JPH04173995A - 電解装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は湿式薄膜成膜のための電解装置に関し、詳しく
は湿式電解による有機薄膜成膜のための電解装置に関す
る。

［従来の技術］ 我々は湿式電解による有機薄膜成膜法を用いたカラーフ
ィルターを発明している（特開平２−２４６０３）、以
下第２図を用いて、従来技術を説明する。該カラーフィ
ルターは電解により有機色素膜を形成する際に用いた基
板（第２図の２０）上の透明電極（第２図の２１）を液
晶パネル化した場合の液晶駆動用電極として用いること
をメリットの一つとしている。従って、液晶駆動用ＩＣ
を実装する制約上透明電極は一般にカラーフィルターと
して用いるエリア（第２図２２）の外側においては、−
本のバクーンおきに交互に引き出し線状パターンとして
延長されており、第２図の２３に示す部分で最終的にＩ
Ｃが実装される。該成膜法で有機薄膜を成膜する場合は
さらにＩＣ実装部を延長した第２図２４のエリアで通電
コンタクトをとり電解する方法を用いていた。

通常ＲＧＢの３原色の色配列の制約上各色の色素膜の成
膜は同一色の形成において、カラーフィルターエリアの
両側、すなわち２箇所で通電する必要がある（例えばＲ
色の成膜では第２図の２５で示した２つの箇所）。この
とき、同時に通電しようとすると少なくとも一方の通電
部は液中に浸ることになるため、−色の成膜において、
片側づつ液外で通電コンタクトすることにより、２回に
分けて電解成膜していた。

［発明が解決しようとする課題］ 以上のように従来の技術では成膜時の通電コンタクトは
電解液の外側の部分で行なうのが一般的であり、液中で
のコンタクトは皆無であった。

すなわち、このことにより成膜回数が増えるという間顕
があったとともに、−枚の基板内に小面積のカラーフィ
ルターを多数個形成することも困難にしていた。

そこで本発明は上述のような課題を解決をするためのも
ので、その目的とするところは電解液中でも通電コンタ
クトできる電解装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段１ 本発明の電解装置は、湿式電解成膜法における成膜基板
への通電に用いる電解装置において、１）成膜基板上の
導電体部への接触部分が、貴金属メッキを施した金属体
からなり、該金属体が鉄芯などの磁化容易な金属入りの
弾性を持った有機質のロッドに装置され、さらに該ロッ
ドが成膜基板の反対面に置かれた磁性体により成膜基板
上に固定されることを特徴とする。

２）前記ｌ）の貴金属メッキを施した金属体が磁性体入
りの有機質のロッドに装着され、さらに該ロッドが成膜
基板の反対面におかれた磁化容易な金属入りのロッドに
より成膜基板上に固定されてもよいことを特徴とする。

３）前記１）または２）において、貴金属メッキを施し
た金属体が一旦フレキシブルシート上に形成された後、
該フレキシブルシートとともに有機質のロッドに装置さ
れることを特徴とする。

上記の通電金属体つきロッドはゴムなどの弾性を持った
材質とすることで、成膜基板の多少のそりや変形があっ
ても基板上の透明電極等の導電体部に信頼性よく接触さ
れ、磁力により容易に固定できるものである。

［実　施　例］ （実施例１） 第１図に本実施例で作成した電解装置を成膜基板に装着
した状態の断面図を示す。電解装置は通電体つきロッド
と磁性体ロッドからなる。

以下第１図に基づいて実施例を説明する。

長さ３０ｃｍ、幅５ｍｍ、厚さ５０ｕｍに加工し、貴金
属メッキとして金メッキを被覆した銅箔を第１図の１２
として示す、この銅箔の一端にビニール被覆したリード
線１５をは半田づけにより装置した。半田露出部にはエ
ポキシ樹脂系接着剤を塗布した。

さらにこの銅箔を長さ３０ｃｍ、幅、厚みとも５ｍｍの
ゴム製角柱状ロッド（第１図の１３）の−側面にやはり
エポキシ樹脂系接着剤を用いて接着した。第１図１３の
ロッドの中には直径的０゜３ｍｍの鉄線が１０本束ねら
れた状態で封入されている。この鉄心を第１図の１４と
して示した。

以上のようにして作成した通電金属体つきロッドを湿式
電解法による有機薄膜形成のための透明電極つきガラス
基板に装置した。装着は透明電極１１のついたガラス基
板１０に対し、透明電極のついた面と反対側の面から基
板を介し磁性体ロッド１６をセットすることで、磁力に
より極めて容易に装着できた。ＶＢ性体ロッド１６はサ
マリウム・コバルトをプラスチックバインダーに練り込
んだものを使用した。

以上のようにして作成、装着した本発明の電解装置を基
板とともに電解液中に浸漬し、通電することで電解を行
なった。電解液には第１表に示した組成のものを用い、
同じ（電解液中に浸漬した対向基板との間に０．４Ｖを
印加し、３０分電解した。

第１表　電解液組成°１ ＊１　各成分を純水中に加え超音波ホモジナイザーでア
ントラキノン系赤色顔料を 分散した。

＊２１ｉ解で酸化還元できる界面活性剤（同仁化学製フ
ェロセニルＰＥＧ） この界面活性剤溶液中に有機顔料を分 散し、電解することで有機顔料の微粒 子からなる薄膜が形成できる（特願昭 ６３−１０８７２６など）。

その結果、液中での通電コンタクトにより、ガラス基板
上のＩＴＯ透明電極上にアントラキノン系顔料からなる
有機色素薄膜を形成することができた。

（実施例２） 金メッキつき銅箔を装着する有機質のロッドとしてサマ
リウム・コバルト磁性体を練り込んだゴム材を用い、上
記ロッドな固定するために成膜基板裏面から樹脂をコー
トした鉄棒を接触させた。

他の条件は実施例１と同様にして、液中での通電コンタ
クトにより電解成膜を行なった。

その結果、実施例１と同様に液中コンタクトによる電解
成膜が実施できた。

（実施例３） ポリイミドシートに接着された銅箔上に銅エツチングレ
ジストを所定のパターンにスクリーン印刷し、銅箔を所
定のパターン（長さ３０ｃｍ、幅２ｍｍ）にエツチング
加工した。この銅箔パターンつきポリイミドシートを長
さ３０ｃｍ、幅５ｍｍに切り出し、実施例１と同様のゴ
ム製ロッドに接着し、銅箔表面に金メッキを施した。

実施例１と同様に成膜基板に装置し、液中で通電しなが
ら電解成膜を実施した結果、実施例１と同様の結果が得
られた。

〔発明の効果１ 以上のように本発明により、電解液中で、成膜基板と電
源との電気的コンタクトを極めて容易に行なうことが可
能となり、量産的効果も大いに期待できる電解装置を提
供できることになった。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明において実施例１で作成した電解装置と
その基板への装着状態の断面を示す図。 第２図は湿式電解法により作成するカラーフィルター基
板のストライブ状透明電極パターン例を示す図。 １０・・透明基板 １１・・透明電極 １２・・金メッキした銅箔 １３・・ゴム製ロッド １４・・鉄芯 １５・　・リード線 １６・・磁性体ロッド ２０・・透明基板 ２１・・透明電極 ２２・・カラーフィルターとして色素を形成する領域 ２３・・液晶駆動用ＩＣを実装する領域（最終的にこの
外側の領域は不要とな るのでカット除去される） ２４・・電解時に通電コンタクトを行なう部分２５・・
Ｒ色を電解成膜する時に通電コンタクトを行なう部分 以上 出願人　セイコーエプソン株式会社

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）湿式電解成膜法における成膜基板への通電に用いる
   電解装置において成膜基板上の導電体部への接触部分が
   、貴金属メッキを施した金属体からなり、該金属体が鉄
   芯などの磁化容易な金属入りの弾性を持った有機質のロ
   ッドに装着され、さらに該ロッドが成膜基板の反対面に
   置かれた磁性体により成膜基板上に固定されることを特
   徴とする電解装置。 ２）請求項１において、貴金属メッキを施した金属体が
   磁性体入りの有機質のロッドに装着され、さらに該ロッ
   ドが成膜基板の反対面におかれた磁化容易な金属入りの
   ロッドにより成膜基板上に固定されることを特徴とする
   電解装置。 ３）請求項１または２において、貴金属メッキを施した
   金属体が一旦フレキシブルシート上に形成された後、該
   フレキシブルシートとともに有機質のロッドに装着され
   ることを特徴とする電解装置。