磁化されてない厚
み１ｍｍ程度の永久磁石ベース材料上に送る（ｄｉｒｅ
ｃｔｉｎｇ ｅｎｅｒｇｙ ｉｎ ａ ｐａｔｔｅｒｎ
ｏｎｔｏ ｂａｓｅ ｐｅｒｍａｎｅｎｔ ｍａｇｎ
ｅｔ ｍａｔｅｒｉａｌ）ことによって、その材料の一
定容積をその保磁力を低下させる閾温度まで加熱する工
程；加熱された容積の保磁力よりも強い磁界をパターン
上に加えて、そのパターンを選択的に磁化する工程；及
びその材料を放置冷却して、このように処理されたパタ
ーンが磁気センサにより容易に検出される磁束密度を発
生する工程からなる。
石材料に磁気パターンを付与する方法により実施され、
その方法はパターン状のエネルギーを磁化されてない厚
み１ｍｍ程度の永久磁石ベース材料上に送る（ｄｉｒｅ
ｃｔｉｎｇ ｅｎｅｒｇｙ ｉｎ ａ ｐａｔｔｅｒｎ
ｏｎｔｏ ｂａｓｅ ｐｅｒｍａｎｅｎｔ ｍａｇｎ
ｅｔ ｍａｔｅｒｉａｌ）ことによって、その材料の一
定容積をその保磁力を低下させる閾温度まで加熱する工
程；加熱された容積の保磁力よりも強い磁界をパターン
上に加えて、そのパターンを選択的に磁化する工程；及
びその材料を放置冷却して、このように処理されたパタ
ーンが磁気センサにより容易に検出される磁束密度を発
生する工程からなる。
【０００９】本発明は、更に、最小厚みが１ｍｍ程度の
永久磁石材料の磁化されていない基材と、パターン状の
エネルギーを磁化されていない基材表面に送り、その材
料の一定容積を加熱して調節された深さまで保磁力を低
め；加熱されたパターン上に加熱された容積内の基材を
磁化する十分な磁界を加え；かつ、処理されたパターン
を冷却する方法により製造される、基材表面からある調
節された深さまで伸長する磁化されたパターンとからな
る永久磁石により実施される。
永久磁石材料の磁化されていない基材と、パターン状の
エネルギーを磁化されていない基材表面に送り、その材
料の一定容積を加熱して調節された深さまで保磁力を低
め；加熱されたパターン上に加熱された容積内の基材を
磁化する十分な磁界を加え；かつ、処理されたパターン
を冷却する方法により製造される、基材表面からある調
節された深さまで伸長する磁化されたパターンとからな
る永久磁石により実施される。
【００１０】 本発明の上記及びその他の利点は、添付
図面を引用しながら行なう以下の説明から更に明らかに
なるであろう。図中の同じ参照数字は類似した部分を示
す。
図面を引用しながら行なう以下の説明から更に明らかに
なるであろう。図中の同じ参照数字は類似した部分を示
す。
【００１１】以下の説明で「バルク（ｂｕｌｋ）」なる
語は薄膜及び極めて薄い膜デバイスと区別するために使
用する用語である。バルク磁石又はバルク材料の最小厚
みは１ ｍｍ程度であって、数センチメートルの厚みに
なることもある。本発明の方法の出発材料としては各種
永久磁石材料が使用される。本発明の方法は、フェライ
ト、アルニコ（ａｌｎｉｃｏ）材料やマグネクェンチ（
Ｍａｇｎｅｑｕｅｎｃｈ（ＲＴＭ））材料を使用すると
首尾よく行なわれ、試みた磁性材料は全てうまくいった
。出発磁性材料に一番必要なことは、保磁力の温度依存
性が大きく、周囲のバルク材料を磁化せずに局部を加熱
・磁化できることである。一般に、保磁力は加熱された
材料の温度が上昇するにつれ、その材料のキュリー温度
に達するまで低下する。この方法に必要な温度は磁化の
強さに関係する。しかしながら、温度の関数として更に
複雑な磁気挙動を示し、キュリー点よりも低い温度の加
熱でも磁気的変化を十分に起こすような磁性合金がある
。例えば、Ｎｄ２Ｃｏ１４Ｂは温度Ｔｓ でスピン−再
−配向相転移（ｓｐｉｎ−ｒｅ−ｏｒｉｅｎｔａｔｉｏ
ｎ ｐｈａｓｅ ｔｒａｎｓｉｔｉｏｎ）を示す。Ｔｓ
より低い温度だと、このような材料は軸的容易方向（ａ
ｘｉａｌ ｅａｓｙ ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ）を示し、Ｔ
ｓより高い温度だと、磁気モーメントは基面内で自由に
回転する。すなわち、どちらの材料にこのパターン化法
を適用する際にもキュリー温度に到達する必要はない。
語は薄膜及び極めて薄い膜デバイスと区別するために使
用する用語である。バルク磁石又はバルク材料の最小厚
みは１ ｍｍ程度であって、数センチメートルの厚みに
なることもある。本発明の方法の出発材料としては各種
永久磁石材料が使用される。本発明の方法は、フェライ
ト、アルニコ（ａｌｎｉｃｏ）材料やマグネクェンチ（
Ｍａｇｎｅｑｕｅｎｃｈ（ＲＴＭ））材料を使用すると
首尾よく行なわれ、試みた磁性材料は全てうまくいった
。出発磁性材料に一番必要なことは、保磁力の温度依存
性が大きく、周囲のバルク材料を磁化せずに局部を加熱
・磁化できることである。一般に、保磁力は加熱された
材料の温度が上昇するにつれ、その材料のキュリー温度
に達するまで低下する。この方法に必要な温度は磁化の
強さに関係する。しかしながら、温度の関数として更に
複雑な磁気挙動を示し、キュリー点よりも低い温度の加
熱でも磁気的変化を十分に起こすような磁性合金がある
。例えば、Ｎｄ２Ｃｏ１４Ｂは温度Ｔｓ でスピン−再
−配向相転移（ｓｐｉｎ−ｒｅ−ｏｒｉｅｎｔａｔｉｏ
ｎ ｐｈａｓｅ ｔｒａｎｓｉｔｉｏｎ）を示す。Ｔｓ
より低い温度だと、このような材料は軸的容易方向（ａ
ｘｉａｌ ｅａｓｙ ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ）を示し、Ｔ
ｓより高い温度だと、磁気モーメントは基面内で自由に
回転する。すなわち、どちらの材料にこのパターン化法
を適用する際にもキュリー温度に到達する必要はない。
【００１２】ＭＱ１及びＭＱ２なる材料は、高エネルギ
ーを有するＮｄＦｅＢ基合金の製品であり、ゼネラル
モータース コーポレーション（Ｇｅｎｅｒａｌ
Ｍｏｔｏｒｓ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ）の商品である
。リー（Ｌｅｅ）の米国特許第４，７９２，３６７号は
、希土類−鉄−ホウ素基合金であってコバルト等その他
の適当な合金成分を含有してもよいＭＱ２材料を開示し
ている。この材料から永久磁石を形成する好適方法は、
前駆体の溶融混合物を溶融紡糸により過冷却して、固有
保磁力を殆ど有していない非晶質又は極めて微結晶質の
材料を得た後、ホットプレスにより所望の硬磁性に最適
の寸法まで結晶成長を促進させる方法である。別法は、
この材料をホットプレス及び加熱加工して主にＮｄ２Ｆ
ｅ１４Ｂ−型相からなる所望細粒の再結晶化ミクロ構造
を形成する方法である。極めて高い磁気残留及び高い磁
気エネルギーと共に１５ ｋＯｅを超える固有室温保磁
力が得られる。ＭＱ１磁石は、同様な粉末形態の焼鈍材
料をエポキシ樹脂で接合して製造される。
ーを有するＮｄＦｅＢ基合金の製品であり、ゼネラル
モータース コーポレーション（Ｇｅｎｅｒａｌ
Ｍｏｔｏｒｓ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ）の商品である
。リー（Ｌｅｅ）の米国特許第４，７９２，３６７号は
、希土類−鉄−ホウ素基合金であってコバルト等その他
の適当な合金成分を含有してもよいＭＱ２材料を開示し
ている。この材料から永久磁石を形成する好適方法は、
前駆体の溶融混合物を溶融紡糸により過冷却して、固有
保磁力を殆ど有していない非晶質又は極めて微結晶質の
材料を得た後、ホットプレスにより所望の硬磁性に最適
の寸法まで結晶成長を促進させる方法である。別法は、
この材料をホットプレス及び加熱加工して主にＮｄ２Ｆ
ｅ１４Ｂ−型相からなる所望細粒の再結晶化ミクロ構造
を形成する方法である。極めて高い磁気残留及び高い磁
気エネルギーと共に１５ ｋＯｅを超える固有室温保磁
力が得られる。ＭＱ１磁石は、同様な粉末形態の焼鈍材
料をエポキシ樹脂で接合して製造される。
【００１３】磁石をパターン化する方法は、板、ディス
ク又は環等任意の形状のバルク永久磁石に適用される。 図１の例は、上面１２及び下面１４を有する磁化されて
いない又は消磁された永久磁石材料の平板すなわち基材
１０である。この基材１０は磁界１６内に配置される。 次にレーザビーム１８を表面１２上へパターン状に照射
してある容積を加熱し、その内部の保磁力をバルク材料
のそれから磁界の強さ以下の値まで低下させる。磁界１
６は加熱された容積をそれが冷却してその保磁力を再取
得する際に磁化する。磁界の方向が磁石の極を決定し、
磁界の方向を変えることによりパターンの色々の部分に
色々の極性を持たせることができる。このようにして、
材料のミクロ構造を変えずに表面上に磁界強さの大きな
域の格子又はその他のパターンを書き込むことが可能に
なる。材料のキュリー温度より低い温度で磁界強さの大
きいパターンを形成する際には、印加される外部磁界は
その域を高度に分極する十分な大きさを有していなけれ
ばならないことに留意を要する。この強い印加外部磁界
は、基材の熱影響を受けない域内の磁気モーメントの配
列も増加させる傾向を有する。コントラストを最大にす
るには、材料のキュリー温度より高いあるパターンをも
った温度で中度の磁界強さを用いる必要がある。
ク又は環等任意の形状のバルク永久磁石に適用される。 図１の例は、上面１２及び下面１４を有する磁化されて
いない又は消磁された永久磁石材料の平板すなわち基材
１０である。この基材１０は磁界１６内に配置される。 次にレーザビーム１８を表面１２上へパターン状に照射
してある容積を加熱し、その内部の保磁力をバルク材料
のそれから磁界の強さ以下の値まで低下させる。磁界１
６は加熱された容積をそれが冷却してその保磁力を再取
得する際に磁化する。磁界の方向が磁石の極を決定し、
磁界の方向を変えることによりパターンの色々の部分に
色々の極性を持たせることができる。このようにして、
材料のミクロ構造を変えずに表面上に磁界強さの大きな
域の格子又はその他のパターンを書き込むことが可能に
なる。材料のキュリー温度より低い温度で磁界強さの大
きいパターンを形成する際には、印加される外部磁界は
その域を高度に分極する十分な大きさを有していなけれ
ばならないことに留意を要する。この強い印加外部磁界
は、基材の熱影響を受けない域内の磁気モーメントの配
列も増加させる傾向を有する。コントラストを最大にす
るには、材料のキュリー温度より高いあるパターンをも
った温度で中度の磁界強さを用いる必要がある。
【００１４】実験では、マグネクェンチ及び硬質フェラ
イト永久磁石材料の試料を使用した。ＭＱ１試料は厚み
１．４ ｍｍの平らなウエハーの形態にあり、ＭＱ２試
料は大きな材料ブロックから９ ｍｍ乃至０．９ ｍｍ
の種々の厚みに切り出したものであった。マグネクェン
チ材料のキュリー温度は約３１２℃である。硬質フェラ
イト試料は焼結ＢａＯ−６Ｆｅ２Ｏ３型であった。各試
料は厚み６．２ ｍｍ、内径１８．５ ｍｍ及び外径４
３．５ ｍｍの環状であった。このフェライト材料のキ
ュリー温度は約４５０℃である。これらの試料は全て熱
的に消磁するか、或いは磁化されていない状態で得た。
イト永久磁石材料の試料を使用した。ＭＱ１試料は厚み
１．４ ｍｍの平らなウエハーの形態にあり、ＭＱ２試
料は大きな材料ブロックから９ ｍｍ乃至０．９ ｍｍ
の種々の厚みに切り出したものであった。マグネクェン
チ材料のキュリー温度は約３１２℃である。硬質フェラ
イト試料は焼結ＢａＯ−６Ｆｅ２Ｏ３型であった。各試
料は厚み６．２ ｍｍ、内径１８．５ ｍｍ及び外径４
３．５ ｍｍの環状であった。このフェライト材料のキ
ュリー温度は約４５０℃である。これらの試料は全て熱
的に消磁するか、或いは磁化されていない状態で得た。
【００１５】
【実施例１】図２に示した装置を本発明の方法の簡単な
形態を示すために使用した。１９ ｍｍ×１４ ｍｍ×
９ ｍｍの平らなＭＱ２磁石１０の表面を研磨し、真空
炉内で３５０℃に３０分間加熱して熱的に消磁した。冷
却後、「全ラインモード」で動作するアルゴンイオンレ
ーザを用い、鏡２２を経由して試料表面を走査した。焦
点距離３５０ ｍｍのレンズを用いて、基材の表面上に
入射する直径約１５０ μｍの僅かに焦点をはずしたビ
ームを形成した。このレーザは、試料近くで測定して６
Ｗのパワーで動作した。モータ駆動の並進台（図に示
していない）を用いて試料を定常ビームの前面で０．３
３ ｍｍ／秒で移動させた（より速めの走査速度が望ま
しく、等しく有効である）。パターン化の間、馬蹄形磁
石２６が発生する ３ ｋＯｅの強さの磁界を試料に印
加した。このようにして、トラック間隔２ ｍｍの４−
レーザビーム修正トラックの格子でこの試料を被覆した
。
形態を示すために使用した。１９ ｍｍ×１４ ｍｍ×
９ ｍｍの平らなＭＱ２磁石１０の表面を研磨し、真空
炉内で３５０℃に３０分間加熱して熱的に消磁した。冷
却後、「全ラインモード」で動作するアルゴンイオンレ
ーザを用い、鏡２２を経由して試料表面を走査した。焦
点距離３５０ ｍｍのレンズを用いて、基材の表面上に
入射する直径約１５０ μｍの僅かに焦点をはずしたビ
ームを形成した。このレーザは、試料近くで測定して６
Ｗのパワーで動作した。モータ駆動の並進台（図に示
していない）を用いて試料を定常ビームの前面で０．３
３ ｍｍ／秒で移動させた（より速めの走査速度が望ま
しく、等しく有効である）。パターン化の間、馬蹄形磁
石２６が発生する ３ ｋＯｅの強さの磁界を試料に印
加した。このようにして、トラック間隔２ ｍｍの４−
レーザビーム修正トラックの格子でこの試料を被覆した
。
【００１６】 この格子を含む試料１０をインジウム−
錫（ＩｎＳｎ）磁気抵抗の前面で試料と磁気抵抗との間
隔を約０．１ ｍｍにして並進させた。図３は、試料１
０上の格子に沿った位置に対する磁気抵抗を示す。矢印
で示した抵抗ピークは格子のトラックで発生する。この
ピークは抵抗値のおよそ５乃至１０％増であり、１００
Ｇまでの磁束密度変化に相当する。磁気信号の強さは加
熱の影響を受ける域の幾何学的形状及び磁石の飽和磁化
のみに制限されるものであって、ここで報告した値より
も強い磁気信号強さも達成可能である。
錫（ＩｎＳｎ）磁気抵抗の前面で試料と磁気抵抗との間
隔を約０．１ ｍｍにして並進させた。図３は、試料１
０上の格子に沿った位置に対する磁気抵抗を示す。矢印
で示した抵抗ピークは格子のトラックで発生する。この
ピークは抵抗値のおよそ５乃至１０％増であり、１００
Ｇまでの磁束密度変化に相当する。磁気信号の強さは加
熱の影響を受ける域の幾何学的形状及び磁石の飽和磁化
のみに制限されるものであって、ここで報告した値より
も強い磁気信号強さも達成可能である。
【００１７】
【実施例２】図４の装置を用いて交代する磁極をもつ管
状試料３０を磁気的にパターン化した。１ｋＯｅの磁界
を発生する一対の間を隔てて配されるソレノイド３２、
３４を試料３０が磁界内にうまく入るように配置する。 ソレノイド３２には中心孔３５があり、レーザビームは
そこを経由して試料に達する。長さ１０ ｍｍ、内径
１９ ｍｍ 及び外径２１．５ ｍｍの環状に接合した
ＭＱ１基材を磁化されていない状態で得た。「全ライン
モード」で動作するアルゴンイオンレーザを用いて試料
の表面を走査した。焦点距離３５０ ｍｍのレンズ３６
を用い、基材表面上に入射する直径約１５０ μｍの僅
かに焦点をはずしたビームを形成した。このレーザは、
試料付近で測定して６Ｗのパワーで動作した。モータ駆
動の並進台（図示していない）を用い、定常ビームの前
面で試料を軸方向に ０．３３ ｍｍ／秒の速度で移動
させた（より速めの走査速度が望ましく、等しく有効で
ある）。このように一トラックを一方の磁極で磁化させ
て試料にインデックスを付け、磁界を反転させて次のト
ラックを走査して反対の磁極に磁化させる。このように
して試料３０に４８個のＮ−Ｓが交代するトラックを付
与した。再度述べるが、ここで報告したものより強い磁
気信号の強さをこの方法で達成することができる。
状試料３０を磁気的にパターン化した。１ｋＯｅの磁界
を発生する一対の間を隔てて配されるソレノイド３２、
３４を試料３０が磁界内にうまく入るように配置する。 ソレノイド３２には中心孔３５があり、レーザビームは
そこを経由して試料に達する。長さ１０ ｍｍ、内径
１９ ｍｍ 及び外径２１．５ ｍｍの環状に接合した
ＭＱ１基材を磁化されていない状態で得た。「全ライン
モード」で動作するアルゴンイオンレーザを用いて試料
の表面を走査した。焦点距離３５０ ｍｍのレンズ３６
を用い、基材表面上に入射する直径約１５０ μｍの僅
かに焦点をはずしたビームを形成した。このレーザは、
試料付近で測定して６Ｗのパワーで動作した。モータ駆
動の並進台（図示していない）を用い、定常ビームの前
面で試料を軸方向に ０．３３ ｍｍ／秒の速度で移動
させた（より速めの走査速度が望ましく、等しく有効で
ある）。このように一トラックを一方の磁極で磁化させ
て試料にインデックスを付け、磁界を反転させて次のト
ラックを走査して反対の磁極に磁化させる。このように
して試料３０に４８個のＮ−Ｓが交代するトラックを付
与した。再度述べるが、ここで報告したものより強い磁
気信号の強さをこの方法で達成することができる。
【００１８】多極磁石３０をホール効果磁気センサの前
面でそれから約０．２５ ｍｍ隔てて回転させた。ホー
ル効果センサからの出力を回転角の関数として図５に示
す。測定された磁界の強さは、一極の−２５０ Ｇと他
極の２５０ Ｇとの間で変化した。
面でそれから約０．２５ ｍｍ隔てて回転させた。ホー
ル効果センサからの出力を回転角の関数として図５に示
す。測定された磁界の強さは、一極の−２５０ Ｇと他
極の２５０ Ｇとの間で変化した。
【００１９】引き続き各厚みの磁石でトラック間の間隔
を狭くして実験しても本質的に同一の結果が得られた。 上記の条件下で処理した十分に薄い磁石（厚み約１ｍｍ
以下）では、熱の影響を受ける域は試料全厚みのかなり
の割合を占める深さまで拡がる。この場合、格子パター
ンは磁石のパターン化された面とパターン化されていな
い面（すなわち裏面）の両面で磁気抵抗により読み取る
ことができる。平滑に研磨された磁石及び表面研磨され
た磁石は等しく良好に機能することが測定された。
を狭くして実験しても本質的に同一の結果が得られた。 上記の条件下で処理した十分に薄い磁石（厚み約１ｍｍ
以下）では、熱の影響を受ける域は試料全厚みのかなり
の割合を占める深さまで拡がる。この場合、格子パター
ンは磁石のパターン化された面とパターン化されていな
い面（すなわち裏面）の両面で磁気抵抗により読み取る
ことができる。平滑に研磨された磁石及び表面研磨され
た磁石は等しく良好に機能することが測定された。
【００２０】レーザ及び走査パラメータをその他の組み
合わせにしても結果に基本的な違いは無かった。レーザ
溶融が起きたり一部の材料が除かれて表面チャンネルを
形成する場合もあったが、この様なトラックに対する磁
気抵抗の応答は、未溶融トラックにより形成される応答
とは区別できなかった。ＭＱ１試料は特に融解され易い
ものであったが、磁気的な結果は同等であった。フェラ
イト環磁石も表面チャンネルを形成し、磁気抵抗力はマ
グネクェンチ磁石に定性的に類似していたが、総合的な
信号はより小さかった。
合わせにしても結果に基本的な違いは無かった。レーザ
溶融が起きたり一部の材料が除かれて表面チャンネルを
形成する場合もあったが、この様なトラックに対する磁
気抵抗の応答は、未溶融トラックにより形成される応答
とは区別できなかった。ＭＱ１試料は特に融解され易い
ものであったが、磁気的な結果は同等であった。フェラ
イト環磁石も表面チャンネルを形成し、磁気抵抗力はマ
グネクェンチ磁石に定性的に類似していたが、総合的な
信号はより小さかった。
【００２１】加熱されたトラックからの磁界は、加熱の
深さ、従って磁化される容積を増やすことにより更に強
くすることができる。例えば、エネルギービームを基材
の表面上に導き、表面とエネルギービームを互いに相対
的に移動させ、かつ、ビームのパワー密度を変えて処理
されるパターンの深さ及びパターンにより形成される磁
束密度を変えることにより基材を予め定められたパター
ンで加熱することができる。ビームのパワー密度は、こ
の相対運動の間に連続的若しくは間欠的に変えることが
でき、所望ならば相対運動速度を変えることもできる。 この加熱深さを増やす技術は、別のレーザビームを用い
て薄い基材の両面を同時に加熱し、パターン幅を広げず
に有効深さを増やす技術である。
深さ、従って磁化される容積を増やすことにより更に強
くすることができる。例えば、エネルギービームを基材
の表面上に導き、表面とエネルギービームを互いに相対
的に移動させ、かつ、ビームのパワー密度を変えて処理
されるパターンの深さ及びパターンにより形成される磁
束密度を変えることにより基材を予め定められたパター
ンで加熱することができる。ビームのパワー密度は、こ
の相対運動の間に連続的若しくは間欠的に変えることが
でき、所望ならば相対運動速度を変えることもできる。 この加熱深さを増やす技術は、別のレーザビームを用い
て薄い基材の両面を同時に加熱し、パターン幅を広げず
に有効深さを増やす技術である。
【００２２】外部磁界は、加熱されていない基材の磁化
に影響を与えるほど強くしてはならない。製造対象製品
によっては未加熱バルク材料の低水準磁化は許容される
が、このような磁化は一般に最小でなければならない。
に影響を与えるほど強くしてはならない。製造対象製品
によっては未加熱バルク材料の低水準磁化は許容される
が、このような磁化は一般に最小でなければならない。
【００２３】常法によりパターン化磁石を製造する際に
は、磁石の各タイプ毎に特殊な磁化固定が行われ、磁石
パターンの解像度が制限される。しかしながら、レーザ
処理による磁石のパターン化は極めて正確に行うことが
できるので、表面上に極めて高密度の磁極を許容する。 容易に達成できる密度は、０．８ ｍｍの加熱影響幅を
もつ各トラックについて、１ｍｍ当り１磁極である。複
数の交代する磁極を有して複数の交代する強い磁束密度
の磁界を発生する実施例２で製造したような磁石では、
センサ輪上の所与数の磁極に対し、このレーザ法は輪の
直径を短縮し、磁石容積を減らし、費用を下げ且つ包装
を容易にする。出発ブランクが磁化されておらず、交代
する磁極は磁界内のレーザにより刻印付けされるので、
この方法は製造の観点からも簡単である。更にこの磁化
法は、レーザビーム強度、軌道及び走査速度を例えばコ
ンピュータコントロールにより容易に制御できるので高
度に柔軟性に富む方法である。従って、各種センサ輪の
製造に同じ磁化装置を使用することができる。
は、磁石の各タイプ毎に特殊な磁化固定が行われ、磁石
パターンの解像度が制限される。しかしながら、レーザ
処理による磁石のパターン化は極めて正確に行うことが
できるので、表面上に極めて高密度の磁極を許容する。 容易に達成できる密度は、０．８ ｍｍの加熱影響幅を
もつ各トラックについて、１ｍｍ当り１磁極である。複
数の交代する磁極を有して複数の交代する強い磁束密度
の磁界を発生する実施例２で製造したような磁石では、
センサ輪上の所与数の磁極に対し、このレーザ法は輪の
直径を短縮し、磁石容積を減らし、費用を下げ且つ包装
を容易にする。出発ブランクが磁化されておらず、交代
する磁極は磁界内のレーザにより刻印付けされるので、
この方法は製造の観点からも簡単である。更にこの磁化
法は、レーザビーム強度、軌道及び走査速度を例えばコ
ンピュータコントロールにより容易に制御できるので高
度に柔軟性に富む方法である。従って、各種センサ輪の
製造に同じ磁化装置を使用することができる。
【００２４】その他のタイプのパターン化磁石も、この
レーザ法により容易に製造される。輪又は板上に単純な
格子を製造する代わりに、表面の加熱並びに磁界の方向
を調節して不連続な線セグメント又はスポットの所望の
配列を形成し、それにより図６に示すように磁石の表面
をデジタルコード化することができる。線セグメント４
１又はドットからなるデジタルコードの３個のトラック
４０を有するコード輪３８は、輪に隣接する３個のセン
サ４２により読み取られる。処理時に平行線配列内にあ
る輪を横切ってレーザビームを照射し、刻印付けを望ま
ぬ場所ではレーザビーム照射を中断する。
レーザ法により容易に製造される。輪又は板上に単純な
格子を製造する代わりに、表面の加熱並びに磁界の方向
を調節して不連続な線セグメント又はスポットの所望の
配列を形成し、それにより図６に示すように磁石の表面
をデジタルコード化することができる。線セグメント４
１又はドットからなるデジタルコードの３個のトラック
４０を有するコード輪３８は、輪に隣接する３個のセン
サ４２により読み取られる。処理時に平行線配列内にあ
る輪を横切ってレーザビームを照射し、刻印付けを望ま
ぬ場所ではレーザビーム照射を中断する。
【００２５】このレーザ磁化法により、更に別種のエン
コーダを製作することができる。図７に示すように、環
又はその他の形状の基材４４に任意の順序、すなわちパ
ターンが規則的に交代しないＮ極とＳ極とを有する磁気
トラック４６を付与することができる。磁極の順序は、
例えばＮ、Ｎ、Ｎ、Ｓ、Ｓ、Ｎ、Ｓ、Ｎ、Ｎ等といった
具合である。
コーダを製作することができる。図７に示すように、環
又はその他の形状の基材４４に任意の順序、すなわちパ
ターンが規則的に交代しないＮ極とＳ極とを有する磁気
トラック４６を付与することができる。磁極の順序は、
例えばＮ、Ｎ、Ｎ、Ｓ、Ｓ、Ｎ、Ｓ、Ｎ、Ｎ等といった
具合である。
【００２６】このレーザ法によりアナログ磁石パターン
も製作することができる。図８に示すように、非磁性材
料４８は磁界内でレーザにより処理して磁束密度を発生
させたＶ字形の磁気パターンを有し、この磁束密度はパ
ターンに沿って徐々に変化し、パターン５０が広くなる
につれて強くなる。この磁気パターンは磁気抵抗センサ
５２により測定される。センサ抵抗は磁界の強さの関数
として変化し、従って磁石とセンサとの相対位置に従っ
て変化する。基材４８とセンサ５２との相対移動に応じ
てセンサはランプ（ｒａｍｐ）信号を発生する。この例
はポテンシオメータであり、回転ポテンシオメータでは
環状基材上に、直線ポテンシオメータでは平板上に刻印
付けされる。図９に示すように、徐々に深さを変えトラ
ックに沿って磁界を徐々に変えるようなレーザ処理トラ
ック５６を有する基材５４上でも同じ効果を得ることが
できる。図１０は、加熱されるトラック６０の深さ及び
幅は均一であるが、トラック６０の加熱時に変動外部磁
界６２を加えた結果磁界の強さが変化するような基材５
８の断面を示すものである。
も製作することができる。図８に示すように、非磁性材
料４８は磁界内でレーザにより処理して磁束密度を発生
させたＶ字形の磁気パターンを有し、この磁束密度はパ
ターンに沿って徐々に変化し、パターン５０が広くなる
につれて強くなる。この磁気パターンは磁気抵抗センサ
５２により測定される。センサ抵抗は磁界の強さの関数
として変化し、従って磁石とセンサとの相対位置に従っ
て変化する。基材４８とセンサ５２との相対移動に応じ
てセンサはランプ（ｒａｍｐ）信号を発生する。この例
はポテンシオメータであり、回転ポテンシオメータでは
環状基材上に、直線ポテンシオメータでは平板上に刻印
付けされる。図９に示すように、徐々に深さを変えトラ
ックに沿って磁界を徐々に変えるようなレーザ処理トラ
ック５６を有する基材５４上でも同じ効果を得ることが
できる。図１０は、加熱されるトラック６０の深さ及び
幅は均一であるが、トラック６０の加熱時に変動外部磁
界６２を加えた結果磁界の強さが変化するような基材５
８の断面を示すものである。
【００２７】このパターン化された磁石は、単極（すな
わち、全処理域が同一極性である）及び複極の両者とも
、デジタルエンコーダ及びアナログデバイスとして有用
であり、更には複極デバイスはステッパーモータ磁石と
して使用することができる。図１１に示すような交代す
る磁極６６を有する環状磁石６４と回転子搭載手段（図
に示していない）とがモータ電機子を包含する。
わち、全処理域が同一極性である）及び複極の両者とも
、デジタルエンコーダ及びアナログデバイスとして有用
であり、更には複極デバイスはステッパーモータ磁石と
して使用することができる。図１１に示すような交代す
る磁極６６を有する環状磁石６４と回転子搭載手段（図
に示していない）とがモータ電機子を包含する。
【００２８】レーザビームでトラックを加熱するのが好
適ではあるが、電子ビームや電気スパーク加熱技術等の
その他の手段を使用することも考えられる。表面接触加
熱はエネルギーによるパターン加熱の別法である。これ
は、加熱されパターン化された要素すなわち「焼きつけ
アイロン」を磁石に押し付けて、伝導により磁石を局部
加熱することからなる。
適ではあるが、電子ビームや電気スパーク加熱技術等の
その他の手段を使用することも考えられる。表面接触加
熱はエネルギーによるパターン加熱の別法である。これ
は、加熱されパターン化された要素すなわち「焼きつけ
アイロン」を磁石に押し付けて、伝導により磁石を局部
加熱することからなる。
【図１】本発明の方法により磁気的にパターン化される
基材の概要図である。
基材の概要図である。
【図２】本発明に従って基材を処理するための装置の一
実施態様の概要図である。
実施態様の概要図である。
【図３】本発明に従ってパターン化された磁界の強さの
グラフである。
グラフである。
【図４】 本発明に従って管状基材を磁気的にパター
ン化する別装置の概要図である。
ン化する別装置の概要図である。
【図５】図４の装置にて処理されたパターン化管状磁石
の磁界の強さを示すグラフである。
の磁界の強さを示すグラフである。
【図６】 本発明に従って製造された多トラックデジ
タル化磁石の等角投影図である。
タル化磁石の等角投影図である。
【図７】 本発明の非対称パターンの磁極を有するコ
ード化された磁石の等角投影図である。
ード化された磁石の等角投影図である。
【図８】 本発明に従う磁石のアナログパターンの等
角投影図である。
角投影図である。
【図９】本発明に従う磁石のアナログパターンの断面図
である。
である。
【図１０】本発明に従う他の磁石のアナログパターンの
断面図である。
断面図である。
【図１１】本発明に従うモーター電機子用磁極交代磁石
の等角投影図である。
の等角投影図である。
１０ 基材
１２ 基材の上面
１４ 基材の下面
１６ 磁界
１８ レーザビーム
２０ 加熱された容積
２２ 鏡
２４ レンズ
２６ 馬蹄形磁石
３０ 環状基材、多極磁石
３２ ソレノイド
３４ ソレノイド
３５ 中央孔
３６ レンズ
３８ コード輪
４０ トラック
４１ 線セグメント
４２ センサ
４４ 環状基材、多極磁石
４６ 磁気トラック
４８ 非磁性基材
５０ Ｖ字形磁気パターン
５２ 磁気抵抗センサ
５４ 基材
５６ レーザ処理トラック
５８ 基材
６０ トラック
６２ 強さが変化する磁界
６４ 環状磁石
６６ 磁極
Claims (22)
- 【請求項１】 磁化可能な材料（１０）の表面（１２
）上にパターン状にエネルギー（１８）を送ることによ
り前記の磁化可能な材料（１０）に磁気的パターンを付
与する方法であって、前記の磁化可能な材料（１０）が
最小厚み１ｍｍ程度の磁化されていない永久磁石バルク
ベース材料（１０）であり、かつ、該方法が、前記の材
料（１０）のある容積（２０）をその保磁力を低下させ
る閾温度に加熱するため、前記の磁化されていない永久
磁石ベース材料（１０）の前記表面（１２）上に前記の
パターンをなす前記エネルギー（１８）を送る工程；加
熱された容積（２０）の保磁力より強く且つ前記の加熱
された容積（２０）の周囲の未加熱材料を著しく磁化さ
せるほど十分に強くない磁界（１６）を該パターン上に
印加することにより該パターンを選択的に磁化する工程
；及び材料（１０）を放置冷却し、それにより処理され
たパターンが磁気センサにより容易に検出される磁束密
度を発生する工程からなることを特徴とする磁化可能な
材料（１０）に磁気的パターンを付与する方法。 - 【請求項２】 材料（１０）の種々の表面域上にエネ
ルギーを逐次送ることによりパターンを形成し、かつ、
磁界（１６）を印加する工程が、加熱対象の各域に対し
て同一の磁界方向を維持し、それにより全域が同一磁極
を有する磁化域のパターンを形成する工程を包含する請
求項１の磁化可能な材料（１０）に磁気的パターンを付
与する方法。 - 【請求項３】 種々の表面域上にエネルギーを逐次送
ることによりパターンを形成し、かつ、磁界を印加する
工程が、加熱対象各域の所望の磁気的極性に従って極性
を変え、それにより材料（１０）の表面（１２）にＮ極
とＳ極の両極を有する処理されたパターンを形成する工
程を包含する請求項１の磁化可能な材料（１０）に磁気
的パターンを付与する方法。 - 【請求項４】 表面（１２）上にエネルギーを送る工
程が、材料（１０）の下方にある容積（２０）の磁化に
影響を与える調節されたエネルギービーム（１８）で表
面（１２）上に書き込みを行う工程を包含する請求項１
の磁化可能な材料（１０）に磁気的パターンを付与する
方法。 - 【請求項５】 表面（１２）上にエネルギーを送って
材料（１０）をパターン状に加熱する工程が、表面上に
エネルギービーム（１８）を送る工程及び表面（１２）
とエネルギービーム（１８）とを互いに相対的に移動さ
せる工程を包含する請求項１の磁化可能な材料（１０）
に磁気的パターンを付与する方法。 - 【請求項６】 表面（１２）上にエネルギーを送って
材料（１０）をパターン状に加熱する工程が、表面（１
２）上の不連続域にエネルギービーム（１８）を送る工
程及び分離した磁気的に区別される域のパターンを形成
するよう表面（１２）とエネルギービーム（１８）を互
いに相対的に移動させる工程を包含する請求項１の磁化
可能な材料（１０）に磁気的パターンを付与する方法。 - 【請求項７】 表面（１２）上にエネルギーを送って
材料（１０）をパターン状に加熱する工程が、表面上に
エネルギービーム（１８）を送る工程、表面（１２）と
エネルギービーム（１８）とを互いに相対的に移動させ
る工程及びエネルギービームのパワー密度を変えて処理
されたパターンの深さ及びパターンによって形成される
磁束密度を変える工程を包含する請求項１の磁化可能な
材料（１０）に磁気的パターンを付与する方法。 - 【請求項８】 ビーム（１８）と表面（１２）とが互
いに相対的に移動する際にエネルギービーム（１８）の
パワー密度を連続的に変え、材料内のパターンに沿って
磁束密度が変化するパターンを形成する請求項７の磁化
可能な材料（１０）に磁気的パターンを付与する方法。 - 【請求項９】 表面（１２）上にエネルギーを送って
材料（１０）をパターン状に加熱する工程が、表面上に
エネルギービーム（１８）を送る工程、表面（１２）と
エネルギービーム（１８）とを互いに相対的に移動させ
る工程及び相対移動速度を変えて処理されたパターンの
深さ及びパターンによって形成される磁束密度を変える
工程を包含する請求項１の磁化可能な材料（１０）に磁
気的パターンを付与する方法。 - 【請求項１０】 表面（１２）上にエネルギーを送っ
て材料（１０）をパターン状に加熱する工程が、表面（
１２）上にエネルギービーム（１８）を送る工程、表面
（１２）とエネルギービーム（１８）とを互いに相対的
に移動させる工程及び磁界（１６）の強さを変えてパタ
ーンにより形成される磁束密度を変える工程を包含する
請求項１の磁化可能な材料（１０）に磁気的パターンを
付与する方法。 - 【請求項１１】 レーザビーム（１８）により表面（
１２）上にエネルギーを送る請求項１の磁化可能な材料
（１０）に磁気的パターンを付与する方法。 - 【請求項１２】 請求項１の方法により製造されるパ
ターン化された磁石であって、前記のパターン化された
磁石が１ｍｍ程度の最小厚みを有する永久磁石材料の磁
化されていない基材（１０）からなり、かつ、磁化され
たパターンは基材表面（１２）から調節された深さまで
伸長し；その方法において、未磁化基材表面（１２）上
にエネルギーをパターン状に送って材料（１０）の前記
の容積（２０）を加熱して調節された深さまでその保磁
力を低下させ；かつ、加熱された容積（２０）内の基材
（１０）を磁化するために十分な磁界（１６）を加熱さ
れたパターンに印加することを特徴とする請求項１の方
法により製造されるパターン化された磁石。 - 【請求項１３】 磁化されたパターンが、１ｍｍ未満
の最小幅と配列の１ｍｍ当たり約１ストライプの最大密
度とを有する平行なストライプの配列からなる請求項１
２のパターン化された磁石。 - 【請求項１４】 平行なストライプが同一の磁気極性
を有する請求項１３のパターン化された磁石。 - 【請求項１５】 平行なストライプが交代する磁気極
性を有する請求項１３のパターン化された磁石。 - 【請求項１６】 平行なストライプが前記の何れかの
パターンをなす磁気極性を有する請求項１３のパターン
化された磁石。 - 【請求項１７】 パターン（４０）が複数の不連続な
線（４１）からなり、各線（４１）が磁気的に読み取り
可能なコードを与えるよう配列される分離した磁性域か
ら構成される請求項１２のパターン化された磁石。 - 【請求項１８】 磁石（４８；５４）が、パターン（
５０；５６）に沿って連続的に変化する磁束密度を発生
させるパターンを包含する請求項１２のパターン化され
た磁石。 - 【請求項１９】 パターン（５６）が細長く、かつ、
パターン（５６）の深さがパターン（５６）の一端から
他端に向かって増大して、パターン（５６）長に沿って
増大する磁束密度を発生する請求項１８のパターン化さ
れた磁石。 - 【請求項２０】 パターン（４８）が細長く、かつ、
パターン（４８）の幅がパターン（４８）の一端から他
端に向かって増大して、パターン（４８）長に沿って増
大する磁束を発生する請求項１８のパターン化された磁
石。 - 【請求項２１】 基材が、交代する磁極（６６）を定
めるようパターン化されたモータ電機子である請求項１
２のパターン化された磁石。 - 【請求項２２】 基材が電気モータの環状回転子であ
り、かつ、回転子外面上に交代する磁石を定めるようパ
ターン化されている請求項１２のパターン化された磁石
。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US589359 | 1984-03-14 | ||
| US07/589,359 US5091021A (en) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | Magnetically coded device and method of manufacture |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04262502A true JPH04262502A (ja) | 1992-09-17 |
Family
ID=24357688
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3273526A Pending JPH04262502A (ja) | 1990-09-28 | 1991-09-26 | 磁気的にコ−ド化されたデバイス及びその製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US5091021A (ja) |
| EP (1) | EP0478041B1 (ja) |
| JP (1) | JPH04262502A (ja) |
| DE (1) | DE69101358T2 (ja) |
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| WO2023198530A1 (de) * | 2022-04-11 | 2023-10-19 | Zf Friedrichshafen Ag | Verfahren zum herstellen eines magnetischen oder magnetisierbaren bauteils, magnetisches oder magnetisierbares bauteil, sensorsystem, aktorsystem und fahrzeug |
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