JPH02260503A - 湿度センサ - Google Patents
湿度センサInfo
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- JPH02260503A JPH02260503A JP1081080A JP8108089A JPH02260503A JP H02260503 A JPH02260503 A JP H02260503A JP 1081080 A JP1081080 A JP 1081080A JP 8108089 A JP8108089 A JP 8108089A JP H02260503 A JPH02260503 A JP H02260503A
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- Japan
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- humidity
- titania particles
- dispersed
- humidity sensor
- film
- Prior art date
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- Pending
Links
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- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 26
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、湿度に対応して素子の電気的特性が変化する
ことにより湿度を検出する湿度センサに関する。
ことにより湿度を検出する湿度センサに関する。
[従来の技術]
近年、湿度計測、湿度制御を必要とする分野が増加し、
湿度センサの重要性が認められるようになった。
湿度センサの重要性が認められるようになった。
湿度に対応して素子の電気的特性が変化することにより
湿度を検出する湿度センサには、電解質系、金属系、高
分子系、セラミックス系等があり、それぞれいろいろな
系が研究されているが、現在実用化されているものは、
高分子系およびセラミックス系の湿度センサである。い
ずれも、素子に対する水の吸脱着により、素子の抵抗値
または静電容量が変化する性質を利用したものである。
湿度を検出する湿度センサには、電解質系、金属系、高
分子系、セラミックス系等があり、それぞれいろいろな
系が研究されているが、現在実用化されているものは、
高分子系およびセラミックス系の湿度センサである。い
ずれも、素子に対する水の吸脱着により、素子の抵抗値
または静電容量が変化する性質を利用したものである。
[発明が解決しようとする課題]
しかし、従来の湿度センサは、高湿度、低湿度で精度が
悪く、高温高湿の環境で長期間使用すると劣化してしま
うという欠点があった。特に、高分子系湿度センサは、
高温高温中での劣化が顕著である。セラミックス系湿度
センサには、一定時間毎に素子を数100°Cに加熱し
、劣化した特性を回復させる、加熱リフレッシュという
機構を設けた製品がある。この場合、加熱リフレッシュ
により経時変化は小さくできるが、素子が高温になるた
め、可燃性のガスや粉塵の存在するところでは爆発や火
災の危険があり使用できない。このように、満足すべき
特性を持つ湿度センサは、現状では皆無であるといって
も過言ではない。
悪く、高温高湿の環境で長期間使用すると劣化してしま
うという欠点があった。特に、高分子系湿度センサは、
高温高温中での劣化が顕著である。セラミックス系湿度
センサには、一定時間毎に素子を数100°Cに加熱し
、劣化した特性を回復させる、加熱リフレッシュという
機構を設けた製品がある。この場合、加熱リフレッシュ
により経時変化は小さくできるが、素子が高温になるた
め、可燃性のガスや粉塵の存在するところでは爆発や火
災の危険があり使用できない。このように、満足すべき
特性を持つ湿度センサは、現状では皆無であるといって
も過言ではない。
そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは、広範囲の湿度を精度良く測定で
き、過酷な環境でも劣化しない、高精度でかつ信頼性の
高い湿度センサを提供するところにある。
の目的とするところは、広範囲の湿度を精度良く測定で
き、過酷な環境でも劣化しない、高精度でかつ信頼性の
高い湿度センサを提供するところにある。
[課題を解決するための手段]
本発明の湿度センサは、チタニア粒子を分散させたシリ
カ族を感湿膜として用いることを特徴とする。
カ族を感湿膜として用いることを特徴とする。
シリカ膜単体でも感湿特性を持たせることはできる。し
かし、シリカ膜にチタニア粒子を分散させることにより
、膜厚、細孔径、クラックの状態等を制御でき、より好
ましい特性を持った湿度センサを得ることができる。
かし、シリカ膜にチタニア粒子を分散させることにより
、膜厚、細孔径、クラックの状態等を制御でき、より好
ましい特性を持った湿度センサを得ることができる。
[実施例]
テトラエトキシシラン(S i (OC2H6)4)
50mlにエタノール25m1.0.02N塩酸4ml
を加え、1時間撹拌することによりテトラエトキシシラ
ンを加水分解した後、グリセリン10ml、微粉末シリ
カ13.5gを加え、30分間撹拌し、さらにチタニア
粒子18gを加え、30分間撹拌することにより、チタ
ニア粒子を分散させたシリカゾルを作製した。P t−
P difl形電極をスクリーン印刷により形成したア
ルミナ基板上に、このゾルをデイツプコーティングし、
100℃で10分間乾燥し、450℃で30分間焼結し
、チタニア粒子を分散させたシリカ膜を形成した。
50mlにエタノール25m1.0.02N塩酸4ml
を加え、1時間撹拌することによりテトラエトキシシラ
ンを加水分解した後、グリセリン10ml、微粉末シリ
カ13.5gを加え、30分間撹拌し、さらにチタニア
粒子18gを加え、30分間撹拌することにより、チタ
ニア粒子を分散させたシリカゾルを作製した。P t−
P difl形電極をスクリーン印刷により形成したア
ルミナ基板上に、このゾルをデイツプコーティングし、
100℃で10分間乾燥し、450℃で30分間焼結し
、チタニア粒子を分散させたシリカ膜を形成した。
このようにして製作した湿度センサの断面図を第1図に
示す。第1図において、1は基板、2は電極、3はチタ
ニア粒子を分散させたシリカ膜である。本湿度センサの
感湿特性を第2図に示す。
示す。第1図において、1は基板、2は電極、3はチタ
ニア粒子を分散させたシリカ膜である。本湿度センサの
感湿特性を第2図に示す。
第2図より、相対湿度の変化に対する抵抗値の変化の直
線性が良く、抵抗値が大きくなる低湿度でも測定し易い
抵抗値であることがわかる。本湿度センサを60℃、相
対湿度95%の恒温恒温層中に1000時間放flH&
、感湿特性を測定したところ、第2図と測定誤差の範囲
内で同様であった。
線性が良く、抵抗値が大きくなる低湿度でも測定し易い
抵抗値であることがわかる。本湿度センサを60℃、相
対湿度95%の恒温恒温層中に1000時間放flH&
、感湿特性を測定したところ、第2図と測定誤差の範囲
内で同様であった。
したがって、本湿度センサは、耐久性、信頼性が高いこ
とがわかる。
とがわかる。
[発明の効果]
以上述べたように本発明の湿度センサは、チタニア粒子
を分散させたシリカ族を感湿膜として用いるので、相対
湿度の変化に対する抵抗値の変化の直線性が良く、抵抗
値が大きくなる低湿度でも測定し易い抵抗値の湿度セン
サを製造することができるため、広範囲の湿度を精度良
く測定することができる。また、シリカ膜は化学的に安
定であるため、過酷な環境でも劣化しない。したがって
、高精度、高信頼性湿度センサとして、湿度計測、湿度
制御を必要とする分野に広く応用することができる。
を分散させたシリカ族を感湿膜として用いるので、相対
湿度の変化に対する抵抗値の変化の直線性が良く、抵抗
値が大きくなる低湿度でも測定し易い抵抗値の湿度セン
サを製造することができるため、広範囲の湿度を精度良
く測定することができる。また、シリカ膜は化学的に安
定であるため、過酷な環境でも劣化しない。したがって
、高精度、高信頼性湿度センサとして、湿度計測、湿度
制御を必要とする分野に広く応用することができる。
2・・・電極
3・・・チタニア粒子を分散させたシリカ膜第2図は、
本発明の湿度センサの感湿特性図。
本発明の湿度センサの感湿特性図。
以上
出願人 セイコーエプソン株式会社
代理人 弁理士 銘木 喜三部 他1名
第1図は本発明の湿度センサの断面図。
1・・・基板
2ゲ0
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Claims (1)
- チタニア粒子を分散させたシリカ膜を感湿膜として用
いることを特徴とする湿度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1081080A JPH02260503A (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | 湿度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1081080A JPH02260503A (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | 湿度センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02260503A true JPH02260503A (ja) | 1990-10-23 |
Family
ID=13736413
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1081080A Pending JPH02260503A (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | 湿度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02260503A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0923085A1 (en) * | 1997-06-16 | 1999-06-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Resistance wiring board and method for manufacturing the same |
JP2006027925A (ja) * | 2004-07-13 | 2006-02-02 | Nagoya Institute Of Technology | 湿度センサー材料、湿度センサー材料を用いた湿度センサー及び湿度センサー材料を備えた電気機器 |
-
1989
- 1989-03-31 JP JP1081080A patent/JPH02260503A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0923085A1 (en) * | 1997-06-16 | 1999-06-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Resistance wiring board and method for manufacturing the same |
EP0923085A4 (en) * | 1997-06-16 | 2005-12-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | RESISTANCE CONNECTION TABLE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME |
JP2006027925A (ja) * | 2004-07-13 | 2006-02-02 | Nagoya Institute Of Technology | 湿度センサー材料、湿度センサー材料を用いた湿度センサー及び湿度センサー材料を備えた電気機器 |
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