JPH03295459A - 湿度センサ - Google Patents
湿度センサInfo
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- JPH03295459A JPH03295459A JP9786590A JP9786590A JPH03295459A JP H03295459 A JPH03295459 A JP H03295459A JP 9786590 A JP9786590 A JP 9786590A JP 9786590 A JP9786590 A JP 9786590A JP H03295459 A JPH03295459 A JP H03295459A
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- Japan
- Prior art keywords
- copper
- humidity sensor
- humidity
- soln
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- Pending
Links
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- XTVVROIMIGLXTD-UHFFFAOYSA-N copper(II) nitrate Chemical compound [Cu+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O XTVVROIMIGLXTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 7
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、湿度に対応して素子の電気的特性が変化する
ことにより湿度を検出する湿度センサに関する。
ことにより湿度を検出する湿度センサに関する。
［従来の技術］
近年、湿度計測、湿度制御を必要とする分野が増加し、
湿度センサの重要性が認められるようになった。
湿度センサの重要性が認められるようになった。
湿度に対応して素子の電気的特性が変化することにより
湿度を検出する湿度センサには、電解質系、金属系、高
分子系、セラミックス系等があり、それぞれいろいろな
系が研究されているが、現在実用化されているものは、
高分子系およびセラミックス系の湿度センサである。い
ずれも、素子に対する水の吸脱着により、素子の抵抗値
または静電容量が変化する性質を利用したものである。
湿度を検出する湿度センサには、電解質系、金属系、高
分子系、セラミックス系等があり、それぞれいろいろな
系が研究されているが、現在実用化されているものは、
高分子系およびセラミックス系の湿度センサである。い
ずれも、素子に対する水の吸脱着により、素子の抵抗値
または静電容量が変化する性質を利用したものである。
［発明が解決しようとする課題］
しかし、従来の湿度センサは、抵抗値が高いため、精度
の良い湿度計を製造するためには、高度な回路技術およ
び実装技術を必要とした。
の良い湿度計を製造するためには、高度な回路技術およ
び実装技術を必要とした。
そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは、抵抗値の償い湿度センサを提供
するところにある。
の目的とするところは、抵抗値の償い湿度センサを提供
するところにある。
［課題を解決するための手段］
本発明の湿度センサは、銅塩の溶液を多孔質体に含浸し
た後、熱処理することを特徴とする。
た後、熱処理することを特徴とする。
銅塩は熱処理すると分解して酸化銅になる。銅塩の溶液
を多孔質体に含浸した後、熱処理すると、多孔質体中に
酸化銅粒子を分散させることができ、抵抗値の低い湿度
センサを得ることができる。
を多孔質体に含浸した後、熱処理すると、多孔質体中に
酸化銅粒子を分散させることができ、抵抗値の低い湿度
センサを得ることができる。
［実施例１コ
硝酸銅１２ｇをエタノール５０％水溶液１００ｍ１に溶
解し、硝酸銅エタノール水溶液を作製した。−辺が５ｍ
ｍの立方体状の多孔質アルミナを、この硝酸銅エタノー
ル水溶液中に浸種し、硝酸銅エタノール水溶液を多孔質
アルミナ中に含浸した。
解し、硝酸銅エタノール水溶液を作製した。−辺が５ｍ
ｍの立方体状の多孔質アルミナを、この硝酸銅エタノー
ル水溶液中に浸種し、硝酸銅エタノール水溶液を多孔質
アルミナ中に含浸した。
この試料を８００°Ｃで５時間熱処理した後、電極を付
け、湿度センサを作製した。
け、湿度センサを作製した。
このようにして作製した湿度センサの斜視図を第１図に
示す。第１図において、１は感湿体、２は電極、３はリ
ード線である。本湿度センサの感湿特性を第２図に示す
。第２図より、本発明の湿度センサは、抵抗値が低く、
使いやすいことがわかる。
示す。第１図において、１は感湿体、２は電極、３はリ
ード線である。本湿度センサの感湿特性を第２図に示す
。第２図より、本発明の湿度センサは、抵抗値が低く、
使いやすいことがわかる。
［実施例２］
硝酸銅５１ｇを水］、 ＯＯｍ ｌに溶解し、硝酸銅水
溶液を作製した。Ｐｔ、Ｐｄ櫛形電極、多孔質シリカ膜
をこの順に形成したアルミナ基板を、この硝酸銅水溶液
中に浸種し、硝酸銅水溶液を多孔質シリカ膜中に含浸し
た。この試料を５００°Ｃで３０分間熱処理することに
より、湿度センサを作製した。
溶液を作製した。Ｐｔ、Ｐｄ櫛形電極、多孔質シリカ膜
をこの順に形成したアルミナ基板を、この硝酸銅水溶液
中に浸種し、硝酸銅水溶液を多孔質シリカ膜中に含浸し
た。この試料を５００°Ｃで３０分間熱処理することに
より、湿度センサを作製した。
このようにして作製した湿度センサの斜視図を第３図に
示す。第３図において、１は感湿膜、２は電極、４は基
板である。本湿度センサの感湿特性を第４図に示す。第
４図より、本発明の湿度センサは、抵抗値が低く、使い
やすいことがわかる。
示す。第３図において、１は感湿膜、２は電極、４は基
板である。本湿度センサの感湿特性を第４図に示す。第
４図より、本発明の湿度センサは、抵抗値が低く、使い
やすいことがわかる。
［発明の効果コ
以上述べたように本発明の湿度センサは、銅塩の溶液を
多孔質体に含浸した後、熱処理するので、抵抗値が低い
ため、高度な回路技術および実装技術は必要なく、使い
やすい。したがって、低コスト、高精度な湿度センサと
して、湿度計測、湿度制御を必要とする分野に広く応用
することができ
多孔質体に含浸した後、熱処理するので、抵抗値が低い
ため、高度な回路技術および実装技術は必要なく、使い
やすい。したがって、低コスト、高精度な湿度センサと
して、湿度計測、湿度制御を必要とする分野に広く応用
することができ
第１１図、第３図は、本発明の湿度センサの斜視図。
１ ・ ・ ・
２ ・ ・ ・
３ ・ ・ ・
４ ・ ・ ・
第２図、
特性図。
感湿体または感湿膜
電極
リード線
基板
第４図は、本発明の湿度センサの感湿
以上
第１図
Claims (1)
- 銅塩の溶液を多孔質体に含浸した後、熱処理することを
特徴とする湿度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9786590A JPH03295459A (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 | 湿度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9786590A JPH03295459A (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 | 湿度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03295459A true JPH03295459A (ja) | 1991-12-26 |
Family
ID=14203652
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9786590A Pending JPH03295459A (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 | 湿度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03295459A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105181756A (zh) * | 2015-09-24 | 2015-12-23 | 天津大学 | 一种对乙醇具有高响应灵敏度的介晶氧化铜气敏材料 |
-
1990
- 1990-04-13 JP JP9786590A patent/JPH03295459A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105181756A (zh) * | 2015-09-24 | 2015-12-23 | 天津大学 | 一种对乙醇具有高响应灵敏度的介晶氧化铜气敏材料 |
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