JPH0419125A

JPH0419125A - ラミネータ

Info

Publication number: JPH0419125A
Application number: JP2125959A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Taguchi; 博田口; Yoji Washisaki; 鷲崎　洋二; Akira Igarashi; 明五十嵐; Hiroki Nakano; 中野　浩喜
Original assignee: Somar Corp
Current assignee: Somar Corp
Priority date: 1990-05-15
Filing date: 1990-05-15
Publication date: 1992-01-23
Also published as: DE4103867A1; DE4103867C2; JPH0583368B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、フィルムを基板に張り付けるラミネータに関
し、特に、フィルムを基板に張り付ける際に使用する圧
着ローラに関するものである。

〔従来技術〕

コンピュータ等の電子機器に使用されるプリント配線板
の製造プロセスにおいて、プリント配線用基板の表面に
積層体を張り付ける工程がある。

積層体は感光性樹脂層（レジスト層）及び透光性樹脂フ
ィルムで形成されている。感光性樹脂層はプリント配線
用基板の表面に直接接着される。透光性樹脂フィルムは
感光性樹脂層の表面にそれを保護するように形成されて
いる。

前記プリント配線用基板への積層体の張り付けは、本願
出願人により先に出願された特開昭６３−１１７４８７
号公報等に記載されるように、ラミネータで行われてい
る。このラミネータにおいて、前記プリント配線用基板
への積層体の張付プロセスは下記のとおりである。

まず、基板搬送機構により、プリント配線用基板の搬送
方向の先端部をフィルム張付位置に搬送し停止させる。

次に、フィルム供給ローラから供給される連続した（長
尺状の）積層体の供給方向の先端側であり、かつ透明性
樹脂フィルム側の面をメインバキュームプレート（フィ
ルム供給部材）で吸引する。メインバキュームプレート
のフィルム張付位置側の先端部にはフィルム仮付部材が
設けられ、積層体の供給方向の最先端側は前記フィルム
仮付部材に吸着される。−このフィルム仮付部材は、前
述のように積層体を吸引する真空系に連結された吸着孔
が設けられており、また、積層体の最先端部を仮り付け
するための加熱ヒータが内蔵されている。

次に、前記メインバキュームプレート及びフィルム仮付
部材をフィルム張付位置（プリント配線用基板の搬送方
向の先端部の表面）に近接させる。

そして、プリント配線用基板の搬送方向の先端部の表面
（フィルム張付面）に積層体の供給方向の最先端側を当
接させ、フィルム仮付部材で熱圧着により仮り付けを行
う。

次に、前記メインバキュームプレート及びフィルム仮付
部材の吸着動作を停止し、これらをフィルム張付位置か
ら離反させる。この時、積層体の供給方向の最先端側は
、前記仮付動作でプリント配線用基板の表面に仮り付け
されているので、フィルム張付位置からずれることがな
い。

次に、前記フィルム張付位置に回転している熱圧着ロー
ラを近接させて積層体の仮り付けされた部分を押圧し、
この状態で熱圧着ローラの回転によってプリント配線用
基板の表面に積層体を順次熱圧着ラミネートすると共に
プリント配線用基板を搬送方向に搬送する。前記熱圧着
ローラの回転及びプリント配線用基板の搬送によって、
積層体は自動的にフィルム張付位置に供給されるように
なっている。

次に、前記プリント配線用基板の表面に積層体を熱圧着
ラミネート中に、プリント配線用基板の搬送方向の後端
部を検出し、この検出信号に基づき、連続している積層
体の供給方向の後端側を切断する。つまり、切断された
積層体の長さはプリント配線用基板の搬送方向の長さに
対応した寸法で形成される。積層体の切断は、積層体の
供給経路に配置されたサブバキュームプレートで積層体
の切断位置（供給方向の後端側）を吸着保持した状態に
おいて、切断用カッタを積層体の供給方向と交差する方
向に移動することにより行われている。

切断用カッタは円板状カッタで構成されている。

そして、前記切断された積層体の後端側は、バキューム
バー（フィルム後端部吸着部材）で吸着保持され、適度
なテンションを与えた状態において、プリント配線用基
板の供給方向の後端部にガイドされる。この積層体の供
給方向の後端側は熱圧着ローラでプリント配線用基板の
搬送方向の後端部の表面に熱圧着ラミネートされる。

このように、ラミネータで積層体が張り付けられたプリ
ント配線用基板は次段の露光装置に搬送される。

なお、プリント配線用基板に積層体の一部を仮り付けし
た後、この積層体をプリント配線用基板に熱圧着するこ
の種のフィルム張付技術は１例えば、西独特許ＤＥ　　
３３３４００９　　Ｇ２号、特公昭６２−４９１６９号
公報等にも記載されている。

そして、第５図に示すように、前記プリント配線用基板
（以下、単に基板という）面上に、フィルムを張り付け
る目的で使われる圧着ローラ１００は、アルミニウム製
の円柱１０１の表面を約４ｍ１１厚さのゴム１０２で覆
い、圧着ローラ１００を加熱するためのシーズヒータ１
０３を挿入する孔がアルミニウム製の円柱１０１の中心
を貫通している。

また、該圧着ローラ１００の両端には、前記円柱１００
の中心を通っている孔の部分に、回転軸となるパイプ状
の鉄製ローラシャフト１０４Ａと１０４Ｂとが埋め込ま
れている。そして、前記シャフト１０４Ｂには、前記シ
ーズヒータ１０３に給電するためにスリップリングが取
り付けられ、シーズヒータ１０３に電線１０５により給
電されるようになっている。そして、前記シーズヒータ
１０３は、前記圧着ローラ表面に接触するように取り付
けられた温度検出器とその信号を受けて、シーズヒータ
１０３に加わる電圧を制御する温度制御器により、該圧
着ローラ表面温度を約１００℃に保つように制御される
。

そして、第６図（第５図の圧着ローラを装着したラミネ
ータの側面から、フィルムパス関係を見た説明図）に示
すように、フィルムの基板１０６への張り付けは、上下
のフィルムローラ１０７Ａと１０７Ｂより供給される三
層構造で一層を剥がしたフィルムの非剥離面を圧着ロー
ラのそれぞれの表面と６０’程度の巻付け角で接触させ
、上下フィルムの剥離面同士を向かい合わせて、上下圧
着ローラ１００Ａと１００Ｂの間を基板１０６の進行方
向に向かって通し、該剥離面が向かい合った間に基板１
０６を送り込んで、上下圧着ローラ１００Ａと１００Ｂ
を圧接し、該圧着ローラ１００Ａと１００Ｂ間を基板１
０６が通過することにより行われる。

すなわち、上下の圧着ローラ１００Ａと１００Ｂは、そ
の表面が約１０＋ａｍ離れて取り付けられている。つま
り、下側の圧着ローラ１００Ｂは、該ローラシャフト１
０４Ａと１０４Ｂとにはめ込まれたベアリングが固定部
材にネジ止めされているので可動しない。そして、該ロ
ーラシャフト１０４Ａには、駆動のためのギヤーがネジ
止めされている。

一方、上側の圧着ローラ１００Ａは、該ローラシャフト
１０４Ａと１０４Ｂとにはめ込まれたベアリングが上下
動可能な可動部材にネジ止めされ、可動部材がばねの力
及び、空気圧力により上下動し、下側の圧着ローラ１０
０Ｂに接離する。

また、下側の圧着ローラ１００Ｂと同様に該ローラシャ
フト１０４Ａには、駆動用ギヤーがネジ止めされる。

上下の圧着ローラ１００Ａと１００Ｂとの圧接は、前記
の上側圧着ローラのベアリングを介して。

ローラシャフト１０４Ａと１０４Ｂとに加えられた力に
より行われる。

ローラシャフト１０４Ａと１０４Ｂとにはめ込まれたベ
アリング間は約７００園■で、ローラシャフト１０４Ａ
と１０４Ｂとに加えられた約１００　ｋｇｆの力が加え
られる。

また、第７図は、圧着ローラの表面にテフロンコートし
たステンレス製の剛性円筒パイプからなる非加熱ローラ
によるラミネータの側面図である。

前記圧着ローラの表面にテフロンコートしたステンレス
製の剛性円筒パイプからなる非加熱ローラは、剛性円筒
パイプそのものが回転軸となる構造で、曲げモーメント
によるたわみはほとんど無く、圧着ローラ１０９Ａと１
０９Ｂの全長に渡ってほぼ−様な圧力で圧接できる。し
かし、圧着ローラが非加熱ローラであるため、−様な圧
力での圧接ができてもフィルムの基板面への張り付けは
不十分である。そこで、圧着ローラ１０９Ａと１０９Ｂ
の前にヒートシューと称する半円弧状の金属製のフィル
ム余熱器１１０Ａと１１０Ｂが設けられている。

前記フィルム余熱器（ヒートシュー）ＩＩＯＡと１１０
Ｂは、固定でその内部にシーズヒータを埋め込んである
。

フィルムの非剥離面がほぼ１８０°の巻き付け角で接触
して擦る表面は、テフロンコートされ、しかも、表面温
度が１１０℃前後になるようにその内部に埋め込んだシ
ーズヒータで温度制御されている。

フィルムの基板１０６面への張り付けは、前述の第６図
の場合のものと同じである。

すなわち、フィルムの非剥離面を巻き付けた上下のフィ
ルム余熱器（ヒートシュー）ＩＩＯＡと１１０Ｂは、約
ｉｏａｍ離れて両側板にネジで取り付けられていて、該
フィルム余熱器（ヒートシュー）１１０Ａと１ｌＯＢ（
７）間に、基板１０６　ヲ送り込み、フィルム剥離面が
向かい合った上下圧着ローラ間で該基板面は圧接されつ
つ進むことにより、フィルムが張り付けられる。

〔発明が解決しようとする課題〕

前記第５図に示すローラシャフト１０４Ａと１０４Ｂと
にはめ込まれたベアリング間は約７００厘重層で、ロー
ラシャフト１０４Ａと１０４Ｂとに加えられた約１００
ｋｇｆの力により、圧着口−ラ１００Ａと１００Ｂと前
述した構成であるため、上下圧着ローラ１００Ａと１０
０Ｂが圧接後、該ローラシャフト１０４Ａ＆１０４Ｂと
に曲げモーメントが作用し、圧着ローラ１００Ａと１０
０Ｂの中央部分の圧力が低くなる。

つまり、圧着ローラ１００Ａと１００Ｂのそれぞれの全
長に渡って均一な圧力で圧接することは困難であるとい
う問題があった。

また、圧着中を増すために圧力を上げようと可動部材に
作用する力を、強くすればするほど、圧着ローラ１００
Ａと１００Ｂのそれぞれの中央部分の圧力と左右両端近
傍の圧力との差が広がり、ますます圧力の均一化は望め
なくなる。

このように、圧着ローラの圧力が不均一な状態で、基板
へのフィルムの張り付けが行われると、圧力の低い部分
では基板とフィルムの密着不良が生じる。そして、圧力
の高低に起因する基板の蛇行、これに伴うフィルムのし
わの発生等の諸問題が生ずる。

また、圧着ローラの圧力が均一でも加熱と弾力性のある
ゴム等で基板へフィルムを圧接しないと、基板面の凹凸
により部分的に圧着不良が発生する。

本発明は、前記問題点を解決するためになされたもので
あり、その課題は、圧着ローラの圧力が均一な状態で、
基板へのフィルムの張り付けを行うことが可能な技術を
提供することにある。

本発明の他の課題は、圧着ローラの圧力面の温度が均一
な状態で基板へのフィルムの張り付けを行うことが可能
な技術を提供することにある。

本発明の他の課題は、基板面の凹凸により部分的に圧着
不良が発生するのを防止することが可能な技術を提供す
ることにある。

本発明の前記ならびにその他の課題と新規な特徴は、本
明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろ
う。

〔課題を解決するための手段〕

前記課題を解決するために、本発明は、フィルム供給装
置より供給されるフィルムを、コンベアー等の搬送手段
により、フィルム張り付け部に送り込まれた基板に、加
熱された圧着ローラにより張り付けて搬送するラミネー
タにおいて、前記圧着ローラが電磁誘導発熱ローラで構
成され、かつ、圧着ローラ表面が厚さ１，５〜３ｍｌ１
１のゴム材で構成していることを特徴とする。

また、前記フィルムの張り付け面を基板に張り付ける際
に、該フィルムの非張り付け面を圧着ローラ表面で予熱
しながら、基板に順次フィルムを張り付けることを特徴
とする。

また、前記圧着ローラの加熱制御方式は５位相制御加熱
力式であることを特徴とする。

〔作用〕

前述の手段によれば、２個のフランジに組み付けた中空
のローラシェルの中を、−本のローラシャフトを貫通さ
せることにより、上下一対の圧着ローラのそれぞれのロ
ーラシャフトの両端部に加えられた力でローラシェル全
長に渡って均一な圧力で圧接することができる。

つまり、ローラシャフトの両端部に加わった力による曲
げモーメントは、ローラシャフトに作用し、ローラシェ
ルには、はとんど作用しないので、圧着ローラの圧力が
均一な状態で、基板へのフィルムの張り付けを行うこと
ができる。

また、圧着ローラ表面が厚さ１．５〜３ａ＋ｍのゴム材
で構成しており、かつ、前記フィルムの張り付け面を基
板に張り付ける際に、フィルムの非張り付け面を圧着ロ
ーラ表面で予熱しながら、基板に順次フィルムを張り付
けることにより、圧着ローラの圧力面の温度が均一な状
態で基板へのフィルムの張り付けを行うことができるの
で、基板面の凹凸により部分的に圧着不良が発生するの
を防止することができる。

また、前記圧着ローラの加熱制御方式は、位相制御加熱
方式であるので、圧着ローラの圧力面の温度を均一にす
ることができる。

［発明の実施例〕以下、本発明の一実施例を図面を用いて具体的に説明す
る。

なお、実施例を説明するための全回において。

同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返し
の説明は省略する。

第１図は、本発明の一実施例の電磁誘導発熱ローラ（ラ
ミネータ用圧着ローラ）の概略構成を示す一部欠き正面
図であり、第２図は、第１図のＡ−Ａ線で切った断面図
である。

本実施例の電磁誘導発熱ローラ（以下、単に圧着ローラ
という）は、第１図及び第２図に示すように、大きく分
けると、ローラシェル（円筒状中空ローラ）５０、フラ
ンジ６０、ローラシャフト７０の３つの部分より構成さ
れている。

■、前記ローラシェル（円筒状中空ローラ）５０は、鉄
製の円筒状中空パイプの肉の部分に所定の穴５１をあけ
、この穴５１に熱媒体を封入機密閉して密閉室（ジャケ
ット室）５２を設け、該ローラシェル（円筒状中空パイ
プ）５０の外周面を厚さ約２ｍｍのゴム５３で覆ってい
る。このようにローラシェル（円筒状中空パイプ）５０
の外周面を厚さ約２ｍｍのゴム５３で覆うことにより、
圧着ローラに弾力性を持たすことができる。

前記ゴムとしては、シリコンゴム、フッ素ゴム等の合成
ゴムが使用される。ゴムの硬度は、ＪＩＳＡ硬度が６０
〜７０であるものが好ましい。

ＪＩＳ　　Ａ硬度とは、ＪＩＳスプリング式硬さ試験機
Ａ形（ＪＩＳ　　Ｋ６３０１−１９７５参照）で測定し
た硬度である。

また、ゴムにアルミニウム粉末等の金属粉末を混入させ
てゴム層の熱伝導性を高めてもよい。

ゴの厚さが薄過ぎても厚過ぎても、圧着ローラ２１の圧
力がフィルムＩＢ及び張り付けを均一に行うことができ
ない。

■、前記フランジ６０は、ローラシェル５０の両端にボ
ルトで締付けられた凸形の鉄製円筒パイプで構成され、
ローラシェル５０の両端に取り付けられる円盤部分６１
の外径は、ローラシェル５０の外径より若干小さく作ら
けている。すなわち、フランジ６０の円盤部分６１に連
なる小径円筒部分６２とからなっている。該フランジ６
０の内径は、ローラシャフト７ｏにはめ込まれるベアリ
ング６３の外径とはめ合い公差で作られている。

■、前記ローラシャフト７ｏは、ステンレス製の丸棒か
らなり、前記ローラシェル５０の中空部に位置する当該
ローラシャフト７０の部分には、鉄心７１がローラシャ
フト７０の外周部を覆って設けられ、該鉄心７１にはコ
イル７２が巻かれている。そして、当該ローラシャフト
７０の一部をくり抜いて、ローラシャフト７０の中心部
分よりコイル７２を電源に接続するためのコイル用電線
を当該ローラシャフト７０の外に引き出している。

次に、前記大別した３つの部分の組立について説明する
。

ローラシャフト７０にはめ込んだベアリング６３は、第
１図に示すように、ローラシェル５０を貫通したローラ
シャフト７０を軸として、該ローラシェル５０がなめら
かに回転できるように、フランジ６０の内径側にそれぞ
れ挿入され、軸長方向に移動しないように、固定リング
６４でフランジ６０に固定する。

フランジ６０の円盤部分６１に連なる小径円筒部分６２
には、圧着ローラを回転するためのギヤー（図示してい
ない）がはめ込まれ、ネジで固定される。

第３図は、本発明の一実施例のラミネータの側面図であ
り、ラミネータ側面より見たフィルムバス関係を示す説
明図である。

本実施例のラミネータは、第３図に示すように、透光性
樹脂フィルム、感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルムの
３層構造からなる積層体フィルム１を供給ローラ２に連
続的に巻回している。供給ローラ２の積層体フィルム１
はフィルム分離部材３で透光性樹脂フィルム（保護膜）
ＬＡ、−面（接着面）が露出された感光性樹脂層及び透
光性樹脂フィルムからなる積層体フィルム（以下、単に
、フィルムという）ＩＢの夫々に分離される。

前記分離されたうちの一方の透光性樹脂フィルムＩＡは
巻取ローラ４により巻き取られるように構成されている
。前記供給ローラ２、巻取ローラ４の夫々は基板搬送経
路Ｉ−Ｉを中心に上下に設けられている。

前記分離されたうちの他方のフィルムＩＢの供給方向の
先端側は、前記第３図に示すように、テンションローラ
５を経てメインバキュームプレート（フィルム供給部材
）６に供給される。６Ｄはメインバキュームプレート６
の先端部材である。メインバキュームプレート６の近傍
にはフィルムＩＢの静電気除去波［１８が設けられてい
る。

メインバキュームプレート６は、第３図に示すように、
フィルム張付位置に近接しかつ離反する（上下方向に移
動する）ように構成されている。つまり、メインバキュ
ームプレート６は、そのメインバキュームプレート用支
持板（フィルム供給部材用支持板）８に取り付けられた
ガイドレール７に摺動自在に取り付けられている。メイ
ンバキュームプレート用支持板８は、装置本体（フィル
ム張付装置の筐体）に取り付けられている取付枠にラッ
クギヤ（図示せず）とピニオンギヤ１０を介して上下移
動可能に設けられている。

前記ピニオンギヤ１０は、駆動モータ１１に連結される
上下メインバキュームプレート用支持板連結棒３２に設
けられたラックギヤ９と噛合されている。

また、前記メインバキュームプレート用支持板８には、
先端巻付用フィルム保持部材１２が前後ガイドレールに
摺動自在に設けられている。前記先端巻付用フィルム保
持部材１２には、連結切込み部材が設けられ、この連結
切込み部材に連結棒１３が嵌め込められている。この連
結棒１３ば、固定刃支持部材１４に取付けられている。

また、固定刃支持部材１４には固定刃１５が支持されて
いる。

また、回転刃支持部材１６には回転刃１７が回転自在に
設けられている。回転刃１７には刃先が所定の傾斜角度
で斜めに設けら九でいる。

また１回転刃支持部材１６の上下にはそれぞれフィルム
ＩＢへ向けてエアーを吹き付けるための空気吹付管１９
，２０が設けられている。

前記第３図において、２１は圧着ローラ、２２はプリン
ト配線板用基板（以下、単に基板という）２３Ａは駆動
用ローラ、２３Ｂは従動用ローラ、２４は基板押え部材
、２５はバキュームバーである。前記基板押え部材２４
は、基板押えローラとそれを上下動させる基板押えロー
ラ用エアーシリンダーとからなる。

２６はウェットローラ、２７はラミネションローラ（圧
着ローラ）拭取ローラ、２８はラミネションローラ（圧
着ローラ）拭取ローラ用エアーシリンダ、２９は基板拭
取ローラ連動保持部材、３０は基板拭取ローラ、３１は
基板拭取ローラ用エアーシリンダ、３３は連結棒取付部
材である。

フィルムＩＢの基板２２への張り付けは、前記上下圧着
ローラ２１間の基板２２の進行方向に向って通し、フィ
ルムの張り付け面（剥離面）が向い合った間に基板２２
を送り込んで、上下の圧着ローラ２１を圧接し、該圧着
ローラ２１間を基板２２が通過することにより行われる
。

すなわち、上下の圧着ローラ２１は、その表面が約１５
履離れて取り付けられている。

基板搬送方向と平行に前後動し、かつ基板搬送方向と垂
直に上下動可能な圧着ローラ取付部材上下に、それぞれ
の圧着ローラシャフト７０が取り付けられている。

つまり、ローラシャフト７０の両端部分は、圧着ローラ
取付部材４０にローラシャフト締付部材を介して、ネジ
で取付けられている。また、圧着ローラ取付部材４０に
は、フランジ６０に取り付けられたギヤーと噛み合い、
駆動モータにより回転するギヤーが、取り付けられてい
る。

圧着ローラ取付部材４０は、約９５０ｍ隔てて左右に一
組づつあり、該圧着ローラ取付部材４０の圧着ローラ２
１が取り付いている側とは反対の端に、上下圧着ローラ
２１を圧接するためのエアーシリンダ４１がネジ止めさ
れている。

前記エアーシリンダ４１により上下圧着ローラ取付部材
４ｏは、それぞれの圧着ローラ２１のローラシャフト７
０には約４４０ｋｇｆの力を作用する。このローラシャ
フト７０に作用した約４４０ｋｇｆの力により、上下圧
着ローラ２１は、圧接する。

コンベアーで搬送された基板２２の上下面に、搬送方向
に先端部の所定の位置にフィルム剥離面の先端部が、全
フィルム巾で張り付け（仮付け）られる。

上下圧着ローラ２１は、前記の基板２２の先端部に近づ
き、仮り付けしたフィルム先端部をフィルムＩＢの上か
ら基板２２の上下面を圧接する。

そして、上下圧着ローラ２１で基板２２の上下面を圧接
する位置は、フィルムＩＢの非張り何面（非剥離面）が
圧着ローラ２１の表面と少なくとも９０°の巻付け角で
接触する位置とした。

上下圧着ローラ２１は、その表面に接触させた温度検知
器（図示していない）と、その信号を受けてコイル７２
に供給する電圧を位相制御方式により制御する温度制御
器により、当該圧着ローラ２１の表面温度を１００℃に
保っている。

そして、圧着ローラ２１は、基板２２に張り付ける直前
のフィルムＩＢの非張り付け面（非剥離面）を該ローラ
表面で温めながら基板２２にフィルムの張り付け面（剥
離面）を張り付けつつ基板２２を移動する。

圧着ローラ２］の表面温度は、フィルムＩＢを基板２２
の表面に密着する上では重要な働きをしている。

使用されるフィルムＩＢによって、圧着ローラ２１の表
面温度が所定の温度より低い場合には、基板２２とフィ
ルムＩＢの密着不良が発生し、逆に高ければ、張り付け
られたフィルムＩＢに気泡が発生する。すなわち、圧着
ローラ２１の表面温度管理が重要である。

一般に、圧着ローラの加熱の熱源に電気ヒータを使用し
た場合の温度制御では、位相制御方式のＰＩＤ制御が優
れている。また、圧着ローラが熱媒体を封入密閉したジ
ャケット室５２を有する構造の圧着ローラであっては、
単純にヒータの電源を入切するオン・オフ制御方式でも
、位相制御方式でも該ローラ表面の温度の制御性には、
変りがない。

しかし、本発明のように、ジャケット室５２を有する電
磁誘導発熱ローラからなる圧着ローラ２１の場合には、
電気的に漏洩変圧器と等価であるため、熱源となるコイ
ル６２に電圧を印加すると、変圧器と同様に定格電流の
士数倍の突入電流が流れる。

実験の結果、定格電流値以上の突入電流が流れる割合は
約４５％あり、しかも定格電流の５倍以上の突入電流が
流れる割合が２０％程度ある。

電磁誘導発熱ローラの温度制御を、オン・オフ制御方式
のプロポーショナル・コントロール・アクション、イン
テグラル・コントロール・アクション、デリバアティブ
・コントロールアクション（Ｐ、１．Ｄ、）制御で行っ
た場合、コイルに流れる突入電流が無視できなくなる。

従って、突入電流による制御素子等への悪影響や振動音
の発生等をなくす目的で１位相制御力式は非常に有効で
ある。この時の電磁誘導発熱ローラからなる圧着ローラ
２１の表面温度の均一性を第４図に示す。

以上の説明かられかるように１本実施例によれば、２個
のフランジ６０を組み付けた中空のローラシェル５０の
中を、−本のローラシャフト７０を貫通させることによ
り、上下一対の圧着ローラ２１のそれぞれのローラシャ
フト７０の両端部に加えられた力でローラシェル５０の
全長に渡って均一な圧力で圧接することができる。

つまり、ローラシャフト７０の両端部に加わった力によ
る曲げモーメントは、ローラシャフト７０に作用し、ロ
ーラシェル５０には、はとんど作用しないので、圧着ロ
ーラ２１の圧力が均一な状態で、基板２２へのフィルム
ＩＢの張り付けを行うことができる。

また、圧着ローラ２１の表面が厚さ１．５〜３■閣のゴ
ム材で構成しており、かつ、前記フィルムＩＢの張り付
け面を基板２２に張り付ける際に、フィルムＩＢの非張
り付け面を圧着ローラ２１の表面で予熱しながら、基板
２２に順次フィルムＩＢを張り付けることにより、圧着
ローラ２１の圧力面の温度が均一な状態で基板２２への
フィルムＩＢの張り付けを行うことができるので、基板
２２の表面の凹凸により部分的に圧着不良が発生するの
を防止することができる。

また、前記圧着ローラ２１の加熱制御方式は。

位相制御加熱方式であるので、圧着ローラ２１の圧力面
の温度を均一にすることができる。

以上、実施例に基づいて本発明を説明したが、本発明は
、前記実施例に限定されることなく、その要旨を逸脱な
い範囲において種々変形し得ることはいうまでもない。

〔発明の効果〕

以上、説明したように、本発明によれば、圧着ローラの
圧力が均一な状態で、基板へのフィルムの張り付けを行
うことができる。

また、圧着ローラの圧力面の温度を均一にすることがで
きる。

また、基板の表面の凹凸により部分的に圧着不良が発生
するのを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は１本発明の一実施例の電磁誘導発熱ローラ（ラ
ミネータ用圧着ローラ）の概略構成を示す一部欠き正面
図。第２図は、第１図のＡ−Ａ線で切った断面図第３図は、
本発明に係る圧着ローラを使用したラミネータの側面図
、第４図は、電磁誘導発熱ローラからなる圧着ローラの表
面温度の均一性を示す特性図、第５図乃至第７図は、従
来のラミネータの問題点を説明するための説明図である
。図中、ＩＢ・・・積層体フィルム、６・・・メインバキ
ュームプレート、２１・・・圧着ローラ（電磁誘導発熱
ローラ）、２２・・・プリント配線板用基板、２３Ａ・
・・駆動用ローラ、２３Ｂ・・・従動用ローラ、２４・
・・基板押え部材、２５・・・バキュームバー、２６・
・・ウェットローラ、２７・・・圧着ローラ拭取ローラ
、２８・・・圧着ローラ拭取ローラ用エアーシリンダ、
２９・・・基板拭取ローラ連動保持部材、３０・・・基
板拭取ローラ、３１・・・基板拭取ローラ用エアーシリ
ンダ、３３・・・連結棒取付部材、５０・・・ローラシ
ェル（円筒状中空ローラ）、６０・・・フランジ、７０
・・・ローラシャフトである。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）フィルム供給装置より供給されるフィルムを、コ
ンベアー等の搬送手段により、フィルム張り付け部に送
り込まれた基板に、加熱された圧着ローラにより張り付
けて搬送するラミネータにおいて、前記圧着ローラが電
磁誘導発熱ローラで構成され、かつ、圧着ローラ表面が
厚さ１．５〜３ｍｍのゴム材で構成されていることを特
徴とするラミネータ。
（２）前記請求項１に記載のラミネータにおいて、フィ
ルムの張り付け面を基板に張り付ける際に、該フィルム
の非張り付け面を圧着ローラ表面で予熱しながら、基板
に順次フィルムを張り付けることを特徴とするラミネー
タ。
（３）前記請求項１又は２に記載のラミネータにおいて
、前記圧着ローラの加熱制御方式は、位相制御方式であ
ることを特徴とするラミネータ。