JPH05196591A - 湿度センサ - Google Patents
湿度センサInfo
- Publication number
- JPH05196591A JPH05196591A JP700692A JP700692A JPH05196591A JP H05196591 A JPH05196591 A JP H05196591A JP 700692 A JP700692 A JP 700692A JP 700692 A JP700692 A JP 700692A JP H05196591 A JPH05196591 A JP H05196591A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxide
- lead
- manganese
- humidity
- humidity sensor
- Prior art date
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- Pending
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【構成】 コロイダルシリカに、酢酸マンガン、酢酸鉛
等を加えた溶液を、櫛形電極２を形成したアルミナ基板
４上にディップコーティング、熱処理し、酸化マンガン
と酸化鉛と酸化ケイ素の熱処理生成物を主成分とする湿
度センサとする。 【効果】 抵抗値が低く、抵抗値の変化幅が適当であ
る。また耐久性、信頼性が高い。したがって、容易に湿
度測定回路を作製することができるため、低コストで高
精度かつ信頼性の高い湿度計を製作できる。
等を加えた溶液を、櫛形電極２を形成したアルミナ基板
４上にディップコーティング、熱処理し、酸化マンガン
と酸化鉛と酸化ケイ素の熱処理生成物を主成分とする湿
度センサとする。 【効果】 抵抗値が低く、抵抗値の変化幅が適当であ
る。また耐久性、信頼性が高い。したがって、容易に湿
度測定回路を作製することができるため、低コストで高
精度かつ信頼性の高い湿度計を製作できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、湿度に対応して素子の
電気的特性が変化することにより湿度を検出する湿度セ
ンサに関する。
電気的特性が変化することにより湿度を検出する湿度セ
ンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、湿度計測、湿度制御を必要とする
分野が増加し、湿度センサの重要性が認められるように
なった。
分野が増加し、湿度センサの重要性が認められるように
なった。
【０００３】湿度に対応して素子の電気的特性が変化す
ることにより湿度を検出する湿度センサには、電解質
系、金属系、高分子系、セラミックス系等があり、それ
ぞれいろいろな系が研究されているが、現在実用化され
ているものは、高分子系およびセラミックス系の湿度セ
ンサである。いずれも、素子に対する水の吸脱着によ
り、素子の抵抗値または静電容量が変化する性質を利用
したものである。
ることにより湿度を検出する湿度センサには、電解質
系、金属系、高分子系、セラミックス系等があり、それ
ぞれいろいろな系が研究されているが、現在実用化され
ているものは、高分子系およびセラミックス系の湿度セ
ンサである。いずれも、素子に対する水の吸脱着によ
り、素子の抵抗値または静電容量が変化する性質を利用
したものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の湿度セ
ンサは、低湿度で抵抗値が高く、また、抵抗値の変化幅
が大きいため、精度の良い湿度計を製造するためには、
高度な回路技術および実装技術を必要とした。
ンサは、低湿度で抵抗値が高く、また、抵抗値の変化幅
が大きいため、精度の良い湿度計を製造するためには、
高度な回路技術および実装技術を必要とした。
【０００５】そこで本発明はこのような問題点を解決す
るもので、その目的とするところは、抵抗値が低く、抵
抗値の変化幅が適当で、高精度で信頼性が高い湿度セン
サを提供するところにある。
るもので、その目的とするところは、抵抗値が低く、抵
抗値の変化幅が適当で、高精度で信頼性が高い湿度セン
サを提供するところにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の湿度センサは、
酸化マンガンと酸化鉛と酸化ケイ素の熱処理生成物を主
成分とする感湿体を用いることを特徴とする。
酸化マンガンと酸化鉛と酸化ケイ素の熱処理生成物を主
成分とする感湿体を用いることを特徴とする。
【０００７】酸化マンガンは、原料から酸化マンガンで
ある必要はなく、分解して酸化マンガンになるもの、例
えば、炭酸マンガン、酢酸マンガン、硝酸マンガン等で
もよい。同様に、酸化鉛は、原料から酸化鉛である必要
はなく、分解して酸化鉛になるもの、例えば、炭酸鉛、
酢酸鉛、硝酸鉛等でもよい。また、酸化マンガンと酸化
鉛と酸化ケイ素は同時に熱処理する必要はなく、例え
ば、まず基板上に酸化ケイ素の被膜を形成、熱処理し、
次に、これを酢酸鉛溶液に浸漬した後、熱処理し、さら
に、硝酸マンガン溶液に浸漬し、熱処理してもよい。
ある必要はなく、分解して酸化マンガンになるもの、例
えば、炭酸マンガン、酢酸マンガン、硝酸マンガン等で
もよい。同様に、酸化鉛は、原料から酸化鉛である必要
はなく、分解して酸化鉛になるもの、例えば、炭酸鉛、
酢酸鉛、硝酸鉛等でもよい。また、酸化マンガンと酸化
鉛と酸化ケイ素は同時に熱処理する必要はなく、例え
ば、まず基板上に酸化ケイ素の被膜を形成、熱処理し、
次に、これを酢酸鉛溶液に浸漬した後、熱処理し、さら
に、硝酸マンガン溶液に浸漬し、熱処理してもよい。
【０００８】
（実施例１）シリカ１０ｇと二酸化マンガン２０ｇと酸
化鉛２０ｇを混合し、プレス成形した後、６００℃で１
時間熱処理した。得られた熱処理生成物から一辺が５ｍ
ｍの立方体を切り出し、電極を付け、第１図に示すよう
な湿度センサを作成した。第１図において、１は感湿
体、２は電極、３はリード線である。本湿度センサの感
湿特性を第２図に示す。第２図より、本発明の湿度セン
サは、抵抗値が低く、しかも抵抗値の変化幅が適当なの
で、使いやすいことがわかる。
化鉛２０ｇを混合し、プレス成形した後、６００℃で１
時間熱処理した。得られた熱処理生成物から一辺が５ｍ
ｍの立方体を切り出し、電極を付け、第１図に示すよう
な湿度センサを作成した。第１図において、１は感湿
体、２は電極、３はリード線である。本湿度センサの感
湿特性を第２図に示す。第２図より、本発明の湿度セン
サは、抵抗値が低く、しかも抵抗値の変化幅が適当なの
で、使いやすいことがわかる。
【０００９】（実施例２）１００ｇ中に粒径０．１μｍ
のシリカ粒子を３０ｇ含むコロイダルシリカ１００ｍｌ
に、エタノール１００ｍｌ、酢酸マンガン３０ｇ、酢酸
鉛３０ｇを加え、１時間攪拌した。Ａｕペーストによる
櫛形電極をスクリ−ン印刷により形成したアルミナ基板
上に、この溶液をディップコーティングし、５００℃で
１時間熱処理した。
のシリカ粒子を３０ｇ含むコロイダルシリカ１００ｍｌ
に、エタノール１００ｍｌ、酢酸マンガン３０ｇ、酢酸
鉛３０ｇを加え、１時間攪拌した。Ａｕペーストによる
櫛形電極をスクリ−ン印刷により形成したアルミナ基板
上に、この溶液をディップコーティングし、５００℃で
１時間熱処理した。
【００１０】このようにして作製した湿度センサの斜視
図を第３図に示す。第３図において、１は感湿膜、２は
電極、４は基板である。本湿度センサの感湿特性を第４
図に示す。第４図より、本発明の湿度センサは、抵抗値
が低く、抵抗値の変化幅が適当であり、しかも温度によ
って特性が変化しないので、使いやすいことがわかる。
本湿度センサを６０℃９０％の恒温恒湿槽中に１０００
時間放置後、特性を測定したところ、第４図と測定誤差
の範囲内で同様であった。したがって、本湿度センサ
は、耐久性、信頼性が高いことがわかる。
図を第３図に示す。第３図において、１は感湿膜、２は
電極、４は基板である。本湿度センサの感湿特性を第４
図に示す。第４図より、本発明の湿度センサは、抵抗値
が低く、抵抗値の変化幅が適当であり、しかも温度によ
って特性が変化しないので、使いやすいことがわかる。
本湿度センサを６０℃９０％の恒温恒湿槽中に１０００
時間放置後、特性を測定したところ、第４図と測定誤差
の範囲内で同様であった。したがって、本湿度センサ
は、耐久性、信頼性が高いことがわかる。
【００１１】（実施例３）コロイダルシリカ７５ｍｌ
に、エタノール１５０ｍｌ、硝酸１ｍｌ、エチルシリケ
ート２５ｍｌを加え、１時間攪拌した後、硝酸鉛２７ｇ
を加え、さらに３０分間攪拌した。Ｃｒ、Ａｕをこの順
に蒸着し櫛形電極を形成したガラス基板上に、この溶液
をスピンコーティングし、４００℃で１時間熱処理し
た。次に、この基板を、硝酸マンガン溶液（７２重量
％）に浸漬した後、２００℃で１時間熱処理した。
に、エタノール１５０ｍｌ、硝酸１ｍｌ、エチルシリケ
ート２５ｍｌを加え、１時間攪拌した後、硝酸鉛２７ｇ
を加え、さらに３０分間攪拌した。Ｃｒ、Ａｕをこの順
に蒸着し櫛形電極を形成したガラス基板上に、この溶液
をスピンコーティングし、４００℃で１時間熱処理し
た。次に、この基板を、硝酸マンガン溶液（７２重量
％）に浸漬した後、２００℃で１時間熱処理した。
【００１２】このようにして作製した湿度センサの斜視
図を第３図、感湿特性を第５図に示す。
図を第３図、感湿特性を第５図に示す。
【００１３】（実施例４）Ｐｔ−Ｐｄ櫛形電極をスクリ
−ン印刷により形成した石英ガラス基板上に、コロイダ
ルシリカをロールコーティングし、１０００℃で１時間
熱処理した。次に、この基板を、硝酸鉛溶液（４０重量
％）に浸漬した後、５００℃で１時間熱処理した。さら
に、この基板を、硝酸マンガン溶液（５０重量％）に浸
漬した後、３００℃で１時間熱処理した。
−ン印刷により形成した石英ガラス基板上に、コロイダ
ルシリカをロールコーティングし、１０００℃で１時間
熱処理した。次に、この基板を、硝酸鉛溶液（４０重量
％）に浸漬した後、５００℃で１時間熱処理した。さら
に、この基板を、硝酸マンガン溶液（５０重量％）に浸
漬した後、３００℃で１時間熱処理した。
【００１４】このようにして作製した湿度センサの斜視
図を第３図、感湿特性を第６図に示す。
図を第３図、感湿特性を第６図に示す。
【００１５】
【発明の効果】以上述べたように本発明の湿度センサ
は、酸化マンガンと酸化鉛と酸化ケイ素の熱処理生成物
を主成分とする感湿体を用いるので、抵抗値が低く、抵
抗値の変化幅が適当である。また耐久性、信頼性が高
い。したがって、容易に湿度測定回路を作製することが
できるため、低コストで高精度かつ信頼性の高い湿度セ
ンサとして、湿度計測、湿度制御を必要とする分野に広
く応用することができる。
は、酸化マンガンと酸化鉛と酸化ケイ素の熱処理生成物
を主成分とする感湿体を用いるので、抵抗値が低く、抵
抗値の変化幅が適当である。また耐久性、信頼性が高
い。したがって、容易に湿度測定回路を作製することが
できるため、低コストで高精度かつ信頼性の高い湿度セ
ンサとして、湿度計測、湿度制御を必要とする分野に広
く応用することができる。
【図１】 本発明の湿度センサの斜視図である。
【図２】 本発明の湿度センサの感湿特性図である。
【図３】 本発明の湿度センサの斜視図である。
【図４】 本発明の湿度センサの感湿特性図である。
【図５】 本発明の湿度センサの感湿特性図である。
【図６】 本発明の湿度センサの感湿特性図である。
１ 感湿体または感湿膜 ２ 電極 ３ リード線 ４ 基板
Claims (1)
- 【請求項１】 酸化マンガンと酸化鉛と酸化ケイ素の熱
処理生成物を主成分とする感湿体を用いることを特徴と
する湿度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP700692A JPH05196591A (ja) | 1992-01-18 | 1992-01-18 | 湿度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP700692A JPH05196591A (ja) | 1992-01-18 | 1992-01-18 | 湿度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05196591A true JPH05196591A (ja) | 1993-08-06 |
Family
ID=11653980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP700692A Pending JPH05196591A (ja) | 1992-01-18 | 1992-01-18 | 湿度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05196591A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104569059A (zh) * | 2015-01-04 | 2015-04-29 | 四川惠谷农业科技有限公司 | 一种用于气雾培的根系湿度传感器 |
-
1992
- 1992-01-18 JP JP700692A patent/JPH05196591A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104569059A (zh) * | 2015-01-04 | 2015-04-29 | 四川惠谷农业科技有限公司 | 一种用于气雾培的根系湿度传感器 |
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