JPH04181757A - Lsiマスクパターン設計装置 - Google Patents

Lsiマスクパターン設計装置

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Publication number
JPH04181757A
JPH04181757A JP2312237A JP31223790A JPH04181757A JP H04181757 A JPH04181757 A JP H04181757A JP 2312237 A JP2312237 A JP 2312237A JP 31223790 A JP31223790 A JP 31223790A JP H04181757 A JPH04181757 A JP H04181757A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mask pattern
cells
lsi
cell
processing device
Prior art date
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Pending
Application number
JP2312237A
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English (en)
Inventor
Hisaharu Miwa
三輪 久晴
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はLSIマスクパターンの生成を行うLSIマ
スクパターン設計装置に関するものである。
〔従来の技術〕
従来のLSIマスクパターン設計装置は、第4図に示す
ように、(1)は中央演算処理装置、(2)は既設計マ
スクパターンと新たに生成でれたマスクパターンを表示
するグラフィックデイスプレィ装置s (81ハ?スク
パターンの生成のための階層展開命令、論理和処理命令
、アンダサイズ処理命令を入力する入力装置、14)は
既設計マスクパターンと新たに生成されたマスクパター
ンを格納する磁気ディスク装置で、グラフィックデイス
プレィ装置(2)、入力装置(8)、磁気ディスク装置
14)は中央演算処理装置(1)に接続されている。
次に動作について説明する。LSIマスクパターンは第
7図に示すような階層構造をなしており、第4図の磁気
ディスク装置+4)に格納されている既設計マスクパタ
ーンを中央演算処理装置(1)を使ってグラフィックデ
イスプレィ装置(2)に表示する。
次に、中央演算処理装置(1)を使って、既設計マスク
パターンを階層展開して、フラットな構造にする。次に
中央演算処理装置(1)t−使ってマスクパターンの論
理和処理を行う。次に、中央演算処理装置(1)t−使
ってアンダサイズ(縮小)処理を行い、新たなマスクパ
ターンを生成し、磁気ディスク装置14)に収納する。
この階層展開、論理和処理、アンダサイズ処理の実行命
令は人力装置(8)より入力する。第5図は上記動作の
フローチャート、また、第6図は上記動作を図式的に示
す各工程各段階平面図である。
〔発明が解決しようとする課題〕
従来のLSIマスクパターン設計装置は以上のように構
成されていたので、既設針マスクパターンから新たなマ
スクパターンを生成するのに長特開を必要とし、また、
生成後のマスクパターンのデータ量が膨大になるという
問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、階層構造をなしている既設針マスクパターン
を階層展開をせず、階層構造のままセル毎に論理和処理
、アンダサイズ処理を行い、新たなマスクパターンを生
成することができるLSIマスクパターン設計装置を得
ることを目的とする。
〔課題を解決するための手段つ この発明に係るLSIマスクバタ〜ン設計装置け、階層
構造をなしている既設針マスクパターンからセル間接続
情報(セル間で接続されている端子)を抽出して、セル
単位の論理和処理とアンダサイズ処理にて、新たなマス
クパターンを生成する機能を備えたものである。
〔作用〕
この発明におけるLSIマスクパターン設置[置は、既
設針マスクパターンの階層構造を展開せず、既設針マス
クパターンからセル間情報を抽出して、セル単位に論理
和処理し、抽出されたセル間情報を考慮したアンダサイ
ズ処理(セル間で接続された端子部はアンダサイズ処理
を行わない)にて、新たなマスクパターンを自動生成す
る。
〔実施例〕
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第1図において、(1)は中央演算処理装置、(2)は
既設針マスクパターンと新たに自動生成されたマスクパ
ターンを表示するグラフインクデイスプレィ装置、(8
)はセル間接続情報抽出命令、セル単位の論理和処理命
令、アンダサイズ処理命令を入力するための入力装置、
!4)U既設針マスクパターンと新たに自動生成でれた
マスクパターンを格納する磁気ディスク装置、(5Iは
既設針マスクパターンのセル間情報抽出とセル単位の論
理和処理、アンダサイズ処理を行う専用演算処理装置で
、グラフインクデイスプレィ装(tf2)、入力装置(
8)、磁気ディスク装f14)は中央演算処理装置(1
)に、また入力装置(8)、磁気ディスク装置t4)は
専用演算処理装置(5+に接続されているう 次に動作について説明する。第7図に示すように階層構
造をなしている既設針マスクパターンを中央演算処理装
置(1)を使って、グラフィックデイスプレィ装置(2
)に表示する(ステップl)。次に専用演算処理装置(
61を使って、既設針マスクパターンのセル間接続情報
を抽出する(ステップ2)。
次に、中央演算処理装置(1)を使って、セル単位に論
理和処理を行う(ステップ3)。次いで、専用演算処理
装置(51(てより抽出でれたセル間接続情報に基づい
て、アノダサイズ処理を行う(ステップ4)−但し、セ
ル間の接続部の端子に対応するマスクパターンはアンダ
サイズ処理を行わない。
セル間接続情報の抽出(第3図(al)、セル単位の論
理和処理(@3図fb+)、アンダサイズ処理の実行命
令は入力装置(8)より人力する(第3図(C))。
第2図にその動作フローチャートを、第3図にその動作
を図式的に示す各工程各段階平面図である。
なお、上記実施例では既設針マスクパターンのセル間接
続情報抽出及びセル間接続情報に基づくアンダサイズ処
理を行う機能を専用演算処理装置(5)に設けた場合を
示したが、これを中央演算処理装置(1)に持たせても
よい。
〔発明の効果〕
以上のようにこの発明によれば、階層構造をなした既設
針マスクパターンを階層展開せずセル単位に論理和処理
を行い、セル間接続情報にてアンダサイズ処理して新た
なマスクパターンを自動生成するようにしたので、従来
と比べてマスクパターンのデータ量が少なく、短時間で
処理できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例によるLSIマスクパター
ン設計装置のブロック図、第2図は第1図の装置の処理
動作を示すフローチャート、第3図は第2図の動作を図
式的に示す各段階の平面図、第4図は従来のLSIマス
クパターン設計装置のブロック図、第5図は第4図の装
置の処理動作を示すフローチャート、第6図は第5図の
動作と図式的に示す各段階の平面図、第7図はLSIマ
スクパターンの階層構造を示す展開斜視図である。 図において、(1)は中央演算処理装置、(2)はグラ
フィックデイスプレィ装置、(8)は入力装置、(4)
は磁気ディスク装置、(5jは専用演算処理装置を示す
。 なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  LSIマスクパターン設計における階層構造をなす既
    設計済マスクパターンから新たにマスクパターンを生成
    する処理において、既設計済マスクパターンからセル間
    の接続情報を抽出する手段と、セル間の接続部を保持し
    てアンダサイズする手段を備えたことを特徴とするLS
    Iマスクパターン設計装置。
JP2312237A 1990-11-15 1990-11-15 Lsiマスクパターン設計装置 Pending JPH04181757A (ja)

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JP2312237A JPH04181757A (ja) 1990-11-15 1990-11-15 Lsiマスクパターン設計装置

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JPH04181757A true JPH04181757A (ja) 1992-06-29

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