JPH03295456A - 湿度センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、湿度に対応して素子の電気的特性が変化する
ことにより湿度を検出する湿度センサに関する。

［従来の技術］ 近年、湿度計測、湿度制御を必要とする分野が増加し、
湿度センサの重要性が認められるようになった。

湿度に対応して素子の電気的特性が変化することにより
湿度を検出する湿度センサには、電解質系、金属系、高
分子系、セラミックス系等があり、それぞれいろいろな
系が研究されているが、現在実用化されているものは、
高分子系およびセラミックス系の湿度センサである。い
ずれも、素子に対する水の吸脱着により、素子の抵抗値
または静電容量が変化する性質を利用したものである。

［発明が解決しようとする課題］ しかし、従来の湿度センサは、抵抗値が高いため、精度
の良い湿度計を製造するためには、高度な回路技術およ
び実装技術を必要とした。

そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは、抵抗値の低い湿度センサを提供
するところにある。

［課題を解決するための手段］ 本発明の湿度センサは、金粒子を分散させたシリカ膜を
感湿膜として用いることを特徴とする。

シリカ膜に金粒子を分散させることにより、抵抗値の低
い湿度センサを得ることができる。

いやすいことがわかる。

［実施例］ テトラエトキシシラン（Ｓ　１（ＯＣ２Ｈｓ）４）　５
０ｍ１にエタノール２５ｍ１．０．０２Ｎ塩酸４ｍｌを
加え、１時間攪拌することによりテトラエトキシシラン
を加水分解した後、グリセリン１０ｍ］、微粉末シリカ
１３．５ｇを加え、３０分間攪拌し、さらに金粒子２３
ｇを加え、３０分間攪拌することにより、金粒子を分散
させたシリカゾルを作製した。Ｐｔ−Ｐｄ櫛形電極をス
クリーン印刷により形成したアルミナ基板上に、このゾ
ルをデイツプコーティングし、１００　’Ｃで１０分間
乾燥し、４５０°Ｃで３０分間焼結し、金粒子を分散さ
せたシリカ膜を形成した。

このようにして製作した湿度センサの斜視図を第１図に
示す。第１図において、１は基板、２は電極、３は金粒
子を分散させたシリカ膜である。

本湿度センサの感湿特性を第２図に示す。第２図より、
本発明の湿度センサは、抵抗値が低く、使［発明の効果
コ 以上述べたように本発明の湿度センサは、金粒子を分散
させたシリカ膜を感湿膜として用いるので、抵抗値が低
いため、高度な回路技術および実装技術は必要なく、使
いやすい。したがって、低コスト、高精度な湿度センサ
として、湿度計測、湿度制御を必要とする分野に広く応
用することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の湿度センサの斜視図。 １・・・基板 ２・・・電極 ３・・・金粒子を分散させたシリカ膜 第２図は、本発明の湿度センサの感湿特性図。 以上

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 金粒子を分散させたシリカ膜を感湿膜として用いること
   を特徴とする湿度センサ。