JPH04177706A - チップ型半導体部品の抵抗値調整方法及びチップ型半導体部品 - Google Patents

チップ型半導体部品の抵抗値調整方法及びチップ型半導体部品

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JPH04177706A
JPH04177706A JP2304857A JP30485790A JPH04177706A JP H04177706 A JPH04177706 A JP H04177706A JP 2304857 A JP2304857 A JP 2304857A JP 30485790 A JP30485790 A JP 30485790A JP H04177706 A JPH04177706 A JP H04177706A
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gap
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Yoshiaki Abe
吉晶 阿部
Norimitsu Kito
鬼頭 範光
Takahiko Kawahara
河原 隆彦
Atsushi Kojima
淳 小島
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本願発明は、正特性または負特性を示すザーミスタ素子
やバリスタなどのチップ型半導体部品の抵抗値調整方法
及びチップ型半導体部品に関する。
「従来の技術] 従来のチップ型半導体部品としては、例えは、第6図に
示すようなチップ型半導体部品が知られている。なお、
このチップ型半導体部品は裏面側も第6図に示ず構造と
同一の′lf4造を有している。
チップ型半導体部品50は、正特性を示すサーミスタ用
の半導体素子(例えば、チタン酸バリウム系半導体磁器
)60の両端側に一対の電極70゜70を配設した構造
を有している。そして、電極70は半導体素子60の両
生面、両側面及び端面に形成された主面側電極70a、
70a、側面側電極70b、70b及び端面側電極70
cから構成されている。
[発明が解決しようとする課題] しかし、上記従来のチップ型半導体部品50においては
、その抵抗値が焼成温度や焼成時間などの影響を受けて
ばらつくなめ、抵抗値を所定の範囲内に保持することが
困難て、その範囲におさまらないものも生じ、十分な信
頼性を有するチップ型半導体部品が得られないという問
題点がある。
さらに、従来技術では電極形成後にチップ型半導体部品
の抵抗値を調整することが困難であるなめ、製品を破棄
しなりればならない場合も生じ、製品の歩留まりが悪く
製造コストの増大を招くという問題点がある。
本願発明は、上記の問題点を解決するものであり、電極
形成後にチップ型半導体部品の抵抗値を調整することが
可能な抵抗値調整方法及び該調整方法による抵抗値の調
整に適したチップ型半導体部品を提供することを目的と
する。
[課題を解決するための手段] 上記目的を達成するために、本願箱1の発明のチップ型
半導体部品の抵抗値調整方法は、半導体素子と該半導体
素子の両端側に形成された一対の電極とを備えたチップ
型半導体部品の抵抗値調整方法であって、 前記一対の電極として、半導体素子の一方の主面から端
面を経て他方の主面にわたる電極を該半導体素子の両端
に形成するとともに、 主面上で対向する」二記一対の電極の先端部を1〜リミ
ンクして、該一対の電極間のギャップの大きさを調整す
ることを特徴とする。
また、本願箱2の発明のチップ型半導体部品の抵抗値調
整方法は、 半導体素子と該半導体素子の両@側に形成された一対の
電極とを備えたチップ型半導体部品の抵抗値調整方法て
あって、 半導体素子の一方の主面から端面を経て他方の主面にわ
たる電極を該半導体素子の両端に形成するとともに、 一方の主面における一対の電極間のギャップを他方の主
面における一対の電極間のギャップより大きくし、該大
きい方のキャップか形成された主面上の電極の先端部を
1〜リミングして、該ギャップの大きさを調整すること
を特徴とする。
さらに、本願箱3の発明のチップ型半導体部品は、 半導体素子と該半導体素子の両端側に形成された一対の
電極とを備えたチップ型半導体部品であって、 前記一対の電極を各々半導体素子の一方の主面から端面
を経て他方の主面にわたって形成するとともに、一方の
主面における一対の電極間のキャップを他方の主面にお
ζjる一対の電極間のギャップより大きくしたことを特
徴とする。
[作用] 本願箱1の発明のチップ型半導体部品の抵抗値調整方法
においては、主面上で対向している一対の電極の少なく
とも一方の先端部を1〜リミングすることにより電極間
のギャップの大きさが変化し、それにともなってチップ
型半導体部品の抵抗値も変化する。しながって、上記電
極の先端部をトリミングすることによりギャップの大き
さを調整してチップ型半導体部品の抵抗値を調整するこ
とかできる。
また、本願箱2の発明のチップ型半導体部品の抵抗値調
整方法においては、両生面上の一対の電極間のギャップ
の大きさが互いに異なっており、ギャップが大きい方の
主面」二の電極の先端部をトリミンクすることにより、
チップ型半導体部品の抵抗値を精度よく調整することが
できる。
すなわち、第5図に示すように、両生面の電極間のギャ
ップのうち小さいほうのギャップにより与えられる抵抗
をR1、大きいほうのギャップにより与えられる抵抗を
R2とすると、合成抵抗Rは α (但し、αはR2を1〜リミンクすることにより調整さ
れる定数) となる。そして式(1)1式(2)より[以下余白] となる。そしてαはR1とR2の関数であるからそして
、R+<<R2であるから となる。そして、式(4)、(5)よりα=1+β′、
1            =、=、(6)したがって
、ギャップの大きい方の主面上の電極の先端部をトリミ
ングすることにより、チップ型半導体部品の抵抗値を精
度よく微調整することができる。    [以下余白] さらに、本願筒3の発明にかかるチップ型半導体部品に
おいては、半導体素子の一方の主面から端面を経て他方
の主面にわたる電極が半導体素子の両端部に形成され、
かつ、一方の主面における一対の電極間のギャップが他
方の主面における一対の電極間のギャップより大きく形
成されているなめ、キャップの大きい方の主面」二の電
極の先端部をトリミングすることにより、上述のように
、チップ型半導体部品の抵抗値を精度よく調整すること
が可能になる。
[実施例] 以下、本願発明の実施例を図に基づいて説明する。
第1図は本願筒3の発明の一実施例にかかるチップ型半
導体部品を示す斜視図てあり、第2図はその断面図であ
る。これらの図に示すように、このチップ型半導体部品
1においては、正特性を示すサーミスタ用の半導体素子
(例えば、チタン酸バリウム系半導体磁器)10の両端
側に入出力用の電極20か形成されている。この@極2
0は半= 9− =  8 − 導体素子100両主面に形成された主面側電極20a、
20aと端面に形成された端面側型′!f120Cとか
ら構成されている。そして、上側の主面−にの一対の電
極20.20の互いに対向する先端部間のギャップG2
は、反対側〈下側)の主面上のギャップG+より大きく
形成されている。
上記電極20は、オーミック層としてNiのメツキ層〈
特に図示せず)を形成し、さらに、その上にはんだ付け
を良好にするためのはんな付は層として、Agを含む導
電性ペーストを塗布して焼き付けた導電層(図示せず)
を形成することにより構成されている。なお、オーミッ
ク層としては、Cr、Ni 、Ti 、AI 、Zn、
V、Wのうち少なくとも1種を主成分とし、はんな付は
層としてはAg、Cu、Ni、Snのうち少なくとも1
種を主成分とするものであることか好ましい。
なお、上記電極20を形成するに当たっては、電極20
の形成後に電極20をトリミングすることにより抵抗値
を大きくして所定の抵抗値に調整することを考慮して、
チップ型半導体部品の抵抗値が目標とする抵抗値よりも
いくらが小さくなるように製造されている。
−F記のように構成されなデツプ型半導体部品1の抵抗
値を調整する場合、大きいほうのギャップG2が形成さ
れている方の主面11!IJ電′VI!20a、20 
a、のうちの一方の先端部21をザンドブラスト法やレ
ーザトリミングなとの方法てトリミング(除去)してキ
ャップG2の幅を大きくすることにより、高精度に抵抗
値を調整することができる。
例えば、第1図の実施例のチップ型半導体部品1におい
て、各部のサイズが、長さ(Jり3.0mm、幅(w)
 1.511m、厚み(t)1..0TllI11、ギ
ャップ(G+ ) 0. 5m11、キャップ(G2 
) 110ll1である場合において、サンドブラスト
法により電極20の先端部21をその全幅にわたって除
去(1〜リミンク)してキャップG2を3.0vnに拡
大すると、トリミング前には150Ωであったチップ型
半導体部品1の抵抗値はトリミング後には195Ωにな
っなに の場合、トリミングの精度が±0.1111111であ
るとすると、抵抗値を約±0.6%の精度で調整するこ
とができる。
また、抵抗値の規格を±4%に設定すると、チップ型半
導体部品の抵抗値が規格内に入らず不良品となるユニッ
ト数の割合を、従来例の10分の1 (n=2000個
)に低減することがてきる。
なお、上記実施例においては、ギャップG2をギャップ
G1より大きくしなチップ型半導体部品1について説明
しなが、第4図及び第5図に示すように、キャップG 
l、 G 2を同じ大きさに形成したチップ型半導体部
品2においても、主面上の電極の先端部をトリミングし
てギャップG + 、 G2の大きさを調整することに
より、電極形成後にチップ型半導体部品の抵抗値を調整
することができるという本願発明の所期の効果を得るこ
とができる。
上記実施例においては電極の形成方法として、Niメツ
キ層上にAgを含む導電性ペーストを塗布して焼き付け
ることにより電極を形成する方法を示しなが、電極の形
成方法はこれに限られるものではなく、金属材料をスパ
ッタリングして複数の金属層を形成した後、その」二に
はんだ付は層を形成する方法や、オーミック性導電ペー
ストを半導体素子に直接塗布して焼き(=Iける方法な
ど種々の方法で電極を形成することが可能である。
なお、上記の実施例においては半導体素子10が正特性
を示すサーミスタ用半導体素子(いわゆるPTC素体)
である場合について説明したが、この発明は半導体素子
が負特性を示すサーミスタ用半導体素子(例えは、Mn
−Ni−Co系半導体磁器)その他のいわゆるNTC素
体である場合や、バリスタである場合などにも同様に適
用することができる。
[発明の効果] 本願節1の発明のチップ型半導体部品の抵抗値調整方法
は、主面上で対向している一対の電極の先端部を1〜リ
ミンクすることにより電極間のギャップの大きさを変化
さぜるように構成しているのて、電極形成後にギャップ
の大きさを調整してチップ型半導体部品の抵抗値を容易
に調整することができる。
また、本願節2の発明のチップ型半導体部品の抵抗調整
方法は、両生面上の電極のギャップの大きさを異ならせ
、ギャップが大きい方の主面上の電極の先端部をトリミ
ングするように構成しているので、電極形成後にキャッ
プの大きさを調整してチップ型半導体部品の抵抗値を容
易に、かつ精度よく調整することができる。
さらに、本願節3の発明のチップ型半導体部品は、一方
の主面における一対の電極間のキャップを他方の主面に
おける一対の電極間のギャップより大きく形成している
ので、ギャップの大きい方の主面上の電極の先端部をト
リミングすることにより、チップ型半導体部品の抵抗値
の微調整を容易に、かつ精度よく行うことかできる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例にかかるチップ型半導体部
品を示す斜視図、第2図は該チップ型半導体部品の断面
図、第3図は該チップ型半導体部品の等価回路を示す図
、第4図はこの発明の他の実施例にかかるチップ型半導
体部品を示す斜視図、第5図は該チップ型半導体部品の
断面図、第6図は従来のチップ型半導体部品を示ず斜視
図である。 1.2・・・・・・チップ型半導体部品10・・・・・
・・・・半導体素子 20・・・・・・・・・電極 G、、G2・・・・・・ギャップ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)半導体素子と該半導体素子の両端側に形成された
    一対の電極とを備えたチップ型半導体部品の抵抗値調整
    方法であって、 前記一対の電極として、半導体素子の一方の主面から端
    面を経て他方の主面にわたる電極を該半導体素子の両端
    に形成するとともに、 主面上で対向する上記一対の電極の先端部をトリミング
    して、該一対の電極間のギャップの大きさを調整するこ
    と を特徴とするチップ型半導体部品の抵抗値調整方法。
  2. (2)半導体素子と該半導体素子の両端側に形成された
    一対の電極とを備えたチップ型半導体部品の抵抗値調整
    方法であって、 半導体素子の一方の主面から端面を経て他方の主面にわ
    たる電極を該半導体素子の両端に形成するとともに、 一方の主面における一対の電極間のギャップを他方の主
    面における一対の電極間のギャップより大きくし、該大
    きい方のギャップが形成された主面上の電極の先端部を
    トリミングして、該ギャップの大きさを調整すること を特徴とするチップ型半導体部品の抵抗値調整方法。
  3. (3)半導体素子と該半導体素子の両端側に形成された
    一対の電極とを備えたチップ型半導体部品であって、 前記一対の電極を各々半導体素子の一方の主面から端面
    を経て他方の主面にわたって形成するとともに、一方の
    主面における一対の電極間のギャップを他方の主面にお
    ける一対の電極間のギャップより大きくしたこと を特徴とするチップ型半導体部品。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1995020819A1 (fr) * 1994-01-31 1995-08-03 Nippon Tungsten Co., Ltd. Element chauffant plat c.t.p. et procede de regulation de la valeur de resistance de cet element
JP2006190981A (ja) * 2004-11-29 2006-07-20 Therm-O-Disc Inc 並列の実効抵抗領域を有するptc回路保護装置
EP3451352A1 (en) * 2017-08-28 2019-03-06 Hochschule Für Angewandte Wissenschaften München High-precision additive formation of electrical resistors

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US10366813B2 (en) 2017-08-28 2019-07-30 Hochschule für angewandte Wissenschaften München High-precision additive formation of electrical resistors

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