JPH04232448A - 亜鉛層の鉄含有量を測定する装置 - Google Patents

亜鉛層の鉄含有量を測定する装置

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JPH04232448A
JPH04232448A JP3252713A JP25271391A JPH04232448A JP H04232448 A JPH04232448 A JP H04232448A JP 3252713 A JP3252713 A JP 3252713A JP 25271391 A JP25271391 A JP 25271391A JP H04232448 A JPH04232448 A JP H04232448A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は,X線源及び放射線検出
器から成る,亜鉛被覆された鋼における亜鉛層の鉄含有
量又は亜鉛層の厚さを測定する装置に関する。
【0002】
【従来の技術】鋼製造の際に,帯状鋼は腐食抵折を高め
るために亜鉛で被覆される。この被覆は,例えばいわゆ
るガルバニーリング工程で,即ち亜鉛被覆された鋼を約
500ないし6000℃にあとから加熱することによつ
て行われる。この「ガルバニーリング」により鉄は亜鉛
層に拡散するので,亜鉛と鉄との間に金属間化合物が形
成される。この金属間化合物は,被覆された鋼の更なる
加工性及び亜鉛層の付着特性にとつて非常に重要である
。この場合特に重要なのは,製造過程中に亜鉛層の鉄含
有量を狭い限度内に設定することであり,そのために亜
鉛層の鉄含有量の正確なパーセント値を知つていなけれ
ばならない。この鉄パーセント割合を決定するために又
は亜鉛層の鉄含有量を測定するために,「カルバニーリ
ング被覆における鉄含有量の連続測定」(″CONTI
NUOUS  MEASUREMENT  OF  F
E  CONTENT  IN  GALVANNEA
LED  COATING″」という表題の1988年
1月28日発行川崎製鉄技報に,ブラック法によるFe
/Zn晶出のための格子定数を測定する方法が記載され
ている。しかしこの方法は実験室用にしか適していない
。なぜならば装置に関する出費が非常に大きく,測定時
間が比較的長く,即ち20秒より長くかつ測定材料の位
置変化が,誤りのある測定結果を生ぜしめるからである
【0003】更に,X線照射装置によつて,亜鉛及び鉄
割合のエネルギー選択測定が比例計数器により行えるよ
うに材料放射線励起が行われる方法も公知である。この
方法は,日本の日新製鋼株式会社市川工場により「X線
回析技術によるガルバニーリングされた鋼板の合金度の
測定及びその実用」(″MEASURING  THE
DEGREE  OF  ALLOYING  OF 
 GALVANNEALEDSTEEL  SHEET
S  BY  X−RAY  DIFFRACTION
TECHNIQUE  AND  ITS  PRAC
TICAL  USE″)という表題のもとに記載され
ている。この方法によれば,比例計数器(検出器)は測
定過程中に測定材料の表面に対して種々の角度をなして
置かれるので,これらの測定結果から結晶構造が検出さ
れ得る。この場合かなりの安定性問題が生ずるので,例
えば単に測定材料の運動,即ち載置面の周りの材料の運
動,が誤測定に至らせる。従つてこの方法も実験室用に
しか適していない。
【0004】従来公知の,亜鉛被覆された鋼における亜
鉛層の鉄含有量を測定する方法はどれも,実際値が検出
できて,プロセス制御が適当に行えるように,製造過程
中の測定に使用されるのに適していない。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は,粗雑
な製造過程中に実際の被覆測定値が検出される,亜鉛被
覆された鋼における亜鉛層の鉄含有量又は亜鉛層の厚さ
を測定する装置を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】この課題は本発明によれ
ば,装置が測定頭部を持つており,この測定頭部の中に
,高電圧X線源が,測定されるべき材料の面に対して6
0゜ないし120゜の角度をなして配置されておりかつ
選択感度を備えた少なくとも2つの検出器が,測定され
るべき材料の面に対して一方の検出器は最大30゜の角
度をなして,他方の検出器は60゜ないし120゜の角
度をなして,配置されていることによつて解決される。
【0007】
【発明の効果】この測定装置は,いわゆるオンライン運
転で亜鉛層の被覆の直後に,亜鉛層の鉄含有量が検出さ
れるように測定を行うことを可能にする。それにより同
時に亜鉛層の厚さも測定及び表示され得る。
【0008】
【実施例】図面に本発明による装置の実施例が概略的に
示されている。
【0009】1で示されている測定頭部は1つの高電圧
X線源2と,少なくとも2つの検出器3及び4とを持つ
ている。第3の検出器5は,特定の製造条件又は過程が
,以下に説明されるように,必要とする場合に配置され
なければならない。
【0010】X線源2は,測定されるべき材料6(亜鉛
被覆された鋼)の面に対して角度γをなして取り付けら
れており,検出器3及び5は,測定されるべき材料6の
面に対して角度αをなして,検出器4は角度βをなして
それぞれ配置されている。角度γは60゜ないし120
゜であり,角度αは量大30゜であり,角度βは60゜
ないし120゜である。
【0011】検出器3,4及び5は,選択感度を備えた
検出器として構成されており,このことは,これらの検
出器によつて特定の種類の電離放射線の強度が選択的に
電気信号に変換され,それにより測定可能にされること
を意昧する。
【0012】検出器3,4及び5はZn(亜鉛)及びF
e(鉄)の特性K曲線を検出し,この場合,選択感度を
得るために適当な吸収フイルタ又はパルス弁別装置が使
用される。例として使用可能な検出器の構造様式を図2
,3及び4により説明する。
【0013】図2に概略的に示されている検出器は,電
離箱18と称せられる希ガスで満たされた金属ハウジン
グ7から成る。ハウジング7は,例えばプラスチツク箔
から成る,入射窓8を備えている。ハウジング7の内部
には,このハウジング7に対して絶縁されて,1つ又は
複数の金属電極9が取り付けられている。電極9とハウ
ジング7との間に運転中,高電圧が印加されている。
【0014】入射窓8を通つて電離放射線がハウジング
7に入射すると,この放射線は,高電圧の電界中におけ
る電荷の移動により,電極9に測定可能な電流を生ぜし
め,この電流は電流計11により測定可能である。この
電流は放射線の強度に対応する。検出器の選択感度は,
入射窓8の前に吸収フイルタとして金属箔10を取り付
けることによつて得られる。
【0015】この種の吸収フイルタは,例えば銅,鉄又
は他の適切な金属から成る。
【0016】図3に,p型及びn型領域13及び14を
持つ半導体ダイオード検出器が概略的に示されており,
この半導体ダイオード検出器の選択感度は,ダイオード
の前に金属箔10を取り付けることによつて生ぜしめら
れる。図2に示されている電離箱検出器と同じように,
半導体ダイオード検出器の場合にも,ダイオードの逆方
向の高電圧によつて,電荷の少ない,大きい領域12が
形成され,この領域において電離放射線の入射の際に電
荷対の形成により,測定可能な電流が生ぜしめられ,こ
の電流は電流計11で測定され得る。この電流は放射線
の強度に対応する。
【0017】図4に半導体検出器が示されており,この
半導体検出器は内部構造に関して図3による検出器に一
致している。高感度の増幅器15の結合によつて,電子
的に良好に処理できるパルスが供給され,これらのパル
スのパルス波高は(電離放射線の)個々の放射線量子の
エネルギーに対応する。検出器の選択感度は単一チヤネ
ル弁別器16におけるパルス波高の選択により得られる
【0018】動作のやり方は次の通りである。
【0019】測定材料6,即ち亜鉛被覆された鋼はX線
管2からのX線を照射されかつX線−蛍光線の放射のた
めに励起される。これは,亜鉛及び鉄のいわゆるK放射
線である。この蛍光放射線は,上述の角度範囲α,β及
びγに配置されている検出器3及び4,場合によつては
5,により検出される。例えば銅の金属箔10が吸収フ
イルタとしてその前に存在する一方の検出器3又は5は
,測定材料6に対して最大30゜のゆるい角度αをなし
て組み付けられている。その結果,測定材料6中に励起
される亜鉛放射線は非常に長い距離を進まなければなら
ず,従つて測定材料6自体において材料6の亜鉛層厚さ
にはとんど関係なく弱められる。この結果,この検出器
3又は5は一次近似で被覆の鉄含有量だけを記録するこ
とになる。その他の検出器4は測定材料6に対して60
゜ないし120゜の角度βをなして配置されており,そ
れにより,できるだけ大きい侵入深さを得ることができ
る。この検出器4の前に,吸収フイルタとして,例えば
鉄製の金属箔10が存在するので,鉄放射線の検出が行
われる。層厚さの電離放射線の強度の弱まりはこの検出
器4で測定され,一次近似で層の亜鉛面質量を生ぜしめ
る。
【0020】亜鉛面質量及び層のパーセントによる鉄含
有量の測定値を正確に測定するために,上述の検出器3
及び4からの信号はアルゴリズムを受け,このアルゴリ
ズムにおいて亜鉛層のパーセントによる鉄含有量は面質
量と鉄含有量との比に関係する。これらの信号は,周知
の電子データ処理装置17で処理され,表示され及び/
又は記録されかつ製造過程の制御のために使用される。
【0021】製造過程中に特定の製造条件により測定材
料6の傾倒又はばたつき運動が起こつて,測定が不精確
になる恐れがある場合は,これらの測定不精確は第3の
検出器5の配置により除去され得る。この第3の検出器
5は検出器3に対して対称的に,即ち測定材料6に対し
て同じ角度αをなして取り付けられなければならないの
で,例えば反時計回りの測定材料6の傾倒の際に検出器
3の一層小さい測定値検出は検出器5の一層大きい測定
値検出により補償される。
【図面の簡単な説明】
【図1】装置の横断面図である。
【図2】吸収フイルタを持つ電離箱検出器の横断面図で
ある。
【図3】吸収フイルタを持つ半導体ダイオード検出器の
横断面図である。
【図4】パルス弁別装置を持つ半導体ダイオード検出器
の横断面図である。
【符号の説明】
1            測定頭部 2            高電圧X線源3,4,5 
   検出器 6            測定材料

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  X線源及び放射線検出器から成る,亜
    鉛層の鉄含有量を測定する装置において,装置が測定頭
    部(1)を持つており,この測定頭部の中に,高電圧X
    線源(2)が,測定されるべき材料(6)の面に対して
    60゜ないし120゜の角度(γ)をなして配置されて
    おりかつ選択感度を備えた少なくとも2つの検出器(3
    ,4)が,測定されるべき材料(6)の面に対して一方
    の検出器(3)は最大30゜の角度(α)をなして,他
    方の検出器(4)は60゜ないし120゜の角度(β)
    をなして,配置されていることを特徴とする,亜鉛層の
    鉄含有量を測定する装置。
  2. 【請求項2】  測定頭部(1)が1つの高電圧X線源
    (2)及び3つの検出器(3,4及び5)を持つており
    ,この場合,検出器(3及び5)が,測定されるべき材
    料(6)の面に対して同じ角度(α)をなして配置され
    ていることを特徴とする,請求項1に記載の装置。
  3. 【請求項3】  検出器(3,4,5)が,金属箔(1
    0)を吸収フイルタとして取り付けることにより,選択
    感度を持つことを特徴とする,請求項1又は2に記載の
    装置。
  4. 【請求項4】  検出器(3,4,5)が半導体ダイオ
    ード検出器として構成されかつそれぞれ増幅器(15)
    に結合されており,増幅器パルスが,検出器(3,4,
    5)の選択感度を得るために単一チヤネル弁別器(16
    )で電子的に選択可能であることを特徴とする,請求項
    1又は2に記載の装置。
  5. 【請求項5】  検出器信号(3,4,5)が,測定結
    果を表示するために公知の電子データ処理装置へ供給さ
    れることを特徴とする,請求項1ないし4のうち1つに
    記載の装置。
  6. 【請求項6】  測定結果を用いて公知の手段により製
    造過程が制御されることを特徴とする,請求項5に記載
    の装置。
JP03252713A 1990-07-06 1991-06-28 亜鉛層の鉄含有量を測定する装置 Expired - Lifetime JP3079389B2 (ja)

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DE (2) DE4021617C2 (ja)
FI (1) FI913029A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7356114B2 (en) 2005-09-14 2008-04-08 Rigaku Industrial Corporation X-ray fluorescence spectrometer

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH684903A5 (de) * 1992-08-27 1995-01-31 Balzers Hochvakuum Verfahren zur Beurteilung der Beschichtbarkeit von Metallen.
DE4303878A1 (de) * 1993-02-10 1994-09-01 Amtec Analysenmestechnik Gmbh Verfahren zur Schichtanalyse nach dem Röntgenfluoreszenzverfahren unter Berücksichtigung unterschiedlicher Grund- und Schichtwerkstoffe
US5414747A (en) * 1993-02-22 1995-05-09 The Penn State Research Foundation Method and apparatus for in-process analysis of polycrystalline films and coatings by x-ray diffraction
JP3820049B2 (ja) * 1998-07-16 2006-09-13 パナリティカル ビー ヴィ 薄膜の蛍光x線分析方法及び装置
JP3062685B2 (ja) * 1998-07-23 2000-07-12 セイコーインスツルメンツ株式会社 蛍光x線分析計
JP2002533674A (ja) * 1998-12-21 2002-10-08 コーニング・インコーポレーテッド 物質濃度測定用x線蛍光放射分析
GB0016591D0 (en) * 2000-07-06 2000-08-23 Elcometer Instr Ltd Dual mode coating thickness measuring instrument
US6732059B2 (en) * 2001-08-23 2004-05-04 William K. Warburton Ultra-low background gas-filled alpha counter
US7202475B1 (en) * 2003-03-06 2007-04-10 Kla-Tencor Technologies Corporation Rapid defect composition mapping using multiple X-ray emission perspective detection scheme
WO2007034570A1 (ja) * 2005-09-22 2007-03-29 Jfe Steel Corporation 亜鉛系めっき鋼板のプレス成形性評価方法
DE102006048688B4 (de) * 2006-10-14 2022-02-03 Byk Gardner Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung von Oberflächen mit Effektpigmenten
DE102011122930B3 (de) * 2011-06-27 2014-07-17 Rayonic Sensor Systems Gmbh System und Verfahren zum Messen der Dicke einer Zinkschicht auf Stahl und zum Messen des Eisengehaltes einer Zinkschicht
DE102012105591A1 (de) 2011-06-27 2012-12-27 Rayonic Sensor Systems Gmbh Dispersive Ionisationskammer
DE102011051365B4 (de) 2011-06-27 2013-08-22 Rayonic Sensor Systems Gmbh Detektionseinrichtung und System zum Messen der Dicke einer Zinkschicht auf Stahl und zum Messen des Eisengehaltes einer Zinkschicht
AU2019268796A1 (en) * 2018-05-18 2020-12-17 Enersoft Inc. Systems, devices, and methods for analysis of geological samples
EP4298441A1 (en) * 2021-02-26 2024-01-03 NV Bekaert SA Method of measuring the content of a chemical element in a coating

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE263673C (ja) *
US3012140A (en) * 1959-01-28 1961-12-05 United States Steel Corp Apparatus for measuring the thickness of a coating on a base material
US3848125A (en) * 1971-09-20 1974-11-12 Industrial Nucleonics Corp Coating thickness gauge
US3843884A (en) * 1971-09-20 1974-10-22 Industrial Nucleonics Corp X-ray gauging method and apparatus with stabilized response
DE3031046A1 (de) * 1980-08-16 1982-04-15 Klöckner-Humboldt-Deutz AG, 5000 Köln Messkopf fuer ein roentgenfluoreszenz-analysenmessgeraet
JPS57172207A (en) * 1981-04-16 1982-10-23 Seiko Instr & Electronics Ltd Measuring method for plating thickness by x rays
WO1986002164A1 (en) * 1984-10-05 1986-04-10 Kawasaki Steel Corporation Method of determining thickness and composition of alloy film
JPS6145916A (ja) * 1984-08-09 1986-03-06 Rigaku Denki Kogyo Kk 放射線付着量計
JPS61195335A (ja) * 1985-02-25 1986-08-29 Shimadzu Corp 薄層の定量分析方法
US4748647A (en) * 1985-08-12 1988-05-31 General Electric Company Fuel tube barrier gauge
FI80524C (fi) * 1986-06-02 1990-06-11 Outokumpu Oy Foerfarande och anordning foer analysering av slamartade material.
US4959848A (en) * 1987-12-16 1990-09-25 Axic Inc. Apparatus for the measurement of the thickness and concentration of elements in thin films by means of X-ray analysis
GB8811459D0 (en) * 1988-05-13 1988-06-15 Dmc Boyle Ltd Method & apparatus for measuring thickness of coating on substrate
JPH0739987B2 (ja) * 1988-06-28 1995-05-01 川崎製鉄株式会社 皮膜の厚みと組成の同時測定方法
US5081658A (en) * 1989-03-30 1992-01-14 Nkk Corporation Method of measuring plating amount and plating film composition of plated steel plate and apparatus therefor

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7356114B2 (en) 2005-09-14 2008-04-08 Rigaku Industrial Corporation X-ray fluorescence spectrometer

Also Published As

Publication number Publication date
US5187727A (en) 1993-02-16
DE4021617C2 (de) 1993-12-02
ATE171274T1 (de) 1998-10-15
EP0465797B1 (de) 1998-09-16
DE59109053D1 (de) 1998-10-22
EP0465797A2 (de) 1992-01-15
EP0465797A3 (en) 1992-10-14
FI913029A0 (fi) 1991-06-20
JP3079389B2 (ja) 2000-08-21
FI913029A (fi) 1992-01-07
DE4021617A1 (de) 1992-01-16

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