JPH08235225A - 集積回路マスクパターンの設計方法 - Google Patents
集積回路マスクパターンの設計方法Info
- Publication number
- JPH08235225A JPH08235225A JP3833995A JP3833995A JPH08235225A JP H08235225 A JPH08235225 A JP H08235225A JP 3833995 A JP3833995 A JP 3833995A JP 3833995 A JP3833995 A JP 3833995A JP H08235225 A JPH08235225 A JP H08235225A
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- JP
- Japan
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- data
- wiring
- path
- polygonal
- path data
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 集積回路マスクパターンデータにおける線対
称に配線幅が変化する多角形配線データをパスデータに
変換する配線パスデータ変換方法において、作業時間を
短縮するとともに、データ量を削減することで修正ミス
を防止する。 【構成】 入力ステップにより、多角形配線データ200
の頂点201〜212の座標(x1,y1)(x2,y2)…を入力バッファ
にセットし、データエラーを判定し、入力した多角形が
互いに直交する線分だけで構成されている場合は、正常
なデータとして変換ステップへ渡す。変換ステップでは
入力した多角形配線データ200の各頂点データから所定
条件の隣接した頂点の中央となるパスデータ30の端点3
1,34、節点32,33、および各区間のパス幅データw1〜w3
を計算してパスデータ30に変換し、変換後のパスデータ
30を出力する。
称に配線幅が変化する多角形配線データをパスデータに
変換する配線パスデータ変換方法において、作業時間を
短縮するとともに、データ量を削減することで修正ミス
を防止する。 【構成】 入力ステップにより、多角形配線データ200
の頂点201〜212の座標(x1,y1)(x2,y2)…を入力バッファ
にセットし、データエラーを判定し、入力した多角形が
互いに直交する線分だけで構成されている場合は、正常
なデータとして変換ステップへ渡す。変換ステップでは
入力した多角形配線データ200の各頂点データから所定
条件の隣接した頂点の中央となるパスデータ30の端点3
1,34、節点32,33、および各区間のパス幅データw1〜w3
を計算してパスデータ30に変換し、変換後のパスデータ
30を出力する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、集積回路マスクパター
ンデータにおける線対称に配線幅が変化する多角形配線
データをパスデータに変換する配線パスデータ変換方法
に関するものである。
ンデータにおける線対称に配線幅が変化する多角形配線
データをパスデータに変換する配線パスデータ変換方法
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体集積回路技術の発展によ
り、集積回路の集積度はますます向上している。集積度
が向上するにつれ、マスクパターンの設計も自動化の傾
向が強くなっているが、必ずしも回路の電気的特性を満
足しない場合があり、しばしば人手による修正を余儀な
くさせられる。このような自動設計の結果には、多角形
表現による配線データが存在することがある。
り、集積回路の集積度はますます向上している。集積度
が向上するにつれ、マスクパターンの設計も自動化の傾
向が強くなっているが、必ずしも回路の電気的特性を満
足しない場合があり、しばしば人手による修正を余儀な
くさせられる。このような自動設計の結果には、多角形
表現による配線データが存在することがある。
【０００３】これに対し、人手によるマスクパターン設
計では、配線はパスデータ形式で入力されるのが常であ
る。それは、同じ形状の配線データであっても、多角形
はパスに比較してデータ量が多く、人手による作業に時
間を要し、さらに作業時にミスを生じやすいからであ
る。
計では、配線はパスデータ形式で入力されるのが常であ
る。それは、同じ形状の配線データであっても、多角形
はパスに比較してデータ量が多く、人手による作業に時
間を要し、さらに作業時にミスを生じやすいからであ
る。
【０００４】従来の技術による多角形表現による配線デ
ータ入力は、配線幅が一定なブロック（区間）に区切
り、そのブロックごとにデータを入力する。入力するデ
ータは多角形の頂点のデータと配線幅のデータである。
この多角形配線データと配線幅データをパスデータに変
換することにより、修正時間を軽減し、作業ミスを防止
している（例えば特開平４−１６７５４５号公報）。
ータ入力は、配線幅が一定なブロック（区間）に区切
り、そのブロックごとにデータを入力する。入力するデ
ータは多角形の頂点のデータと配線幅のデータである。
この多角形配線データと配線幅データをパスデータに変
換することにより、修正時間を軽減し、作業ミスを防止
している（例えば特開平４−１６７５４５号公報）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】例に挙げた従来のデー
タ入力・処理方法では、図２に示されような線対称に配
線幅が変化する配線データを取り扱う場合、配線幅が一
定のブロックのみにしか対処できず、ブロックごとのデ
ータの修正時間や作業ミスは防げるが、ブロック間のデ
ータの整合性による修正ミスや作業ミスは防ぐことがで
きない。
タ入力・処理方法では、図２に示されような線対称に配
線幅が変化する配線データを取り扱う場合、配線幅が一
定のブロックのみにしか対処できず、ブロックごとのデ
ータの修正時間や作業ミスは防げるが、ブロック間のデ
ータの整合性による修正ミスや作業ミスは防ぐことがで
きない。
【０００６】本発明は、上記問題点を解決するもので、
線対称に配線幅が変化する場合においても、入力された
多角形配線データを１本のパスデータに変換することに
より、データ量を削減し、作業ミスや修正ミスを防止す
ることを目的とする。
線対称に配線幅が変化する場合においても、入力された
多角形配線データを１本のパスデータに変換することに
より、データ量を削減し、作業ミスや修正ミスを防止す
ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の構成は、集積回
路のマスクパターンにおける多角形配線データを入力す
る入力ステップと、この入力ステップから入力した多角
形配線データの各頂点データから両端点と節点、各ブロ
ックの配線幅という１本のパスデータに変換する変換ス
テップと、この変換ステップにより変換後のパスデータ
を出力する出力ステップとを備え、前記集積回路の前記
多角形配線データをパスデータに変換することを特徴と
する。
路のマスクパターンにおける多角形配線データを入力す
る入力ステップと、この入力ステップから入力した多角
形配線データの各頂点データから両端点と節点、各ブロ
ックの配線幅という１本のパスデータに変換する変換ス
テップと、この変換ステップにより変換後のパスデータ
を出力する出力ステップとを備え、前記集積回路の前記
多角形配線データをパスデータに変換することを特徴と
する。
【０００８】
【作用】本発明は、集積回路のマスクパターンにおける
多角形配線データを入力する第１のステップと、前記多
角形配線データからパスデータの端点（始点）を計算す
る第２のステップと、前記多角形配線データおよび前記
パスデータの端点（始点）から節点、端点（終点）およ
び配線幅を計算する第３のステップと、パスデータを出
力する第４のステップを有し、前記第１のステップから
入力した線対称に配線幅が変化する多角形配線データ
を、前記第２のステップに渡し、前記第２のステップに
よりパスデータの端点（始点）を計算し前記第３のステ
ップに渡し、前記第３のステップにより節点、端点およ
び各区間の配線幅という１本のパスデータに変換し、変
換後のパスデータを前記第４のステップにより出力する
ことにより、従来の方法よりデータ量を削減し、線対称
に配線幅が変化した場合のブロック間の整合性による修
正ミスや作業ミスを防止することができる。
多角形配線データを入力する第１のステップと、前記多
角形配線データからパスデータの端点（始点）を計算す
る第２のステップと、前記多角形配線データおよび前記
パスデータの端点（始点）から節点、端点（終点）およ
び配線幅を計算する第３のステップと、パスデータを出
力する第４のステップを有し、前記第１のステップから
入力した線対称に配線幅が変化する多角形配線データ
を、前記第２のステップに渡し、前記第２のステップに
よりパスデータの端点（始点）を計算し前記第３のステ
ップに渡し、前記第３のステップにより節点、端点およ
び各区間の配線幅という１本のパスデータに変換し、変
換後のパスデータを前記第４のステップにより出力する
ことにより、従来の方法よりデータ量を削減し、線対称
に配線幅が変化した場合のブロック間の整合性による修
正ミスや作業ミスを防止することができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の集積回路マスクパターンの設
計方法の実施例について図面を参照しながら説明する。
計方法の実施例について図面を参照しながら説明する。
【００１０】図１は、本発明の一実施例を説明するフロ
ー図である。本実施例は、多角形配線データを入力する
ステップ１と、多角形配線データからパスの端点（始
点）の座標を計算するステップ２と、多角形配線データ
およびパスの端点（始点）の座標からパスの節点と端点
（終点）の座標と各区間の配線幅を計算するステップ３
と、パスデータを出力するステップ４と、入力データを
記憶する入力バッファおよび出力データを記憶する出力
バッファ、およびエラーチェック部分から構成される。
このように構成されたシステムの動作は概略以下のよう
にである。
ー図である。本実施例は、多角形配線データを入力する
ステップ１と、多角形配線データからパスの端点（始
点）の座標を計算するステップ２と、多角形配線データ
およびパスの端点（始点）の座標からパスの節点と端点
（終点）の座標と各区間の配線幅を計算するステップ３
と、パスデータを出力するステップ４と、入力データを
記憶する入力バッファおよび出力データを記憶する出力
バッファ、およびエラーチェック部分から構成される。
このように構成されたシステムの動作は概略以下のよう
にである。
【００１１】ここで、対象となる多角形の頂点の数をn
個とし、その頂点の座標を(x1,y1),(x2,y2),…,(xn,yn)
とする。また m=1,2,...,(n/2)-1、i は、0≦i≦n、i=0
のときi-1=n、i=nのときi+1=0とする。
個とし、その頂点の座標を(x1,y1),(x2,y2),…,(xn,yn)
とする。また m=1,2,...,(n/2)-1、i は、0≦i≦n、i=0
のときi-1=n、i=nのときi+1=0とする。
【００１２】まず、ステップ１で線対称に配線幅が変化
する多角形配線データの頂点の座標(x1,y1),(x2,y2),
…,(xn,yn)を入力バッファにセットする。次に、セット
された多角形配線データが互いに直交する線分だけで構
成されている場合のみ正常なデータとしてステップ２
へ、そうでない場合にはエラーデータとしてフラグを立
て，出力ステップのステップ４へ進む。
する多角形配線データの頂点の座標(x1,y1),(x2,y2),
…,(xn,yn)を入力バッファにセットする。次に、セット
された多角形配線データが互いに直交する線分だけで構
成されている場合のみ正常なデータとしてステップ２
へ、そうでない場合にはエラーデータとしてフラグを立
て，出力ステップのステップ４へ進む。
【００１３】次にステップ２では、まず次の条件を満足
する多角形の隣接する２頂点を選択する。
する多角形の隣接する２頂点を選択する。
【００１４】条件(1)：隣接する多角形の２頂点(xm,
ym),(xm+1,ym+1)から、それぞれ隣接する他の頂点
(xm-1,ym-1),(xm+2,ym+2)への方向単位ベクトルが等し
く、かつその頂点にさらに隣接する頂点(xm-2, ym-2),
(xm+3,ym+3)への方向単位ベクトルの符合が逆である。
ym),(xm+1,ym+1)から、それぞれ隣接する他の頂点
(xm-1,ym-1),(xm+2,ym+2)への方向単位ベクトルが等し
く、かつその頂点にさらに隣接する頂点(xm-2, ym-2),
(xm+3,ym+3)への方向単位ベクトルの符合が逆である。
【００１５】上の条件は、パスデータの端点（始点）が
２頂点間の辺上にあることを示すものである。よって、
次式で表される座標は、パスデータの端点（始点）であ
る。
２頂点間の辺上にあることを示すものである。よって、
次式で表される座標は、パスデータの端点（始点）であ
る。
【００１６】
【数１】
【００１７】ステップ３では、前述のステップ２で求め
たパスデータの端点（始点）の座標をもとに、パスの節
点および端点（終点）の座標
たパスデータの端点（始点）の座標をもとに、パスの節
点および端点（終点）の座標
【００１８】
【数２】
【００１９】と、各区間（ブロック）の配線幅
【００２０】
【数３】
【００２１】を全て求めて出力バッファにセットする。
ここで、パスの端点および節点は、全て一直線上になけ
ればならない。また、節点は、それぞれ２回ずつ同じ座
標を求めることになる（出力時には１点として扱う）。
この条件を満足しない場合には、エラーデータとしてフ
ラグを立てておく。
ここで、パスの端点および節点は、全て一直線上になけ
ればならない。また、節点は、それぞれ２回ずつ同じ座
標を求めることになる（出力時には１点として扱う）。
この条件を満足しない場合には、エラーデータとしてフ
ラグを立てておく。
【００２２】次に、エラーフラグの値を判定し、パスデ
ータへの変換が正常に行われた場合のみステップ４へ、
そうでない場合には何も出力せずに終了する。ステップ
４ではステップ３によって出力バッファにセットされて
いるパスデータを出力し、処理を終了する。
ータへの変換が正常に行われた場合のみステップ４へ、
そうでない場合には何も出力せずに終了する。ステップ
４ではステップ３によって出力バッファにセットされて
いるパスデータを出力し、処理を終了する。
【００２３】次に、本実施例の動作を図２を用いて具体
的に説明する。まず、ステップ１で多角形配線データの
頂点202〜213の12個の座標(x1,y1),(x 2,y2),...,(x12,y
12)を入力バッファにセットし、データにエラーがない
ことを確認し、次のステップへ進む。
的に説明する。まず、ステップ１で多角形配線データの
頂点202〜213の12個の座標(x1,y1),(x 2,y2),...,(x12,y
12)を入力バッファにセットし、データにエラーがない
ことを確認し、次のステップへ進む。
【００２４】ステップ２で条件(1)を満足する多角形の
頂点の組み(x6,y6),(x7,y7)を選択し、図３におけるパ
スデータの端点34（始点）の座標
頂点の組み(x6,y6),(x7,y7)を選択し、図３におけるパ
スデータの端点34（始点）の座標
【００２５】
【数４】
【００２６】を求める。このデータを端点（始点）と
し、次のステップ３では、パスの節点33,32、端点31お
よび配線幅w3,w2,w1を求める。
し、次のステップ３では、パスの節点33,32、端点31お
よび配線幅w3,w2,w1を求める。
【００２７】
【数５】
【００２８】
【数６】
【００２９】
【数７】
【００３０】
【数８】
【００３１】
【数９】
【００３２】
【数１０】
【００３３】
【数１１】
【００３４】
【数１２】
【００３５】エラーフラグが立っていないことを確認し
て次のステップ４で、求められたパスデータを出力し、
処理を終了する。出力されるデータは、次のようにな
る。
て次のステップ４で、求められたパスデータを出力し、
処理を終了する。出力されるデータは、次のようにな
る。
【００３６】座標データ：
【００３７】
【数１３】
【００３８】配線幅データ：
【００３９】
【数１４】
【００４０】また、従来の方法による出力は、以下のよ
うになる。 座標データ１：
うになる。 座標データ１：
【００４１】
【数１５】
【００４２】配線幅データ１：多角形入力時に入力した
配線幅 座標データ２：
配線幅 座標データ２：
【００４３】
【数１６】
【００４４】配線幅データ２：多角形入力時に入力した
配線幅 座標データ３：
配線幅 座標データ３：
【００４５】
【数１７】
【００４６】配線幅データ３：多角形入力時に入力した
配線幅 本実施例の集積回路マスクパターンの設計方法によれ
ば、配線幅が線対称に変化する多角形配線データを自動
的にパスデータに変更することができ、これによりデー
タ量を大幅に削減し、さらに人手による修正時間を短縮
することが可能となる。
配線幅 本実施例の集積回路マスクパターンの設計方法によれ
ば、配線幅が線対称に変化する多角形配線データを自動
的にパスデータに変更することができ、これによりデー
タ量を大幅に削減し、さらに人手による修正時間を短縮
することが可能となる。
【００４７】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、配線幅が
線対称に変化する多角形配線データを自動的にパスデー
タに変換することにより、従来の方法よりデータ量を削
減し、人手による修正作業時間を軽減し、さらに作業時
ミスを無くすという効果がある。
線対称に変化する多角形配線データを自動的にパスデー
タに変換することにより、従来の方法よりデータ量を削
減し、人手による修正作業時間を軽減し、さらに作業時
ミスを無くすという効果がある。
【図１】本発明の一実施例を説明するフロー図
【図２】（ａ）は本実施例に適用された多角形配線デー
タの平面図 （ｂ）は本実施例に適用されたパスデータの平面図
タの平面図 （ｂ）は本実施例に適用されたパスデータの平面図
１ 多角形配線データを入力するステップ ２ パスデータの端点（始点）を計算するステップ ３ パスデータの節点、端点（終点）および各区間の配
線幅を計算するステップ ４ パスデータを出力するステップ ２００ 多角形配線データ ２０１〜２１２ 多角形の頂点 ３０ パスデータ ３１、３４ 端点 ３２、３３ 節点 ｗ1〜ｗ3 配線幅
線幅を計算するステップ ４ パスデータを出力するステップ ２００ 多角形配線データ ２０１〜２１２ 多角形の頂点 ３０ パスデータ ３１、３４ 端点 ３２、３３ 節点 ｗ1〜ｗ3 配線幅
Claims (1)
- 【請求項１】集積回路のマスクパターンにおける線対称
に配線幅が変化する多角形配線データを入力する第１の
ステップと、 前記多角形配線データからパスデータの端点（始点）を
計算する第２のステップと、 前記パスデータの端点（始点）に基づいて、前記多角形
配線データを、節点、端点（終点）および各区間の配線
幅という１本のパスデータに変換する第３のステップ
と、 変換後の前記パスデータを出力する第４のステップとを
有することを特徴とする集積回路マスクパターンの設計
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3833995A JPH08235225A (ja) | 1995-02-27 | 1995-02-27 | 集積回路マスクパターンの設計方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3833995A JPH08235225A (ja) | 1995-02-27 | 1995-02-27 | 集積回路マスクパターンの設計方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08235225A true JPH08235225A (ja) | 1996-09-13 |
Family
ID=12522537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3833995A Pending JPH08235225A (ja) | 1995-02-27 | 1995-02-27 | 集積回路マスクパターンの設計方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08235225A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6064806A (en) * | 1997-10-03 | 2000-05-16 | Mentor Graphics Corporation | System and method for converting a polygon-based layout of an integrated circuit design to an object-based layout |
-
1995
- 1995-02-27 JP JP3833995A patent/JPH08235225A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6064806A (en) * | 1997-10-03 | 2000-05-16 | Mentor Graphics Corporation | System and method for converting a polygon-based layout of an integrated circuit design to an object-based layout |
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