JPH04152260A - 湿度センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、湿度に対応して素子の電気的特性が変化する
ことにより湿度を検出する湿度センサに関する。

［従来の技術］ 近年、湿度計測、湿度制御を必要とする分野が増加し、
湿度センサの重要性が認められるようになった。

湿度に対応して素子の電気的特性が変化することにより
湿度を検出する湿度センサには、電解質系、金属系、高
分子系、セラミックス系等があり、それぞれいろいろな
系が研究されているが、現在実用化されているものは、
高分子系およびセラミックス系の温度センサである。い
ずれも、素子に対する水の吸脱着により、素子の抵抗値
または静電容量が変化する性質を利用したものである。

［発明が解決しようとする課題］ しかし、従来の湿度センサは、抵抗値が高いため、精度
の良い湿度計を製造するためには、高度な回路技術およ
び実装技術を必要とした。

そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは、抵抗値が低く、高精度で信頼性
が高い湿度センサを提供するところにある。

［課題を解決するための手段］ 本発明の湿度センサは、シリカ粒子を分散させたナトリ
ウム塩溶液の熱処理生成物を感湿体として用いることを
特徴とする。

［実施例１コ テトラエトキシシラン（Ｓ　ｉ（○Ｃ２Ｈｓ）ａ）　５
０ｍｌに０．０２Ｎ塩酸４０ｍ１、微粉末シリカ１５ｇ
を加え、１時間攪拌後、塩化ナトリウム６ｇを加え、シ
リカ粒子を分散させたナトリウム塩溶液を作製した。こ
の溶液にアンモニア水を加えゲル化させ、６０℃で２日
間乾燥後、８００℃で１時間熱処理することにより、シ
リカ粒子を分散させたナトリウム塩溶液の熱処理生成物
を作製した。

この熱処理生成物から１０ｍｍｘ　１０ｍｍｘ５ｍｍの
直方体を切り出し、電極を付け、第１図に示す湿度セン
サを作製した。

このようにして作製した湿度センサの斜視図を第１図に
示す。第１図において、１は感湿体、２は電極、３はリ
ード線である。本湿度センサの感湿特性を第２図に示す
。第２図より、本発明の温度センサは、抵抗値が低く、
使いやすいことがわかる。

［実施例２コ 水２５ｍ１にエタノール２５ｍ１を加え、さらに微粉末
シワ力１５ｇ、塩化ナトリウム８ｇを加え、シリカ粒子
を分散させたナトリウム塩溶液を作製した。Ｐｔ−Ｐｄ
櫛形電極をスクリーン印刷により形成したアルミナ基板
上に、この溶液をデイツプコーティングし、１００°Ｃ
で１０分間乾燥後、５００℃で３０分間熱処理すること
により、シリカ粒子を分散させたナトリウム塩溶液の熱
処理生成物を形成した。

このようにして作製した湿度センサの斜視図を第３図に
示す。第３図において、１は感湿膜、２は電極、４は基
板である。本湿度センサの感湿特性を第４図に示す。第
４図より、本発明の湿度センサは、抵抗値が低く、しか
も温度によって特性が変化しないので、高精度で、かつ
使いやすいことがわかる。本湿度センサを６０°Ｃ９０
％の恒温恒湿槽中に１０００時間放置後、特性を測定し
たところ、第４図と測定誤差の範囲内で同様であった。

したがって、本湿度センサは、耐久性、信頼性が高いこ
とがわかる。

［発明の効果］ 以上述べたように本発明の湿度センサは、シリカ粒子を
分散させたナトリウム塩溶液の熱処理生成物を感湿体と
して用いるので、抵抗値が低く、しかも温度によって特
性が変化しないので、高度な回路技術および実装技術は
必要なく、高精度で、かつ使いやすい、また、信頼性も
高い。したがって、低コスト、高精度な湿度センサとし
て、湿度計測、湿度制御を必要とする分野に広く応用す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第３図は、本発明の湿度センサの斜視図。 １・・・感湿体または感湿膜 ２・・・電極 ３・・・リード線 基板 第２図、 第４図は、 本発明の湿度センサの感湿 特性図。 以上

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　シリカ粒子を分散させたナトリウム塩溶液の熱処理生
   成物を感湿体として用いることを特徴とする湿度センサ
   。