JPH03242542A - 湿度センサ - Google Patents
湿度センサInfo
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- JPH03242542A JPH03242542A JP3875390A JP3875390A JPH03242542A JP H03242542 A JPH03242542 A JP H03242542A JP 3875390 A JP3875390 A JP 3875390A JP 3875390 A JP3875390 A JP 3875390A JP H03242542 A JPH03242542 A JP H03242542A
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- silver particles
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、湿度に対応して素子の電気的特性が変化する
ことにより湿度を検出する湿度センサに関する。
ことにより湿度を検出する湿度センサに関する。
[従来の技術]
近年、湿度計測、湿度制御を必要とする分野が増加し、
湿度センサの重要性が認められるようになった。
湿度センサの重要性が認められるようになった。
湿度に対応して素子の電気的特性が変化することにより
湿度を検出する湿度センサには、電解質系、金属系、高
分子系、セラミックス系等があり、それぞれいろいろな
系が研究されているが、現在実用化されているものは、
高分子系およびセラミックス系の湿度センサである。い
ずれも、素子に対する水の吸脱着により、素子の抵抗値
または静電容量が変化する性質を利用したものである。
湿度を検出する湿度センサには、電解質系、金属系、高
分子系、セラミックス系等があり、それぞれいろいろな
系が研究されているが、現在実用化されているものは、
高分子系およびセラミックス系の湿度センサである。い
ずれも、素子に対する水の吸脱着により、素子の抵抗値
または静電容量が変化する性質を利用したものである。
[発明が解決しようとする課題]
しかし、従来の湿度センサは、抵抗値が高いため、精度
の良い湿度計を製造するためには、高度な回路技術およ
び実装技術を必要とした。
の良い湿度計を製造するためには、高度な回路技術およ
び実装技術を必要とした。
そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは、抵抗値の低い湿度センサを提供
するところにある。
の目的とするところは、抵抗値の低い湿度センサを提供
するところにある。
[課題を解決するための手段]
本発明の湿度センサは、銀粒子を分散させたシリカ膜を
感湿膜として用いることを特徴とする。
感湿膜として用いることを特徴とする。
シリカ膜に銀粒子を分散させることにより、抵抗値の低
い湿度センサを得ることができる。
い湿度センサを得ることができる。
いやすいことがわかる。
[実施例コ
テトラエトキシシラン(S i (OCzHs)a)
50mlにエタノール25 m l 0.02N塩酸
4mlを加え、1時間攪拌することによりテトラエトキ
シシランを加水分解した後、グリセリン10m1.2粉
末シリカ13.5gを加え、30分間撹拌し、さらに銀
粒子23gを加え、30分間攪拌することにより、銀粒
子を分散させたシリカゾルを作製した。Pt−Pd櫛形
電極をスクリーン印刷番こより形成したアルミナ基板上
に、このゾルをデイ゛ツブコーティングし7、100°
Cで10分間乾燥し、450°Cで30分間焼結し、銀
粒子を分散させたシリカ膜を形成した。
50mlにエタノール25 m l 0.02N塩酸
4mlを加え、1時間攪拌することによりテトラエトキ
シシランを加水分解した後、グリセリン10m1.2粉
末シリカ13.5gを加え、30分間撹拌し、さらに銀
粒子23gを加え、30分間攪拌することにより、銀粒
子を分散させたシリカゾルを作製した。Pt−Pd櫛形
電極をスクリーン印刷番こより形成したアルミナ基板上
に、このゾルをデイ゛ツブコーティングし7、100°
Cで10分間乾燥し、450°Cで30分間焼結し、銀
粒子を分散させたシリカ膜を形成した。
このようにして製作した湿度センサの斜視図を第1図に
示す。第1図において、1は基板、2#よ電極、3は銀
粒子を分散させたシリカ膜である。
示す。第1図において、1は基板、2#よ電極、3は銀
粒子を分散させたシリカ膜である。
本湿度センサの感湿特性を第2図に示す。第2図より、
本発明の湿度センサは、抵抗値が低く、使[発明の効果
] 以上述べたように本発明の湿度センサは、銀粒子を分散
させたシリカ膜を感湿膜として用いるので、抵抗値が低
いため、高度な回路技術および実装技術は必要なく、使
いやすい。したがって、底コスト、高精度な湿度センサ
として、湿度計測、湿度制御を必要とする分野に広く応
用することができる。
本発明の湿度センサは、抵抗値が低く、使[発明の効果
] 以上述べたように本発明の湿度センサは、銀粒子を分散
させたシリカ膜を感湿膜として用いるので、抵抗値が低
いため、高度な回路技術および実装技術は必要なく、使
いやすい。したがって、底コスト、高精度な湿度センサ
として、湿度計測、湿度制御を必要とする分野に広く応
用することができる。
第1図は本発明の湿度センサの斜視図。
1・・・基板
2・・・電極
3・・・銀粒子を分散させたシリカ膜
第2図は、本発明の湿度センサの感温特性図。
以上
Claims (1)
- 銀粒子を分散させたシリカ膜を感湿膜として用いること
を特徴とする湿度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3875390A JPH03242542A (ja) | 1990-02-20 | 1990-02-20 | 湿度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3875390A JPH03242542A (ja) | 1990-02-20 | 1990-02-20 | 湿度センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03242542A true JPH03242542A (ja) | 1991-10-29 |
Family
ID=12534058
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3875390A Pending JPH03242542A (ja) | 1990-02-20 | 1990-02-20 | 湿度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03242542A (ja) |
-
1990
- 1990-02-20 JP JP3875390A patent/JPH03242542A/ja active Pending
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