JPH05259534A - 放電励起レーザにおける電子密度測定方法及び装置 - Google Patents
放電励起レーザにおける電子密度測定方法及び装置Info
- Publication number
- JPH05259534A JPH05259534A JP4050840A JP5084092A JPH05259534A JP H05259534 A JPH05259534 A JP H05259534A JP 4050840 A JP4050840 A JP 4050840A JP 5084092 A JP5084092 A JP 5084092A JP H05259534 A JPH05259534 A JP H05259534A
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- JP
- Japan
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- laser
- discharge
- electron density
- resonance
- mirrors
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】簡単な構成で小型化された装置を使用して、簡
便に放電励起レーザの電子密度測定を行うことのできる
電子密度測定方法及び装置を提供する。 【構成】プローブレーザ１のレーザ光は、ミラー１４，
１５で反射して、放電励起レーザの共振鏡１１から共振
器内に入射する。共振器内に入射したレーザ光は、共振
鏡１１と共振鏡１２の間を多重反射しながら放電部１３
を繰り返し通過し、共振鏡１２から出射する。出射した
多重干渉光は、光強度検出器５でその干渉光強度が測定
される。放電励起レーザ自身の共振鏡１１，１２がファ
ブリ・ペロー干渉計の干渉鏡の役割を果たし、共振鏡１
１，１２による多重干渉光の強度変化を測定することに
より、放電部１３内の電子密度変化を光学的共振器長の
変化として測定することができる。
便に放電励起レーザの電子密度測定を行うことのできる
電子密度測定方法及び装置を提供する。 【構成】プローブレーザ１のレーザ光は、ミラー１４，
１５で反射して、放電励起レーザの共振鏡１１から共振
器内に入射する。共振器内に入射したレーザ光は、共振
鏡１１と共振鏡１２の間を多重反射しながら放電部１３
を繰り返し通過し、共振鏡１２から出射する。出射した
多重干渉光は、光強度検出器５でその干渉光強度が測定
される。放電励起レーザ自身の共振鏡１１，１２がファ
ブリ・ペロー干渉計の干渉鏡の役割を果たし、共振鏡１
１，１２による多重干渉光の強度変化を測定することに
より、放電部１３内の電子密度変化を光学的共振器長の
変化として測定することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、放電励起レーザの電子
密度測定方法及び装置に関し、特に光学的干渉測定法を
利用した電子密度測定方法及び装置に係るものである。
密度測定方法及び装置に関し、特に光学的干渉測定法を
利用した電子密度測定方法及び装置に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、放電励起レーザにおける電子密
度の測定には、プローブレーザとして赤外レーザを用い
た、マッハツェンダー干渉法、マイケルソン干渉法など
の２光束干渉法が用いられている。
度の測定には、プローブレーザとして赤外レーザを用い
た、マッハツェンダー干渉法、マイケルソン干渉法など
の２光束干渉法が用いられている。
【０００３】図５に、従来から用いられている電子密度
測定方法の一例を示す。即ち、プローブレーザ１のレー
ザ光は、分離光学系２によって２光束に分けられ、一方
は電子密度の被測定部３を通過する測定光路を通り、他
方は参照光路を通る。別々の光路を通った２光束は結合
光学系４によって再び重畳され、光強度検出器５で２光
束の干渉光が計測される。干渉光の強度は、測定光路と
参照光路の光学的な光路長差の変化に依存して変化する
ため、干渉光の強度変化を測定することによって電子密
度変化を測定することができる。
測定方法の一例を示す。即ち、プローブレーザ１のレー
ザ光は、分離光学系２によって２光束に分けられ、一方
は電子密度の被測定部３を通過する測定光路を通り、他
方は参照光路を通る。別々の光路を通った２光束は結合
光学系４によって再び重畳され、光強度検出器５で２光
束の干渉光が計測される。干渉光の強度は、測定光路と
参照光路の光学的な光路長差の変化に依存して変化する
ため、干渉光の強度変化を測定することによって電子密
度変化を測定することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前述した従
来の放電励起レーザの電子密度測定方法は、測定光路と
参照光路との２つの光路を必要とするため、光学系が複
雑になると言う問題点が有る。特に、このような複雑な
測定光学系のために、新たな設置面積が必要となり、ま
た測定系が大きく複雑になるにつれ光学系の調整が困難
になるという欠点がある。
来の放電励起レーザの電子密度測定方法は、測定光路と
参照光路との２つの光路を必要とするため、光学系が複
雑になると言う問題点が有る。特に、このような複雑な
測定光学系のために、新たな設置面積が必要となり、ま
た測定系が大きく複雑になるにつれ光学系の調整が困難
になるという欠点がある。
【０００５】本発明は、上記のような従来技術の欠点を
解消するために提案されたものであり、本発明の目的
は、簡単な構成で小型化された装置を使用して、簡便に
放電励起レーザの電子密度測定を行うことのできる電子
密度測定方法及び装置を提供することにある。
解消するために提案されたものであり、本発明の目的
は、簡単な構成で小型化された装置を使用して、簡便に
放電励起レーザの電子密度測定を行うことのできる電子
密度測定方法及び装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するた
めに、請求項１の電子密度測定方法は、放電励起レーザ
の共振鏡を干渉鏡としたファブリ・ペロー干渉計を構成
し、このファブリ・ペロー干渉計における干渉出力光の
強度変化を測定することにより、電子密度変化を測定す
ることを特徴とする。
めに、請求項１の電子密度測定方法は、放電励起レーザ
の共振鏡を干渉鏡としたファブリ・ペロー干渉計を構成
し、このファブリ・ペロー干渉計における干渉出力光の
強度変化を測定することにより、電子密度変化を測定す
ることを特徴とする。
【０００７】また、請求項２の電子密度測定装置は、請
求項１の方法を可能とするため、放電励起レーザの共振
部を構成する放電部とそれを挟んで対向配置された一対
の共振鏡とから成る放電励起レーザの共振部と、レーザ
光を発射するプローブレーザと、プローブレーザからの
レーザ光を前記一対の共振鏡の間に導く導光手段と、前
記共振鏡間で多重反射された干渉出力光の強度変化を検
出する光強度検出器とを備えていることを特徴とする。
求項１の方法を可能とするため、放電励起レーザの共振
部を構成する放電部とそれを挟んで対向配置された一対
の共振鏡とから成る放電励起レーザの共振部と、レーザ
光を発射するプローブレーザと、プローブレーザからの
レーザ光を前記一対の共振鏡の間に導く導光手段と、前
記共振鏡間で多重反射された干渉出力光の強度変化を検
出する光強度検出器とを備えていることを特徴とする。
【０００８】
【作用】以上のような構成を有する請求項１及び請求項
２の発明では、放電励起レーザにおける電子密度を測定
する場合、レーザ共振鏡がファブリ・ペロー干渉計の干
渉鏡の役割を果たすため、その干渉光の強度変化を測定
することにより、電子密度変化を光学的共振器長の変化
として測定することができる。
２の発明では、放電励起レーザにおける電子密度を測定
する場合、レーザ共振鏡がファブリ・ペロー干渉計の干
渉鏡の役割を果たすため、その干渉光の強度変化を測定
することにより、電子密度変化を光学的共振器長の変化
として測定することができる。
【０００９】
【実施例】以下に、本発明の実施例を図１から図４を参
照して説明する。なお、従来型と同一の部材には、同一
の符号を付して、説明は省略する。
照して説明する。なお、従来型と同一の部材には、同一
の符号を付して、説明は省略する。
【００１０】（１）第１実施例…図１ 第１実施例においては、レーザ光を発射するプローブレ
ーザ１と光強度検出器５との間に、放電励起レーザ自身
を構成する共振器が設けられている。この共振器は、放
電部１３を挟んで一定の間隔を持って配置された対向す
る２つの共振鏡１１，１２から構成されている。このう
ち入射側の共振鏡１１は、反射用のミラー１４，１５を
介して、プローブレーザ１に対向し、出射側の共振鏡１
２は、光強度検出器５に対向している。
ーザ１と光強度検出器５との間に、放電励起レーザ自身
を構成する共振器が設けられている。この共振器は、放
電部１３を挟んで一定の間隔を持って配置された対向す
る２つの共振鏡１１，１２から構成されている。このう
ち入射側の共振鏡１１は、反射用のミラー１４，１５を
介して、プローブレーザ１に対向し、出射側の共振鏡１
２は、光強度検出器５に対向している。
【００１１】このような構成を有する第１実施例におい
て、プローブレーザ１のレーザ光は、ミラー１４，１５
で反射して、放電励起レーザの共振鏡１１から共振器内
に入射する。共振器内に入射したレーザ光は、共振鏡１
１と共振鏡１２の間を多重反射しながら放電部１３を繰
り返し通過し、共振鏡１２から出射する。出射した多重
干渉光は、光強度検出器５でその干渉光強度が測定され
る。この様に、放電励起レーザ自身の共振鏡１１，１２
がファブリ・ペロー干渉計の干渉鏡の役割を果たし、共
振鏡１１，１２による多重干渉光の強度変化を測定する
ことにより、放電部１３内の電子密度変化を光学的共振
器長の変化として測定することができる。
て、プローブレーザ１のレーザ光は、ミラー１４，１５
で反射して、放電励起レーザの共振鏡１１から共振器内
に入射する。共振器内に入射したレーザ光は、共振鏡１
１と共振鏡１２の間を多重反射しながら放電部１３を繰
り返し通過し、共振鏡１２から出射する。出射した多重
干渉光は、光強度検出器５でその干渉光強度が測定され
る。この様に、放電励起レーザ自身の共振鏡１１，１２
がファブリ・ペロー干渉計の干渉鏡の役割を果たし、共
振鏡１１，１２による多重干渉光の強度変化を測定する
ことにより、放電部１３内の電子密度変化を光学的共振
器長の変化として測定することができる。
【００１２】（２）第２実施例…図２ 第２実施例では、放電励起レーザの共振器を構成する２
つの共振鏡のうち一方の共振鏡１２が、光強度検出器５
に対向して設けられ、この共振鏡１２と光強度検出器５
との間に、ビームスプリッター２１が設けられている。
このビームスプリッター２１とプローブレーザ１との間
には、ビームスプリッター２１に対してレーザ光を導く
ミラー１４が設けられている。
つの共振鏡のうち一方の共振鏡１２が、光強度検出器５
に対向して設けられ、この共振鏡１２と光強度検出器５
との間に、ビームスプリッター２１が設けられている。
このビームスプリッター２１とプローブレーザ１との間
には、ビームスプリッター２１に対してレーザ光を導く
ミラー１４が設けられている。
【００１３】このような構成を有する第２実施例におい
ては、プローブレーザ１から出射されミラー１４で反射
したレーザ光は、その一部がビームスプリッター２１で
反射し、共振鏡１２から放電励起レーザの共振器内に入
射する。そして、共振鏡１２から出射した多重干渉光の
一部は、ビームスプリッター２１を透過して光強度検出
器５で干渉光強度が測定される。
ては、プローブレーザ１から出射されミラー１４で反射
したレーザ光は、その一部がビームスプリッター２１で
反射し、共振鏡１２から放電励起レーザの共振器内に入
射する。そして、共振鏡１２から出射した多重干渉光の
一部は、ビームスプリッター２１を透過して光強度検出
器５で干渉光強度が測定される。
【００１４】（３）第３実施例…図３ 第３実施例は、共振器内における共振鏡１１と放電部１
３との間にビームスプリッター２２を配置したものであ
る。この第３実施例では、プローブレーザ１からのレー
ザ光は、ビームスプリッター２２から共振器内に入射
し、共振器１１，１２間を多重反射することにより放電
部１３を繰り返し通過し、その後共振鏡１２より出射
し、光強度検出器５によって、その干渉光強度が検出さ
れる。
３との間にビームスプリッター２２を配置したものであ
る。この第３実施例では、プローブレーザ１からのレー
ザ光は、ビームスプリッター２２から共振器内に入射
し、共振器１１，１２間を多重反射することにより放電
部１３を繰り返し通過し、その後共振鏡１２より出射
し、光強度検出器５によって、その干渉光強度が検出さ
れる。
【００１５】（４）第４実施例…図４ 第４実施例は、前記第３実施例と同様に、共振器におけ
る共振鏡１１と放電部１３との間にビームスプリッター
２２を配置したものであって、このビームスプリッター
２２から干渉光を共振器外部に取り出して、光強度検出
器５で測定するものである。
る共振鏡１１と放電部１３との間にビームスプリッター
２２を配置したものであって、このビームスプリッター
２２から干渉光を共振器外部に取り出して、光強度検出
器５で測定するものである。
【００１６】
【発明の効果】この様に本発明によれば、放電励起レー
ザの共振部をそのままファブリ・ペロー干渉計の干渉鏡
の役割を果たすように構成したので、電子密度測定のた
めに新たな光学系を配設することなく、簡便に放電励起
レーザの電子密度測定を行うことが可能である。その結
果、装置の構造の簡略化、小型化が可能となり、また、
光学系の簡略化により測定誤差も減少し、精度の高い電
子密度の測定も可能となる。
ザの共振部をそのままファブリ・ペロー干渉計の干渉鏡
の役割を果たすように構成したので、電子密度測定のた
めに新たな光学系を配設することなく、簡便に放電励起
レーザの電子密度測定を行うことが可能である。その結
果、装置の構造の簡略化、小型化が可能となり、また、
光学系の簡略化により測定誤差も減少し、精度の高い電
子密度の測定も可能となる。
【図１】本発明の第１実施例を示すブロック図。
【図２】本発明の第２実施例を示すブロック図。
【図３】本発明の第３実施例を示すブロック図。
【図４】本発明の第４実施例を示すブロック図。
【図５】従来の電子密度測定方法及びその装置を示すブ
ロック図。
ロック図。
１…プローブレーザ ５…光強度検出器 １１，１２…共振鏡 １３…放電部 １４，１５…ミラー ２１，２２…ビームスプリッター
Claims (2)
- 【請求項１】放電励起レーザの放電部を挟んで配置され
た一対の共振鏡を干渉鏡としてファブリ・ペロー干渉計
を構成し、前記共振鏡間からの干渉出力光の強度変化を
測定することにより、放電部の電子密度変化を測定する
ことを特徴とする放電励起レーザにおける電子密度測定
方法。 - 【請求項２】放電励起レーザの共振部を構成する放電部
とそれを挟んで対向配置された一対の共振鏡とから成る
放電励起レーザの共振部と、レーザ光を発射するプロー
ブレーザと、プローブレーザからのレーザ光を前記一対
の共振鏡の間に導く導光手段と、前記共振鏡間で多重反
射された干渉出力光の強度変化を検出する光強度検出器
とを備えていることを特徴とする放電励起レーザにおけ
る電子密度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4050840A JPH05259534A (ja) | 1992-03-09 | 1992-03-09 | 放電励起レーザにおける電子密度測定方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4050840A JPH05259534A (ja) | 1992-03-09 | 1992-03-09 | 放電励起レーザにおける電子密度測定方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05259534A true JPH05259534A (ja) | 1993-10-08 |
Family
ID=12869946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4050840A Pending JPH05259534A (ja) | 1992-03-09 | 1992-03-09 | 放電励起レーザにおける電子密度測定方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05259534A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006108559A (ja) * | 2004-10-08 | 2006-04-20 | Denso Corp | 線材及びその作製方法、コア及びその作製方法 |
| KR100867632B1 (ko) * | 2006-12-22 | 2008-11-10 | 한국표준과학연구원 | 다중 광로 레이저 광감쇠를 이용한 미세 입자의 밀도 측정시스템 |
| CN102252614A (zh) * | 2010-05-17 | 2011-11-23 | 中国计量科学研究院 | 声学共鸣腔特征长度测量装置 |
-
1992
- 1992-03-09 JP JP4050840A patent/JPH05259534A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006108559A (ja) * | 2004-10-08 | 2006-04-20 | Denso Corp | 線材及びその作製方法、コア及びその作製方法 |
| JP4609698B2 (ja) * | 2004-10-08 | 2011-01-12 | 株式会社デンソー | コアの作製方法 |
| KR100867632B1 (ko) * | 2006-12-22 | 2008-11-10 | 한국표준과학연구원 | 다중 광로 레이저 광감쇠를 이용한 미세 입자의 밀도 측정시스템 |
| CN102252614A (zh) * | 2010-05-17 | 2011-11-23 | 中国计量科学研究院 | 声学共鸣腔特征长度测量装置 |
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