JPH04240529A - 波長モニタ装置 - Google Patents
波長モニタ装置Info
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- JPH04240529A JPH04240529A JP2142891A JP2142891A JPH04240529A JP H04240529 A JPH04240529 A JP H04240529A JP 2142891 A JP2142891 A JP 2142891A JP 2142891 A JP2142891 A JP 2142891A JP H04240529 A JPH04240529 A JP H04240529A
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- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 title abstract description 13
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 37
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 50
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
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- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、レ−ザ光の波
長をモニタする波長モニタ装置に関する。
長をモニタする波長モニタ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、レ−ザ光の波長をモニタする波
長モニタ装置として、図３に示すようなものがある。す
なわち、この波長モニタ装置１は、レ−ザ励起部２と光
共振器３とからなるレ−ザ装置４から出射されたレ−ザ
光５の一部５ａを、第１および第２の光路切換ミラ−６
、７によって波長検出手段８へ導く。そして、波長モニ
タ装置１は、波長検出手段８において光電変換を行い、
波長検出手段８に導かれたレ−ザ光５ａの波長に応じた
出力デ−タをコンピュ−タ９に入力する。
長モニタ装置として、図３に示すようなものがある。す
なわち、この波長モニタ装置１は、レ−ザ励起部２と光
共振器３とからなるレ−ザ装置４から出射されたレ−ザ
光５の一部５ａを、第１および第２の光路切換ミラ−６
、７によって波長検出手段８へ導く。そして、波長モニ
タ装置１は、波長検出手段８において光電変換を行い、
波長検出手段８に導かれたレ−ザ光５ａの波長に応じた
出力デ−タをコンピュ−タ９に入力する。
【０００３】ここで、第１の光路切換ミラ−６はレ−ザ
装置４から出射されたレ−ザ光５の大部分５ｂを透過さ
せるとともに、レ−ザ光５の一部５ａを反射させて光路
切換を行う。
装置４から出射されたレ−ザ光５の大部分５ｂを透過さ
せるとともに、レ−ザ光５の一部５ａを反射させて光路
切換を行う。
【０００４】波長検出手段８は、図示しないが、光路切
換されたレ−ザ光５ａの波長の検出に必要な複数の光学
素子とラインセンサとを備えている。そして、波長検出
手段８は、ラインセンサにより図４に示すようなレ−ザ
光５ａのフリンジパタ−ン１０を検出し、このフリンジ
パタ−ン１０をあらわすデ−タをコンピュ−タ９へ出力
する。
換されたレ−ザ光５ａの波長の検出に必要な複数の光学
素子とラインセンサとを備えている。そして、波長検出
手段８は、ラインセンサにより図４に示すようなレ−ザ
光５ａのフリンジパタ−ン１０を検出し、このフリンジ
パタ−ン１０をあらわすデ−タをコンピュ−タ９へ出力
する。
【０００５】そして、コンピュ−タ９は、測定対象光で
あるレ−ザ光５から取出されたレ−ザ光５ａのフリンジ
パタ−ン１０を、絶対波長を知られた基準となる光源の
フリンジパタ−ンと比較し、レ−ザ光５ａの波長検出処
理を行う。
あるレ−ザ光５から取出されたレ−ザ光５ａのフリンジ
パタ−ン１０を、絶対波長を知られた基準となる光源の
フリンジパタ−ンと比較し、レ−ザ光５ａの波長検出処
理を行う。
【０００６】なお、図３中に１１で示すのは、プリズム
１２と回折格子１３とからなり、光共振器３内のレ−ザ
光５ｃの一部を取出し狭帯域化して光共振器３中に戻す
狭帯域化手段である。
１２と回折格子１３とからなり、光共振器３内のレ−ザ
光５ｃの一部を取出し狭帯域化して光共振器３中に戻す
狭帯域化手段である。
【０００７】上述のような波長モニタ装置１のモニタ結
果は、例えば図５のグラフのように表示される。そして
、波長検出手段８から出力されたフリンジパタ−ン１０
の各縞１０ａ、１０ｂ、１０ｃの部分は、図５中の山の
部分１４ａ、１４ｂ、１４ｃに対応している。さらに、
図５のグラフの０レベルは下辺部１５に一致している。
果は、例えば図５のグラフのように表示される。そして
、波長検出手段８から出力されたフリンジパタ−ン１０
の各縞１０ａ、１０ｂ、１０ｃの部分は、図５中の山の
部分１４ａ、１４ｂ、１４ｃに対応している。さらに、
図５のグラフの０レベルは下辺部１５に一致している。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の波長
モニタ装置１においては、波長検出手段８から出力され
るデ−タに、測定対象光であるレ−ザ光５に含まれフリ
ンジパタ−ン１０に表れない光成分や、レ−ザ光５以外
のＡＳＥ（自然放出光）成分等のノイズデ−タが含まれ
ている。そして、図５のモニタ結果には、上述のノイズ
デ−タが重なっており、全体的なシフト量ｙが存在して
いる。
モニタ装置１においては、波長検出手段８から出力され
るデ−タに、測定対象光であるレ−ザ光５に含まれフリ
ンジパタ−ン１０に表れない光成分や、レ−ザ光５以外
のＡＳＥ（自然放出光）成分等のノイズデ−タが含まれ
ている。そして、図５のモニタ結果には、上述のノイズ
デ−タが重なっており、全体的なシフト量ｙが存在して
いる。
【０００９】そして、図６に示すようにグラフの山の部
分１４ａ、１４ｂ、１４ｃに対するシフト量ｙの比率が
大きい場合、コンピュ−タ９による山の部分１４ａ、１
４ｂ、１４ｃが不明確になり、レ−ザ光５の波長検出処
理が困難になる。
分１４ａ、１４ｂ、１４ｃに対するシフト量ｙの比率が
大きい場合、コンピュ−タ９による山の部分１４ａ、１
４ｂ、１４ｃが不明確になり、レ−ザ光５の波長検出処
理が困難になる。
【００１０】本発明の目的とするところは、ノイズデ−
タ除去でき、正確に波長をモニタすることが可能な波長
モニタ装置を提供することにある。
タ除去でき、正確に波長をモニタすることが可能な波長
モニタ装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段および作用】上記目的を達
成するために本発明は、レ−ザ励起部によって励起され
たレ−ザ光を光共振器により共振して出射するとともに
、光共振器中のレ−ザ光の一部を取出し狭帯域化して光
共振器中に戻す狭帯域化手段を有するレ−ザ装置と、狭
帯域化手段によって取出されたレ−ザ光の光量を検出す
る光量検出手段と、光共振器により共振されたレ−ザ光
の一部を取込みこのレ−ザ光の波長を検出する波長検出
手段と、光量検出手段の出力と波長検出手段の出力との
差を検出する出力差検出手段と、この出力差検出手段の
出力を基に波長検出処理を行う波長検出処理手段とを具
備したことにある。
成するために本発明は、レ−ザ励起部によって励起され
たレ−ザ光を光共振器により共振して出射するとともに
、光共振器中のレ−ザ光の一部を取出し狭帯域化して光
共振器中に戻す狭帯域化手段を有するレ−ザ装置と、狭
帯域化手段によって取出されたレ−ザ光の光量を検出す
る光量検出手段と、光共振器により共振されたレ−ザ光
の一部を取込みこのレ−ザ光の波長を検出する波長検出
手段と、光量検出手段の出力と波長検出手段の出力との
差を検出する出力差検出手段と、この出力差検出手段の
出力を基に波長検出処理を行う波長検出処理手段とを具
備したことにある。
【００１２】こうすることによって本発明は、ノイズデ
−タ除去し、正確に波長をモニタできるようにしたこと
にある。
−タ除去し、正確に波長をモニタできるようにしたこと
にある。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１および図２に
基づいて説明する。なお、従来の技術の項で説明したも
のと重複するものについては同一番号を付し、その説明
は省略する。
基づいて説明する。なお、従来の技術の項で説明したも
のと重複するものについては同一番号を付し、その説明
は省略する。
【００１４】図１は発明の一実施例を示すものであり、
図中２１は、レ−ザ光の波長をモニタする波長モニタ装
置である。この波長モニタ装置２１は、レ−ザ装置４、
波長検出手段２２、および、光量検出手段２３を備えて
いる。
図中２１は、レ−ザ光の波長をモニタする波長モニタ装
置である。この波長モニタ装置２１は、レ−ザ装置４、
波長検出手段２２、および、光量検出手段２３を備えて
いる。
【００１５】レ−ザ装置４は、レ−ザ光５ｃを励起する
レ−ザ励起部２と、レ−ザ光５ｃの光路上に位置する２
つの光共振用の反射ミラ−３ａ、３ｂを有しレ−ザ励起
部２を両反射ミラ−３ａ、３ｂの間に介在させた光共振
器３を備えている。さらに、レ−ザ装置４は、レ−ザ光
５ｃを狭帯域化する狭帯域化手段１１を備えている。そ
して、レ−ザ装置４は、レ−ザ励起部２により励起され
たレ−ザ光５ｃを光共振器３の反射ミラ−３ａ、３ｂに
反射させて共振し、十分に共振されたレ−ザ光５を所定
方向に出射する。
レ−ザ励起部２と、レ−ザ光５ｃの光路上に位置する２
つの光共振用の反射ミラ−３ａ、３ｂを有しレ−ザ励起
部２を両反射ミラ−３ａ、３ｂの間に介在させた光共振
器３を備えている。さらに、レ−ザ装置４は、レ−ザ光
５ｃを狭帯域化する狭帯域化手段１１を備えている。そ
して、レ−ザ装置４は、レ−ザ励起部２により励起され
たレ−ザ光５ｃを光共振器３の反射ミラ−３ａ、３ｂに
反射させて共振し、十分に共振されたレ−ザ光５を所定
方向に出射する。
【００１６】狭帯域化手段１１は、光共振器３中のレ−
ザ光５ｃに面したプリズム１２と所定角度で配置された
回折格子１３とからなっている。そして、狭帯域化手段
１１は、光共振器３中のレ−ザ光５ｃの一部を取出し、
回折格子１３により狭帯域化を行い、光共振器３中に戻
す。
ザ光５ｃに面したプリズム１２と所定角度で配置された
回折格子１３とからなっている。そして、狭帯域化手段
１１は、光共振器３中のレ−ザ光５ｃの一部を取出し、
回折格子１３により狭帯域化を行い、光共振器３中に戻
す。
【００１７】レ−ザ装置４から出射されたレ−ザ光５の
大部分（出力光）５ｂは、レ−ザ光５の光路に対して傾
けられた第１の光路切換ミラ−６を透過し、そのまま直
進する。さらに、レ−ザ光５の一部５ａは、第１の光路
切換ミラ−６で反射したのち第２の光路切換ミラ−７で
再び反射し、波長検出手段２２へ導かれる。
大部分（出力光）５ｂは、レ−ザ光５の光路に対して傾
けられた第１の光路切換ミラ−６を透過し、そのまま直
進する。さらに、レ−ザ光５の一部５ａは、第１の光路
切換ミラ−６で反射したのち第２の光路切換ミラ−７で
再び反射し、波長検出手段２２へ導かれる。
【００１８】波長検出手段２２は、順に並べられた拡散
板２４、エタロン２５、結像レンズ２６、およびライン
センサ２７を備えており、ラインセンサ２７を処理部２
８に接続している。そして、波長検出手段２２は、第１
および第２の光路切換ミラ−６、７によって導かれたレ
−ザ光５ａを、拡散板２４、エタロン２５、および、結
像レンズ２６を介してラインセンサ２７に入射させ、光
電変換する。
板２４、エタロン２５、結像レンズ２６、およびライン
センサ２７を備えており、ラインセンサ２７を処理部２
８に接続している。そして、波長検出手段２２は、第１
および第２の光路切換ミラ−６、７によって導かれたレ
−ザ光５ａを、拡散板２４、エタロン２５、および、結
像レンズ２６を介してラインセンサ２７に入射させ、光
電変換する。
【００１９】光共振器３中のレ−ザ光５ｃに面したプリ
ズム１２においては、レ−ザ光５ｃから分割された反射
光２９が生じる。この反射光２９の光量は、第１の光路
切換ミラ−６を透過した出力光５ｂの光量に比例してい
る。さらに、反射光２９は、出力光５ｂとほぼ同じ比率
でＡＳＥ（自然放出光）成分を含んでいる。そして、反
射光２９は、反射ミラ−３０で反射し、減光フィルタ３
１を通過してレベル調整されたのち、光量検出手段２３
に入射する。
ズム１２においては、レ−ザ光５ｃから分割された反射
光２９が生じる。この反射光２９の光量は、第１の光路
切換ミラ−６を透過した出力光５ｂの光量に比例してい
る。さらに、反射光２９は、出力光５ｂとほぼ同じ比率
でＡＳＥ（自然放出光）成分を含んでいる。そして、反
射光２９は、反射ミラ−３０で反射し、減光フィルタ３
１を通過してレベル調整されたのち、光量検出手段２３
に入射する。
【００２０】光量検出手段２３は、反射光２９の光量を
検出し、出力光５ｂに含まれたＡＳＥ成分を基に、波長
検出手段２２へ導かれたレ−ザ光５ａ中のＡＳＥ成分の
割合を判断する。
検出し、出力光５ｂに含まれたＡＳＥ成分を基に、波長
検出手段２２へ導かれたレ−ザ光５ａ中のＡＳＥ成分の
割合を判断する。
【００２１】また、図１中に３２で示すのは出力差検出
手段としての差動増幅回路である。この差動増幅回路３
２は、波長検出手段２２と光量検出手段２３とを接続さ
れており、両検出手段２２、２３の出力差に比例した信
号を波長検出処理手段としてのコンピュ−タ３３へ送る
。
手段としての差動増幅回路である。この差動増幅回路３
２は、波長検出手段２２と光量検出手段２３とを接続さ
れており、両検出手段２２、２３の出力差に比例した信
号を波長検出処理手段としてのコンピュ−タ３３へ送る
。
【００２２】コンピュ−タ３３は、差動増幅回路３２か
ら送られた信号を波長検出処理し、測定対象光である出
力光５ｂの波長をあらわすデ−タを作成する。
ら送られた信号を波長検出処理し、測定対象光である出
力光５ｂの波長をあらわすデ−タを作成する。
【００２３】上述の波長モニタ装置２１においては、波
長検出手段２２と光量検出手段２３とが組合わされてお
り、差動増幅回路３２が、光量検出手段２３の出力を基
にして、波長検出手段２２の出力デ−タからＡＳＥ成分
に相当するノイズデ−タを除去する。そして、差動増幅
回路３２からコンピュ−タ３３へ、ＡＳＥ成分に相当す
るノイズデ−タを含まない出力信号が増幅されて送られ
、コンピュ−タ３３がこの出力信号を波長検出処理する
。
長検出手段２２と光量検出手段２３とが組合わされてお
り、差動増幅回路３２が、光量検出手段２３の出力を基
にして、波長検出手段２２の出力デ−タからＡＳＥ成分
に相当するノイズデ−タを除去する。そして、差動増幅
回路３２からコンピュ−タ３３へ、ＡＳＥ成分に相当す
るノイズデ−タを含まない出力信号が増幅されて送られ
、コンピュ−タ３３がこの出力信号を波長検出処理する
。
【００２４】そして、図２に示すようにモニタ結果には
、ＡＳＥ成分を含むことなく、フリンジパタ−ンの縞の
部分に対応する山の部分１４ａ、１４ｂ、１４ｃが明確
に示される。
、ＡＳＥ成分を含むことなく、フリンジパタ−ンの縞の
部分に対応する山の部分１４ａ、１４ｂ、１４ｃが明確
に示される。
【００２５】したがって、上述の波長モニタ装置２１は
、正確に波長をモニタすることができる。
、正確に波長をモニタすることができる。
【００２６】なお、波長モニタの出力レベルが低いとき
などは、差動増幅回路３２の出力をさらに増幅すれば、
モニタ結果の山の部分１４ａ、１４ｂ、１４ｃをより強
調することができ、波長モニタ能力が向上する。
などは、差動増幅回路３２の出力をさらに増幅すれば、
モニタ結果の山の部分１４ａ、１４ｂ、１４ｃをより強
調することができ、波長モニタ能力が向上する。
【００２７】また、コンピュ−タ３３により作成された
デ−タを、グラフや数値として表示すること、および、
レ−ザ装置４の出力制御に利用すること等が可能である
。
デ−タを、グラフや数値として表示すること、および、
レ−ザ装置４の出力制御に利用すること等が可能である
。
【００２８】さらに、本発明は要旨を逸脱しない範囲で
種々に変形することが可能である。
種々に変形することが可能である。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、レ−ザ励
起部によって励起されたレ−ザ光を光共振器により共振
して出射するとともに、光共振器中のレ−ザ光の一部を
取出し狭帯域化して光共振器中に戻す狭帯域化手段を有
するレ−ザ装置と、狭帯域化手段によって取出されたレ
−ザ光の光量を検出する光量検出手段と、光共振器によ
り共振されたレ−ザ光の一部を取込みこのレ−ザ光の波
長を検出する波長検出手段と、光量検出手段の出力と波
長検出手段の出力との差を検出する出力差検出手段と、
この出力差検出手段の出力を基に波長検出処理を行う波
長検出処理手段とを具備したものである。
起部によって励起されたレ−ザ光を光共振器により共振
して出射するとともに、光共振器中のレ−ザ光の一部を
取出し狭帯域化して光共振器中に戻す狭帯域化手段を有
するレ−ザ装置と、狭帯域化手段によって取出されたレ
−ザ光の光量を検出する光量検出手段と、光共振器によ
り共振されたレ−ザ光の一部を取込みこのレ−ザ光の波
長を検出する波長検出手段と、光量検出手段の出力と波
長検出手段の出力との差を検出する出力差検出手段と、
この出力差検出手段の出力を基に波長検出処理を行う波
長検出処理手段とを具備したものである。
【００３０】したがって本発明は、ノイズデ−タ除去で
き、正確に波長をモニタできるという効果がある。
き、正確に波長をモニタできるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例の波長モニタ装置を概略的に
示す構成図。
示す構成図。
【図２】モニタ結果を示すグラフ。
【図３】従来の波長モニタ装置の構成図。
【図４】フリンジパタ−ンを示す説明図。
【図５】モニタ結果を示すグラフ。
【図６】モニタ結果を示すグラフ。
２…レ−ザ励起部、３…光共振器、４…レ−ザ装置、１
１…狭帯域化手段、２２…波長検出手段、２３…光量検
出手段、３２…差動増幅回路（出力差検出手段）、３３
…コンピュ−タ（波長検出処理部）。
１…狭帯域化手段、２２…波長検出手段、２３…光量検
出手段、３２…差動増幅回路（出力差検出手段）、３３
…コンピュ−タ（波長検出処理部）。
Claims (1)
- 【請求項１】 レ−ザ励起部によって励起されたレ−
ザ光を光共振器により共振して出射するとともに、上記
光共振器中のレ−ザ光の一部を取出し狭帯域化して上記
光共振器中に戻す狭帯域化手段を有するレ−ザ装置と、
上記狭帯域化手段によって取出されたレ−ザ光の光量を
検出する光量検出手段と、上記光共振器により共振され
たレ−ザ光の一部を取込みこのレ−ザ光の波長を検出す
る波長検出手段と、上記光量検出手段の出力と上記波長
検出手段の出力との差を検出する出力差検出手段と、こ
の出力差検出手段の出力を基に波長検出処理を行う波長
検出処理手段とを具備した波長モニタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2142891A JPH04240529A (ja) | 1991-01-23 | 1991-01-23 | 波長モニタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2142891A JPH04240529A (ja) | 1991-01-23 | 1991-01-23 | 波長モニタ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04240529A true JPH04240529A (ja) | 1992-08-27 |
Family
ID=12054722
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2142891A Pending JPH04240529A (ja) | 1991-01-23 | 1991-01-23 | 波長モニタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04240529A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06164029A (ja) * | 1992-11-18 | 1994-06-10 | Komatsu Ltd | 狭帯域レーザ装置 |
-
1991
- 1991-01-23 JP JP2142891A patent/JPH04240529A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06164029A (ja) * | 1992-11-18 | 1994-06-10 | Komatsu Ltd | 狭帯域レーザ装置 |
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