JPH04230053A - 局所的条件を補償する集積回路 - Google Patents

局所的条件を補償する集積回路

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JPH04230053A
JPH04230053A JP3128017A JP12801791A JPH04230053A JP H04230053 A JPH04230053 A JP H04230053A JP 3128017 A JP3128017 A JP 3128017A JP 12801791 A JP12801791 A JP 12801791A JP H04230053 A JPH04230053 A JP H04230053A
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current
leakage current
line
leakage
compensation
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JP3128017A
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Masakazu Shoji
マサカズ ジョージ
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AT&T Corp
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American Telephone and Telegraph Co Inc
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    • H03K19/00Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits
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    • H03K19/00361Modifications for eliminating interference or parasitic voltages or currents in field effect transistor circuits
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05FSYSTEMS FOR REGULATING ELECTRIC OR MAGNETIC VARIABLES
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【技術分野】本発明は一般的に集積回路、より具体的に
は能動要素の振舞いが能動要素を含む集積回路の部分に
局所的な条件により影響を受ける集積回路に係る。その
ような局所的条件の例は、パターンの寸法、局所的な温
度差及び局所的雑音である。
【0002】
【本発明の背景】
【本発明の分野】集積回路の能動要素の振舞いに局所的
条件が影響を与える1つの領域は、漏れ電流である。現
在の集積回路のある種の型に使われているトランジスタ
は、本質的に“漏れ”がある。すなわち、トランジスタ
がオフになっている時でも、ソースからドレインへの電
流がある。パターン寸法が減少し、回路の複雑さが増す
とともに、トランジスタがオフになっている時の漏れ電
流は、より重要でより局所的な条件の問題となる。漏れ
電流が重要な問題になっている集積回路の種類は、CM
OSFETで製作したダイナミックゲートを用いたもの
である。そのような集積回路については、マサカズ  
ショージ(MasakazuShoji)、CMOSデ
ィジタル回路技術、プレンティス−ホール、エングルウ
ッド・クリフ、N.J.1988(以下“ショージ”と
よぶ)の第5章に述べられている。CMOSFETにお
いて、固有の漏れ電流により生じる問題は、パターン寸
法が減少し、回路の複雑さが増すとともに、以下の理由
により増加する。
【0003】・CMOSFETの大きさが減少するとと
もに、その閾値電圧は一般に減少する。その理由は、パ
ワー供給電圧が減少するか、より低い閾値電圧でより高
度の特性を要求されるかのいずれかである。閾値電圧が
減少するとともに、漏れ電流は指数関数的に増加する。
【0004】・単一の集積回路中に作られるシステムの
複雑さが増すとともに、信号を効率的に処理するために
、より複雑な論理ゲートが要求され、1つのノードに接
続された数百もの多くのFETが存在することがある。 1つのノードに接続されたFETの数が増すにつれ、ノ
ード中の漏れ電流と1つのFETのみがオンの時に流れ
る電流の差は減少する。
【0005】・デバイス数が増し、デバイス寸法が減少
するにつれ、デバイス形状、温度及び静電的に誘導され
る雑音の局所的な変動が、あるFETを貫く漏れ電流に
、次第に影響を与える。
【0006】上のすべての理由により、CMOSFET
に固有の漏れは、ダイナミックプログラマブルロジック
アレイ(PLA)及びダイナミックメモリのようなある
種の大規模集積回路中に、CMOSFETを用いる限界
になると、当業者はみなしている。
【0007】
【従来技術の記述】図1はダイナミックCMOSゲート
中の漏れ電流に対する従来技術の解を示す。回路101
はショージの213頁からとった。それは3入力NOR
ゲートを含む。NORゲートへの入力は、A、B、及び
C、出力はCと印されている。回路は二種類のCMOS
電界効果トランジスタ(FET)で作られている。FE
T103及び107はPFETで、他のFETはNFE
Tである。2つの型の機能の差は、PFETはゲートが
低電圧の時導電性で、一方NFETはそのゲートが高電
圧の時導電性であることである。回路101中のFET
は、以下の機能をもつ。
【0008】・NFET105、117及び119はN
OR機能を果す。 ・PFET103は出力ノード111をあらかじめ充電
する。 ・FET115は接地スイッチである。それがオンの時
、それはNFET105、117及び119のソース電
極を接地する。 ・PFET107は通常小さなFETで、それはNFE
T105、117及び119がオフの時、それらを貫く
漏れ電流を補償する。
【0009】回路101の動作はクロック信号113に
より制御される。クロック113が低の時、PFET1
03はオン、NFET115はオフで、その結果線11
1はVDDにあらかじめ充電される。クロック113が
高になった時、PFET103はオフでNFET115
はオンで、その結果NFET105、117又は119
のいずれかがオン、すなわち線(A、B)又は(C)の
いずれかが高論理値をもつなら、出力線111は接地さ
れ、もし線(A、B)又は(C)のいずれもが高論理値
を持たないなら、出力線111はあらかじめ充電されて
いたVDDのままである。線(A、B)及び(C)の状
態と出力線O(111)のそれぞれの関係は、論理NO
R機能の関係である。
【0010】上で述べたように、NFET105、11
7及び119がオフである時、それらを貫く漏れ電流が
存在する。PFET107のゲートは接地され、従って
そのPFETは常にオンで、PFET107はそれを貫
く電流が、一方でNFET105、117及び119が
すべてオフの時、NFET105、117及び119を
流れる漏れを補償でき、他方でNFET105、117
及び119の1ないし複数がオンの時、出力線111が
接地電位に近いように、十分小さいような大きさをもつ
【0011】NFET105、117及び119を貫く
漏れ電流をPFET107が補償することは、費用がか
かるようになってきた。集積回路が設計される時、NF
ET105、117及び119の漏れ電流を精密に予測
することは不可能であるから、PFET107は実際の
漏れ電流より多くの電流を供給するよう、常に設計され
る。その結果、NFET105、117及び119の1
つがオンの時、出力線111は完全には接地にならない
。もし、CMOSPLAの場合のように、出力線111
が別のゲートへの入力であるなら、そのゲートの論理動
作及び雑音感度は、出力線111が完全には接地にはな
らないという事実に影響を受ける可能性がある。
【0012】PFET107により生じる問題は、パタ
ーン寸法が減少し、回路の複雑さが増すとともに増加す
る。第1に、閾値電圧が減少するとともに、出力線11
1を入力とするダイナミックCMOSゲートは、NFE
T105、117及び119の1つがオンの時、出力線
111は接地にないという事実に対し、より敏感になる
。この敏感さの1つの結果は、そのCMOSゲート中の
漏れ電流の増加である。第2に、漏れ電流が増加し、か
つ1つのノードに接続されたFETの数が増すとともに
、全漏れ電流とNFET105、117及び119の任
意の1つがオンの時生じる電流との差は、減少しつづけ
る。nFETが接続されたノードの漏れ電流は、nIL
 である。もしノードが論理デバイスとして十分機能す
べきであるなら、そのノードに接続されたNFETの1
個だけがオンの時生じる電流IO は、nIL より本
質的に大きくなければならない。第3に、集積回路の密
度及びその速度が増すとともに、回路中の雑音は増加し
、漏れ電流は雑音電圧の指数に比例して増加する。最後
に、デバイスの数が増すにつれ、局所的な効果も増す。 たとえば、以下のようなものである。
【0013】・与えられたNFETはPFET107か
らある距離離れて配置されている可能性がある。集積回
路を生成するプロセス中の不完全さにより、それは指定
したより大きいか小さいIL をもつ可能性がある。
【0014】・PFET107の位置より暖かいか冷た
い集積回路中の位置に、与えられたNFETがある可能
性があり、やはり指定されたものより大きいか小さいI
L を生じる。
【0015】・与えられたNFETは、PFET107
の位置における容量より大きいか小さいゲート容量があ
る集積回路中の位置にある可能性がある。FETのゲー
ト容量はその漏れ電流に関係しているから、その効果は
やはり指定したより大きいか小さいIL を生じる。
【0016】従って、回路速度、密度及び複雑さが増す
とともに、nILとIO は相互に近づき、一定の電流
を生じるPFET107のような電流源は、ますます不
十分になる。技術が必要とすること及びここで述べた装
置により実現されることは、局所的な条件(この場合、
漏れ電流)により生じる効果に対する補償が、補償すべ
き効果に正確に比例する集積回路である。
【0017】
【本発明の要旨】一般的にいうと、ここで述べる装置は
集積回路の一部分中の能動要素に対する局所的な条件の
効果を、補償する。装置は少くとも以下の要素を含む。
【0018】・局所的な条件を受け、それに対する応答
を生じ、それは能動要素に対する局所的な条件の効果に
比例する一部分中の検出要素。
【0019】・応答に比例し、能動要素に対する局所的
条件の効果を補償する補償入力をその部分に供給するこ
とにより、局所的条件に対する検出要素の応答に反応す
る検出要素及びその部分に接続された補償手段。
【0020】装置の重要な構成要素の中では、複数の局
所的条件が第1の複数の能動要素に含まれる各部に影響
を与える可能性がある。能動要素間に点々と入れられた
第2の複数の検出要素がある。補償手段はすべての検出
要素に結合され、それらの応答を局所的条件と反応させ
、補償入力を生成させる。
【0021】ある種類の装置は、第1の漏れ電流を補償
する。その種類は、少くとも以下の要素を含む。・漏れ
電流決定要素それは集積回路の一部分中に組込まれ、第
1の漏れ電流に比例して変化する第2の漏れ電流を有す
る。
【0022】・漏れ電流決定手段とその部分に接続され
た補償電流供給要素それは第2の漏れ電流を受け、第1
の漏れ電流に本質的に等しい補償電流を発生し、その部
分に補償電流を供給することにより、第2の漏れ電流に
応答する。
【0023】漏れ電流決定要素はその部分中に含まれる
1ないし複数のデバイスを含んでよい。デバイスは漏れ
電流を補償するデバイスと同じ環境の影響を受ける。補
償電流供給要素は、電流ミラーでよい。装置の好ましい
実施例は、ダイナミックCMOSPLA中で実施される
【0024】従って、本発明の1つの目的は、改善され
た集積回路を実現することである。漏れ電流がそれと正
確に同じ大きさの電流によって補償される集積回路を実
現することが、本発明のもう1つの目的である。改善さ
れたダイナミックCMOS集積回路を実現することが本
発明の更に別の目的である。改善されたダイナミックC
MOSPLAを実現することが、本発明の別の目的であ
る。本発明のこれらの目的及び他の目的は、以下の詳細
な記述と図面を考察すれば、当業者には明らかになるで
あろう。
【0025】
【詳細な記述】本発明を実施する装置の以下の記述は、
そのような装置の概観から始り、本発明を実施する3入
力NORゲートに続け、本発明を実施するPLAの要素
で結論とする。
【0026】
【装置の概観:図2】図2は漏れ電流に比例した補償電
流を供給することにより、漏れ電流を補償する装置の概
念的なブロックダイヤグラムである。パワーはVDDの
線215により、装置に供給される。ブロック203は
オフの時、固有の漏れをもつ要素を含む集積回路の一部
である。要素は2つの種類、すなわち能動要素206(
1−−n)及び少くとも1つの漏れ検出要素205に属
する。能動要素206は出力線213上の部分の出力を
決る。各能動要素206はオフの時、固有の漏れIL 
を有し、接地された線217を貫いてn・IL の全固
有漏れを生じる。能動要素206の1つがオンの時、線
217は更にIO を流す。
【0027】漏れ検出要素205は部分203中の固有
の漏れの量を検知する。要素205は能動要素206と
同じ環境下にあり、能動要素206と同じようにその環
境の影響を受けるが、出力線213の状態に対しては、
どのような影響も及ぼさない。能動要素206と同様、
漏れ検出要素205は線209を通して接地に電流を漏
し、それが漏す電流の量は、n・IL に比例し、式k
・n・IL で示されるように、n・IL とともに変
化する。一般に、kは1より小さい。
【0028】漏れ電流検出要素205は、線209を経
由して補償電流供給要素207に接続されている。漏れ
検出要素205は漏れをもつから、電流k・n・IL 
が線209を貫いて流れる。補償電流供給要素207は
線209上の電流に比例し、それとともに変化する補償
電流を線211上に供給する。補償電流は出力線213
に供給される。装置201において、線209上の電流
k・n・IL と線211上の補償電流の間の比は、補
償電流が漏れ電流n・IL に等しいように選ばれる。 補償電流は漏れ電流に等しいだけでなく、漏れ電流とと
もに変化するから、部分203の環境の変化により漏れ
電流が変化した時ですら、補償電流は常に完全に漏れ電
流を補償する結果になる。
【0029】上で述べたように、装置201中で実施さ
れる基本的な原理は、以下のとうりである。すなわち、
回路中の能動要素に対する局所的な条件の効果は、1な
いし複数の検出要素及び補償要素によって補償される。 検出要素は能動要素と集積回路と同じ位置にあり、能動
要素に対する局所的な条件の効果に比例するように、局
所的な条件により影響を受ける。補償要素は局所的条件
のすべての効果に対し、回路に正確な補償を与えること
により、検出要素に応答する。
【0030】この原理を用いた装置は、漏れ電流以外の
効果を扱うために用いてもよい。たとえば、高速で動作
するディジタルデータ伝送システムは、入力パルスを受
け、本質的に同じ幅の出力パルスを生成する必要がある
。そのようなシステム中で用いられる論理は、より複雑
になり、回路は局所的な条件にますます敏感になり、パ
ルス幅を維持することが、より困難になる。装置201
の原理を用いた装置は、次のようにしてこの問題を扱う
ことができた。すなわち、パルスに対する局所的条件の
効果を決ることが目的である入力パルスに対する第2の
経路と、パルス幅に対する局所的条件の効果を補償する
ことにより、第2の経路に応答する回路を用意すること
による。
【0031】
【漏れ電流補償を有する3−入力NORゲート:図3】
図3は回路301の概略図で、それは図3の装置を実施
したCMOSFET中で使われた3−入力NORゲート
である。そのNORゲートは図1のNORゲートと同じ
ように使われるが、漏れ補償PFET107が漏れ検出
要素205と補償電流供給要素207で置き代っている
ことが異なる。図1及び2中に対応したものをもつ図3
中の要素には、それらの図中の対応する要素に使われた
のと同じ参照数字がつけられている。
【0032】回路301中の漏れ検出要素205は、ゲ
ートが永久に接地されたNFET309とゲートが永久
にVDDであるもう1つのNFET302から成る。N
FET309はNFET105、117及び119と回
路301の同じ領域にあり、従って同じ局所的効果を受
ける。同様に、NFET302はNFET115と回路
301の同じ領域にあり、そのデバイスと同じ局所的効
果を受ける。しかし、NFET309及びNFET30
2は出力線111と接地線217の間には接続されてお
らず、従って出力111の状態には何の効果ももたない
。 NFET309はNFET309の漏れ電流が、NFE
T105、117及び119により生じた漏れ電流n・
IL に比例するように設計される。NFET302は
それがオンの時、NFET115がオンの時それを流れ
る電流と同じ電流が流れるように、設計される。NFE
T309は常にオフで、NFET302は常にオンであ
るから、線209に常に漏れ電流k・n・IL を流す
【0033】回路301中の補償電流供給要素207の
主な要素は、電流ミラー307で、PFET303及び
305から成る。電流ミラーは当業者にはよく知られて
いる。たとえば、オットー・エイチ・シェード(Ott
o H.Schade) ジュニア、CMOS/バイポ
ーラ線形集積回路、技術論文要旨、1974アイ・イー
イーイー国際固体回路コンファレンス、ニューヨーク、
1974、136−137頁を参照のこと。電流ミラー
は図3中でそれぞれ線209及び211により示された
2つの側面をもつ。回路は一方の側、この場合線209
に電流が流れた時、他方の側、この場合線211に比例
した電流が流れるような特性をもつ。電流ミラーが動作
する原理は、概略図からわかる。すなわち、線311は
線209をPFET303とPFET305の両方のゲ
ートに接続し、上で示したように、PFETのゲート上
の電荷が減少するにつれ、PFETを流れる電流は増加
する。線311上の電荷はNFET309中の漏れ電流
に依存する。NFET309を貫いて流れるにつれ、線
311上の電荷は降下し、PFET303及びPFET
305の両方を流れる電流は増加する。線211を貫く
電流は従って、線209を貫く電流に、直接比例する。 電流ミラーは線209を貫く電流と線211を貫く電流
の間の所望の比を得るように、設計してもよい。たとえ
ば、もし回路301をNFET309及びNFET10
5、117及び119が同一であるように設計するなら
、k・n・IL 中のkは1/3で、電流ミラー307
は線209中の電流の3倍の線211中の電流を生じる
ように設計される。
【0034】回路101の場合のように、回路301の
動作はクロック113により制御される。クロック信号
113が低のとき、PFET103はオンでNFET1
15はオフであり、従って線111はVDDにある。ク
ロック信号113が高になると、PFET103はオフ
で、NFET115はオンである。これとは独立に、漏
れ電流k・n・IL はNFET309及び302を貫
いて流れ、電流ミラー307に線211上の漏れ電流に
比例する電流を生じさせ、もしNFET105、117
及び119がすべてオフなら、線211上の補償電流は
NFET105、117及び119を流れる漏れ電流を
補償する。もし、NFET105、117又は119の
いずれかがオンなら、出力線111は導通のNFET、
線217及びNFET115を通して接地される。
【0035】従来技術の回路101に対する回路301
の利点には、以下の点がある。・線211上の補償電流
は線217上の漏れ電流と正確に同じで、その結果図1
の従来技術のPFET107からの補償電流より、出力
線111を入力とするゲートの振舞いに影響を与える可
能性は、はるかに小さい。
【0036】・NFET309はNFET105、11
7及び119と同じ種類のデバイスで、回路301の同
じ領域中にある。同様に、NFET302はNFET1
15と同じ種類のデバイスで、そのデバイスと回路30
1の同じ領域にある。従ってNFET309及び302
はNFET105、117、119及び115と同じ局
所的条件を受け、線209中の漏れ電流に対するそれら
の局所的条件の効果は、線211中の漏れ電流に対する
それらの効果と、本質的に同じである。そのため、線2
11中の補償電流は、NFET105、117、119
及び115に対する局所的条件の効果を、常に正確に補
償する。
【0037】
【ダイナミックCMOSPLA中の漏れ補償を有するビ
ット線:図4】漏れ検出要素205及び漏れ電流補償要
素207を用いた回路について、上で数えた利点は、多
数のFETが単一のノードに接続されたダイナミックC
MOS集積回路において、より重要になる。そのような
回路の例は、ダイナミックCMOSメモリ及びダイナミ
ックCMOSPLAである。これらの回路についての議
題は、ショージの336−341及び216−221に
それぞれ見出される。CMOSPLA中で要素205及
び207を用いる以下の議論は、任意のそのような回路
中で用いる例である。
【0038】PLAはマイクロプロセッサ中で状態ベク
トルを発生させるのに必要とされるような、ほとんど完
全にランダムな論理を行う場合に、一般的に用いられる
。状態ベクトルを表わす第1のビット列がPLAの入力
にある時、PLAは別の状態ベクトルを表わす第2のビ
ット列を出力することにより、応答する。現在の技術に
よるマイクロプロセッサにおいては、状態ベクトルを表
わすビットの数は、非常に大きくなる可能性がある。 一方、ビットの数は単一の出力線に接続される可能性の
あるFETの数を支配し、複雑な状態機械を用いるPL
Aでは、100ないしそれ以上のFETが単一の出力線
に接続されることがある。
【0039】図4は単一のそのような出力線425に対
して、要素205及び207を用いた回路401を示す
。回路401は3論理入力以上をもつNORゲート30
1の本質的な変形である。回路301中のように、各論
理入力はNFETのゲートに接続されている。ここで、
入力はI411(1−−n)と印され、入力に対応する
NFETは405(1−−n)と印されている。各NF
ET405(1−−n)は出力線425と線421間に
接続されている。NFET405(1−−n)間にはさ
まれて、NFET403(1−−m)があり、それは回
路401中で漏れ検出要素205を構成する。NFET
403及びNFET405はプロセス誤差が同一である
ように、近接している。NFET403は規則的な間隔
ではさまれており、3個のNFET405のそれぞれに
対して1つのNFET403となっている。他の実施例
において、他の間隔を選んでもよく、間隔は規則的でな
くてもよい。各NFET403は線415及び線423
に接続され、常にオンであるNFET429にも接続さ
れている。NFET429は接地スイッチNFET40
9と、回路401の同じ領域にある。従って、線415
中の漏れ電流は、NFET405(1−−n)のすべて
がオフで、線421が接地されている時、線425中の
漏れ電流に比例する。回路301と同様、回路401も
事前充電PFETを含み、ここでは参照数字407が印
されている。電流ミラー307は線415中の電流に応
答して、線417中に補償電流を発生する。NFET4
03(1−−m)及びNFET405(1−−n)はN
FET429及び409と同様同一であるから、線42
1中の漏れ電流に対する線415中の電流の比は、NF
ET405に対するNFET403の比と同じで、この
場合m:nである。従って、電流ミラー307は線41
5中の電流に対する比がやはりm:nである補償電流を
生じる。 ここで、mは線415中の電流を、またnは線417中
の電流を表わす。
【0040】回路401の動作は、回路301のそれと
類似である。クロック信号427が低の時、PFET4
07はオンで、出力線425をあらかじめ充電する。ク
ロック信号427が高になる時、PFET407はオフ
になり、NFET409はオンになる。NFET403
(1−−m)に漏れがある時、電流ミラー307はNF
ET405(1−−n)中の漏れ電流により失われる量
と等しい電流を線417に供給する。入力線I(1−−
n)のいずれも高電圧でない限り、出力425はVDD
のままで、もし入力I(1−−n)の1ないし複数が高
電圧にあるなら、1ないし複数のNFET405がター
ンオンし、出力線425はターンオンしたNFET40
5及びNFET409を通して、接地される。
【0041】漏れ電流を補償するために、回路101の
PFET103と等価なものを用いた従来技術の回路に
対する回路401の利点は、回路301の利点よりも大
きい。理由は、出力線425に接続された多数のNFE
T405と増加した回路の密度は、n・IL とIO 
間の差を減少させるように働き、同時にデバイスサイズ
、温度及び雑音のような局所的な条件のn・IL に対
する効果を増す働きをするということである。
【0042】
【結論】これまでの詳細な記述により、当業者が集積回
路中の局所的条件の効果を補償する集積回路をいかに作
製し、使用するかが示された。ここで述べた具体的な例
は、漏れ電流が正確に補償されるダイナミックCMOS
回路がいかに構成されるかを示した。しかし、本発明は
漏れ電流を補償したり、ダイナミックCMOS回路には
限定されない。ダイナミックCMOS回路中で実施され
る原理は、漏れ電流以外の現象に関して、またダイナミ
ックCMOS以外の技術を用いた集積回路中で用いるこ
とに適用してもよい。従って、詳細な記述はすべて例で
あり、本発明の視点は、等価な指針により示される特許
請求の範囲によってのみ規定される。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1はダイナミックCMOSを用いて実施した
従来技術の3−入力NORゲートの概略構成図である。
【図2】図2はここで述べる装置の概念的なブロックダ
イヤグラムを示す図である。
【図3】図3はその装置を用いた3−入力NORゲート
の概略構成図である。
【図4】図4はその装置を用いたダイナミックCMOS
PLAの一部分の概略構成図である。
【符号の説明】
201  装置 203  ブロック、部分 205  検出要素、要素、漏れ検出要素206  能
動要素 207  補償電流供給要素 209  線 211  線 213  出力線 215  線 217  線 301  回路 302  NFET 303  PFET 305  PFET 307  電流ミラー 309  NFET 401  回路 403  NFET 405  NFET 407  PFET 409  NFET 411  入力 415  線 417  線 421  線 425  出力線 427  クロック信号 429  NFET

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  集積回路の一部分中の能動要素(20
    6)に対する局所的条件の効果を補償するための装置に
    おいて、装置は局所的条件を受け、能動要素に対する局
    所的条件の効果に比例するそれに対する応答を発生する
    その部分中の検出要素(205)及び応答に比例し、能
    動要素に対する局所的条件の効果を補償するその部分へ
    の補償入力を供給することにより、局所的条件に対する
    検出要素の応答に反応するように、検出要素及びその部
    分に結合された補償手段(207)を含むことを特徴と
    する装置。
  2. 【請求項2】  請求項1に記載の装置において、検出
    要素は能動要素と同様に局所的条件の影響を受け、局所
    的条件に対する検出要素の応答は、それへの能動要素の
    応答に比例する装置。
  3. 【請求項3】  請求項1に記載の装置において、部分
    の異なる領域への複数の局所的条件があり、異なる経路
    中に配置された複数の能動要素があり、能動要素にはさ
    まれた複数の検出要素があり、複数の検出要素の応答に
    反応する補償手段がある装置。
  4. 【請求項4】  請求項1に記載の装置において、検出
    要素は能動要素と同様に局所的条件の影響を受け、局所
    的条件に対する検出要素の応答は、それへの能動要素の
    応答に比例する装置。
  5. 【請求項5】  請求項1に記載の装置において、局所
    的条件は第1の漏れ電流であり;検出要素は第1の漏れ
    電流に比例してそれとともに変化する第2の漏れ電流を
    有するその部分に組込れた漏れ電流決定手段(302、
    309)であり;補償手段は第1の漏れ電流に本質的に
    等しい補償電流を発生し、補償入力としてその部分に補
    償電流を供給することにより、第2の漏れ電流に応答す
    るように、漏れ電流決定手段とその部分に結合された補
    償電流供給手段(307)である装置。
  6. 【請求項6】  請求項5に記載の装置において、第1
    の漏れ電流はその部分に局所的な条件により影響を受け
    ;漏れ電流決定手段は同じ条件により影響を受ける装置
  7. 【請求項7】  請求項5に記載の装置において、第1
    の漏れ電流は基本的にその部分中の第1のデバイス(1
    05)を貫く漏れの結果であり、漏れ電流決定手段は第
    1のデバイスの漏れに比例する漏れを有するその部分中
    の第2のデバイス(309)である装置。
  8. 【請求項8】  請求項7に記載の装置において、第2
    のデバイスは第1のデバイスと電気的に等価で、本質的
    に同じ形状と方向をもつ装置。
  9. 【請求項9】  請求項7に記載の装置において、第1
    のデバイスは第1の複数のそれの1つで、第2のデバイ
    スは第2の複数のそれの1つであり、第1の複数のデバ
    イスにはさまれ、第2の漏れ電流は第2のデバイスの漏
    れの合計である装置。
  10. 【請求項10】  請求項9に記載の装置において、第
    2のデバイスは第1のデバイスと実質的に同じ漏れを有
    する装置。
  11. 【請求項11】  請求項9に記載の装置において、第
    2のデバイスは第1のデバイスと電気的に等価で、実質
    的に同じ形状と方向をもつ装置。
  12. 【請求項12】  請求項5ないし11に記載の装置に
    おいて、補償電流供給手段は第2の漏れ電流に応答し、
    補償電流を発生する電流ミラーである装置。
JP3128017A 1990-06-01 1991-05-31 局所的条件を補償する集積回路 Pending JPH04230053A (ja)

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