JPH04260670A - 窒化珪素系複合焼結体の製造方法 - Google Patents
窒化珪素系複合焼結体の製造方法Info
- Publication number
- JPH04260670A JPH04260670A JP3040561A JP4056191A JPH04260670A JP H04260670 A JPH04260670 A JP H04260670A JP 3040561 A JP3040561 A JP 3040561A JP 4056191 A JP4056191 A JP 4056191A JP H04260670 A JPH04260670 A JP H04260670A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon nitride
- oxide
- carbide
- particles
- nitride
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 43
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 43
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 25
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000011882 ultra-fine particle Substances 0.000 claims abstract description 11
- 150000002902 organometallic compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 9
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims abstract description 8
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 9
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 2
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 150000001335 aliphatic alkanes Chemical class 0.000 claims 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 abstract 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 2
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000011362 coarse particle Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000009694 cold isostatic pressing Methods 0.000 description 1
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical class [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 1
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高強度、高靭性を有す
る窒化珪素系複合焼結体の製造方法に関し、自動車部品
や耐摩工具等に使用される構造用セラミックス材料を提
供するものである。
る窒化珪素系複合焼結体の製造方法に関し、自動車部品
や耐摩工具等に使用される構造用セラミックス材料を提
供するものである。
【０００２】
【従来の技術】窒化珪素は、強度、破壊靭性、耐食性、
耐摩耗性、耐熱衝撃性、耐酸化性等においてバランスの
とれた材料であり、室温さらに高温における構造部材用
エンジニアリングセラミックスとして最近注目を集めて
いる。しかしながら、自動車部品等のように材料に対し
高い信頼性と安定性が要求される分野に窒化珪素セラミ
ックスを使用していくには、破壊靭性をさらに向上させ
てその脆さを克服し、かつ強度向上を図ることが必要不
可欠である。従来、破壊靭性を向上させる技術として、
例えば特公昭６２−２６５１７３号公報に示されるよう
に、窒化珪素マトリックスに炭化珪素ウィスカ―を複合
、分散させる方法がある。この方法によれば、破壊の際
に進展する亀裂がウィスカ―によってディフレクション
したり、ウィスカ―の引き抜きや架橋が起ることにより
破壊靭性が向上すると考えられている。しかしウィスカ
―複合により破壊靭性は向上するが、逆に添加したウィ
スカ―のサイズが１〜１０μｍのオ―ダ―である上に、
その凝集を機械的に完全に取り除くことは事実上困難で
あり、これが粗大粒として破壊起点となるため材料強度
を低下する。
耐摩耗性、耐熱衝撃性、耐酸化性等においてバランスの
とれた材料であり、室温さらに高温における構造部材用
エンジニアリングセラミックスとして最近注目を集めて
いる。しかしながら、自動車部品等のように材料に対し
高い信頼性と安定性が要求される分野に窒化珪素セラミ
ックスを使用していくには、破壊靭性をさらに向上させ
てその脆さを克服し、かつ強度向上を図ることが必要不
可欠である。従来、破壊靭性を向上させる技術として、
例えば特公昭６２−２６５１７３号公報に示されるよう
に、窒化珪素マトリックスに炭化珪素ウィスカ―を複合
、分散させる方法がある。この方法によれば、破壊の際
に進展する亀裂がウィスカ―によってディフレクション
したり、ウィスカ―の引き抜きや架橋が起ることにより
破壊靭性が向上すると考えられている。しかしウィスカ
―複合により破壊靭性は向上するが、逆に添加したウィ
スカ―のサイズが１〜１０μｍのオ―ダ―である上に、
その凝集を機械的に完全に取り除くことは事実上困難で
あり、これが粗大粒として破壊起点となるため材料強度
を低下する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】したがって、従来はウ
ィスカ―を添加したり、窒化珪素を粒成長させて大きな
柱状晶の存在によって破壊靭性を向上させており、その
結果、事実上欠陥のサイズを大きくしてしまい強度が低
下するため、強度・靭性を同時に向上させることは困難
であった。そのため、窒化珪素マトリックスが粗大粒を
含まない均一微細粒で構成された組織において強度と靭
性向上の両立を図ることが課題であった。
ィスカ―を添加したり、窒化珪素を粒成長させて大きな
柱状晶の存在によって破壊靭性を向上させており、その
結果、事実上欠陥のサイズを大きくしてしまい強度が低
下するため、強度・靭性を同時に向上させることは困難
であった。そのため、窒化珪素マトリックスが粗大粒を
含まない均一微細粒で構成された組織において強度と靭
性向上の両立を図ることが課題であった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は窒化珪素結晶粒
子の表面にＣ及びＳｉを除く周期律表ＩＩａ， ＩＩＩ
ａ，ＩＶａ，Ｖａ，ＶＩａ，ＩＩｂ， ＩＩＩｂ，ＩＶ
ｂ族のうち少なくとも１種以上の元素を含む有機金属化
合物を、酸化物、炭化物又は窒化物換算で０．０１〜２
０ｖｏｌ％被覆処理し、酸化性又は非酸化性雰囲気にて
熱処理することにより、該有機金属化合物を酸化物、炭
化物又は窒化物の超微粒子に変換した後、Ｙ２Ｏ３、Ａ
ｌ２Ｏ３、ＡｌＮ，ＭｇＯのうち少なくとも２種以上の
焼結助剤を加え成形後、窒素中１４００〜１８５０℃で
焼成し、窒化珪素の粒成長過程で上記超微粒子を窒化珪
素結晶粒内に取り込み分散させることを特徴とする窒化
珪素系複合焼結体の製造方法である。本発明で得られる
ものは、マトリックスである窒化珪素質（窒化珪素及び
／又はサイアロン）結晶粒の平均粒径が短軸径３μｍ以
下、好ましくは０．５μｍ以下であり、アスペクト比が
１０以下、好ましくは６以下の粒状晶及び／又は１μｍ
以下の等軸晶からなる均一微細組織を有し、かつ窒化珪
素質結晶粒の内部に熱膨張係数の異なる異種粒子がナノ
メ―タ―オ―ダ―で分散している構造をもつ。すなわち
、欠陥サイズの小さな組織で強度低下因子を抑え、かつ
ナノ粒子の複合により結晶粒内に残留応力を発生させて
強度と靭性を向上させる。窒化珪素質結晶粒の柱状晶長
軸径は３０μｍ以下が好ましく、特に３μｍ以下がより
好ましい。分散異種粒子は、粒径が５００ｎｍ以下特に
２００ｎｍ以下、熱膨張係数が窒化珪素質結晶粒より大
きく、５×１０−６／℃以上、分散量は体積率で０．０
１〜２０％特に０．５〜５％が好ましい。
子の表面にＣ及びＳｉを除く周期律表ＩＩａ， ＩＩＩ
ａ，ＩＶａ，Ｖａ，ＶＩａ，ＩＩｂ， ＩＩＩｂ，ＩＶ
ｂ族のうち少なくとも１種以上の元素を含む有機金属化
合物を、酸化物、炭化物又は窒化物換算で０．０１〜２
０ｖｏｌ％被覆処理し、酸化性又は非酸化性雰囲気にて
熱処理することにより、該有機金属化合物を酸化物、炭
化物又は窒化物の超微粒子に変換した後、Ｙ２Ｏ３、Ａ
ｌ２Ｏ３、ＡｌＮ，ＭｇＯのうち少なくとも２種以上の
焼結助剤を加え成形後、窒素中１４００〜１８５０℃で
焼成し、窒化珪素の粒成長過程で上記超微粒子を窒化珪
素結晶粒内に取り込み分散させることを特徴とする窒化
珪素系複合焼結体の製造方法である。本発明で得られる
ものは、マトリックスである窒化珪素質（窒化珪素及び
／又はサイアロン）結晶粒の平均粒径が短軸径３μｍ以
下、好ましくは０．５μｍ以下であり、アスペクト比が
１０以下、好ましくは６以下の粒状晶及び／又は１μｍ
以下の等軸晶からなる均一微細組織を有し、かつ窒化珪
素質結晶粒の内部に熱膨張係数の異なる異種粒子がナノ
メ―タ―オ―ダ―で分散している構造をもつ。すなわち
、欠陥サイズの小さな組織で強度低下因子を抑え、かつ
ナノ粒子の複合により結晶粒内に残留応力を発生させて
強度と靭性を向上させる。窒化珪素質結晶粒の柱状晶長
軸径は３０μｍ以下が好ましく、特に３μｍ以下がより
好ましい。分散異種粒子は、粒径が５００ｎｍ以下特に
２００ｎｍ以下、熱膨張係数が窒化珪素質結晶粒より大
きく、５×１０−６／℃以上、分散量は体積率で０．０
１〜２０％特に０．５〜５％が好ましい。
【０００５】
【作用】本発明により得られるものは、窒化珪素質結晶
粒内に熱膨張係数の大きな異種粒子が分散することによ
り、焼結温度から室温への冷却時に窒化珪素質結晶粒に
熱膨張係数のミスマッチによる残留圧縮応力が発生する
。破壊の際、亀裂先端部分にこの応力場がかかることに
より、亀裂発生及び進展抵抗が増大し破壊靭性が向上す
る。このため、窒化珪素質結晶粒と異種粒子との熱膨張
係数の差は大きいほどよい。又、異種粒子がナノメ―タ
―オ―ダ―で粒内分散することとなるので、欠陥サイズ
が増大しないため、破壊靭性の向上は強度の向上に反映
される。さらに粒内分散異種粒子のまわりの応力増によ
って歪が発生し、異種粒子を中心に窒化珪素質結晶粒内
の転位の移動が促進され、転位面がサブ粒界を形成して
見掛け上マトリックス粒子が微細化し強度が向上する。 窒化珪素質結晶粒の長軸径は３０μｍを超えると欠陥と
なり強度を低下させるので好ましくない。分散異種粒子
の粒径は大きすぎると残留圧縮応力による窒化珪素質結
晶粒強化の効果が低下するので５００ｎｍ以下が好まし
く、下限は原子状で格子間に固溶している状態になる手
前の１ｎｍがよい。
粒内に熱膨張係数の大きな異種粒子が分散することによ
り、焼結温度から室温への冷却時に窒化珪素質結晶粒に
熱膨張係数のミスマッチによる残留圧縮応力が発生する
。破壊の際、亀裂先端部分にこの応力場がかかることに
より、亀裂発生及び進展抵抗が増大し破壊靭性が向上す
る。このため、窒化珪素質結晶粒と異種粒子との熱膨張
係数の差は大きいほどよい。又、異種粒子がナノメ―タ
―オ―ダ―で粒内分散することとなるので、欠陥サイズ
が増大しないため、破壊靭性の向上は強度の向上に反映
される。さらに粒内分散異種粒子のまわりの応力増によ
って歪が発生し、異種粒子を中心に窒化珪素質結晶粒内
の転位の移動が促進され、転位面がサブ粒界を形成して
見掛け上マトリックス粒子が微細化し強度が向上する。 窒化珪素質結晶粒の長軸径は３０μｍを超えると欠陥と
なり強度を低下させるので好ましくない。分散異種粒子
の粒径は大きすぎると残留圧縮応力による窒化珪素質結
晶粒強化の効果が低下するので５００ｎｍ以下が好まし
く、下限は原子状で格子間に固溶している状態になる手
前の１ｎｍがよい。
【０００６】窒化珪素質結晶粒内への異種粒子の取り込
みは、焼結中の窒化珪素の粒成長過程で起る。したがっ
て、窒化珪素結晶粒子の表面にナノメ―タ―オ―ダ―の
粒径の超微粒子が分布していれば、窒化珪素がそれを取
り込みながら粒成長することが可能である。有機金属化
合物を表面処理し、その熱分解により生成した酸化物、
炭化物又は窒化物粒子は、粒径が１〜５００ｎｍの超微
粒子となる。したがって、ミクロンオ―ダ―の酸化物、
炭化物又は窒化物粉末をサブミクロンの窒化珪素粉末と
混合した場合は、酸化物、炭化物又は窒化物粒子が焼結
後も窒化珪素の粒界に残るのに対し、本発明によれば１
４００〜１８５０℃の焼成中に窒化珪素の粒内に複合化
できる。１４００℃未満では焼結体は緻密化せず、１８
５０℃を超えると窒化珪素が分解し始めるため好ましく
ない。有機金属化合物の熱分解後に生成する超微粒子は
５００ｎｍを超えると窒化珪素粒内に取り込まれること
ができず、１ｎｍ未満であると取り込まれた後複合効果
を発揮できないため１〜５００ｎｍが好ましい。
みは、焼結中の窒化珪素の粒成長過程で起る。したがっ
て、窒化珪素結晶粒子の表面にナノメ―タ―オ―ダ―の
粒径の超微粒子が分布していれば、窒化珪素がそれを取
り込みながら粒成長することが可能である。有機金属化
合物を表面処理し、その熱分解により生成した酸化物、
炭化物又は窒化物粒子は、粒径が１〜５００ｎｍの超微
粒子となる。したがって、ミクロンオ―ダ―の酸化物、
炭化物又は窒化物粉末をサブミクロンの窒化珪素粉末と
混合した場合は、酸化物、炭化物又は窒化物粒子が焼結
後も窒化珪素の粒界に残るのに対し、本発明によれば１
４００〜１８５０℃の焼成中に窒化珪素の粒内に複合化
できる。１４００℃未満では焼結体は緻密化せず、１８
５０℃を超えると窒化珪素が分解し始めるため好ましく
ない。有機金属化合物の熱分解後に生成する超微粒子は
５００ｎｍを超えると窒化珪素粒内に取り込まれること
ができず、１ｎｍ未満であると取り込まれた後複合効果
を発揮できないため１〜５００ｎｍが好ましい。
【０００７】
【実施例】窒化珪素粉末１００ｇに対し、表１に示す分
散させる異種粒子中の金属元素を含む有機金属化合物を
それぞれ分散量に応じて有機溶剤中に溶かして混合し、
乾燥後大気中５００℃で５時間熱処理した。これらの表
面処理された粉末を透過型電子顕微鏡で観察することに
より、金属酸化物等の被膜が窒化珪素質結晶粒子の表面
に均一に生成していることを確認した。その後、該窒化
珪素質粉末に焼結助剤（Ｙ２Ｏ３５ｗｔ％−Ａｌ２Ｏ３
５ｗｔ％）を加え、湿式混合し乾燥後、１．５ｔ／ｃｍ
２の圧力で冷間静水圧プレスし成形した後、窒素中１７
５０℃で１０時間常圧焼結した。表２に各例の分散粒子
の粒径、分散量、焼結体の機械的特性値を示した。
散させる異種粒子中の金属元素を含む有機金属化合物を
それぞれ分散量に応じて有機溶剤中に溶かして混合し、
乾燥後大気中５００℃で５時間熱処理した。これらの表
面処理された粉末を透過型電子顕微鏡で観察することに
より、金属酸化物等の被膜が窒化珪素質結晶粒子の表面
に均一に生成していることを確認した。その後、該窒化
珪素質粉末に焼結助剤（Ｙ２Ｏ３５ｗｔ％−Ａｌ２Ｏ３
５ｗｔ％）を加え、湿式混合し乾燥後、１．５ｔ／ｃｍ
２の圧力で冷間静水圧プレスし成形した後、窒素中１７
５０℃で１０時間常圧焼結した。表２に各例の分散粒子
の粒径、分散量、焼結体の機械的特性値を示した。
【０００８】
【表１】
【０００９】
【表２】
【００１０】
【発明の効果】本発明により、強度、破壊靭性ともに優
れた窒化珪素系複合焼結体を得ることができ、高強度、
高靭性が要求される自動車部品をはじめとする各種構造
用部材に利用し得るセラミックスを提供することができ
る。
れた窒化珪素系複合焼結体を得ることができ、高強度、
高靭性が要求される自動車部品をはじめとする各種構造
用部材に利用し得るセラミックスを提供することができ
る。
Claims (3)
- 【請求項１】 窒化珪素結晶粒子の表面にＣ及びＳｉ
を除く周期律表ＩＩａ，ＩＩＩａ，ＩＶａ，Ｖａ，ＶＩ
ａ，ＩＩｂ，ＩＩＩｂ，ＩＶｂ族のうち少なくとも１種
以上の元素を含む有機金属化合物を、酸化物、炭化物又
は窒化物換算で０．０１〜２０ｖｏｌ％被覆処理し、酸
化性又は非酸化性雰囲気にて熱処理することにより、該
有機金属化合物を酸化物、炭化物又は窒化物の超微粒子
に変換した後、Ｙ２Ｏ３、Ａｌ２Ｏ３、ＡｌＮ，ＭｇＯ
のうち少なくとも２種以上の焼結助剤を加え成形後、窒
素中１４００〜１８５０℃で焼成し、窒化珪素の粒成長
過程で上記超微粒子を窒化珪素結晶粒内に取り込み分散
させることを特徴とする窒化珪素系複合焼結体の製造方
法。 - 【請求項２】 酸化物、炭化物又は窒化物の超微粒子
の平均粒径が１〜５００ｎｍである請求項１記載の窒化
珪素系複合焼結体の製造方法。 - 【請求項３】 有機金属化合物を酸化物、炭化物又は
窒化物の超微粒子に変換させる際の非酸化性雰囲気が真
空、Ｎ２、ＮＨ３、Ａｒ，ＣＯ，アルカンの１種又はそ
の組合せである請求項１記載の窒化珪素系複合焼結体の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3040561A JP2680938B2 (ja) | 1991-02-13 | 1991-02-13 | 窒化珪素系複合焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3040561A JP2680938B2 (ja) | 1991-02-13 | 1991-02-13 | 窒化珪素系複合焼結体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04260670A true JPH04260670A (ja) | 1992-09-16 |
| JP2680938B2 JP2680938B2 (ja) | 1997-11-19 |
Family
ID=12583876
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3040561A Expired - Lifetime JP2680938B2 (ja) | 1991-02-13 | 1991-02-13 | 窒化珪素系複合焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2680938B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002083296A1 (fr) * | 2001-04-06 | 2002-10-24 | Isi Corporation | Particules fines comprises dans une membrane ultra fine a l'etat de particules primaires et produit cosmetique utilisant celles-ci |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62162673A (ja) * | 1986-01-09 | 1987-07-18 | 三菱マテリアル株式会社 | 鋳鉄切削用サイアロン基セラミツク工具の製造法 |
-
1991
- 1991-02-13 JP JP3040561A patent/JP2680938B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62162673A (ja) * | 1986-01-09 | 1987-07-18 | 三菱マテリアル株式会社 | 鋳鉄切削用サイアロン基セラミツク工具の製造法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002083296A1 (fr) * | 2001-04-06 | 2002-10-24 | Isi Corporation | Particules fines comprises dans une membrane ultra fine a l'etat de particules primaires et produit cosmetique utilisant celles-ci |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2680938B2 (ja) | 1997-11-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3198662B2 (ja) | 窒化ケイ素系焼結体及びその製造方法 | |
| JP3228517B2 (ja) | 炭化ホウ素系複合焼結体 | |
| US5384292A (en) | Silicon nitride composite sintered body and process for producing the same | |
| JPH06219840A (ja) | 窒化珪素焼結体及びその製造方法 | |
| JP2680938B2 (ja) | 窒化珪素系複合焼結体の製造方法 | |
| JP2776471B2 (ja) | 窒化珪素系複合焼結体 | |
| JP2641993B2 (ja) | 窒化珪素系複合焼結体の製造方法 | |
| US5637540A (en) | Sintered silicon nitride of high toughness, strength and reliability | |
| JP2002513374A (ja) | 高い強度と応力破断抵抗を有するガス圧焼結された窒化ケイ素 | |
| JP3328280B2 (ja) | 高い靭性、強度及び信頼性を有する焼結窒化ケイ素 | |
| JPH05178668A (ja) | 窒化ケイ素−窒化チタン複合焼結体及びその製造方法 | |
| JP2985519B2 (ja) | 粒子分散型ＺｒＯ２系セラミックス材料及びその製造方法 | |
| JPH04202058A (ja) | 窒化珪素系複合焼結体 | |
| JP2695070B2 (ja) | 窒化珪素−炭化珪素複合焼結体の製造方法 | |
| JPH02199065A (ja) | 高熱伝導性炭化珪素焼結体及びその製造方法 | |
| JPH0543325A (ja) | 窒化珪素系複合焼結体 | |
| JP2691283B2 (ja) | 炭化珪素ウイスカー及びその製造方法 | |
| JP2743638B2 (ja) | 高靭性窒化珪素系複合焼結体およびその製造方法 | |
| JPH11130543A (ja) | β型窒化ケイ素結晶およびその製造方法ならびに窒化ケイ素質焼結体の製造方法 | |
| JPH03177372A (ja) | ＳｉＣ基多孔質焼結体及びＳｉＣ基多孔質焼結体の製造方法 | |
| JP2657979B2 (ja) | 複合セラミックスの成形加工法 | |
| JPH08245264A (ja) | 窒化珪素−窒化チタン系複合セラミックス及びその製造方法 | |
| JPH05186270A (ja) | 窒化ケイ素−炭化ケイ素複合焼結体の製造方法 | |
| JPH0669905B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体およびその製造方法 | |
| JPH02199066A (ja) | 導電性炭化珪素焼結体及びその製造方法 |