JPH0658901A - 湿度センサ - Google Patents
湿度センサInfo
- Publication number
- JPH0658901A JPH0658901A JP21526292A JP21526292A JPH0658901A JP H0658901 A JPH0658901 A JP H0658901A JP 21526292 A JP21526292 A JP 21526292A JP 21526292 A JP21526292 A JP 21526292A JP H0658901 A JPH0658901 A JP H0658901A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- humidity
- heat
- treated
- humidity sensor
- lead
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 酢酸マンガン、酢酸鉛を含む溶液を、櫛形電
極を形成したアルミナ基板上にディップコーティング、
熱処理し、酸化マンガンと酸化鉛の熱処理生成物を主成
分とする湿度センサとする。 【効果】 抵抗値が低く、抵抗値の変化幅が適当であ
る。また耐久性、信頼性が高い。したがって、容易に湿
度測定回路を作製することができるため、低コストで高
精度かつ信頼性の高い湿度計を製作できる。
極を形成したアルミナ基板上にディップコーティング、
熱処理し、酸化マンガンと酸化鉛の熱処理生成物を主成
分とする湿度センサとする。 【効果】 抵抗値が低く、抵抗値の変化幅が適当であ
る。また耐久性、信頼性が高い。したがって、容易に湿
度測定回路を作製することができるため、低コストで高
精度かつ信頼性の高い湿度計を製作できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、湿度に対応して素子の
電気的特性が変化することにより湿度を検出する湿度セ
ンサに関する。
電気的特性が変化することにより湿度を検出する湿度セ
ンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、湿度計測、湿度制御を必要とする
分野が増加し、湿度センサの重要性が認められるように
なった。
分野が増加し、湿度センサの重要性が認められるように
なった。
【０００３】湿度に対応して素子の電気的特性が変化す
ることにより湿度を検出する湿度センサには、電解質
系、金属系、高分子系、セラミックス系等があり、それ
ぞれいろいろな系が研究されているが、現在実用化され
ているものは、高分子系およびセラミックス系の湿度セ
ンサである。いずれも、素子に対する水の吸脱着によ
り、素子の抵抗値または静電容量が変化する性質を利用
したものである。
ることにより湿度を検出する湿度センサには、電解質
系、金属系、高分子系、セラミックス系等があり、それ
ぞれいろいろな系が研究されているが、現在実用化され
ているものは、高分子系およびセラミックス系の湿度セ
ンサである。いずれも、素子に対する水の吸脱着によ
り、素子の抵抗値または静電容量が変化する性質を利用
したものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の湿度セ
ンサは、低湿度で抵抗値が高く、また、抵抗値の変化幅
が大きいため、精度の良い湿度計を製造するためには、
高度な回路技術および実装技術を必要とした。
ンサは、低湿度で抵抗値が高く、また、抵抗値の変化幅
が大きいため、精度の良い湿度計を製造するためには、
高度な回路技術および実装技術を必要とした。
【０００５】そこで本発明はこのような問題点を解決す
るもので、その目的とするところは、抵抗値が低く、抵
抗値の変化幅が適当で、高精度で信頼性が高い湿度セン
サを提供するところにある。
るもので、その目的とするところは、抵抗値が低く、抵
抗値の変化幅が適当で、高精度で信頼性が高い湿度セン
サを提供するところにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の湿度センサは、
酸化マンガンと酸化鉛の熱処理生成物を主成分とする感
湿体を用いることを特徴とする。
酸化マンガンと酸化鉛の熱処理生成物を主成分とする感
湿体を用いることを特徴とする。
【０００７】酸化マンガンは、原料から酸化マンガンで
ある必要はなく、分解して酸化マンガンになるもの、例
えば、炭酸マンガン、酢酸マンガン、硝酸マンガン等で
もよい。同様に、酸化鉛は、原料から酸化鉛である必要
はなく、分解して酸化鉛になるもの、例えば、炭酸鉛、
酢酸鉛、硝酸鉛等でもよい。また、酸化マンガンと酸化
鉛は同時に熱処理する必要はなく、例えば、まず基板を
酢酸鉛溶液に浸漬した後、熱処理し、次に硝酸マンガン
溶液に浸漬し、熱処理してもよい。
ある必要はなく、分解して酸化マンガンになるもの、例
えば、炭酸マンガン、酢酸マンガン、硝酸マンガン等で
もよい。同様に、酸化鉛は、原料から酸化鉛である必要
はなく、分解して酸化鉛になるもの、例えば、炭酸鉛、
酢酸鉛、硝酸鉛等でもよい。また、酸化マンガンと酸化
鉛は同時に熱処理する必要はなく、例えば、まず基板を
酢酸鉛溶液に浸漬した後、熱処理し、次に硝酸マンガン
溶液に浸漬し、熱処理してもよい。
【０００８】
（実施例１）二酸化マンガン２０ｇと酸化鉛２０ｇを混
合し、プレス成形した後、６００℃で１時間熱処理し
た。得られた熱処理生成物から一辺が５ｍｍの立方体を
切り出し、電極を付け、図１に示すような湿度センサを
作成した。図１において、１は感湿体、２は電極、３は
リード線である。本湿度センサの感湿特性を図２に示
す。図２より、本発明の湿度センサは、抵抗値が低く、
しかも抵抗値の変化幅が適当なので、使いやすいことが
わかる。
合し、プレス成形した後、６００℃で１時間熱処理し
た。得られた熱処理生成物から一辺が５ｍｍの立方体を
切り出し、電極を付け、図１に示すような湿度センサを
作成した。図１において、１は感湿体、２は電極、３は
リード線である。本湿度センサの感湿特性を図２に示
す。図２より、本発明の湿度センサは、抵抗値が低く、
しかも抵抗値の変化幅が適当なので、使いやすいことが
わかる。
【０００９】（実施例２）水１００ｍｌに、エタノール
１００ｍｌ、酢酸マンガン８０ｇ、酢酸鉛２０ｇを加
え、１時間攪拌した。Ａｕペーストによる櫛形電極をス
クリ−ン印刷により形成したアルミナ基板上に、この溶
液をディップコーティングし、５００℃で１時間熱処理
した。
１００ｍｌ、酢酸マンガン８０ｇ、酢酸鉛２０ｇを加
え、１時間攪拌した。Ａｕペーストによる櫛形電極をス
クリ−ン印刷により形成したアルミナ基板上に、この溶
液をディップコーティングし、５００℃で１時間熱処理
した。
【００１０】このようにして作製した湿度センサの斜視
図を図３に示す。図３において、１は感湿膜、２は電
極、４は基板である。本湿度センサの感湿特性を図４に
示す。図４より、本発明の湿度センサは、抵抗値が低
く、抵抗値の変化幅が適当であり、しかも温度によって
特性が変化しないので、使いやすいことがわかる。本湿
度センサを６０℃９０％の恒温恒湿槽中に１０００時間
放置後、特性を測定したところ、図４と測定誤差の範囲
内で同様であった。したがって、本湿度センサは、耐久
性、信頼性が高いことがわかる。
図を図３に示す。図３において、１は感湿膜、２は電
極、４は基板である。本湿度センサの感湿特性を図４に
示す。図４より、本発明の湿度センサは、抵抗値が低
く、抵抗値の変化幅が適当であり、しかも温度によって
特性が変化しないので、使いやすいことがわかる。本湿
度センサを６０℃９０％の恒温恒湿槽中に１０００時間
放置後、特性を測定したところ、図４と測定誤差の範囲
内で同様であった。したがって、本湿度センサは、耐久
性、信頼性が高いことがわかる。
【００１１】（実施例３）水１００ｍｌに、グリセリン
１００ｍｌ、酢酸鉛４０ｇを加え、１時間攪拌した。Ｃ
ｒ、Ａｕをこの順に蒸着し櫛形電極を形成したガラス基
板上に、この溶液をスピンコーティングし、４００℃で
１時間熱処理した。次に、この基板を、硝酸マンガン溶
液（７２重量％）に浸漬した後、２００℃で１時間熱処
理した。
１００ｍｌ、酢酸鉛４０ｇを加え、１時間攪拌した。Ｃ
ｒ、Ａｕをこの順に蒸着し櫛形電極を形成したガラス基
板上に、この溶液をスピンコーティングし、４００℃で
１時間熱処理した。次に、この基板を、硝酸マンガン溶
液（７２重量％）に浸漬した後、２００℃で１時間熱処
理した。
【００１２】このようにして作製した湿度センサの斜視
図を図３、感湿特性を図５に示す。 （実施例４）Ｐｔ−Ｐｄ櫛形電極をスクリ−ン印刷によ
り形成した石英ガラス基板上に、硝酸鉛溶液（４０重量
％）をロールコーティングし、７００℃で１時間熱処理
した。次に、この基板を、硝酸マンガン溶液（５０重量
％）に浸漬した後、３００℃で１時間熱処理した。
図を図３、感湿特性を図５に示す。 （実施例４）Ｐｔ−Ｐｄ櫛形電極をスクリ−ン印刷によ
り形成した石英ガラス基板上に、硝酸鉛溶液（４０重量
％）をロールコーティングし、７００℃で１時間熱処理
した。次に、この基板を、硝酸マンガン溶液（５０重量
％）に浸漬した後、３００℃で１時間熱処理した。
【００１３】このようにして作製した湿度センサの斜視
図を図３、感湿特性を図６に示す。
図を図３、感湿特性を図６に示す。
【００１４】
【発明の効果】以上述べたように本発明の湿度センサ
は、酸化マンガンと酸化鉛の熱処理生成物を主成分とす
る感湿体を用いるので、抵抗値が低く、抵抗値の変化幅
が適当である。また耐久性、信頼性が高い。したがっ
て、容易に湿度測定回路を作製することができるため、
低コストで高精度かつ信頼性の高い湿度センサとして、
湿度計測、湿度制御を必要とする分野に広く応用するこ
とができる。
は、酸化マンガンと酸化鉛の熱処理生成物を主成分とす
る感湿体を用いるので、抵抗値が低く、抵抗値の変化幅
が適当である。また耐久性、信頼性が高い。したがっ
て、容易に湿度測定回路を作製することができるため、
低コストで高精度かつ信頼性の高い湿度センサとして、
湿度計測、湿度制御を必要とする分野に広く応用するこ
とができる。
【図１】 本発明の湿度センサの斜視図である。
【図２】 本発明の湿度センサの感湿特性図である。
【図３】 本発明の湿度センサの斜視図である。
【図４】 本発明の湿度センサの感湿特性図である。
【図５】 本発明の湿度センサの感湿特性図である。
【図６】 本発明の湿度センサの感湿特性図である。
１ 感湿体または感湿膜 ２ 電極 ３ リード線 ４ 基板
Claims (1)
- 【請求項１】 酸化マンガンと酸化鉛の熱処理生成物を
主成分とする感湿体を用いることを特徴とする湿度セン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21526292A JPH0658901A (ja) | 1992-08-12 | 1992-08-12 | 湿度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21526292A JPH0658901A (ja) | 1992-08-12 | 1992-08-12 | 湿度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0658901A true JPH0658901A (ja) | 1994-03-04 |
Family
ID=16669402
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21526292A Pending JPH0658901A (ja) | 1992-08-12 | 1992-08-12 | 湿度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0658901A (ja) |
-
1992
- 1992-08-12 JP JP21526292A patent/JPH0658901A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5608374A (en) | Humidity sensor and a method of producing the humidity sensor | |
| JPS59202052A (ja) | 感湿素子 | |
| JPS5873852A (ja) | 結露センサ | |
| US3703697A (en) | Relative humidity sensor | |
| JPH0658901A (ja) | 湿度センサ | |
| JPH05119010A (ja) | 湿度センサ | |
| JPH05196591A (ja) | 湿度センサ | |
| JPH05119009A (ja) | 湿度センサ | |
| JPH06118045A (ja) | 湿度センサ | |
| JPH05322826A (ja) | 湿度センサ | |
| JPH05249065A (ja) | 湿度センサ | |
| JPH05322825A (ja) | 湿度センサ | |
| JPH0611474A (ja) | 湿度センサ | |
| JPH04152260A (ja) | 湿度センサ | |
| JPH04147049A (ja) | 湿度センサ | |
| JPH04143647A (ja) | 湿度センサ | |
| JPH03295456A (ja) | 湿度センサ | |
| JPH03295457A (ja) | 湿度センサ | |
| JPH03242542A (ja) | 湿度センサ | |
| JPS5910843A (ja) | 結露センサ | |
| JPH0228442Y2 (ja) | ||
| JPH02285242A (ja) | 感湿素子 | |
| JPH04326053A (ja) | 湿度センサ | |
| JPH04143648A (ja) | 湿度センサ | |
| JPS6235058B2 (ja) |