JPH04183106A - 弾性表面波素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は弾性表面波素子に関し、特に２つの信号のコン
ボリューション信号を取り出す弾性表面波コンボルバに
関する。

〔従来技術〕

第１４図は、「中用他、電子通信学会論文誌’８６　／
２．　Ｖｏｌ、Ｊ６９−　Ｃ，Ｎｏ、　２　、　ｐ　ｐ
１９０〜１９ｇ」に記載されている、従来の弾性表面波
素子の構成を示す概略平面図である。

同図において、１は圧電基板であり、２．３は該基板１
の表面上にＸ方向に適宜距離隔てて対向配置され形成さ
れている２つの弾性表面波励振用櫛形電極である。また
４−１，４−２，・・・、４−ｎは、これら電極２，３
間においてＸ方向に延びて互いに平行に基板１の表面に
形成されている弾性表面波導波路である。また、５は基
板ｌの表面上に上記弾性表面波導波路からＸ方向に適宜
距離隔てて配置され形成されている音響電気変換器であ
る。また、該図に記載されている座標軸は便宜上付記し
たものであり、基板の結晶軸等を意味するものではない
。

尚、弾性表面波導波路４−１〜４−ｎの配列ピッチ（上
記弾性表面波導波路の中心間の間隔）が該弾性表面波導
波路にて生ぜしめられた弾性表面波の波長と同じになる
ように、弾性表面波導波路４−１〜４−ｎを配置し形成
することにより、各弾性表面波導波路要素にて生ぜしめ
られた弾性表面波は同相で重なり、効率良く励振させる
ことができる。

この弾性表面波素子において、弾性表面波励振用櫛形電
極２，３に対し、角周波数ωの電気信号を入力すると、
該周波数の弾性表面波が励振され、該弾性表面波は弾性
表面波導波路４−１．４−２．・・・、４−ｎをＸ軸方
向に互いに反対向きに伝搬し、該弾性表面波導波路にて
パラメトリック・ミキシング現象により、ｙ軸方向に伝
搬する角周波数２ωの弾性表面波が発生する。この弾性
表面波が音響電気変換器５に到達し、該音響電気変換器
にて上記２つの入力信号のコンボリューション電気信号
を得ることができる。

〔発明が解決しようとしている課題〕

しかしながら、上記従来例の弾性表面波素子では、弾性
表面波導波路の側端部（端面）で、音響電気変換器の方
向であるＸ方向への反射波が発生し、音響電気変換器に
向かう弾性表面波に干渉するという問題があった。

しかも、上記従来の弾性表面波素子では、分割された各
導波路は、弾性表面波導波路より発生する弾性表面波の
波長の整数倍のピッチで形成されているため、各導波路
のＸ方向に対して同じ側の端面で反射された弾性表面波
は、互いに強め合い、弾性表面波導波路全体での反射率
は大きくなる。

そのため、例えば導波路と音響電気変換器とで共振器構
造となり、コンボリューション信号の周波数特性に、歪
やリップルが生じるなど弾性表面波素子のコンボリュー
ション特性に悪影響をおよぼすという問題があった。

［発明の目的］ 本発明の目的は、各弾性表面波導波路の端面で発生した
弾性表面波の反射波を打ち消すことにより、コンボリュ
ーション特性を改善した弾性表面波素子を提供すること
にある。

〔課題を解決するための手段及び作用１上記目的は、並
設された上記弾性表面波導波路の少なくとも２つについ
て、これらの少なくとも一方の側端部（端面）の距離が
、上記第３の弾性表面波の４分の１波長の奇数倍である
ことを特徴とする弾性表面波素子によ、り達成される。

すなわち、このような構成では各弾性表面波導波路での
反射波はすべて逆相となり、互いに打消されるため、弾
性表面波導波路全体では反射波は存在しなくなる。

また上記目的は、複数の弾性表面波導波路の組を、組単
位で配列ピッチλ（んは第３の弾性表面波の波長）で形
成し、上記弾性表面波導波路の少なくとも２つについて
、これらの少なくとも一方の側端部（端面）の距離が、
上記第３の弾性表面波の４分の１波長の奇数倍であるこ
とを特徴とする弾性表面波素子により達成される。

また上記目的は、線幅が実質的に１／８λである２本の
弾性表面波導波路を、実質的に間隔１／８λで並設した
組を、配列ピッチえで形成することを特徴とする弾性表
面波素子により達成される。

すなわち、このような構成では各弾性表面波導波路での
反射波はすべて逆相となり、互いに打消されるため、弾
性表面波導波路全体では反射波は存在しなくなる。

また上記目的は、弾性表面波導波路のピッチが弾性表面
波の波長λに等しくかつ、互いに隣り合う弾性表面波導
波路の線幅をａ及びｂと（ａ＞ｂ）したとき、ａ及びｂ
が ａ−ｂ＝　（ｍ＋１／２）λ （ただし、ｍ＝整数、λは弾性表面波導波路より発生す
る弾性表面波の波長）を満足するように、弾性表面波導
波路を形成することで達成される。

すなわち、このような構成では、隣り合う２つの弾性表
面波導波路の端面で反射された２つの弾性表面波は、位
相が（１／　２　＋　ｍ　）えずれるため、互いに逆相
となって打消し合い、弾性表面波導波路全体では反射波
は存在しなくなる。

また、上記目的は、弾性表面波導波路を端から２本ずつ
区切ったときの各組の第１の弾性表面波導波路の中心間
の間隔（ピッチ）を、弾性表面波導波路より励振される
第３の弾性表面波の波長の２倍（２ん）にほぼ等しく形
成し、かつ、第１の弾性表面波導波路の線幅をａ、第２
の弾性表面波導波路の線幅をｃ、第１の弾性表面波導波
路と第３の弾性表面波導波路間の間隔をｂとした時、ａ
＋ｂ＝　１／２　（ｍ＋　１／２）　尤ｂ＋ｃ＝１／２
　（ｎ＋　１／、２）え（ただしんは弾性表面波導波路
より励振される弾性表面波の波長ｍ、ｎは整数）を実質
的に満たすような弾性表面波導波路の組を、くり返し設
けることで達成できる。

このような構成とすることで弾性表面波導波路での反射
波は抑圧され、素子のコンポリニージョン特性は改善さ
れる。

［実施例］ （実施例１） 第１図は、本発明による弾性表面波素子の実施例１を示
す概略平面図であり、第２図は実施例１の概略断面図で
ある。

第１図及び第２図において、１は圧電基板であり、該圧
電基板としては、例えばニオブ酸リチウム等の圧電基板
を用いることができる。

２．３は基板ｌの表面上にＸ方向に適宜距離隔てて対向
配置され形成されている弾性表面波励振用電極である。

該電極２．３は櫛形電極であり、例えばアルミニウム、
銀、金等の導電体からなり、弾性表面波がＸ方向に伝搬
するように設けられている。

４−１　、４−２、−、４−　ｎ　Ｉｉ′電極２，３間
においてＸ方向に延びて互いに平行に基板ｌの表面に形
成されている弾性表面波導波路である。

弾性表面波導波路に関しては、柴山乾夫監修「弾性表面
波光学」電子通信学会、８２〜１０２頁に詳しく述べら
れており、薄膜導波路やトポグラフィツク導波路がある
が、本発明においては基板表面をアルミニウム、銀、金
等の導電体で被覆した△ｖ　／　ｖ　４　ｅ、路が好ま
しい。

ここで弾性表面波導波路４−１〜４−ｎのＸ方向に対す
る線幅は、本実施例では実質的に１／８え（ただし、え
は該弾性表面波導波路よりｙ方向へ伝搬する第３の弾性
表面波の波長）であり、弾性表面波導波路４−１〜４−
２間、４−３〜４−４間、・・・の間隔は１／８λ、弾
性表面波導波路４−２〜４−３間、４−４〜４−５間、
・・・の間隔は５／８λとなるように配置され形成され
ている。

そのため、導波路４−１と４−２の一側端部である端面
１間の距離は１／４λとなり、導波路４−２と４−３の
端面１間の距離は３／４λとなり、いずれも１／４λの
奇数倍となっている。これは端面■間に関しても同様で
ある。

５は基板１の表面上に、上記弾性表面波導波路４−１〜
４−ｎからｙ方向に適宜距離隔てて配置され形成されて
いる音響電気変換器である。該音響電気変換器は例えば
アルミニウム、銀、金等の導電体からなり、ｙ方向に伝
搬する弾性表面波を効率良く電気信号に変換できるよう
に設けられている。

本実施例の弾性表面波素子において、一方の励振用電極
２に対して、中心角周波数ωの電気信号を入力すると、
第１の弾性表面波が励振され、Ｘの正方向に伝搬して弾
性表面波導波路４−１〜４−ｎに入射する。また、同様
にして他方の励振用電極３に対し、中心角周波数ωの電
気通信を入力すると、第２の弾性表面波が励振され、Ｘ
の負方向に伝搬して弾性表面波導電路４−１〜４−ｎに
入射する。そして、弾性表面波導波路４−１〜４−ｎに
は両端から上記第１及び第２の弾性表面波が互いに反対
方向に伝搬し、該弾性表面波導波路にてパラメトリック
・ミキシング現象により、ｙ軸方向に伝搬する中心角周
波数２ωの第３の弾性表面波が発生する。この第３の弾
性表面波が音響電気変換器５にて電気信号に変換され、
上記２つの入力信号のコンボリューション電気信号が得
られる。

しかしながら、その一方で、第３の弾性表面波の一部は
音響電気変換器５で反射され、弾性表面波導波路方向へ
伝搬してもどる。

そして再び弾性表面波導波路の各端面において反射され
るが、ここで導波路４−１の端面■で反射される弾性表
面波と、導波路４−２の端面■で、反射される弾性表面
波の位相差は、本実施例では１／２えであり、逆位相と
なるため、２つの反射波は打消される。同様にして、導
波路４−２と４−３　、　・−・−、４−ｎと４−（ｎ
＋１）の端面Ｉでの反射波も全て逆位相となり打消され
る。

また端面ＩＩにおいても、上記と同様に反射波は打消さ
れる。

従って弾性表面波導波路での反射波は導波路２本ごとに
打消されるため、弾性表面波導波路全体としては反射波
は存在しなくなる。

尚、弾性表面波導波路４−１〜４−ｎより励振される角
周波数２ωの弾性表面波は従来例と同様に効率よく励振
される。

なお本実施例においては、弾性表面波導波路４−１〜４
−ｎの奇数本目〜偶数本目における間隔を１／８λ、偶
数木目〜奇数本目における間隔を５／８λとしたが、間
隔の値をすべて入れ換えても何ら問題はない。

また本実施例では弾性表面波導波路の本数を偶数本とし
であるが、奇数本の場合でもほぼ同様な効果が得られる
。

（実施例２） 第３図は、本発明の実施例２を示す概略平面図であり、
第４図は実施例２の概略断面図である。

本実施例では、弾性表面波導波路４−１〜４−ｎは、ｙ
方向において隣り合う２本の中心間の間隔（ピッチ）が
、弾性表面波導波路より発生する弾性表面波の波長えに
等しく、弾性表面波導波路４−１．４−３．・・・・・
・、４−（ｎ−１）の線幅はえ、弾性表面波導波路４−
２．４−４．・・・・・・、４−ｎの線幅はｌ／２えと
なるように形成されている。

そのため、導波路４−１と４−２の端面１間の距離は５
／４λとなり、導波路４−２と４−３の端面１間の距離
は３／４λとなり、いずれも１／４λの奇数倍となって
いる。また端面■間に関しては、それぞれ３／４λ、５
７４えとなり、同様に１／４λの奇数倍となっている。

また、隣り合う２つの弾性表面波導波路の線幅をａ：え
、及びｂ　＝　１／２人、（ａ＞ｂ）とした場合、 ａ−ｂ＝（ｍ＋１／２）え　（ｍ＝整数）を満たしてい
る。

内、弾性表面波導波路のｙ方向における中心間の間隔（
すなわち配列ピッチ）：ヨ常にλであるため、各弾性表
面波導波路より励振される角周波数２ωの弾性表面波は
、すべて同相で重なり、従来通り効率よく励振される。

（実施例３） 第５図は本発明による弾性表面波素子の実施例３を示す
概略断面図である。本図において、上記第４図における
部材と同様の部材には同一の符号が付せられている。

本実施例においては、弾性表面波導波路４−１．４−３
．・・・の線幅が７／８λ、及び弾性表面波導波路４−
２．４−４．・・・の線幅３／８えであり、また各導波
路の配列ピッチはえとなっている。

そのため、導波路４−１と４−２の端面１間の距離は５
／４えとなり、導波路４−２と４−３の端面１間の距離
は３／４えとなり、いずれも１／４λの奇数倍となって
いる。また端面■間に関しては、それぞれ３／４λ、５
／４んとなり、同様に１／４尤の奇数倍となっている。

また、隣り合う２つの弾性表面波導波路の線幅をａ　＝
　７／８χ、及びｂ　＝　３／８λ、（ａ＞ｂ）とした
場合、 ａ−ｂ＝　（ｍ＋１／２）￥　　（ｍ＝整数）を満たし
ている。

（実施例４） 第６図の実施例４においては、弾性表面波導波路４−１
．４−３．・・・の線幅が３／４λ、及び弾性表面波導
波路４−２．４−４．・・・の線幅が１／４λてあり、
また各導波路の配列ピッチがえとなっている。

そのため、導波路４−１と４−２の端面１間の距離は５
／４λとなり、導波路４−２と４−３の端面１間の距離
は３／４λとなり、いずれも１／４λの奇数倍となって
いる。また端面■間に関しては、それぞれ３／４λ、５
／４λとなり、同様に１／４えの奇数倍となっている。

また、隣り合う２つの弾性表面波導波路の線幅をａ＝３
／４Ｊ及びｂ＝１／４え、（ａ＞ｂ）とした場合、 ａ−ｂ＝　（ｍ＋１／２）λ　（ｍ　＝整数）を満たし
ている。

（実施例５） 第７図の実施例５においては、弾性表面波導波路４−１
．４−３．・・・の線幅が９／８λ、及び弾性表面波導
波路４−２．４−４．・・・の線１１ｉｉ５／８λであ
り、また各導波路の配列ピッチがえとなっている。

そのため、導波路４−１と４−２の端面１間の距離は５
／４λとなり、導波路４−２と４−３の端面１間の距離
は３／４λとなり、いずれも１／４んの奇数倍となって
いる。また端面■間に関しては、それぞれ３／４λ、５
／４λとなり、同様に１７４先の奇数倍となっている。

また、隣り合う２つの弾性表面波導波路の線幅をａ　＝
　９／８λ、及びｂ　＝　５／８λ、（ａ＞ｂ）とした
場合、 ａ−ｂ＝　（ｍ＋　１／２）λ　（ｍ　＝整数）を満た
している。

これらの実施例２〜５においても、反射波は隣り合う２
つの弾性表面波導波路ごとに位相が逆相となって打消さ
れるため、弾性表面波導波路全体では反射波は存在しな
くなる。

上記実施例以外でも、隣り合う２つの弾性表面波導波路
の線幅をａ及びｂ　（ａ＞ｂ）とした時、例えば、 イ）ａ＝５／８え、ｂ＝１／８λ、 口）ａ＝７７４λ、ｂ＝１／４え、 ハ）ａ＝１３／８え、ｂ＝ｉ／ｓλ、 などのように、 ａ　−ｂ　７　（ｒｎ　＋　１　／　２　）え　（ｍ＝
整数）を満たせば、同様な効果が得られることは明らか
である。

尚、実施例２〜５では、２種の線幅をａ及びｂ（ａ＞ｂ
）としたとき、奇数番目の導波路（４−１，４−，３，
・・・）の線幅をａ、偶数番目の導波路（４−２，４−
４，・・・）の線幅をｂとしたが、ａ、ｂの値を全て入
れ換えても同様な効果が得られることは明らかである。

（実施例６） 第８図は、本発明による弾性表面波素子の実施例６を示
す概略断面図である。本図において、上記第４図におけ
る部材と同様の部材には同一の符号が付せられている。

本実施例においては、弾性表面波導波路を端から２本ず
つ奇数番目と偶数番目（４−１と４−２．４−３と４−
４．４−５と４−６．・・・）とを１組として２本ずつ
区切ったとき、各組のうちの１本は３／４λ、他の１本
ば１／４λ（λは弾性表面波導波路より励振される弾性
表面波の波長）であり、かつ弾性表面波導波路の中心間
の間隔ピッチは上記λどなるように形成されている。

なお各組の中で３／４λと１／４えの順番は任意である
。

このような構成においても奇数番目と偶数番目（４−１
と４−２．４−３と４−４．・・・）の端面での反射波
はすべて（１／　２　＋　ｍ　）え（ｍ：整数）ずれる
ため、反射波は打消される。

また、導波路４−１と４−２の端面１間の距離は５／４
えとなり、導波路４−３と４−４の端面１間の距離は３
７４λとなり、いずれも１／４λの奇数倍となっている
。また端面■間に関しては、それぞれ３／４λ、５／４
λとなり、同様に１／４λの奇数倍となっている。

（実施例７） 第９図は、本発明による弾性表面波素子の実施例７を示
す概略断面図である。本図において、上記第４図におけ
る部材と同様の部材には同一の符号が付せられている。

本実施例は、上述した実施例６において、各組ごとで線
幅の値が異なる場合である。すなわち（４−１，４−２
）、＝　　（３／４λ、え／４）（４−３，４，４）＝
　（′Ａ、、λ／２）（４−５，４−６）＝　（７／８
λ、３／８λ）（４−７，４−８）＝　（λ／２、λ）
となっている。また各導波路の配列ピッチは同様にλど
なっている。

この場合も、２本ごとに線幅の差が（ｍ＋１／２）λを
満たせば、同様の効果が得られる。

また、導波路４−１と４−２の端面１間の距離は５／４
λとなり、導波路４−３と４−４の端面１間の距離は５
／４λとなり、いずれもｌ／４λの奇数倍となっている
。また端面■間に関しては、それぞれ３／４λ、３／４
λとなり、同様に１／４λの奇数倍となっている。

また本実施例では弾性表面波導波路の本数を偶数本とし
であるが、奇数本の場合でもほぼ同様な効果が得られる
。

（実施例８） 第１０図は、本発明の第８の実施例を示す概略平面図で
あり、第１１図は第８の実施例の概略断面図である。

本実施例の弾性表面波導波路４−１及び４−２の線幅は
、それぞれλ／２であり、弾性表面波導波路４−１〜４
−２間及び４−２〜４−３間の間隔は、それぞれん／４
及び３／４λどなるように形成されている。

以下同様に、端がら２本ずつ区切ったときの各組の第１
の導波路（４−３，４−５，・・・）の線幅はλ／２、
各組の第２の導波路（４−４，４−６、・・・）の線幅
はλ／２であり、がっ第１の導波路〜第２の導波路（４
−３〜４−４．４−５〜４−６．・・・）の間隔がλ／
４、第２の導波路〜次の組の第１の導波、路（４−２〜
４−３．４−４〜４−５．・・・）の間隔が３／４λと
なるように形成されている。

本実施例では、弾性表面波導波路を端から２本ずつ区切
り、第１の弾性表面波導波路の線幅をａ、第２の弾性表
面波導波路の線幅ｃ、第１の弾性表面波導波路〜第２の
弾性表面波導波路間の間隔をｂ、第２の弾性表面波導波
路〜第３の弾性表面波導波路間の間隔をｄとし、弾性表
面波導波路は上記ａ　−ｄの線幅及び間隔の組のくり返
しで構成されているとき、 各組の第１の弾性表面波導波路の中心間の間隔（ピッチ
）が２えであり、かつ、 ａ　＋　ｂ　＝　１　／　２　（ｍ　＋　１　／　２　
）えｂ　＋　ｃ　＝　１　／　２　（ｎ　＋　１　／　
２　）λ（ただしλは弾性表面波導波路より励振される
弾性表面波の波長、ｍ、ｎは整数）を実質的に満たして
いる。

また、導波路４−１と４−２の端面１間の距離は３／４
λとなり、導波路４−２と４−３の端面１間の距離は５
／４λとなり、いずれも１／４λの奇数倍となっている
。また、端面■間に関しては、それぞれ３／４λ、５７
４んとなり、同様に］／４えの奇数倍となっている。

本実施例においても、各弾性表面波導波路端面での反射
波はすべて逆相となり打消されるため、弾性表面波導波
路での反射波は存在しなくなる。

また、弾性表面波導波路より弾性表面波が励振される方
向（ｙ方向）において、各組の第１の弾性表面波導波路
の中心間の間隔（すなわち奇数本目間、４−１〜４−３
．４−３〜４−５、・・・）は、該弾性表面波導波路よ
り励振される弾性表面波の波長λの２倍に等しく配置さ
れ形成されているため、各弾性表面波導波路４−１〜４
−ｎより励振される弾性表面波はほぼ同相で重なり、効
率よく励振される。

（実施例９） 第１２図は、本発明による弾性表面波素子の第９の実施
例を示す概略断面図である。本図において、上記第４図
における部材と同様の部材には同一の符号が付せられて
いる。

本実施例においては、４−１．４−３．４−５゜・・・
の線幅が３／８λ、４＝２．４−４．４−６゜・・・の
線幅が７／８λ、４−１〜４−２間、４−３〜４−４間
、４−５〜４−６．・・・の間隔が３／８λ、４−２〜
４〜３間、４−４〜４−５間、４−６〜４−７．・・・
の間隔が３／８えとなっている。

また、導波路４−１と４−２の端面１間の距離は３／４
λとなり、導波路４−２と４−３の端面１間の距離は５
／４λとなり、いずれも１／４えの奇数倍となっている
。また、端面■間に関しては、それぞれ５／４え、３／
４んとなり、同様に１／４λの奇数倍となっている。

本実施例においても、各弾性表面波導波路端面での反射
波はすべて逆相となり打消される。従って、弾性表面波
導波路での反射波は存在しなくなる。

尚、上記実施例の他でも弾性表面波導波路を端から２本
ずつ区切り、第１の弾性表面波導波路の線幅をａ、第２
の弾性表面波導波路の線幅Ｃ５第■の弾性表面波導波路
〜第２の弾性表面波導波路間の間隔をｂ、第２の弾性表
面波導波路〜第３の弾性表面波導波路間の間隔をｄとし
、弾性表面波導波路は上記ａ　−ｄの線幅及び間隔の組
のくり返しで構成されているとき、 各組の第１の弾性表面波導波路の中心間の間隔（ピッチ
）が２丸であり、がっ、 ａ＋ｂ＝１／２　（ｍ＋１／２）＾ ｂ　＋　ｃ　＝　１　／　２　（ｎ　＋　１　／　２　
）λ（ただし先は弾性表面波導波路より励振される弾性
表面波の波長、ｍ、ｎは整数）を実質的に満たせば、同
様な効果が得られる。

（実施例１０） 第１３図は、本発明による弾性表面波素子の第１０の実
施例を示す概略断面図である。本図において、上記第４
図における部材と同様の部材には同一の符号が付せられ
ている。

本実施例では、 弾性表面波導波路４−１の線幅はλ／２、弾性表面波導
波路４−２の線幅はλ／２、弾性表面波導波路４−１〜
４−２の間隔はλ／４、弾性表面波導波路４−３の線幅
は３７８λ、弾性表面波導波路４−４の線幅は７／８λ
、弾性表面波導波路４−３〜４−４の間隔は３／８えと
なっており、弾性表面波道路は２本ずつ区切って組をつ
くったとき、各組ごとに線幅及び間隔の値が異なってい
ることが上述した実施例と異なっている。

本実施例においても、弾性表面波導波路を端から２本ず
つ区切り、各組の 第１の弾性表面波導波路の線幅をａ、 第２の弾性表面波導波路の線幅をｃ、 第１の弾性表面波導波路〜第２の弾性表面波導波路間の
間隔をｂ とした時、各組の第１の弾性表面波導波路の中心間の間
隔（ピッチ）が２えであり、かつａ＋ｂ＝　１／２　（
ｍ＋１／２）λ ｂ＋Ｃ＝　１／２　（ｎ＋　１／２）λ〔ただしλは弾
性表面波導波路より励振される、弾性表面波の波長、ｍ
、ｎは整数）をほぼ満たせば、各組ごとで上記ａ、ｂ、
ｃの値が異なっていても、各組の第１及び第２の弾性表
面波導波路における反射波は逆相となり打消されるため
、弾性表面波導波路全体では反射波は存在しなくなる。

また、導波路４−１と４−２の端面１間の距離は３／４
λとなり、導波路４−３と４−４の端面１間の距離も３
／４λとなり、いずれも１／４＾の奇数倍となっている
。また、端面■間に関しては、それぞれ３／４λ、５／
４λとなり、同様に１／４λの奇数倍となっている。

以上に述べた実施例では、音響電気変換器５を弾性表面
波導波路４−１〜４−ｎの片側のみに設けたが、両側に
設けてもよい。

また、音響電気変換器５としては、シングル電極を示し
たが、ダブル電極（スプリット電極）や他の反射を抑圧
する構造のものを設けることにより、素子の特性を一層
良好なものとすることができる。

尚、２つの音響電気変換器で弾性表面波導波路４−１〜
４−ｎからの距離を異ならせておくことにより、一方の
音響電気変換器からの出力を他方の音響電気変換器から
の出力に対し適宜時間遅延させることができる。

また、上記実施例における弾性表面波励振用電極２，３
をダブル電極（スプリット電極）とすることにより、該
弾性表面波励振用電極２，３における弾性表面波の反射
を抑圧でき、素子の特性をより一層良好なものにするこ
とができる。

また、各図に記載されている座標軸は便宜上付記したも
のであり、基板の結晶軸等を意味するものではない。

さらに、基板１はニオブ酸リチウム等の圧電体単結晶に
限定されるものではなく、例えば半導体やガラス基板上
に圧電膜を付加した構造等、パラメトリック・ミキシン
グ効果がある材料及び構造であればよい。

また、上記実施例では弾性表面波励振用電極にて励振さ
れる弾性表面波をそのまま弾性表面波導波路に導いてい
るが、該励振電極と該弾性表面波導波路との間にホーン
型導波路やマルチストリップカブラ等のビーム幅圧縮器
を設けてもよい。

〔発明の効果〕 以上説明したように、本発明によれば、弾性表面波導波
路より励振される弾性表面波の波長ピッチλで形成され
た上記導波路を、更に分割して複数本の組とし、該組単
位で配列ピッチλとし、並設された上ｇ２弾性表面波導
波路の少なくとも２つについて、これらの少なくとも一
方の側端部の距離が、上記第３の弾性表面波の４分の１
波長の奇数倍とすることにより、弾性表面波導波路によ
って発生する反射波を抑圧し、素子の特性を改善するこ
とができる。

また、本発明によれば、弾性表面波導波路が励振される
第３の弾性表面波の波長えの配列ピッチで形成された弾
性表面波素子において、隣り合う弾性表面波導波路の線
幅の差を（ｍ＋１／２）λ（ｍは整数）となるように形
成することにより、並設された上記弾性表面波導波路の
少なくとも２つについて、これらの少なくとも一方の側
端部の距離が、上記第３の弾性表面波の４分の１波長の
奇数倍とすることができ、弾性表面波導波路によって発
生する反射波を抑圧し、素子の特性を改善することがで
きる。

また、本発明によれば、弾性表面波導波路を２本ずつ区
切り各組の第１の導波路間のピッチを２λとし、かつ第
１の導波路の線幅ａ、第２の導波路の線幅ｃ、第１〜第
２の導波路の間隔すとしたとき、ａ、ｂ、ｃが ａ　＋　ｂ　＝　１　、／　２　（ｍ　＋　１　／　２
　）λｔ）＋ｃ　＝　１／２　（ｎ＋　１／２）え（た
だしλは弾性表面波導波路より励振される、弾性表面波
の波長、ｍ、ｎは整数）を、実質的に満たすことによっ
て、 並設された上記弾性表面波導波路の少なくとも２つにつ
いて、これらの少なくとも一方の側端部の距離が、上記
第３の弾性表面波の４分の１波長の奇数倍とすることが
でき、弾性表面波導波路によって発生する反射波を抑圧
し、素子の特性を改善することができる効果が得られる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による弾性表面波素子の実施例１を示す
概略平面図。 第２図は本発明による゛弾性表面波素子の実施例１の概
略断面図。 第３図は本発明による弾性表面波素子の実施例２を示す
概略平面図。 第４図は本発明による弾性表面波素子の実施例２の概略
断面図。 第５図は本発明による弾性表面波素子の実施例３の概略
断面図。 第６図は本発明による弾性表面波素子の実施例４の概略
断面図。 第７図は本発明による弾性表面波素子の実施例５の概略
断面図。 第８図は本発明による弾性表面波素子の実施例６の概略
断面図。 第９図は本発明による弾性表面波素子の実施例７の概略
断面図。 第１０図は本発明による弾性表面波素子の実施例８を示
す概略平面図。 第１１図は本発明による弾性表面波素子の実施例８の概
略断面図。 第１２図は本発明による弾性表面波素子の実施例９の概
略断面図。 第１３図は本発明による弾性表面波素子の実施例１０の
概略断面図。 第１４図は従来例を示す概略平面図。 １・・・基板、２．３・・・励振電極、４−１〜４−ｎ
・・・弾性表面波導波路、５・・・音響電気変換器。 代理人　　弁理士　山　下　穣　平 第１図 第２図 謀面 第３図 第１０図 第１４図

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）圧電基板上に第１及び第２の弾性表面波を励振す
   る少なくとも２つの励振電極と、該励振電極から励振さ
   れる該第１及び第２の弾性表面波を互いに反対向きに伝
   搬させる弾性表面波導波路と、該弾性表面波導波路にて
   発生し、上記第１及び第２の弾性表面波を横切る方向に
   伝搬する第３の弾性表面波を電気信号に変換する少なく
   とも１つの音響電気変換器とを有する弾性表面波素子に
   おいて、 並設された上記弾性表面波導波路の少なくとも２つにつ
   いて、これらの少なくとも一方の側端部の距離が、上記
   第３の弾性表面波の４分の１波長の奇数倍であることを
   特徴とする弾性表面波素子。
2. （２）上記第３の弾性表面波の波長をλとしたとき、上
   記弾性表面波導波路の複数本の組が該組単位で配列ピッ
   チλで形成されていることを特徴とする請求項１に記載
   の弾性表面波素子。
3. （３）上記組が、実質的に線幅が１／８λである２本の
   上記弾性表面波導波路を、実質的に間隔１／８λで形成
   したものであることを特徴とする請求項２に記載の弾性
   表面波素子。
4. （４）上記弾性表面波導波路が、上記第３の弾性表面波
   の波長λの配列ピッチに形成され、 かつ、隣り合う上記弾性表面波導波路の少なくとも一本
   について、線幅の差が実質的に、 （ｍ＋１／２）λ （ただし、λは該第３の弾性表面波の波長、ｍは整数）
   を満たすように形成されていることを特徴とする請求項
   １に記載の弾性表面波素子。
5. （５）上記弾性表面波導波路は、順番に２本ずつの組に
   区切り、各組の第１の該弾性表面波導波路の線幅をａ、
   第２の該弾性表面波導波路の線幅をｃ、第１から第２の
   該弾性表面波導波路の間隔をｂ、上記第３の弾性表面波
   の波長をλとした時、実質的に、上記各組が２λの配列
   ピッチで形成され、かつ、 ａ＋ｂ＝１／２（ｍ＋１／２）λ ｂ＋ｃ＝１／２（ｎ＋１／２）λ （ただし、ｍ、ｎは整数） を満たすことを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波
   素子。