JPH0421941A - 光ディスク基板の製造方法 - Google Patents
光ディスク基板の製造方法Info
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- JPH0421941A JPH0421941A JP12452390A JP12452390A JPH0421941A JP H0421941 A JPH0421941 A JP H0421941A JP 12452390 A JP12452390 A JP 12452390A JP 12452390 A JP12452390 A JP 12452390A JP H0421941 A JPH0421941 A JP H0421941A
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- JP
- Japan
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- pressurization
- resin
- plates
- stamper
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- Pending
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Landscapes
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、紫外線硬化樹脂を用いて、所定の凹凸形状を
有するスタンパ上の情報を支持板上に写しとって光ディ
スク基板とする、いわゆる２Ｐ法による光ディスク基板
の製造方法に関する。
有するスタンパ上の情報を支持板上に写しとって光ディ
スク基板とする、いわゆる２Ｐ法による光ディスク基板
の製造方法に関する。
［従来の技術］
従来の光ディスク基板の製造方法においては、第３図（
ａ）に示すように、案内溝や情報の形状に対応した凹凸
を有するスタンパ１の上に、紫外線硬化樹脂２を流し、
この上に透明なディスク形状の支持板３を位置決めして
設置し、さらに加圧用平坦ガラス４をその上に設け、紫
外線硬化樹脂２の層厚さが所定の厚さとなるよう、加圧
用平坦ガラス４の上から下方向に加圧をおこない、次に
加圧用平坦ガラス４と支持板３とを通して、紫外線を照
射して、紫外線硬化樹脂２を硬化させ、そして支持板３
をスタンパ１より剥離させることにより、案内溝や情報
を転写した光ディスク基板を得ていた。
ａ）に示すように、案内溝や情報の形状に対応した凹凸
を有するスタンパ１の上に、紫外線硬化樹脂２を流し、
この上に透明なディスク形状の支持板３を位置決めして
設置し、さらに加圧用平坦ガラス４をその上に設け、紫
外線硬化樹脂２の層厚さが所定の厚さとなるよう、加圧
用平坦ガラス４の上から下方向に加圧をおこない、次に
加圧用平坦ガラス４と支持板３とを通して、紫外線を照
射して、紫外線硬化樹脂２を硬化させ、そして支持板３
をスタンパ１より剥離させることにより、案内溝や情報
を転写した光ディスク基板を得ていた。
そして上記の加圧工程を経た後、スタンパ１と支持板３
との間には、紫外線硬化樹脂のはみ出しによって起こる
バリ８が、第３図（ｂ）に示すように発生していた。こ
のパリは、支持板側に付くこともあるが、この場合、後
工程においてパリが折れることにより、エラーが発生す
る原因を形成したりするので、後工程にてパリの処理を
設けていた。このパリが、スタンパ側に残っている場合
は、次の転写工程においてパリの上に支持板が乗ってし
まう為、紫外線硬化樹脂を所定の厚さに保つことが困難
となっていた。
との間には、紫外線硬化樹脂のはみ出しによって起こる
バリ８が、第３図（ｂ）に示すように発生していた。こ
のパリは、支持板側に付くこともあるが、この場合、後
工程においてパリが折れることにより、エラーが発生す
る原因を形成したりするので、後工程にてパリの処理を
設けていた。このパリが、スタンパ側に残っている場合
は、次の転写工程においてパリの上に支持板が乗ってし
まう為、紫外線硬化樹脂を所定の厚さに保つことが困難
となっていた。
この為、スタンパに接する支持板の内外周部及びこの支
持板が接するスタンパの接触部の外側に離型剤を塗布し
ておく方法、あるいは支持板の内外周に沿って、ドーナ
ツ形状のスポンジ製部材又は、溶剤付きのロール型ガー
ゼ等を用いて、過剰に広がった紫外線硬化樹脂を吸収、
又は、拭き取る方法等により、パリの発生を防止してい
た。
持板が接するスタンパの接触部の外側に離型剤を塗布し
ておく方法、あるいは支持板の内外周に沿って、ドーナ
ツ形状のスポンジ製部材又は、溶剤付きのロール型ガー
ゼ等を用いて、過剰に広がった紫外線硬化樹脂を吸収、
又は、拭き取る方法等により、パリの発生を防止してい
た。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、後工程でのパリ処理は、パリの折れによ
る基板表面のキズ発生や基板表面へのパリ付着が生じ易
く、これがエラー発生を引き起こすこととなっている。
る基板表面のキズ発生や基板表面へのパリ付着が生じ易
く、これがエラー発生を引き起こすこととなっている。
又、硬化前における紫外線硬化樹脂の拭き取りは、完全
におこなうことがむずかしく、少量の樹脂残渣が残って
、結果的に小さなパリが発生してしまうという問題点が
あった。
におこなうことがむずかしく、少量の樹脂残渣が残って
、結果的に小さなパリが発生してしまうという問題点が
あった。
［課題を解決する為の手段］
上記課題を解決する為、本発明の光ディスク基板の製造
方法は、所定の凹凸形状を有するスタンパの上に紫外線
硬化樹脂と中心孔を持つ支持板とを順次積層し、前記支
持板の上に加圧用平坦ガラスを当接せしめ、該加圧用平
坦ガラスを加圧板を介して、下方向に加圧して前記紫外
線硬化樹脂を所定の厚さに調整した後、この紫外線硬化
樹脂に紫外線を照射して硬化させてなる光ディスク基板
の製造方法において、前記紫外線硬化樹脂を検知する検
知手段と該検知手段からの検知信号により、前記加圧板
を介した下方向への加圧を制御する加圧制御手段とによ
り、前記紫外線硬化樹脂を所定の形状に調整することを
特徴とするものである。
方法は、所定の凹凸形状を有するスタンパの上に紫外線
硬化樹脂と中心孔を持つ支持板とを順次積層し、前記支
持板の上に加圧用平坦ガラスを当接せしめ、該加圧用平
坦ガラスを加圧板を介して、下方向に加圧して前記紫外
線硬化樹脂を所定の厚さに調整した後、この紫外線硬化
樹脂に紫外線を照射して硬化させてなる光ディスク基板
の製造方法において、前記紫外線硬化樹脂を検知する検
知手段と該検知手段からの検知信号により、前記加圧板
を介した下方向への加圧を制御する加圧制御手段とによ
り、前記紫外線硬化樹脂を所定の形状に調整することを
特徴とするものである。
［作用］
本発明は、紫外線硬化樹脂を検知する検知手段と、該検
知手段からの検知信号により加圧を制御する加圧制御手
段とにより、前記紫外線硬化樹脂を所定の形状に調整す
るので、紫外線硬化樹脂が支持板からはみ出すことを防
止することができる。
知手段からの検知信号により加圧を制御する加圧制御手
段とにより、前記紫外線硬化樹脂を所定の形状に調整す
るので、紫外線硬化樹脂が支持板からはみ出すことを防
止することができる。
［実施例］
第１図は本発明にかかる光ディスク基板の製造装置を示
す要部概略図である。
す要部概略図である。
スタンパ１の上に、紫外線硬化樹脂２を同心円状に流し
込み、その上にディスク形状の支持板３と加圧用平坦ガ
ラス４とを順次積み重ねて設置し、加圧板５を介して、
シリンダあるいはネジ機構を備えた加圧機（図示せず）
で、下方向に加圧を行ない、紫外線硬化樹脂２をスタン
パ１と支持板３との間で押し広げる（第２図（ａ））。
込み、その上にディスク形状の支持板３と加圧用平坦ガ
ラス４とを順次積み重ねて設置し、加圧板５を介して、
シリンダあるいはネジ機構を備えた加圧機（図示せず）
で、下方向に加圧を行ない、紫外線硬化樹脂２をスタン
パ１と支持板３との間で押し広げる（第２図（ａ））。
この時、複数個の検出装置６を加圧用平坦ガラス４の上
方に設け、スタンパ１の所定検出位置７にフォーカスを
合わせて、検出装置６からの光の入射と反射とがこの所
定検出位置７でおこなわれるようにあらかじめセットし
てお（。この所定検出装置７は円周方向に少なくとも等
分で３点、すなわち、内・外周で６ケ所以上設ける。そ
して、加圧によって押し広げられた紫外線硬化樹脂２が
、スタンパ１上の所定検出位置７に到達した時、検出装
置６は反射光の光量低下を検知し、加圧板５への加圧力
を制御している制御システム９及び加圧用ドライバ１０
へ加圧終点を知らせて加圧を停止せしめるようになって
いる。なお、検出装置６のレーザ光は、紫外線硬化樹脂
を硬化させない、例えば、ＬＤ（７８０〜８３００ｍ）
又はＨｅ−Ｎｅレーザ（６３３ｎｍ ）を用い、光径は
１０μｍ以下が検出感度の安定化にとって好ましい。
方に設け、スタンパ１の所定検出位置７にフォーカスを
合わせて、検出装置６からの光の入射と反射とがこの所
定検出位置７でおこなわれるようにあらかじめセットし
てお（。この所定検出装置７は円周方向に少なくとも等
分で３点、すなわち、内・外周で６ケ所以上設ける。そ
して、加圧によって押し広げられた紫外線硬化樹脂２が
、スタンパ１上の所定検出位置７に到達した時、検出装
置６は反射光の光量低下を検知し、加圧板５への加圧力
を制御している制御システム９及び加圧用ドライバ１０
へ加圧終点を知らせて加圧を停止せしめるようになって
いる。なお、検出装置６のレーザ光は、紫外線硬化樹脂
を硬化させない、例えば、ＬＤ（７８０〜８３００ｍ）
又はＨｅ−Ｎｅレーザ（６３３ｎｍ ）を用い、光径は
１０μｍ以下が検出感度の安定化にとって好ましい。
加圧が終了した後は、紫外線照射がおこなわれて紫外線
硬化樹脂２が硬化して、支持板３と固着する。そして支
持板３とスタンパ１とを剥離して、光ディスク基板１１
を得た（第２図（ｂ））。
硬化樹脂２が硬化して、支持板３と固着する。そして支
持板３とスタンパ１とを剥離して、光ディスク基板１１
を得た（第２図（ｂ））。
この光ディスク基板１１は全くパリのないものであった
。
。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明の光ディスク基板の製造方
法は、紫外線硬化樹脂を検知する検知手段と、該検知手
段からの検知信号により加圧を制御する加圧制御手段と
により、前記紫外線硬化樹脂を所定の形状に調整するの
で、紫外線硬化樹脂が支持板からはみ出すことを防止す
ることができ、パリのない光ディスクを歩留りよく量産
することが可能となる。
法は、紫外線硬化樹脂を検知する検知手段と、該検知手
段からの検知信号により加圧を制御する加圧制御手段と
により、前記紫外線硬化樹脂を所定の形状に調整するの
で、紫外線硬化樹脂が支持板からはみ出すことを防止す
ることができ、パリのない光ディスクを歩留りよく量産
することが可能となる。
第１図は本発明の製造方法に関わる光ディスク基板の製
造装置を示す要部概略図、第２図（ａ）は本発明の製造
方法の一部である紫外線硬化樹脂を加圧している状態を
示す断面図、第２図（ｂ）はスタンパから光ディスク基
板を剥離した状態を示す断面図、第３図（ａ）は従来の
製造方法の一部である紫外線硬化樹脂を加圧している状
態を示す断面図、第３図（ｂ）はそのスタンパから光デ
ィスク基板を剥離した状態を示す断面図である。 ｌ ・ スタンパ、２・・ 紫外線硬化樹脂、３・・・
支持板、４・・・加圧用平坦ガラス、検出装置、 ９・・・ 制御システム、 加圧用ドライバ、 １１・・・ 光ディスク基板
造装置を示す要部概略図、第２図（ａ）は本発明の製造
方法の一部である紫外線硬化樹脂を加圧している状態を
示す断面図、第２図（ｂ）はスタンパから光ディスク基
板を剥離した状態を示す断面図、第３図（ａ）は従来の
製造方法の一部である紫外線硬化樹脂を加圧している状
態を示す断面図、第３図（ｂ）はそのスタンパから光デ
ィスク基板を剥離した状態を示す断面図である。 ｌ ・ スタンパ、２・・ 紫外線硬化樹脂、３・・・
支持板、４・・・加圧用平坦ガラス、検出装置、 ９・・・ 制御システム、 加圧用ドライバ、 １１・・・ 光ディスク基板
Claims (1)
- 所定の凹凸形状を有するスタンパの上に紫外線硬化樹
脂と中心孔を持つ支持板とを順次積層し、前記支持板の
上に加圧用平坦ガラスを当接せしめ、該加圧用平坦ガラ
スを加圧板を介して、下方向に加圧して前記紫外線硬化
樹脂を所定の厚さに調整した後、この紫外線硬化樹脂に
紫外線を照射して硬化させてなる光ディスク基板の製造
方法において、前記紫外線硬化樹脂を検知する検知手段
と該検知手段からの検知信号により、前記加圧板を介し
た下方向への加圧を制御する加圧制御手段とにより、前
記紫外線硬化樹脂を所定の形状に調整することを特徴と
する光ディスク基板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12452390A JPH0421941A (ja) | 1990-05-15 | 1990-05-15 | 光ディスク基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12452390A JPH0421941A (ja) | 1990-05-15 | 1990-05-15 | 光ディスク基板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0421941A true JPH0421941A (ja) | 1992-01-24 |
Family
ID=14887597
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12452390A Pending JPH0421941A (ja) | 1990-05-15 | 1990-05-15 | 光ディスク基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0421941A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006521682A (ja) * | 2003-03-27 | 2006-09-21 | コリア・インスティテュート・オブ・マシナリー・アンド・マテリアルズ | 多重浮彫要素スタンプと選択的付加圧力を利用したｕｖナノインプリントリソグラフィ法 |
| JP2007073939A (ja) * | 2005-08-12 | 2007-03-22 | Canon Inc | インプリント装置およびインプリント方法 |
| US8407086B2 (en) | 2000-05-15 | 2013-03-26 | Downing Place Limited Liability Company | System and method for consumer-selected advertising and branding in interactive media |
| US8417535B2 (en) | 2000-05-15 | 2013-04-09 | Downing Place Limited Liability Company | System and method for consumer-selected advertising and branding in interactive media |
-
1990
- 1990-05-15 JP JP12452390A patent/JPH0421941A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8407086B2 (en) | 2000-05-15 | 2013-03-26 | Downing Place Limited Liability Company | System and method for consumer-selected advertising and branding in interactive media |
| US8417535B2 (en) | 2000-05-15 | 2013-04-09 | Downing Place Limited Liability Company | System and method for consumer-selected advertising and branding in interactive media |
| US9589274B2 (en) | 2000-05-15 | 2017-03-07 | Chemtron Research Llc | System and method for consumer-selected advertising and branding in interactive media |
| JP2006521682A (ja) * | 2003-03-27 | 2006-09-21 | コリア・インスティテュート・オブ・マシナリー・アンド・マテリアルズ | 多重浮彫要素スタンプと選択的付加圧力を利用したｕｖナノインプリントリソグラフィ法 |
| JP4651390B2 (ja) * | 2003-03-27 | 2011-03-16 | コリア・インスティテュート・オブ・マシナリー・アンド・マテリアルズ | 多重浮彫要素スタンプを利用したｕｖナノインプリントリソグラフィ法 |
| JP2007073939A (ja) * | 2005-08-12 | 2007-03-22 | Canon Inc | インプリント装置およびインプリント方法 |
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