JP2836298B2 - ガス検出装置 - Google Patents
ガス検出装置Info
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- JP2836298B2 JP2836298B2 JP16195091A JP16195091A JP2836298B2 JP 2836298 B2 JP2836298 B2 JP 2836298B2 JP 16195091 A JP16195091 A JP 16195091A JP 16195091 A JP16195091 A JP 16195091A JP 2836298 B2 JP2836298 B2 JP 2836298B2
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- gas
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はガスによる光の吸収現
象を利用してガス検出を行うもので、特に光ファイバー
を利用して遠隔で行うガス検出装置に関するものであ
る。
象を利用してガス検出を行うもので、特に光ファイバー
を利用して遠隔で行うガス検出装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、光ファイバーを利用し遠隔でガス
検出を行う装置として、例えば図５は特開昭６０ー９８
３３４号公報に示された従来のガス検出装置の構成図で
あり、図において３１は発光源、３２は光結合器、３３
は光ファイバー、３４は測定セル、３４ａ，３４ｂは測
定セルに取り付けられた光結合器、３５は光ファイバ
ー、３６は光結合器、３７はビームスプリッター、３
８，４０，４２、４３は各箇所において分岐された光
束、４１はビームスプリッター、３９，４４，４５は狭
帯域波長フィルター、４６、４７、４８は光検出器、４
９，５０，５１は増幅器、５２は信号処理回路、５３は
表示回路を示す。
検出を行う装置として、例えば図５は特開昭６０ー９８
３３４号公報に示された従来のガス検出装置の構成図で
あり、図において３１は発光源、３２は光結合器、３３
は光ファイバー、３４は測定セル、３４ａ，３４ｂは測
定セルに取り付けられた光結合器、３５は光ファイバ
ー、３６は光結合器、３７はビームスプリッター、３
８，４０，４２、４３は各箇所において分岐された光
束、４１はビームスプリッター、３９，４４，４５は狭
帯域波長フィルター、４６、４７、４８は光検出器、４
９，５０，５１は増幅器、５２は信号処理回路、５３は
表示回路を示す。
【０００３】次に動作について説明する。光源３１から
出た光は、光結合器３２を通り光ファイバー３３により
伝送されて測定セル３４へ送られる。測定セル内に送ら
れた光は光結合器３４ａを通り、セル空間中を伝播した
後、光結合器３４ｂを経て光伝送路３５により伝送され
る。このときセル内に対象ガスがあると伝播した光は吸
収され強度が減少する。光結合器３６を透過した光はビ
ームスプリッター３７によって２つに分岐される。分岐
された一方の光束３８はガスの吸光波長を含む狭帯域波
長フィルター３９を通過し光検出器４６によって受光さ
れる。一方、ビームスプリッター３７を透過した光束４
０はビームスプリッター４１によってさらに２つの光束
に分岐される。分岐された１つの光束４２は狭帯域波長
フィルター３９とは波長の異なる同一ガスの吸光波長を
透過中心波長とする狭帯域波長フィルター４４を透過し
光検出器４７によって受光される。ビームスプリッター
４１を透過した光束４３は２つの狭帯域フィルター３
９，４４と異なりガスによる光の吸収の影響を受けない
波長を透過中心波長とする狭帯域フィルター４５を透過
し光検出器４８によって受光される。光検出器４６，４
７，４８からの出力信号はそれぞれ増幅器４９，５０，
５１によって増幅され信号処理回路５２に入力される。
信号処理回路５２では２つの光検出器４６，４８からの
出力信号の比と２つの光検出器４７と光検出器４８から
の演算し、それぞれの比の値から検出対象ガスの有無を
判定するもので、この結果を表示回路５３に表示する。
出た光は、光結合器３２を通り光ファイバー３３により
伝送されて測定セル３４へ送られる。測定セル内に送ら
れた光は光結合器３４ａを通り、セル空間中を伝播した
後、光結合器３４ｂを経て光伝送路３５により伝送され
る。このときセル内に対象ガスがあると伝播した光は吸
収され強度が減少する。光結合器３６を透過した光はビ
ームスプリッター３７によって２つに分岐される。分岐
された一方の光束３８はガスの吸光波長を含む狭帯域波
長フィルター３９を通過し光検出器４６によって受光さ
れる。一方、ビームスプリッター３７を透過した光束４
０はビームスプリッター４１によってさらに２つの光束
に分岐される。分岐された１つの光束４２は狭帯域波長
フィルター３９とは波長の異なる同一ガスの吸光波長を
透過中心波長とする狭帯域波長フィルター４４を透過し
光検出器４７によって受光される。ビームスプリッター
４１を透過した光束４３は２つの狭帯域フィルター３
９，４４と異なりガスによる光の吸収の影響を受けない
波長を透過中心波長とする狭帯域フィルター４５を透過
し光検出器４８によって受光される。光検出器４６，４
７，４８からの出力信号はそれぞれ増幅器４９，５０，
５１によって増幅され信号処理回路５２に入力される。
信号処理回路５２では２つの光検出器４６，４８からの
出力信号の比と２つの光検出器４７と光検出器４８から
の演算し、それぞれの比の値から検出対象ガスの有無を
判定するもので、この結果を表示回路５３に表示する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のガス検出装置は
上記のように構成されているので、投光用，受光用の光
ファイバーがそれぞれ必要となることから、投受光用光
学系がそれぞれ別々に設置しなければならない。このた
め、光学系の規模が大きくなり、装置全体の規模が大き
くなるという問題点があった。
上記のように構成されているので、投光用，受光用の光
ファイバーがそれぞれ必要となることから、投受光用光
学系がそれぞれ別々に設置しなければならない。このた
め、光学系の規模が大きくなり、装置全体の規模が大き
くなるという問題点があった。
【０００５】本発明は、上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、投受光系を一体化して、光学系
の簡素化が実現可能なガス検出装置を得ることを目的と
する。
ためになされたもので、投受光系を一体化して、光学系
の簡素化が実現可能なガス検出装置を得ることを目的と
する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係るガス検出装
置は、直線偏光特性をもちガスの吸光波長に同調させた
光を発生する光源、上記ガスの有無を検出するための空
間部を有するガス検出部、上記光源から入射する光を上
記直線偏光特性を保持して上記ガス検出部に導く光ファ
イバー、上記光ファイバーの出射端面に設けられ、光の
一部を反射する反射コーティング、上記反射コーティン
グと上記ガス検出部との間に設けられ、上記直線偏光特
性を有する光の偏光面に対して主断面の方向を４５度と
した１／４波長板、上記１／４波長板と対向する上記ガ
ス検出部の端面に設けられ、上記光ファイバーより出射
する光を、上記１／４波長板を経由して反射することに
より、偏光面が９０度回転した直線偏光として上記光フ
ァイバーの出射端面に再入射させる反射鏡、上記光ファ
イバーの入射端面より出射する反射光の経路上に設けら
れ、上記反射コーティングで反射された反射光と、この
反射光と偏光面が直交する上記反射鏡からの反射光とを
分離するビームスプリッタ、上記各反射光の光強度を検
出する受光手段、および検出された２つの光強度の変化
を検出する信号処理手段を備えたものである。
置は、直線偏光特性をもちガスの吸光波長に同調させた
光を発生する光源、上記ガスの有無を検出するための空
間部を有するガス検出部、上記光源から入射する光を上
記直線偏光特性を保持して上記ガス検出部に導く光ファ
イバー、上記光ファイバーの出射端面に設けられ、光の
一部を反射する反射コーティング、上記反射コーティン
グと上記ガス検出部との間に設けられ、上記直線偏光特
性を有する光の偏光面に対して主断面の方向を４５度と
した１／４波長板、上記１／４波長板と対向する上記ガ
ス検出部の端面に設けられ、上記光ファイバーより出射
する光を、上記１／４波長板を経由して反射することに
より、偏光面が９０度回転した直線偏光として上記光フ
ァイバーの出射端面に再入射させる反射鏡、上記光ファ
イバーの入射端面より出射する反射光の経路上に設けら
れ、上記反射コーティングで反射された反射光と、この
反射光と偏光面が直交する上記反射鏡からの反射光とを
分離するビームスプリッタ、上記各反射光の光強度を検
出する受光手段、および検出された２つの光強度の変化
を検出する信号処理手段を備えたものである。
【０００７】
【作用】本発明においては、光ファイバーを伝播した光
は、光ファイバーの出射端面で一部が反射し偏光面を保
持したまま同一の経路を経て光ファイバーの入射端面か
ら出射する。一方、出射端面を透過した光は、１／４波
長板を出たのち検出空間中を伝播した後に、再び１／４
波長板を経て同一の光ファイバー入射し、光ファイバー
を伝播した後、入射端面から出射される。検出空間を伝
播して戻ったこの光は、入射光に対して直交した偏光方
向をもつ直線偏光特性になっている。この特性を利用
し、ガス検出にあたっては、光ファイバーの入射端面か
ら出射した光のうち、入射光と同一方向の偏光特性を持
つ光を参照用として、入射光と直交する方向の偏光特性
を持つ光をガス検出用として用いる。
は、光ファイバーの出射端面で一部が反射し偏光面を保
持したまま同一の経路を経て光ファイバーの入射端面か
ら出射する。一方、出射端面を透過した光は、１／４波
長板を出たのち検出空間中を伝播した後に、再び１／４
波長板を経て同一の光ファイバー入射し、光ファイバー
を伝播した後、入射端面から出射される。検出空間を伝
播して戻ったこの光は、入射光に対して直交した偏光方
向をもつ直線偏光特性になっている。この特性を利用
し、ガス検出にあたっては、光ファイバーの入射端面か
ら出射した光のうち、入射光と同一方向の偏光特性を持
つ光を参照用として、入射光と直交する方向の偏光特性
を持つ光をガス検出用として用いる。
【０００８】
実施例１．本発明について、その一実施例を図について
説明する。図１は本発明の一実施例の装置構成を示すも
ので、図において、１は光源、２はコリメートレンズ、
３は集光レンズ、４は偏波面保存ファイバー、５は反射
コーテイング部、６はコリメートレンズ、７は１／４波
長板、８はケース、９はミラー、１０は偏光ビームスプ
リッター、１１はハーフミラー、１２は集光レンズ、１
３は光検出器、１４は増幅器、１５は集光レンズ、１６
は光検出器、１７は増幅器、１８はわり算器、１９は判
定回路を示す。
説明する。図１は本発明の一実施例の装置構成を示すも
ので、図において、１は光源、２はコリメートレンズ、
３は集光レンズ、４は偏波面保存ファイバー、５は反射
コーテイング部、６はコリメートレンズ、７は１／４波
長板、８はケース、９はミラー、１０は偏光ビームスプ
リッター、１１はハーフミラー、１２は集光レンズ、１
３は光検出器、１４は増幅器、１５は集光レンズ、１６
は光検出器、１７は増幅器、１８はわり算器、１９は判
定回路を示す。
【０００９】図２は、本発明の各部における光線の特性
を示すもので、（ａ）は光ファイバーに入射する光、
（ｂ）は光ファイバーを伝播し、光ファイバーの出射端
面で反射する光、（ｃ）は光ファイバーを伝播後出射端
面を透過し、検出部に設置したミラーによって反射した
のち、光ファイバーの出射端面に入射し伝播する光、
（ｄ）は光ファイバーの入射端面から出射した光の特性
を示す。図において、２０は光源から出射した光束、２
１は光ファイバー端面によって反射した光束、２２は光
ファイバーの出射端面から出射しミラー９によって反射
したのち、検出部空間中を伝播する光束、２３は検出部
空間から光ファイバーの出射端面に入射し伝播する光
束、２４は光ファイバーの入射端面から出射する光束、
２５は光束２４が偏光ビームスプリッター１０によって
反射された光束、２６は偏光ビームスプリッター１０を
透過し、ハーフミラー１１によって反射された光束を示
す。
を示すもので、（ａ）は光ファイバーに入射する光、
（ｂ）は光ファイバーを伝播し、光ファイバーの出射端
面で反射する光、（ｃ）は光ファイバーを伝播後出射端
面を透過し、検出部に設置したミラーによって反射した
のち、光ファイバーの出射端面に入射し伝播する光、
（ｄ）は光ファイバーの入射端面から出射した光の特性
を示す。図において、２０は光源から出射した光束、２
１は光ファイバー端面によって反射した光束、２２は光
ファイバーの出射端面から出射しミラー９によって反射
したのち、検出部空間中を伝播する光束、２３は検出部
空間から光ファイバーの出射端面に入射し伝播する光
束、２４は光ファイバーの入射端面から出射する光束、
２５は光束２４が偏光ビームスプリッター１０によって
反射された光束、２６は偏光ビームスプリッター１０を
透過し、ハーフミラー１１によって反射された光束を示
す。
【００１０】図３は光のスペクトル特性を示すもので、
２７はガスの吸光スペクトル、２８は光源の発光スペク
トルを示す。
２７はガスの吸光スペクトル、２８は光源の発光スペク
トルを示す。
【００１１】図４は本発明の一実施例の装置構成におけ
るガスの測定結果例を示すもので、２９は得られた測定
曲線、３０はガスが発生した時点を示す。
るガスの測定結果例を示すもので、２９は得られた測定
曲線、３０はガスが発生した時点を示す。
【００１２】次に動作について説明する。光源１からで
る単色光は、図３の２８に示すようにガスの吸光波長に
同調させるとともに、直線偏光特性をもたせる。ここで
説明の都合上、光源からの出射光の偏光方向を紙面と平
行方向とし、図２（ａ）に示したように、図中上下の矢
印によって表す。以降この方向をＳ方向と呼ぶ。また、
これと直光する偏光方向を図中黒点で示す。以降この方
向をＰ方向と呼ぶ。光源１からの光は、コリメートレン
ズ２によって平行ビームに変換された後集光レンズ３に
よって光ファイバー４の入射端面に絞り込まれる。この
時、光束２０はＳ方向の直線偏光特性を有する。光ファ
イバー４は偏光面保存特性を有するもので、相直交する
２つの方向の直線偏光特性を保持しながら、光を伝播す
る。光ファイバー４の保持する偏光方向の一つをＳ方向
に合わせると、この光ファイバーはＰ，Ｓそれぞれの方
向の直線偏光を保持できることとなる。
る単色光は、図３の２８に示すようにガスの吸光波長に
同調させるとともに、直線偏光特性をもたせる。ここで
説明の都合上、光源からの出射光の偏光方向を紙面と平
行方向とし、図２（ａ）に示したように、図中上下の矢
印によって表す。以降この方向をＳ方向と呼ぶ。また、
これと直光する偏光方向を図中黒点で示す。以降この方
向をＰ方向と呼ぶ。光源１からの光は、コリメートレン
ズ２によって平行ビームに変換された後集光レンズ３に
よって光ファイバー４の入射端面に絞り込まれる。この
時、光束２０はＳ方向の直線偏光特性を有する。光ファ
イバー４は偏光面保存特性を有するもので、相直交する
２つの方向の直線偏光特性を保持しながら、光を伝播す
る。光ファイバー４の保持する偏光方向の一つをＳ方向
に合わせると、この光ファイバーはＰ，Ｓそれぞれの方
向の直線偏光を保持できることとなる。
【００１３】上記のように、光ファイバーを設置する
と、Ｓ方向の直線偏光を保持しながら光は光ファイバー
中を伝播する。光ファイバーの出射端面に到達した光
は、その一部が反射コーテイング部５によって一部反射
され、光束２１としてＳ方向の直線偏光を保持し、同じ
光ファイバーを逆方向に伝播して入射端面から出射され
る。
と、Ｓ方向の直線偏光を保持しながら光は光ファイバー
中を伝播する。光ファイバーの出射端面に到達した光
は、その一部が反射コーテイング部５によって一部反射
され、光束２１としてＳ方向の直線偏光を保持し、同じ
光ファイバーを逆方向に伝播して入射端面から出射され
る。
【００１４】一方、反射コーテイング部を透過した光は
コリメートレンズ６，１／４波長板７を経て、検出部空
間中に出射される。１／４波長板をその主断面の方向を
Ｓ方向に対して４５°となるよう設置すると、出射され
た光束２２は、１／４波長板７を透過することによって
直線偏光から円偏光に変換される。出射された光束２２
は検出部空間中を伝播し、さらにミラー９によって反射
されることにより、光束２２は逆方向の円偏光に変換さ
れ、１／４波長板７に再度入射する。１／４波長板を透
過すると光束２２は入射光と直交する方向つまりＰ方向
の直線偏光となり、コリメートレンズ６によって光ファ
イバー４の出射端面に絞り込まれ、光束２３として光フ
ァイバー中を伝播する。つまり、検出部空間を伝播した
光は入射光と相直光した直線偏光となって、光ファイバ
ー入射端面から出射される。
コリメートレンズ６，１／４波長板７を経て、検出部空
間中に出射される。１／４波長板をその主断面の方向を
Ｓ方向に対して４５°となるよう設置すると、出射され
た光束２２は、１／４波長板７を透過することによって
直線偏光から円偏光に変換される。出射された光束２２
は検出部空間中を伝播し、さらにミラー９によって反射
されることにより、光束２２は逆方向の円偏光に変換さ
れ、１／４波長板７に再度入射する。１／４波長板を透
過すると光束２２は入射光と直交する方向つまりＰ方向
の直線偏光となり、コリメートレンズ６によって光ファ
イバー４の出射端面に絞り込まれ、光束２３として光フ
ァイバー中を伝播する。つまり、検出部空間を伝播した
光は入射光と相直光した直線偏光となって、光ファイバ
ー入射端面から出射される。
【００１５】この結果、光ファイバー４の入射端面から
出射される光束２４はＰ，Ｓの２方向の直線偏光が合成
されたものとなる。このうちＳ方向の光は、検出部空間
を伝播せず光ファイバーの出射端面で反射した光であ
り、Ｐ方向の光は検出部空間を伝播したものである。ガ
ス検出にあたっては、Ｓ方向の直線偏光を参照用の光と
して、Ｐ方向の直線偏光をガス検出用の光としてそれぞ
れ利用する。光ファイバー２４の入射端面を出射した光
束２４は偏光ビームスプリッター１０によって各偏光成
分に分離される。つまり、光束２４のうち、Ｐ方向の直
線偏光は偏光ビームスプリッター１０によって反射さ
れ、光束２５となって集光レンズ１２によって光検出器
１３上に絞られる。
出射される光束２４はＰ，Ｓの２方向の直線偏光が合成
されたものとなる。このうちＳ方向の光は、検出部空間
を伝播せず光ファイバーの出射端面で反射した光であ
り、Ｐ方向の光は検出部空間を伝播したものである。ガ
ス検出にあたっては、Ｓ方向の直線偏光を参照用の光と
して、Ｐ方向の直線偏光をガス検出用の光としてそれぞ
れ利用する。光ファイバー２４の入射端面を出射した光
束２４は偏光ビームスプリッター１０によって各偏光成
分に分離される。つまり、光束２４のうち、Ｐ方向の直
線偏光は偏光ビームスプリッター１０によって反射さ
れ、光束２５となって集光レンズ１２によって光検出器
１３上に絞られる。
【００１６】一方、Ｓ方向の直線偏光は偏光ビームスプ
リッター１０を透過し、ハーフミラー１１，集光レンズ
１１を介して光検出器１６に絞り込まれる。２つの光検
出器１３，１６からの出力信号は、それぞれ増幅器１
４，１７によって増幅され、わり算器１８に入力され
る。 わり算器１８は増幅器１４，１７からの出力信号
の比を演算し、判定回路１９に出力する。ガスの発生が
ない場合、演算結果は一定の値を保持するが、検出部に
おいてガスが発生した場合、検出部を透過した光の強度
が減衰することから演算結果が変化する。判定回路１９
は演算結果の変化を検知することにより、ガス発生の有
無を判定する。
リッター１０を透過し、ハーフミラー１１，集光レンズ
１１を介して光検出器１６に絞り込まれる。２つの光検
出器１３，１６からの出力信号は、それぞれ増幅器１
４，１７によって増幅され、わり算器１８に入力され
る。 わり算器１８は増幅器１４，１７からの出力信号
の比を演算し、判定回路１９に出力する。ガスの発生が
ない場合、演算結果は一定の値を保持するが、検出部に
おいてガスが発生した場合、検出部を透過した光の強度
が減衰することから演算結果が変化する。判定回路１９
は演算結果の変化を検知することにより、ガス発生の有
無を判定する。
【００１７】なお、ここでは説明の都合上、検出部にお
ける反射用光学部品としてミラーを用いて説明したが、
ミラーと同等の性能を持つものであればよく、たとえば
コーナーキューブ，回帰性反射板等を用いても同様の効
果が得られる。
ける反射用光学部品としてミラーを用いて説明したが、
ミラーと同等の性能を持つものであればよく、たとえば
コーナーキューブ，回帰性反射板等を用いても同様の効
果が得られる。
【００１８】また、上記実施例では、ガス検出用の信号
処理として参照用，ガス検出用の各信号の比を演算しそ
の変化を検出する方式を例に説明したが、両信号の差を
検出したり、参照用信号の変化を光源にフィードバック
させ光源強度を一定にしガス検出用信号の変化を検出す
るなど従来より用いられている手法を適用しても同等の
効果が得られることは明らかである。
処理として参照用，ガス検出用の各信号の比を演算しそ
の変化を検出する方式を例に説明したが、両信号の差を
検出したり、参照用信号の変化を光源にフィードバック
させ光源強度を一定にしガス検出用信号の変化を検出す
るなど従来より用いられている手法を適用しても同等の
効果が得られることは明らかである。
【００１９】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、一本の
光ファイバーで送光用と受光用の光伝送路を兼用するこ
とが可能となり、光学系の構成が簡単になり装置規模の
大幅な低減を実現できる。
光ファイバーで送光用と受光用の光伝送路を兼用するこ
とが可能となり、光学系の構成が簡単になり装置規模の
大幅な低減を実現できる。
【図１】本発明の一実施例の装置構成を示す図である。
【図２】本発明の各部の光の特性を示す図である。
【図３】ガスの吸光スペクトルと光源の発光スペクトル
を示す図である。
を示す図である。
【図４】本発明の一実施例における測定結果例を示す図
である。
である。
【図５】従来のガス検出装置の構成図である。
１ 光源 ４ 光ファイバー ５ 反射コーテイング部 ７ １／４波長板 ９ ミラー １０ 偏光ビームスプリッター １１ ハーフミラー １３ 光検出器 １６ 光検出器 １８ わり算器 １９ 判定回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 亀井 光仁 尼崎市塚口本町８丁目１番１号 三菱電 機株式会社 産業システム研究所内 (56)参考文献 特開 昭60−98334（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−177744（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01N 21/00 - 21/61
Claims (1)
- 【請求項１】 直線偏光特性をもちガスの吸光波長に同
調させた光を発生する光源、上記ガスの有無を検出する
ための空間部を有するガス検出部、上記光源から入射す
る光を上記直線偏光特性を保持して上記ガス検出部に導
く光ファイバー、上記光ファイバーの出射端面に設けら
れ、光の一部を反射する反射コーティング、上記反射コ
ーティングと上記ガス検出部との間に設けられ、上記直
線偏光特性を有する光の偏光面に対して主断面の方向を
４５度とした１／４波長板、上記１／４波長板と対向す
る上記ガス検出部の端面に設けられ、上記光ファイバー
より出射する光を、上記１／４波長板を経由して反射す
ることにより、偏光面が９０度回転した直線偏光として
上記光ファイバーの出射端面に再入射させる反射鏡、上
記光ファイバーの入射端面より出射する反射光の経路上
に設けられ、上記反射コーティングで反射された反射光
と、この反射光と偏光面が直交する上記反射鏡からの反
射光とを分離するビームスプリッタ、上記各反射光の光
強度を検出する受光手段、および検出された２つの光強
度の変化を検出する信号処理手段を備えたことを特徴と
するガス検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16195091A JP2836298B2 (ja) | 1991-07-03 | 1991-07-03 | ガス検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16195091A JP2836298B2 (ja) | 1991-07-03 | 1991-07-03 | ガス検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| JPH0510878A JPH0510878A (ja) | 1993-01-19 |
| JP2836298B2 true JP2836298B2 (ja) | 1998-12-14 |
Family
ID=15745135
Family Applications (1)
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Families Citing this family (2)
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-
1991
- 1991-07-03 JP JP16195091A patent/JP2836298B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| JPH0510878A (ja) | 1993-01-19 |
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