JPH04147049A - 湿度センサ - Google Patents
湿度センサInfo
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- JPH04147049A JPH04147049A JP2271282A JP27128290A JPH04147049A JP H04147049 A JPH04147049 A JP H04147049A JP 2271282 A JP2271282 A JP 2271282A JP 27128290 A JP27128290 A JP 27128290A JP H04147049 A JPH04147049 A JP H04147049A
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- silica
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Links
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、湿度に対応して素子の電気的特性が変化する
ことにより湿度を検出する湿度センサに関する。
ことにより湿度を検出する湿度センサに関する。
［従来の技術］
近年、湿度計測、湿度制御を必要とする分野が増加し、
湿度センサの重要性が認められるようになった。
湿度センサの重要性が認められるようになった。
湿度に対応して素子の電気的特性が変化することにより
湿度を検出する湿度センサには、電解質系、金属系、高
分子系、セラミックス系等があり、それぞれいろいろな
系が研究されているが、現在実用化されているものは、
高分子系およびセラミックス系の湿度センサである。い
ずれも、素子に対する水の吸脱着により、素子の抵抗値
または静電容Ｉが変化する性質を利用したものである。
湿度を検出する湿度センサには、電解質系、金属系、高
分子系、セラミックス系等があり、それぞれいろいろな
系が研究されているが、現在実用化されているものは、
高分子系およびセラミックス系の湿度センサである。い
ずれも、素子に対する水の吸脱着により、素子の抵抗値
または静電容Ｉが変化する性質を利用したものである。
［発明が解決しようとする課題］
しかし、従来の、２度センサは、抵抗値が高いため、精
度の良い湿度計を製造するためには、高度な回路技術お
よび実装技術を必要とした。
度の良い湿度計を製造するためには、高度な回路技術お
よび実装技術を必要とした。
そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは、抵抗値が低く、高精度で信頼性
が高い湿度センサを提供するところにある。
の目的とするところは、抵抗値が低く、高精度で信頼性
が高い湿度センサを提供するところにある。
［課題を解決するための手段］
本発明の湿度センサは、シリカを主成分とする多孔質体
にリチウム塩の溶液を含浸させ、熱処理することを特徴
とする。
にリチウム塩の溶液を含浸させ、熱処理することを特徴
とする。
［実施例１］
テトラエトキシシラン（Ｓｉ（○Ｃ２Ｈ５）ｊ）５０ｍ
ｌに０．０２ Ｎ塩酸４０ｍ１ 微粉末シリカ１５ｇ
を加え、１時間攪拌後、アンモニア水を加えゲル化させ
、６０℃で２日間乾燥後、８００°Ｃで１時間熱処理す
ることにより、シリカを主成分とする多孔質体を作製し
た。次に、塩化リチウム４２ｇを水１００ｍ１に溶解し
、リチウム塩水溶液を作製した。前記シリカを主成分と
する多孔質体をリチウム塩水溶液に浸漬した後、６００
°Ｃで１時間熱処理した。この熱処理生成物から１０ｍ
ｍＸ１０ｍｍＸ５ｍｍの直方体を切り出し、電極を付け
、第１図に示す湿度センサを作製した。
ｌに０．０２ Ｎ塩酸４０ｍ１ 微粉末シリカ１５ｇ
を加え、１時間攪拌後、アンモニア水を加えゲル化させ
、６０℃で２日間乾燥後、８００°Ｃで１時間熱処理す
ることにより、シリカを主成分とする多孔質体を作製し
た。次に、塩化リチウム４２ｇを水１００ｍ１に溶解し
、リチウム塩水溶液を作製した。前記シリカを主成分と
する多孔質体をリチウム塩水溶液に浸漬した後、６００
°Ｃで１時間熱処理した。この熱処理生成物から１０ｍ
ｍＸ１０ｍｍＸ５ｍｍの直方体を切り出し、電極を付け
、第１図に示す湿度センサを作製した。
このようにして作製した湿度センサの斜視図を第１区に
示す。第１図において、１は感湿体、２は電極、３はリ
ード線である。本湿度センサの感湿特性を第２２に示す
。第２図より、本発明の湿度センサは、抵抗値が低く、
使いやすいことがわかる。
示す。第１図において、１は感湿体、２は電極、３はリ
ード線である。本湿度センサの感湿特性を第２２に示す
。第２図より、本発明の湿度センサは、抵抗値が低く、
使いやすいことがわかる。
［実施例２］
水２５ｍ１にエタノール２５ｍ１を加え、さらに微粉末
シリカ１５ｇを加え、シリカゾルを作製した。Ｐｔ−Ｐ
ｄ櫛形電極をスクリーン印刷により形成したアルミナ基
板上に、このゾルをデイツプコーティングし、１００℃
で１０分間乾燥後、５００°Ｃで３０分間熱処理するこ
とにより、シリカを主成分とする多孔質膜を作製した。
シリカ１５ｇを加え、シリカゾルを作製した。Ｐｔ−Ｐ
ｄ櫛形電極をスクリーン印刷により形成したアルミナ基
板上に、このゾルをデイツプコーティングし、１００℃
で１０分間乾燥後、５００°Ｃで３０分間熱処理するこ
とにより、シリカを主成分とする多孔質膜を作製した。
次に、塩化リチウム２１ｇをエタノール５０％水溶液１
００ｍ１に溶解し、リチウム塩エタノール水溶液を作製
した。前記シリカを主成分とする多孔質膜を形成したア
ルミナ基板を、リチウム塩エタノール水溶液に浸漬した
後、５００°Ｃで３０分間熱処理した。
００ｍ１に溶解し、リチウム塩エタノール水溶液を作製
した。前記シリカを主成分とする多孔質膜を形成したア
ルミナ基板を、リチウム塩エタノール水溶液に浸漬した
後、５００°Ｃで３０分間熱処理した。
このようにして作製した湿度センサの斜視図を第３図に
示す。第３図において、１は感温膜、２は電極、４は基
板である。本湿度センサの感湿特性を第４図に示す。第
４図より、本発明の湿度センサは、抵抗値が低く、しが
も湿度によって特性が変化しないので、高精度で、かつ
使いやすいことがわかる。本湿度センサを６０°Ｃ９０
％の恒温恒湿槽中に１０００時間放置後、特性を測定し
たところ、第４７と測定誤差の範囲内で同様であった。
示す。第３図において、１は感温膜、２は電極、４は基
板である。本湿度センサの感湿特性を第４図に示す。第
４図より、本発明の湿度センサは、抵抗値が低く、しが
も湿度によって特性が変化しないので、高精度で、かつ
使いやすいことがわかる。本湿度センサを６０°Ｃ９０
％の恒温恒湿槽中に１０００時間放置後、特性を測定し
たところ、第４７と測定誤差の範囲内で同様であった。
したがって、本湿度センサは、耐久性、信頼性が高い
ことがわかる。
ことがわかる。
［発明の効果］
以上述べたように本発明の湿度センサは、シワ力を主成
分とする多孔質体にリチウム塩の溶液、を含浸させ、熱
処理するので、抵抗値が低く、しかも湿度によって特性
が変化しないので、高度な回路技術および実装技術は必
要なく、高精度で、かつ使いやすい。また、信頼性も高
い。したがって、低コスト、高精度な湿度センサとして
、湿度計測、湿度制卸を必要とする分野に広く応用する
ことができる。
分とする多孔質体にリチウム塩の溶液、を含浸させ、熱
処理するので、抵抗値が低く、しかも湿度によって特性
が変化しないので、高度な回路技術および実装技術は必
要なく、高精度で、かつ使いやすい。また、信頼性も高
い。したがって、低コスト、高精度な湿度センサとして
、湿度計測、湿度制卸を必要とする分野に広く応用する
ことができる。
４、
第１図、
第３図は、
本発明の湿度センサの斜視
図。
感湿体または感温膜
電極
・リード線
基板
第２図、
第４図は、
本発明の湿度センサの感湿
特性図。
以上
Claims (1)
- シリカを主成分とする多孔質体にリチウム塩の溶液を
含浸させ、熱処理することを特徴とする湿度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2271282A JPH04147049A (ja) | 1990-10-09 | 1990-10-09 | 湿度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2271282A JPH04147049A (ja) | 1990-10-09 | 1990-10-09 | 湿度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04147049A true JPH04147049A (ja) | 1992-05-20 |
Family
ID=17497898
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2271282A Pending JPH04147049A (ja) | 1990-10-09 | 1990-10-09 | 湿度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04147049A (ja) |
-
1990
- 1990-10-09 JP JP2271282A patent/JPH04147049A/ja active Pending
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