JPH02260503A - 湿度センサ - Google Patents

湿度センサ

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Publication number
JPH02260503A
JPH02260503A JP1081080A JP8108089A JPH02260503A JP H02260503 A JPH02260503 A JP H02260503A JP 1081080 A JP1081080 A JP 1081080A JP 8108089 A JP8108089 A JP 8108089A JP H02260503 A JPH02260503 A JP H02260503A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
humidity
titania particles
dispersed
humidity sensor
film
Prior art date
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Pending
Application number
JP1081080A
Other languages
English (en)
Inventor
Masahisa Ikejiri
昌久 池尻
Michio Yanagisawa
通雄 柳澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
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Publication of JPH02260503A publication Critical patent/JPH02260503A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
  • Non-Adjustable Resistors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、湿度に対応して素子の電気的特性が変化する
ことにより湿度を検出する湿度センサに関する。
[従来の技術] 近年、湿度計測、湿度制御を必要とする分野が増加し、
湿度センサの重要性が認められるようになった。
湿度に対応して素子の電気的特性が変化することにより
湿度を検出する湿度センサには、電解質系、金属系、高
分子系、セラミックス系等があり、それぞれいろいろな
系が研究されているが、現在実用化されているものは、
高分子系およびセラミックス系の湿度センサである。い
ずれも、素子に対する水の吸脱着により、素子の抵抗値
または静電容量が変化する性質を利用したものである。
[発明が解決しようとする課題] しかし、従来の湿度センサは、高湿度、低湿度で精度が
悪く、高温高湿の環境で長期間使用すると劣化してしま
うという欠点があった。特に、高分子系湿度センサは、
高温高温中での劣化が顕著である。セラミックス系湿度
センサには、一定時間毎に素子を数100°Cに加熱し
、劣化した特性を回復させる、加熱リフレッシュという
機構を設けた製品がある。この場合、加熱リフレッシュ
により経時変化は小さくできるが、素子が高温になるた
め、可燃性のガスや粉塵の存在するところでは爆発や火
災の危険があり使用できない。このように、満足すべき
特性を持つ湿度センサは、現状では皆無であるといって
も過言ではない。
そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは、広範囲の湿度を精度良く測定で
き、過酷な環境でも劣化しない、高精度でかつ信頼性の
高い湿度センサを提供するところにある。
[課題を解決するための手段] 本発明の湿度センサは、チタニア粒子を分散させたシリ
カ族を感湿膜として用いることを特徴とする。
シリカ膜単体でも感湿特性を持たせることはできる。し
かし、シリカ膜にチタニア粒子を分散させることにより
、膜厚、細孔径、クラックの状態等を制御でき、より好
ましい特性を持った湿度センサを得ることができる。
[実施例] テトラエトキシシラン(S i (OC2H6)4) 
50mlにエタノール25m1.0.02N塩酸4ml
を加え、1時間撹拌することによりテトラエトキシシラ
ンを加水分解した後、グリセリン10ml、微粉末シリ
カ13.5gを加え、30分間撹拌し、さらにチタニア
粒子18gを加え、30分間撹拌することにより、チタ
ニア粒子を分散させたシリカゾルを作製した。P t−
P difl形電極をスクリーン印刷により形成したア
ルミナ基板上に、このゾルをデイツプコーティングし、
100℃で10分間乾燥し、450℃で30分間焼結し
、チタニア粒子を分散させたシリカ膜を形成した。
このようにして製作した湿度センサの断面図を第1図に
示す。第1図において、1は基板、2は電極、3はチタ
ニア粒子を分散させたシリカ膜である。本湿度センサの
感湿特性を第2図に示す。
第2図より、相対湿度の変化に対する抵抗値の変化の直
線性が良く、抵抗値が大きくなる低湿度でも測定し易い
抵抗値であることがわかる。本湿度センサを60℃、相
対湿度95%の恒温恒温層中に1000時間放flH&
、感湿特性を測定したところ、第2図と測定誤差の範囲
内で同様であった。
したがって、本湿度センサは、耐久性、信頼性が高いこ
とがわかる。
[発明の効果] 以上述べたように本発明の湿度センサは、チタニア粒子
を分散させたシリカ族を感湿膜として用いるので、相対
湿度の変化に対する抵抗値の変化の直線性が良く、抵抗
値が大きくなる低湿度でも測定し易い抵抗値の湿度セン
サを製造することができるため、広範囲の湿度を精度良
く測定することができる。また、シリカ膜は化学的に安
定であるため、過酷な環境でも劣化しない。したがって
、高精度、高信頼性湿度センサとして、湿度計測、湿度
制御を必要とする分野に広く応用することができる。
2・・・電極 3・・・チタニア粒子を分散させたシリカ膜第2図は、
本発明の湿度センサの感湿特性図。
以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 銘木 喜三部 他1名
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の湿度センサの断面図。 1・・・基板 2ゲ0 u’Q 6o’c /f8夕1う)【乃((ツこン

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  チタニア粒子を分散させたシリカ膜を感湿膜として用
    いることを特徴とする湿度センサ。
JP1081080A 1989-03-31 1989-03-31 湿度センサ Pending JPH02260503A (ja)

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JP1081080A JPH02260503A (ja) 1989-03-31 1989-03-31 湿度センサ

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0923085A1 (en) * 1997-06-16 1999-06-16 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Resistance wiring board and method for manufacturing the same
JP2006027925A (ja) * 2004-07-13 2006-02-02 Nagoya Institute Of Technology 湿度センサー材料、湿度センサー材料を用いた湿度センサー及び湿度センサー材料を備えた電気機器

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EP0923085A4 (en) * 1997-06-16 2005-12-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd RESISTANCE CONNECTION TABLE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
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