JPH04279852A - 湿度センサ - Google Patents
湿度センサInfo
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- JPH04279852A JPH04279852A JP4307291A JP4307291A JPH04279852A JP H04279852 A JPH04279852 A JP H04279852A JP 4307291 A JP4307291 A JP 4307291A JP 4307291 A JP4307291 A JP 4307291A JP H04279852 A JPH04279852 A JP H04279852A
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- humidity sensor
- humidity
- sol
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Links
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、湿度に対応して素子の
電気的特性が変化することにより湿度を検出する湿度セ
ンサに関する。
電気的特性が変化することにより湿度を検出する湿度セ
ンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、湿度計測、湿度制御を必要とする
分野が増加し、湿度センサの重要性が認められるように
なった。
分野が増加し、湿度センサの重要性が認められるように
なった。
【０００３】湿度に対応して素子の電気的特性が変化す
ることにより湿度を検出する湿度センサには、電解質系
、金属系、高分子系、セラミックス系等があり、それぞ
れいろいろな系が研究されているが、現在実用化されて
いるものは、高分子系およびセラミックス系の湿度セン
サである。いずれも、素子に対する水の吸脱着により、
素子の抵抗値または静電容量が変化する性質を利用した
ものである。
ることにより湿度を検出する湿度センサには、電解質系
、金属系、高分子系、セラミックス系等があり、それぞ
れいろいろな系が研究されているが、現在実用化されて
いるものは、高分子系およびセラミックス系の湿度セン
サである。いずれも、素子に対する水の吸脱着により、
素子の抵抗値または静電容量が変化する性質を利用した
ものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の湿度セ
ンサは、抵抗値が高いため、精度の良い湿度計を製造す
るためには、高度な回路技術および実装技術を必要とし
た。
ンサは、抵抗値が高いため、精度の良い湿度計を製造す
るためには、高度な回路技術および実装技術を必要とし
た。
【０００５】そこで本発明はこのような問題点を解決す
るもので、その目的とするところは、抵抗値が低く、高
精度で信頼性が高い湿度センサを提供するところにある
。
るもので、その目的とするところは、抵抗値が低く、高
精度で信頼性が高い湿度センサを提供するところにある
。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の湿度センサは、
アルキルシリケートの加水分解生成物とシリカ粒子とリ
チウム塩を含むゾルの、熱処理生成物を感湿体として用
いることを特徴とする。
アルキルシリケートの加水分解生成物とシリカ粒子とリ
チウム塩を含むゾルの、熱処理生成物を感湿体として用
いることを特徴とする。
【０００７】
【実施例】（実施例１）エチルシリケート（Ｓｉ（ＯＣ
２Ｈ５）４）５０ｍｌに０．０２Ｎ塩酸４０ｍｌを加え
、１時間攪拌し、エチルシリケートを加水分解した。こ
れに微粉末シリカ１５ｇ、塩化リチウム２０ｇを加え、
アルキルシリケートの加水分解生成物とシリカ粒子とリ
チウム塩を含むゾルを作製した。このゾルにアンモニア
水を加えゲル化させ、６０℃で２日間乾燥後、８００℃
で１時間熱処理することにより、ゾルの熱処理生成物を
作製した。この熱処理生成物から１０ｍｍ×１０ｍｍ×
５ｍｍの直方体を切り出し、電極を付け、図１に示す湿
度センサを作製した。
２Ｈ５）４）５０ｍｌに０．０２Ｎ塩酸４０ｍｌを加え
、１時間攪拌し、エチルシリケートを加水分解した。こ
れに微粉末シリカ１５ｇ、塩化リチウム２０ｇを加え、
アルキルシリケートの加水分解生成物とシリカ粒子とリ
チウム塩を含むゾルを作製した。このゾルにアンモニア
水を加えゲル化させ、６０℃で２日間乾燥後、８００℃
で１時間熱処理することにより、ゾルの熱処理生成物を
作製した。この熱処理生成物から１０ｍｍ×１０ｍｍ×
５ｍｍの直方体を切り出し、電極を付け、図１に示す湿
度センサを作製した。
【０００８】図１において、１は感湿体、２は電極、３
はリード線である。本湿度センサの感湿特性を図２に示
す。図２より、本発明の湿度センサは、抵抗値が低く、
使いやすいことがわかる。
はリード線である。本湿度センサの感湿特性を図２に示
す。図２より、本発明の湿度センサは、抵抗値が低く、
使いやすいことがわかる。
【０００９】（実施例２）エチルシリケート５０ｍｌに
エタノール３４ｍｌ、０．０２Ｎ塩酸１６ｍｌを加え、
１時間攪拌し、エチルシリケートを加水分解した。これ
に微粉末シリカ１５ｇ、塩化リチウム１５ｇを加え、ア
ルキルシリケートの加水分解生成物とシリカ粒子とリチ
ウム塩を含むゾルを作製した。Ｐｔ−Ｐｄ櫛形電極をス
クリ−ン印刷により形成したアルミナ基板上に、このゾ
ルをディップコーティングし、５００℃で３０分間熱処
理することにより、ゾルの熱処理生成物を形成した。
エタノール３４ｍｌ、０．０２Ｎ塩酸１６ｍｌを加え、
１時間攪拌し、エチルシリケートを加水分解した。これ
に微粉末シリカ１５ｇ、塩化リチウム１５ｇを加え、ア
ルキルシリケートの加水分解生成物とシリカ粒子とリチ
ウム塩を含むゾルを作製した。Ｐｔ−Ｐｄ櫛形電極をス
クリ−ン印刷により形成したアルミナ基板上に、このゾ
ルをディップコーティングし、５００℃で３０分間熱処
理することにより、ゾルの熱処理生成物を形成した。
【００１０】このようにして作製した湿度センサの斜視
図を図３に示す。図３において、１は感湿膜、２は電極
、４は基板である。本湿度センサの感湿特性を図４に示
す。図４より、本発明の湿度センサは、抵抗値が低く、
しかも温度によって特性が変化しないので、高精度で、
かつ使いやすいことがわかる。本湿度センサを６０℃９
０％の恒温恒湿槽中に１０００時間放置後、特性を測定
したところ、図４と測定誤差の範囲内で同様であった。 したがって、本湿度センサは、耐久性、信頼性が高いこ
とがわかる。
図を図３に示す。図３において、１は感湿膜、２は電極
、４は基板である。本湿度センサの感湿特性を図４に示
す。図４より、本発明の湿度センサは、抵抗値が低く、
しかも温度によって特性が変化しないので、高精度で、
かつ使いやすいことがわかる。本湿度センサを６０℃９
０％の恒温恒湿槽中に１０００時間放置後、特性を測定
したところ、図４と測定誤差の範囲内で同様であった。 したがって、本湿度センサは、耐久性、信頼性が高いこ
とがわかる。
【００１１】
【発明の効果】以上述べたように本発明の湿度センサは
、アルキルシリケートの加水分解生成物とシリカ粒子と
リチウム塩を含むゾルの、熱処理生成物を感湿体として
用いるので、抵抗値が低く、しかも温度によって特性が
変化しないので、湿度計を製造する場合、高度な回路技
術および実装技術は必要ない。また、信頼性も高い。 したがって、低コスト、高精度な湿度センサとして、湿
度計測、湿度制御を必要とする分野に広く応用すること
ができる。
、アルキルシリケートの加水分解生成物とシリカ粒子と
リチウム塩を含むゾルの、熱処理生成物を感湿体として
用いるので、抵抗値が低く、しかも温度によって特性が
変化しないので、湿度計を製造する場合、高度な回路技
術および実装技術は必要ない。また、信頼性も高い。 したがって、低コスト、高精度な湿度センサとして、湿
度計測、湿度制御を必要とする分野に広く応用すること
ができる。
【図１】本発明の湿度センサの斜視図である。
【図２】本発明の湿度センサの感湿特性図である。
【図３】本発明の湿度センサの斜視図である。
【図４】本発明の湿度センサの感湿特性図である。
１ 感湿体または感湿膜
２ 電極
３ リード線
４ 基板
Claims (1)
- 【請求項１】 アルキルシリケート（Ｓｉ（ＯＣｎＨ
２ｎ＋１）４）の加水分解生成物とシリカ粒子とリチウ
ム塩を含むゾルの、熱処理生成物を感湿体として用いる
ことを特徴とする湿度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4307291A JPH04279852A (ja) | 1991-03-08 | 1991-03-08 | 湿度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4307291A JPH04279852A (ja) | 1991-03-08 | 1991-03-08 | 湿度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04279852A true JPH04279852A (ja) | 1992-10-05 |
Family
ID=12653652
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4307291A Pending JPH04279852A (ja) | 1991-03-08 | 1991-03-08 | 湿度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04279852A (ja) |
-
1991
- 1991-03-08 JP JP4307291A patent/JPH04279852A/ja active Pending
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