JPH04140909A - 複合型lcフィルタ - Google Patents

複合型lcフィルタ

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JPH04140909A
JPH04140909A JP26366590A JP26366590A JPH04140909A JP H04140909 A JPH04140909 A JP H04140909A JP 26366590 A JP26366590 A JP 26366590A JP 26366590 A JP26366590 A JP 26366590A JP H04140909 A JPH04140909 A JP H04140909A
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JP
Japan
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film
thin film
capacitor
filter
inductor
Prior art date
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Pending
Application number
JP26366590A
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English (en)
Inventor
Masayuki Fujimoto
正之 藤本
Kenichi Hoshi
健一 星
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Taiyo Yuden Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Yuden Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、積層インダクタと薄膜コンデンサとを一体に
形成した複合型LCフィルタに関する。
より詳しくはコイルを内蔵する積層インダクタ部分の上
に薄膜コンデンサ部分を形成し、所定のフィルタが構成
されるように外部端子を設けた複合型LCフィルタに関
する。
[従来の技術] 積層チップインダクタは、磁性材料のフェライトの中に
、積層技術を利用して、内部電極をコイルとして構成し
たもので巻線がなく、ソリッド化したコイルである。こ
の積層チップインダクタをさらに製品展開すれば、コン
デンサCとインダクタLとのLC回路を一素子で形成す
ることが可能である。
このようなSMT実装部品としての積層複合部品の例と
して、特開昭63−76313号公報には、第2図の斜
視図に示すような構成の部品すなわち、積層コンデンサ
部分1と積層コイル部分すなわちインダクタ部分2を1
.それぞれの対向表面部である表面誘電体層と表面磁性
体層とが、これらの中間の焼結特性を有する中間材層3
を介して互いに重畳合体された焼結体からなり、コイル
およびコンデンサ間に所定のLCフィルタとするに必要
な結線を行うための引出し部を設け、かつ、=れら引き
出1.7部を結合・する外部電極端子4とトリミング用
導体5を設けた積層LCフィルタ部品が開示されている
[発明が解決りようとする課題J シ、′h・Lながら、I記誘電体層と磁性体層との間に
、両者の中間の焼結特例を有する中間材層を介在させた
としても、両者の焼結特性の違いから、構造的な破壊に
直接至らないまでも、戎留歪みが残り、この歪みによ−
)で磁性体層のインダクタンス値が変化するという問題
点かあり、設定用娠周波数をjI−確にi謬る」−9で
不都合があった。また近年の高密皮表iMj実装部品に
ついては高さ方向の制約が特に顕δとなっており、上記
誘電体層、中間材層   磁性体 を重   −焼結体
 ε薄型化に限界があるという課題かあった。
したが−ノC1本発明の目的は、従来の中間材層を介4
さゼた積層19.C−フィルタよりもさらにインダクタ
ンス値に五“定性かあり、かつ近年の表面′a[製部品
の高密度化に対応して高さ方向の薄型化を51つ戸:複
へへ9LCフィルりを提供することに港、る。
[課題を解決するだめの手段および作用]本発明名らは
、上記[目的を達成1べく細穴の結果、従来のように中
間相層を介在させなくても、コイルを内蔵L、たインダ
クタ部分すなわち磁性体部分の1−に直接CVD法ある
いはスパッタリング法などで薄膜コンうご〕・ザを形成
して一体化すれば、インダクタ部分に接する誘電体層か
磁性体部分に及ばず歪みは小さく、磁性体部分のインダ
クタンス値が安定18、か・)前記高さノア向の薄型化
に対応できることを見出12、本発明に到達15た。
し、たがっ“ζ、本発明は、コイルを内蔵【5、該コイ
ルの引出t、7部が同門し露出j2ているfaiiイン
ダクタ部分の」に144層あるい(J積層の薄膜コンデ
ンサを直接形成(2、前:i′はフィルの引出1部とコ
ンデ〕、・号の引出15部と外部回路とを所定のフィル
タか構成されるように相r1結合場る外部電極端子り形
成し、でなることを特徴とする腹合型1.(:フィルタ
を提(1(rるものである。
第1図は本発明に係る複合型に、 Cフィルタの基本的
な構造を示す模式断面図であって7″:1イルを内蔵し
たインダクタ部分(磁性体部分) 21−7に誘電体薄
膜11と導電体薄膜]−2を交り、に成膜り、てコンデ
ンサ部分を形成し、さらに外部電極端子4が取り4(1
けられている。
本発明の複へ・型LCフィルタを得るには、コイルを内
蔵する磁性体部分の」LにCVD法あるいはスパッタリ
ング法などによって薄膜コンデンサを形成することによ
って達成でき、インダクタのコイル引出し部と薄膜コン
デンサ電極引出し部と外部回路とを所定)、イルタが構
成されるよ)に相方結合する外部電極端fか形成されて
いる。 さらにこの外部電極端子は磁性体引出し7部と
一部重畳接続する杉で1:、紀/1il@コンデンサ電
極引出り7部を形成するか、あるいは磁性体引出し、部
と誘電体引出し7部とを接続するため別途外部端子とし
5て電極を形成しても良い。
特に、本発明の複合型LCフィルタにおいζは薄膜コン
デンサ部分がCVD法あるいはスパッタリング法などに
よ−λて形成されるので、従来型の同時焼成)ごよ−っ
で得られる誘電体層に比較(、て磁性体部分り、、 4
える歪みが非當に小さいたど)、磁性体部分のインダク
タンス値が変化せず、また、薄膜コンデンサ”部分は厚
さを薄くでき、中間材層も必要とI、ないため複合部品
の厚みを薄くすることか可能になった。
以下、実施例により本発明をさらに説明する。
E実施例] 第う図(a)、(b)および(e)はインダクタ部分の
作製手順を説明するだめの斜視図である。
これらの図を参照して、インダクタ部分の作製の1−順
を以Fに説明する。
中 Ni−Zn−Cu系フェライト粉と、ポリビニルブ
チラール樹脂およびトルエンーエダ、ノール系の溶剤か
らなるビヒクルとをボールミルを用いて混合(7、スラ
リーをつくる。
(2)  スラリ=をドクターブ1、・・−ド法により
塗−1,(1、厚さl0fblAのグリーンシートにす
る。
(■ グリーンシートを所定の大きさに切断1.てグリ
−゛、・シー ト片6吉し27、必要jこ応して25 
DIlm 、、aのスルーホール7を開ける。
に)グリーンシート片6にインダクタの導体パターン8
をAgを主体とするペーストを用いてスクリーン印刷法
により印刷する。この時、スルーホール7はAgペース
トにより埋められる。
通常は多数のインダクタが同時につくられるようにする
が、ここでは説明を簡単にするため一つのインダクタコ
イルについて示した。
■ 導体パターン8を印刷したグリーンシート片6を、
同図(a)のように、所定の順に積層する。
なお導体コイルパターンを形成するグリーンシート群の
上下にはそれぞれ印刷なしのシートを重ねて積層する。
■ 積層されたグリーンシート片を100℃、200k
g/cm2の条件下で圧着して、同図(b)に示す圧着
成形体9を得る(通常は前述のように多数の導体パター
ンが印刷されたものが圧着一体化されるので圧着後切断
して個々のチップ素子に切り離す)。
(D 次いで900℃で1時間焼成して、同図(c)に
示す焼成体10を得る。
次に、コンデンサ部分の作製について第4図の斜視図を
参照して説明する。同図(a)は得られたインダクタ部
分(磁性体部分)の上にコンデンサ部分が薄膜で成膜さ
れる順序を示したものであり、図中の矢印はその順序を
示す。
■ まず磁性体部分2の上にCVD法によりTiO□誘
電体薄膜11を形成する。
(わ 上記T i O2膜上にCVD法により5n02
電極用導電体薄膜12を形成し、不要な部分をエツチン
グにより除去してコンデンサ電極を形成する。
G)上記SnO2膜上にTie2膜11、さらにSnO
□膜12膜上2ぞれCVD法により成膜し、不要な部分
をエツチング除去してコンデンサ電極を形成する。
に)上記SnO2膜の上に同様にしてTiO2膜を形成
する。
■ 成膜が終了した後、同図(b)に示すように、Ag
を主体とする外部電極ペーストを塗布し、焼付けて外部
電極端子4とする。
以上の工程を経て、第1図の模式断面図のような基本構
造をもつ本発明の複合型LCフィルタ部品が得られる。
[発明の効果] CVD法もしくはスパッタリング法で得られた誘電体薄
膜層は、インダクタ部分である磁性体部分に及ぼす歪み
が小さいため、磁性体部分のインダクタンス値の変化が
ない。したがって、本発明に係る複合部品はインダクタ
ンス値が安定しており、共振回路やフィルタなどをつく
った場合、素子の定数が変化しにくく良好な回路安定性
が得られる。また、本発明による複合部品のコンデンサ
部分の厚みは、従来の複合部品と比較して薄くできるた
め複合部品の全厚を薄くすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の一実施例における複合型LCフィル
タの基本的な構造を示す模式断面図である。 第2図は、従来の積層LCフィルタ部品を示す斜視図で
ある。 第3図は、本発明の複合型LCフィルタにおいて、該フ
ィルタのインダクタ部分の作製手順を示す工程図であっ
て、同図(a)は積層順序、同図(b)および(C)は
それぞれ積層シートからの圧着成形体および焼成体を示
す斜視図である。 第4図は、上記インダクタ部分の上に薄膜により成膜さ
れるコンデンサ部分の作製手順を示す工程図であって、
同図(a)は誘電体および導電体の成膜工程、同図(b
)は成膜後、外部電極端子が焼付けられた複合部品をそ
れぞれ示す斜視図である。 符号の説明 1・・・・コンデンサ部分 2・・・・インダクタ部分 3・・・・中間材層 4・・・・外部電極端子 5・・・・トリミング用導体 6・・・・グリーンシート片 7・・・・スルーホール 9・・・圧着成形体 1.1・・・・誘電体R膜 13・・・・コイルの引出(7部 8・・・・導体バタ〜゛/ 10・・・・焼成体 12・・・導電体薄膜 特許出願人  太陽誘電株式会社 代 理 人 弁理j 丸岡政彦 第 第 図 1  コ゛ノテ′ン丈い分 2・・イン92夕も5分 3・・・中間相”層 45yt−令い載ド、羽シi恥否 5  トリくンク゛用等体 11・・・豹電俳、薄」長 12・・・等1目本簿暎 (aン 図 (b) 7す゛ンン・]b ス11./−ホル 嬶1本ハ0タ ノ &Th、IiA形イ支 ・大充へ1斗 〕・イ11/(う5ににし壱1) 第 図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)引出し部を周囲に露出させたコイルを内蔵してな
    る積層インダクタ部分の上に単層あるいは積層の薄膜コ
    ンデンサ部分を形成し、前記コイルの引出し部とコンデ
    ンサの引出し部と外部回路とが所定のフィルタを構成す
    るように相互結合した外部電極端子を有してなる複合型
    LCフィルタ。
  2. (2)前記積層インダクタ上に形成される薄膜コンデン
    サの誘電体薄膜はTiO_2を主成分として500℃以
    下の低温で形成される薄膜である請求項1に記載の複合
    型LCフィルタ。
JP26366590A 1990-10-01 1990-10-01 複合型lcフィルタ Pending JPH04140909A (ja)

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