JPH04196008A - 導電性ペーストと積層電子部品の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、例えば積層セラミックコンデンサの内部電
極や積層チップインダクタの内部導体パターン等を形成
するために使用する導電性ペーストと、この導電性ペー
ストを使用した積層電子部品の製造方法に関するもので
ある。

［従来の技術］ 例えば積層セラミックコンデンサは、−Ｈに、誘電体グ
リーンシート上に導電性ペーストからなる内部電極をス
クリーン印刷法により印刷し、この導電性ペーストから
なる内部電極を乾燥させた後、誘電体グリーンシートを
積層・熱圧着し、これを所望の寸法にカットし、脱バイ
ンダー・焼成という手順を経て製造されている。

ここで、誘電体グリーンシートとしては、一般に、誘電
体粉末・バインダー・溶剤等を混練した誘電体スラリー
をＰＥＴ　（ポリエチレンテレフタレート）フィルム上
にドクターブレード法等を用いて２０〜３０ＬＬｍの厚
さに塗布し、乾燥させたものが使用されている。

また、導電性ペーストとしては、一般に、エチルセルロ
ース等の樹脂をケトン、トルエン、アルコール等の溶剤
で溶解し、これに所定の金属粉等を混合して混練し、更
にナフサ等の希釈剤によって希釈し、粘度調整したもの
が使用されている。

［発明が解決しようとする課題］ ところで、積層セラミックコンデンサの場合、最近の小
型化・大容量化の要求に伴って誘電体グリーンシートの
厚みを薄くし、積層数を多くする必要が生じている。

しかしながら、誘電体グリーンシートの厚みを、例えば
１０〜２０　ｌｖ　ｍと極めて薄（し、この誘電体グリ
ーンシート上に上記した導電性ペーストを印刷すると、
導電性ペースト中の瀉剤が誘電体グリーンシート中のバ
インダーに作用してシートアタックを生じ、誘電体グリ
ーンシートの強度が低下してハンドリングができな（な
ってしまうという問題点があった。

また、従来の導電性ペーストを使用した場合、印刷され
た導電性ペーストの乾燥に時間がかかるので、この乾燥
工程が積層セラミックコンデンザ等の積層電子部品の生
産速度を規制してしまい、積層電子部品の生産性をこれ
以上向上させることができないという問題点があった。

［課題を解決するための手段」 この発明に係る導電性ペーストは、電子線硬化樹脂を主
成分とするバインダーと、このバインダー中に分散して
いる導電性物質粉とからなるものである。

ここで、電子線硬化樹脂は、電子線重合性プレポリマー
、電子線重合性モノマー、増感剤及び添加剤からなるも
のである。

そして、電子線重合性モノマーとしては、例えば、アク
リレート系のものを用いることができる。また、電子線
重合性プレポリマーとしては、例えばポリエステルアク
リレート、エポキシアクリレート、ポリウレタンアクリ
レート、ポリエーテルアクリレート、ポリオールアクリ
レート等を用いることができる。

また、導電性物質粉としては、例えばＡｇ。

Ｐｄ、Ａｇ−Ｐｄ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｚｎ、Ｐｔ。

Ａｕ等の金属粉を用いることができる。

また、この発明に係る積層電子部品の製造方法は、グリ
ーンシートに上記電子線硬化性の導電性ペーストを所定
パターンで印刷し、電子線を所定時間叩射してこのグリ
ーンシートに印刷した導電性ペーストを乾燥させ、グリ
ーンシー１へと導体パターンとを交互に積層し、焼成し
てなるものである。

［作用コ この発明においては、誘電体グリーンシート上に印刷形
成された導電性ペーストのパターンに電子線を照射する
と、この導電性パターンは速やかに硬化する。

［実施例］ 実施例１ ポリエステルアクリレートを主成分とする電子線硬化樹
脂２０重量部に対して、内部電極材料１００重量部を加
え、三本ローラーを用いて混練し、導電性ペーストを作
成した。この導電性ペーストは粘度が２５０ｐｓ　（２
０℃）であった。

次に、誘電体グリーンシート（厚み：５ＬＬｍ。

１０μｍ、１５μｍ、２０μｍ）上に上記の導電性ペー
ストをスクリーン印刷法で印刷して内部電極を形成した
。

ここで、誘電体グリーンシートは、誘電体粉１００重量
部、バインダー１０重量部、ＤＢＰ（ジブチールフタレ
ート：可塑剤）３重量部、瀉剤（トルエン５０部十イソ
プロピルアルコール５０部）５０重量部からなる誘電体
スラリーを用いて製造したものを使用した。

次に、カーテンビーム法の電子線加速器を用いて２００
ｋＶの加速電圧で電子線を２秒間照射し、導電性ペース
トのバインダーを硬化させた。

以上の操作は全て誘電体グリーンシートが基材ＰＥＴフ
ィルムに密着した状態で行なった。

次に、内部電極を印刷形成した誘電体グリーンシートを
Ｐ　Ｅ　Ｔフィルムより剥離し、その破断強度（ｋｇ／
ｃｍ２）を求めたところ、第１図に示すようになった。

実施例２ ポリエーテルアクリレートを主成分とする電子線硬化樹
脂２０部に対して、内部電極材料１００部を加え、三本
ローラーを用いて混練して導電性ペーストを作成した。

この導電性ペーストは粘度が２１．０ｐｓ（２０℃）で
あった。

以下、実施例１と同様の操作を行ない、内部電極を印刷
形成した誘電体グリーンシートの破断強度（ｋｇ／ｃｍ
２１を求めたところ、第１図に示すようになった。

比較例１ 内部電極材料１００重量部に対してα−テルピネオール
（溶剤）で溶解したエチルセルロース８重量部（固形分
換算）を加え、三本ローラーで混練し、更に粘度調整の
為に希釈剤として石油系ナフサを添加し、２０℃で２０
０ｐｓの粘度の導電性ペーストを得た。

次に、誘電体グリーンシート（厚み＝５μｍ。

１０μｍ、１５μｍ、２０ＩＬｍ）上に前記導電性ペー
ストをスクリーン印刷法で印刷して内部電極を形成した
。

次に、内部電極を印刷形成した誘電体グリーンシートを
熱風乾燥機中に入れ、１１０℃で、２分間加熱し、内部
電極中の溶剤及び希釈剤を蒸発させた。

以上の操作は全て誘電体グリーンシートがＰＥＴフィル
ムに密着した状態で行なった。

次に、内部電極を印刷形成した誘電体グリーンシートを
ＰＥＴフィルムより剥離し、その破断強度（ｋｇ／ｃｍ
２１を求めたところ、第１図に示すようになった。

以上、実施例１．２及び比較例１の結果から明らかなよ
うに、実施例１．２においては、５〜２０ＬＬｍ程度の
極めて薄い誘電体グリーンシートが導電性ペーストのシ
ートアタックによる影響を殆ど受けない為、比較例１に
認められるような誘電体グリーンシートの薄膜化に伴な
う破断強度の低下が大幅に緩和されている。

［発明の効果コ この発明は、導電性ペーストのバインダーとして電子線
硬化樹脂を使用したので、膜厚５〜２０μｍ程度の極め
て薄いセラミックグリーンシート上に導電性ペーストを
印刷してもシートアタックを生じることがなく、この極
めて薄いセラミックグリーンシートのハンドリングが可
能となり、従って、積層密度の高い積層セラミック電子
部品を製造することができるという効果がある。

また、この発明は、導電性ペーストの乾燥時°間を短縮
して、電子部品の生産性を向上させることができるとい
う効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は誘電体グリーンシートの厚さ（ｕｍｌと破断強
度（ｋｇ／ｃｍ”ｌとの関係を示すグラフである。 代理人　弁理士　窪　１）法　明 第１図 グリーンシート厚み（μｍ）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. １．電子線硬化樹脂を主成分とするバインダーと、この
   バインダー中に分散している導電性物質粉とからなる導
   電性ペースト。
2. ２．グリーンシートに請求項１記載の導電性ペーストを
   所定パターンで印刷し、電子線を照射してこのグリーン
   シートに印刷した導電性ペーストを乾燥させ、グリーン
   シートと導体パターンとを交互に積層し、焼成してなる
   積層電子部品の製造方法。