JPH05119009A - 湿度センサ - Google Patents
湿度センサInfo
- Publication number
- JPH05119009A JPH05119009A JP28436191A JP28436191A JPH05119009A JP H05119009 A JPH05119009 A JP H05119009A JP 28436191 A JP28436191 A JP 28436191A JP 28436191 A JP28436191 A JP 28436191A JP H05119009 A JPH05119009 A JP H05119009A
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- JP
- Japan
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- humidity
- heat
- humidity sensor
- moisture
- moisture sensor
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 コロイダルシリカに、エチルシリケート、塩
化リチウム等を加えた溶液を、櫛形電極を形成したアル
ミナ基板上にディップコーティング、熱処理し、これを
硝酸マンガン溶液に浸漬した後、熱処理し、酸化マンガ
ンと酸化ケイ素とリチウム塩の熱処理生成物を主成分と
する湿度センサとする。 【効果】 抵抗値が低く、抵抗値の変化幅が適当であ
る。また耐久性、信頼性が高い。したがって、容易に湿
度測定回路を作製することができるため、低コストで高
精度かつ信頼性の高い湿度計を製作できる。
化リチウム等を加えた溶液を、櫛形電極を形成したアル
ミナ基板上にディップコーティング、熱処理し、これを
硝酸マンガン溶液に浸漬した後、熱処理し、酸化マンガ
ンと酸化ケイ素とリチウム塩の熱処理生成物を主成分と
する湿度センサとする。 【効果】 抵抗値が低く、抵抗値の変化幅が適当であ
る。また耐久性、信頼性が高い。したがって、容易に湿
度測定回路を作製することができるため、低コストで高
精度かつ信頼性の高い湿度計を製作できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、湿度に対応して素子の
電気的特性が変化することにより湿度を検出する湿度セ
ンサに関する。
電気的特性が変化することにより湿度を検出する湿度セ
ンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、湿度計測、湿度制御を必要とする
分野が増加し、湿度センサの重要性が認められるように
なった。
分野が増加し、湿度センサの重要性が認められるように
なった。
【０００３】湿度に対応して素子の電気的特性が変化す
ることにより湿度を検出する湿度センサには、電解質
系、金属系、高分子系、セラミックス系等があり、それ
ぞれいろいろな系が研究されているが、現在実用化され
ているものは、高分子系およびセラミックス系の湿度セ
ンサである。いずれも、素子に対する水の吸脱着によ
り、素子の抵抗値または静電容量が変化する性質を利用
したものである。
ることにより湿度を検出する湿度センサには、電解質
系、金属系、高分子系、セラミックス系等があり、それ
ぞれいろいろな系が研究されているが、現在実用化され
ているものは、高分子系およびセラミックス系の湿度セ
ンサである。いずれも、素子に対する水の吸脱着によ
り、素子の抵抗値または静電容量が変化する性質を利用
したものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の湿度セ
ンサは、低湿度で抵抗値が高く、また、抵抗値の変化幅
が大きいため、精度の良い湿度計を製造するためには、
高度な回路技術および実装技術を必要とした。
ンサは、低湿度で抵抗値が高く、また、抵抗値の変化幅
が大きいため、精度の良い湿度計を製造するためには、
高度な回路技術および実装技術を必要とした。
【０００５】そこで本発明はこのような問題点を解決す
るもので、その目的とするところは、抵抗値が低く、抵
抗値の変化幅が適当で、高精度で信頼性が高い湿度セン
サを提供するところにある。
るもので、その目的とするところは、抵抗値が低く、抵
抗値の変化幅が適当で、高精度で信頼性が高い湿度セン
サを提供するところにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の湿度センサは、
酸化マンガンと酸化ケイ素とリチウム塩の熱処理生成物
を主成分とする感湿体を用いることを特徴とする。
酸化マンガンと酸化ケイ素とリチウム塩の熱処理生成物
を主成分とする感湿体を用いることを特徴とする。
【０００７】酸化マンガンは、原料から酸化マンガンで
ある必要はなく、分解して酸化マンガンになるもの、例
えば、炭酸マンガン、酢酸マンガン、硝酸マンガン等で
もよい。また、酸化マンガンと酸化ケイ素とリチウム塩
は同時に熱処理する必要はなく、例えば、まず基板上に
酸化ケイ素の被膜を形成、熱処理し、次に、これを塩化
リチウム溶液に浸漬した後、熱処理し、さらに、硝酸マ
ンガン溶液に浸漬し、熱処理してもよい。
ある必要はなく、分解して酸化マンガンになるもの、例
えば、炭酸マンガン、酢酸マンガン、硝酸マンガン等で
もよい。また、酸化マンガンと酸化ケイ素とリチウム塩
は同時に熱処理する必要はなく、例えば、まず基板上に
酸化ケイ素の被膜を形成、熱処理し、次に、これを塩化
リチウム溶液に浸漬した後、熱処理し、さらに、硝酸マ
ンガン溶液に浸漬し、熱処理してもよい。
【０００８】
（実施例１）シリカ１０ｇと二酸化マンガン２０ｇと硝
酸リチウム２０ｇを混合し、プレス成形した後、６００
℃で１時間熱処理した。得られた熱処理生成物から一辺
が５ｍｍの立方体を切り出し、電極を付け、図１に示す
ような湿度センサを作成した。図１において、１は感湿
体、２は電極、３はリード線である。本湿度センサの感
湿特性を図２に示す。図２より、本発明の湿度センサ
は、抵抗値が低く、しかも抵抗値の変化幅が適当なの
で、使いやすいことがわかる。
酸リチウム２０ｇを混合し、プレス成形した後、６００
℃で１時間熱処理した。得られた熱処理生成物から一辺
が５ｍｍの立方体を切り出し、電極を付け、図１に示す
ような湿度センサを作成した。図１において、１は感湿
体、２は電極、３はリード線である。本湿度センサの感
湿特性を図２に示す。図２より、本発明の湿度センサ
は、抵抗値が低く、しかも抵抗値の変化幅が適当なの
で、使いやすいことがわかる。
【０００９】（実施例２）１００ｇ中に粒径０．３μｍ
のシリカ粒子を３０ｇ含むコロイダルシリカ７５ｍｌ
に、エタノール１５０ｍｌ、塩酸１ｍｌ、エチルシリケ
ート２５ｍｌを加え、１時間攪拌した後、塩化リチウム
２７ｇを加え、さらに３０分間攪拌した。Ａｕペースト
による櫛形電極をスクリ−ン印刷により形成したアルミ
ナ基板上に、この溶液をディップコーティングし、５０
０℃で１時間熱処理した。次に、この基板を、硝酸マン
ガン溶液（７２重量％）に浸漬した後、２００℃で１時
間熱処理した。
のシリカ粒子を３０ｇ含むコロイダルシリカ７５ｍｌ
に、エタノール１５０ｍｌ、塩酸１ｍｌ、エチルシリケ
ート２５ｍｌを加え、１時間攪拌した後、塩化リチウム
２７ｇを加え、さらに３０分間攪拌した。Ａｕペースト
による櫛形電極をスクリ−ン印刷により形成したアルミ
ナ基板上に、この溶液をディップコーティングし、５０
０℃で１時間熱処理した。次に、この基板を、硝酸マン
ガン溶液（７２重量％）に浸漬した後、２００℃で１時
間熱処理した。
【００１０】このようにして作製した湿度センサの斜視
図を図３に示す。図３において、１は感湿膜、２は電
極、４は基板である。本湿度センサの感湿特性を図４に
示す。図４より、本発明の湿度センサは、抵抗値が低
く、抵抗値の変化幅が適当であり、しかも温度によって
特性が変化しないので、使いやすいことがわかる。本湿
度センサを６０℃９０％の恒温恒湿槽中に１０００時間
放置後、特性を測定したところ、図４と測定誤差の範囲
内で同様であった。したがって、本湿度センサは、耐久
性、信頼性が高いことがわかる。
図を図３に示す。図３において、１は感湿膜、２は電
極、４は基板である。本湿度センサの感湿特性を図４に
示す。図４より、本発明の湿度センサは、抵抗値が低
く、抵抗値の変化幅が適当であり、しかも温度によって
特性が変化しないので、使いやすいことがわかる。本湿
度センサを６０℃９０％の恒温恒湿槽中に１０００時間
放置後、特性を測定したところ、図４と測定誤差の範囲
内で同様であった。したがって、本湿度センサは、耐久
性、信頼性が高いことがわかる。
【００１１】（実施例３）コロイダルシリカ２００ｍｌ
に、酢酸マンガン３０ｇ、酢酸リチウム３０ｇを加え、
１時間攪拌した。Ｃｒ、Ａｕをこの順に蒸着し櫛形電極
を形成したガラス基板上に、この溶液をスピンコーティ
ングし、４００℃で１時間熱処理した。
に、酢酸マンガン３０ｇ、酢酸リチウム３０ｇを加え、
１時間攪拌した。Ｃｒ、Ａｕをこの順に蒸着し櫛形電極
を形成したガラス基板上に、この溶液をスピンコーティ
ングし、４００℃で１時間熱処理した。
【００１２】このようにして作製した湿度センサの斜視
図を図３、感湿特性を図５に示す。 （実施例４）Ｐｔ−Ｐｄ櫛形電極をスクリ−ン印刷によ
り形成した石英ガラス基板上に、コロイダルシリカをロ
ールコーティングし、１０００℃で１時間熱処理した。
次に、この基板を、塩化リチウム溶液（４０重量％）に
浸漬した後、５００℃で１時間熱処理した。さらに、こ
の基板を、硝酸マンガン溶液（５０重量％）に浸漬した
後、２００℃で１時間熱処理した。
図を図３、感湿特性を図５に示す。 （実施例４）Ｐｔ−Ｐｄ櫛形電極をスクリ−ン印刷によ
り形成した石英ガラス基板上に、コロイダルシリカをロ
ールコーティングし、１０００℃で１時間熱処理した。
次に、この基板を、塩化リチウム溶液（４０重量％）に
浸漬した後、５００℃で１時間熱処理した。さらに、こ
の基板を、硝酸マンガン溶液（５０重量％）に浸漬した
後、２００℃で１時間熱処理した。
【００１３】このようにして作製した湿度センサの斜視
図を図３、感湿特性を図６に示す。
図を図３、感湿特性を図６に示す。
【００１４】
【発明の効果】以上述べたように本発明の湿度センサ
は、酸化マンガンと酸化ケイ素とリチウム塩の熱処理生
成物を主成分とする感湿体を用いるので、抵抗値が低
く、抵抗値の変化幅が適当である。また耐久性、信頼性
が高い。したがって、容易に湿度測定回路を作製するこ
とができるため、低コストで高精度かつ信頼性の高い湿
度センサとして、湿度計測、湿度制御を必要とする分野
に広く応用することができる。
は、酸化マンガンと酸化ケイ素とリチウム塩の熱処理生
成物を主成分とする感湿体を用いるので、抵抗値が低
く、抵抗値の変化幅が適当である。また耐久性、信頼性
が高い。したがって、容易に湿度測定回路を作製するこ
とができるため、低コストで高精度かつ信頼性の高い湿
度センサとして、湿度計測、湿度制御を必要とする分野
に広く応用することができる。
【図１】 本発明の湿度センサの斜視図である。
【図２】 本発明の湿度センサの感湿特性図である。
【図３】 本発明の湿度センサの斜視図である。
【図４】 本発明の湿度センサの感湿特性図である。
【図５】 本発明の湿度センサの感湿特性図である。
【図６】 本発明の湿度センサの感湿特性図である。
１ 感湿体または感湿膜 ２ 電極 ３ リード線 ４ 基板
Claims (1)
- 【請求項１】 酸化マンガンと酸化ケイ素とリチウム塩
の熱処理生成物を主成分とする感湿体を用いることを特
徴とする湿度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28436191A JPH05119009A (ja) | 1991-10-30 | 1991-10-30 | 湿度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28436191A JPH05119009A (ja) | 1991-10-30 | 1991-10-30 | 湿度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05119009A true JPH05119009A (ja) | 1993-05-14 |
Family
ID=17677598
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28436191A Pending JPH05119009A (ja) | 1991-10-30 | 1991-10-30 | 湿度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05119009A (ja) |
-
1991
- 1991-10-30 JP JP28436191A patent/JPH05119009A/ja active Pending
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