JPH04326053A - 湿度センサ - Google Patents
湿度センサInfo
- Publication number
- JPH04326053A JPH04326053A JP9567591A JP9567591A JPH04326053A JP H04326053 A JPH04326053 A JP H04326053A JP 9567591 A JP9567591 A JP 9567591A JP 9567591 A JP9567591 A JP 9567591A JP H04326053 A JPH04326053 A JP H04326053A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moisture
- humidity
- electrode
- humidity sensor
- film thickness
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、湿度に対応して素子の
電気的特性が変化することにより湿度を検出する湿度セ
ンサに関する。
電気的特性が変化することにより湿度を検出する湿度セ
ンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、湿度計測、湿度制御を必要とする
分野が増加し、湿度センサの重要性が認められるように
なった。
分野が増加し、湿度センサの重要性が認められるように
なった。
【０００３】湿度に対応して素子の電気的特性が変化す
ることにより湿度を検出する湿度センサには、電解質系
、金属系、高分子系、セラミックス系等があり、それぞ
れいろいろな系が研究されているが、現在実用化されて
いるものは、高分子系およびセラミックス系の湿度セン
サである。いずれも、素子に対する水の吸脱着により、
素子の抵抗値または静電容量が変化する性質を利用した
ものである。
ることにより湿度を検出する湿度センサには、電解質系
、金属系、高分子系、セラミックス系等があり、それぞ
れいろいろな系が研究されているが、現在実用化されて
いるものは、高分子系およびセラミックス系の湿度セン
サである。いずれも、素子に対する水の吸脱着により、
素子の抵抗値または静電容量が変化する性質を利用した
ものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の湿度セ
ンサは、信頼性に問題があり、長期間安定に使用するこ
とができなかった。また、感湿面が露出しているため、
感湿面を手でさわると特性が変化してしまい、それを防
ぐためには、湿度センサに保護ケースを付ける等の処置
が必要であった。しかし、保護ケースはコストが高くな
るだけでなく、応答が遅くなるという問題点があった。
ンサは、信頼性に問題があり、長期間安定に使用するこ
とができなかった。また、感湿面が露出しているため、
感湿面を手でさわると特性が変化してしまい、それを防
ぐためには、湿度センサに保護ケースを付ける等の処置
が必要であった。しかし、保護ケースはコストが高くな
るだけでなく、応答が遅くなるという問題点があった。
【０００５】そこで本発明はこのような問題点を解決す
るもので、その目的とするところは、高精度で信頼性が
高い湿度センサを提供するところにある。
るもので、その目的とするところは、高精度で信頼性が
高い湿度センサを提供するところにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の湿度センサは、
基板、電極、感湿膜からなる湿度センサにおいて、電極
の膜厚が感湿膜の膜厚より厚いことを特徴とする。
基板、電極、感湿膜からなる湿度センサにおいて、電極
の膜厚が感湿膜の膜厚より厚いことを特徴とする。
【０００７】電極の膜厚を感湿膜の膜厚より厚くするこ
とにより、感湿面に手を触れても、手は電極に触れるの
みで感湿膜には触れない。したがって保護ケース等は不
要になる。また、感湿膜は感湿面全面にあるのではなく
、電極間にあるだけであり、電極との接触面積が広いた
め、機械的に丈夫であり、信頼性が高くなる。さらに、
電極との接触面積が広いため、抵抗値を低くすることが
できる。
とにより、感湿面に手を触れても、手は電極に触れるの
みで感湿膜には触れない。したがって保護ケース等は不
要になる。また、感湿膜は感湿面全面にあるのではなく
、電極間にあるだけであり、電極との接触面積が広いた
め、機械的に丈夫であり、信頼性が高くなる。さらに、
電極との接触面積が広いため、抵抗値を低くすることが
できる。
【０００８】
【実施例】膜厚２０μｍのＰｔ−Ｐｄ櫛形電極を、スク
リ−ン印刷によりアルミナ基板上に形成した。
リ−ン印刷によりアルミナ基板上に形成した。
【０００９】エチルシリケート５０ｍｌ（Ｓｉ（ＯＣ２
Ｈ５）４）にエタノール３４ｍｌ、０．０２Ｎ塩酸１６
ｍｌを加え、１時間攪拌し、さらに微粉末シリカ１５ｇ
、塩化リチウム１５ｇを加えた溶液を、前記櫛形電極形
成したアルミナ基板上にディップコーティングし、５０
０℃で３０分間熱処理することにより、膜厚１０μｍの
感湿膜を形成した。
Ｈ５）４）にエタノール３４ｍｌ、０．０２Ｎ塩酸１６
ｍｌを加え、１時間攪拌し、さらに微粉末シリカ１５ｇ
、塩化リチウム１５ｇを加えた溶液を、前記櫛形電極形
成したアルミナ基板上にディップコーティングし、５０
０℃で３０分間熱処理することにより、膜厚１０μｍの
感湿膜を形成した。
【００１０】このようにして作製した湿度センサの平面
図を図１に示す。図１のＡ−Ｂにおける断面図を図２に
示す。図１、２において、１は感湿膜、２は電極、３は
基板である。本湿度センサの感湿特性を図３に示す。図
３より、抵抗値の低い湿度センサが得られることがわか
る。したがって、容易に湿度測定回路を作製することが
できる。本湿度センサの応答特性を図４に示す。本湿度
センサを６０℃９０％の恒温恒湿槽中に１０００時間放
置後、特性を測定したところ、図３と測定誤差の範囲内
で同様であった。また、本湿度センサの感湿面を素手で
さわっても特性は変化しなかった。したがって、本湿度
センサは保護ケース等が不要であり、応答特性を悪化さ
せることはない。このように本発明により、耐久性、信
頼性が高い湿度センサが得られることがわかる。
図を図１に示す。図１のＡ−Ｂにおける断面図を図２に
示す。図１、２において、１は感湿膜、２は電極、３は
基板である。本湿度センサの感湿特性を図３に示す。図
３より、抵抗値の低い湿度センサが得られることがわか
る。したがって、容易に湿度測定回路を作製することが
できる。本湿度センサの応答特性を図４に示す。本湿度
センサを６０℃９０％の恒温恒湿槽中に１０００時間放
置後、特性を測定したところ、図３と測定誤差の範囲内
で同様であった。また、本湿度センサの感湿面を素手で
さわっても特性は変化しなかった。したがって、本湿度
センサは保護ケース等が不要であり、応答特性を悪化さ
せることはない。このように本発明により、耐久性、信
頼性が高い湿度センサが得られることがわかる。
【００１１】
【発明の効果】以上述べたように本発明の湿度センサは
、基板、電極、感湿膜からなる湿度センサにおいて、電
極の膜厚が感湿膜の膜厚より厚いので、耐久性、信頼性
が高く、しかも抵抗値が低い。したがって本発明の湿度
センサは、保護ケース等が不要であり、さらに、容易に
湿度測定回路を作製することができるため、低コストで
高精度かつ信頼性の高い湿度センサとして、湿度計測、
湿度制御を必要とする分野に広く応用することができる
。
、基板、電極、感湿膜からなる湿度センサにおいて、電
極の膜厚が感湿膜の膜厚より厚いので、耐久性、信頼性
が高く、しかも抵抗値が低い。したがって本発明の湿度
センサは、保護ケース等が不要であり、さらに、容易に
湿度測定回路を作製することができるため、低コストで
高精度かつ信頼性の高い湿度センサとして、湿度計測、
湿度制御を必要とする分野に広く応用することができる
。
【図１】本発明の湿度センサの平面図である。
【図２】本発明の湿度センサの断面図である。
【図３】本発明の湿度センサの感湿特性図である。
【図４】本発明の湿度センサの応答特性図である。
１ 感湿膜
２ 電極
３ 基板
Claims (1)
- 【請求項１】 基板、電極、感湿膜からなる湿度セン
サにおいて、電極の膜厚が感湿膜の膜厚より厚いことを
特徴とする湿度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9567591A JPH04326053A (ja) | 1991-04-25 | 1991-04-25 | 湿度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9567591A JPH04326053A (ja) | 1991-04-25 | 1991-04-25 | 湿度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04326053A true JPH04326053A (ja) | 1992-11-16 |
Family
ID=14144079
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9567591A Pending JPH04326053A (ja) | 1991-04-25 | 1991-04-25 | 湿度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04326053A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20170167995A1 (en) * | 2014-07-23 | 2017-06-15 | National Institute For Materials Science | High-speed response/high-sensitivity dryness/wetness responsive sensor |
-
1991
- 1991-04-25 JP JP9567591A patent/JPH04326053A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20170167995A1 (en) * | 2014-07-23 | 2017-06-15 | National Institute For Materials Science | High-speed response/high-sensitivity dryness/wetness responsive sensor |
| US10267756B2 (en) * | 2014-07-23 | 2019-04-23 | National Institute For Materials Science | Dryness/wetness responsive sensor having first and second wires spaced 5 nm to less than 20 μm apart |
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