JPH04167545A - 集積回路マスクパターンの設計方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は集積回路のマスクパターンデータにおける多角
形配線データをパスデータに変換する配線パスデータ変
換方法に関する。

〔従来の技術〕

一般に、コンピュータを使って自動的に設計された集積
回路のマスクパターンデータは、必ずしも回路の電気的
な特性を満足しない場合があり、しばしば人手による修
正を余儀なくさせられるが、このような自動設計の結果
には多角形表現による配線データが存在することがある
。

これに対し人手によるマスクパターン設計では、配線は
パスデータ形式で入力されるのが常である。

それは、同じ形状の配線データであっても、多角形はパ
スに比較してデータ量が多く、人手による作業に時間を
要し、さらに作業時にミスを生じ易いからである。

一例として第２図（ａ）　、　（ｂ）に示すように、多
角形配線データ２０は８個の頂点２１．２２〜２８の座
標で表現されるのに対して、パスデータ３０は４個の頂
点３１〜３４の座標と配線の幅で表される。このため、
多角形配線データ２０に修正を加える場合、対象とする
図形がバスデータである場合に比較して約２倍の作業量
を要する。さらに、バスデータでは一度定義すれば常に
一定の配線幅を保つことが可能であるが、多角形は各々
の配線について設計者が確認しながら作業をする必要が
あり、ミスを生じ易い。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の多角形配線データは、バスデータに比較
してデータ量が多く、また人手により修正する際に多大
な時間を要し、かつ修正ミスが生じ易いという欠点があ
る。

本発明の目的は、このような欠点を除き、作業時間を短
縮すると共に、修正ミスを除くようにした集積回路マス
クパターンの設計方法を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の構成は、集積回路のマスクパターンにおける多
角形配線データを入力する入力手段と、この入力手段か
ら入力した多角形配線データの各頂点データから所定条
件の隣接した頂点の中央となるバスデータの頂点を演算
してバスデータの頂点データに変換する変換手段と、こ
の変換手段により変換後のバスデータを出力する出力手
段とを備え、前記集積回路の前記多角形配線データをバ
スデータに変換することを特徴とする。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例を説明するフロー図である。

本実施例は、入力手段１と、変換手段２と、出力手段３
と、入力データを記憶する入力データ記憶する手段およ
び出力データを記憶する出力データ記憶手段とから構成
さｈる。

説明にあたって対象となる多角形の頂点数をｎ個、ａ＝
０．１，２．−、ｎ−１（但し、ａはｍｏｄ　ｎの剰余
）、Ｉ＝ａ、ａ＋ｎ−１，ａ十ｎ−２、・−＝−、ａ＋
ｎ／２＋１　（但し、■はｍｏｄ　ｎの剰余）、Ｉ［＝
ａ＋１．ａ＋２．ａ＋３．＝＝＝、ａ十ｎ／２（但し、
Ｈはｍａｄ　ｎの余剰）とする。

まず、入力手段１がステップ１１でパス幅Ｗを入力し、
次にステップ１２で多角形配線データの頂点の座標（Ｘ
、、　Ｙ、）、（Ｘｌ、　Ｙｔ）、　・−・□、　（Ｘ
−＋　。

Ｙカニ、）を入力バッファにセットする。さらに、ステ
ップ１３ではデータニラ−を判定を行い、ステップ１２
で入力した多角形が水平および垂直な線分だけで構成さ
れている場合は、正常なデータとして変換手段のステッ
プ１４へ、そうでない場合はエラーデータとしてフラグ
を立て、出力手段のステップ１６へ進む。

次に変換手段２としては、ステ、プ１４で次の条件（１
）または条件（２）のいずれかを満足する多角形の２頂
点を選択する。

すなわち、２頂点（Ｘａ　、　Ｙａ）、　（Ｘａ＋＋＋
　ｙ、＋１）を選択し、求めるバスデータの始点の座標
が次式であると仮定する。

これは、条件（１）が図形の水平な辺上にバスの始点が
ある場合、条件（２）が垂直な辺上に始点がある場合に
満足すべき条件を示しているからである。

ステップ１５では、前述のステップ１４で求めたバスデ
ータの始点の座標をもとに、バスの頂点の座標、 を全て求めて田カバッファにセットする。ここで始点と
終点を除くバスの頂点は全て、Ｉｘ＋　　Ｘｇｌ＝Ｗか
つＩ　Ｙｔ　　Ｙｔ　Ｉ　＝Ｗの条件を満たすことを確
認する。この条件を満足しない場合はバスに変換できな
い多角形なので、エラーデータとしてフラグを立ててお
く。このようなバスに変換できない多角形としては、第
３図（ａ）　、　（ｂ）に示すものがある。

次の出力手段として、ステップ１６でエラーフラグの値
を判定し、パスデータへの変換が正常に行われた場合は
ステップ１７へ、そうでない場合はステップ１８へ進む
。ステップ１７では変換手段によって出力バッファ３に
セットされているパスデータを気憶手段へ出力する。ス
テップ１８は入力手段にて入力バッファにセットされた
多角形の頂点の座標を無変換のまま記憶手段へ出力する
。

さらに、ステップ１９では入力手段４にまだ入力してい
ないデータがあるかどうかを判断し、そのデータがあれ
ば入力手段のステップ１２へ戻り、そうでなければ処理
を終了する。

次に、本実施例の動作を第２図を用いて具体的に説明す
る。

まず、入力手段１が、ステップ１１でパス幅Ｗを入力し
、次にステップ１２で多角形配線データの頂点２１〜２
８の８個の座標（ｘｏ、　ｙｏ）、　（ｘ＋。

Ｙｌ）、・・・・・・、　（Ｘ、、　Ｙ７）を入力バッ
ファにセ、トシ、ステップ１３でデータにエラーがない
ことを確認し、次のステップへ進む。

ステップ１４で条件（１）を満足する多角形の組を選択
し、求めるパスデータの始点とし、次のステップ１５で
は、次のパスの頂点３１〜３４の座標を求める。

これら４頂点のうち、始点と終点を除く２頂点の座標は
、ｌ　Ｘ２−Ｘ５１　＝Ｗかつｌ　Ｙ２−Ｙ５１　＝Ｗ
とｌ　Ｘ＋　　Ｘｓ　ｌ　＝ＷかつＩＹ＋　　Ｙｓ　ｌ
　＝Ｗの条件を満足している。

ステップ１６で、エラーフラグが立っていないことを確
認して次のステップ１７で、求められたノークスデータ
を記憶手段へ出力して図形に関する処理を終了する。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、多角形配線データを自動
的にパスデータに変換することにより、データ量を削減
し、人手による修正作業時間を軽減し、さらに作業時の
ミスをなくすという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を説明するフロー図、第２図
（ａ）　、　（ｂ）は本実施例に適用された多角形配線
データおよびパスデータの平面図、第３図（ａ）。 （ｂ）はパスに変換できない２例の多角形の平面図であ
る。 ｌ・・・・・・入力手段、２・・・・・・変換手段、３
・・・・・・出力手段、１１〜１９・・・・・・処理ス
テップ、２ｏ・・団・多角形配線データ、２１〜２８・
・川・多角形の頂点、３０・・・・・・パスデータ、３
１〜３４・川・・パスデータの頂点。 代理人　弁理士　　内　原　　晋

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 集積回路のマスクパターンにおける多角形配線データを
   入力する入力手段と、この入力手段から入力した多角形
   配線データの各頂点データから所定条件の隣接した頂点
   の中央となるパスデータの頂点を演算してパスデータの
   頂点データに変換する変換手段と、この変換手段により
   変換後のパスデータを出力する出力手段とを備え、前記
   集積回路の前記多角形配線データをパスデータに変換す
   ることを特徴とする集積回路マスクパターンの設計方法
   。