JPH04140909A - 複合型ｌｃフィルタ - Google Patents
複合型ｌｃフィルタInfo
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- JPH04140909A JPH04140909A JP26366590A JP26366590A JPH04140909A JP H04140909 A JPH04140909 A JP H04140909A JP 26366590 A JP26366590 A JP 26366590A JP 26366590 A JP26366590 A JP 26366590A JP H04140909 A JPH04140909 A JP H04140909A
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Landscapes
- Coils Or Transformers For Communication (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Filters And Equalizers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、積層インダクタと薄膜コンデンサとを一体に
形成した複合型ＬＣフィルタに関する。
形成した複合型ＬＣフィルタに関する。
より詳しくはコイルを内蔵する積層インダクタ部分の上
に薄膜コンデンサ部分を形成し、所定のフィルタが構成
されるように外部端子を設けた複合型ＬＣフィルタに関
する。
に薄膜コンデンサ部分を形成し、所定のフィルタが構成
されるように外部端子を設けた複合型ＬＣフィルタに関
する。
［従来の技術］
積層チップインダクタは、磁性材料のフェライトの中に
、積層技術を利用して、内部電極をコイルとして構成し
たもので巻線がなく、ソリッド化したコイルである。こ
の積層チップインダクタをさらに製品展開すれば、コン
デンサＣとインダクタＬとのＬＣ回路を一素子で形成す
ることが可能である。
、積層技術を利用して、内部電極をコイルとして構成し
たもので巻線がなく、ソリッド化したコイルである。こ
の積層チップインダクタをさらに製品展開すれば、コン
デンサＣとインダクタＬとのＬＣ回路を一素子で形成す
ることが可能である。
このようなＳＭＴ実装部品としての積層複合部品の例と
して、特開昭６３−７６３１３号公報には、第２図の斜
視図に示すような構成の部品すなわち、積層コンデンサ
部分１と積層コイル部分すなわちインダクタ部分２を１
．それぞれの対向表面部である表面誘電体層と表面磁性
体層とが、これらの中間の焼結特性を有する中間材層３
を介して互いに重畳合体された焼結体からなり、コイル
およびコンデンサ間に所定のＬＣフィルタとするに必要
な結線を行うための引出し部を設け、かつ、＝れら引き
出１．７部を結合・する外部電極端子４とトリミング用
導体５を設けた積層ＬＣフィルタ部品が開示されている
。
して、特開昭６３−７６３１３号公報には、第２図の斜
視図に示すような構成の部品すなわち、積層コンデンサ
部分１と積層コイル部分すなわちインダクタ部分２を１
．それぞれの対向表面部である表面誘電体層と表面磁性
体層とが、これらの中間の焼結特性を有する中間材層３
を介して互いに重畳合体された焼結体からなり、コイル
およびコンデンサ間に所定のＬＣフィルタとするに必要
な結線を行うための引出し部を設け、かつ、＝れら引き
出１．７部を結合・する外部電極端子４とトリミング用
導体５を設けた積層ＬＣフィルタ部品が開示されている
。
［発明が解決りようとする課題Ｊ
シ、′ｈ・Ｌながら、Ｉ記誘電体層と磁性体層との間に
、両者の中間の焼結特例を有する中間材層を介在させた
としても、両者の焼結特性の違いから、構造的な破壊に
直接至らないまでも、戎留歪みが残り、この歪みによ−
）で磁性体層のインダクタンス値が変化するという問題
点かあり、設定用娠周波数をｊＩ−確にｉ謬る」−９で
不都合があった。また近年の高密皮表ｉＭｊ実装部品に
ついては高さ方向の制約が特に顕δとなっており、上記
誘電体層、中間材層 磁性体 を重 −焼結体
ε薄型化に限界があるという課題かあった。
、両者の中間の焼結特例を有する中間材層を介在させた
としても、両者の焼結特性の違いから、構造的な破壊に
直接至らないまでも、戎留歪みが残り、この歪みによ−
）で磁性体層のインダクタンス値が変化するという問題
点かあり、設定用娠周波数をｊＩ−確にｉ謬る」−９で
不都合があった。また近年の高密皮表ｉＭｊ実装部品に
ついては高さ方向の制約が特に顕δとなっており、上記
誘電体層、中間材層 磁性体 を重 −焼結体
ε薄型化に限界があるという課題かあった。
したが−ノＣ１本発明の目的は、従来の中間材層を介４
さゼた積層１９．Ｃ−フィルタよりもさらにインダクタ
ンス値に五“定性かあり、かつ近年の表面′ａ［製部品
の高密度化に対応して高さ方向の薄型化を５１つ戸：複
へへ９ＬＣフィルりを提供することに港、る。
さゼた積層１９．Ｃ−フィルタよりもさらにインダクタ
ンス値に五“定性かあり、かつ近年の表面′ａ［製部品
の高密度化に対応して高さ方向の薄型化を５１つ戸：複
へへ９ＬＣフィルりを提供することに港、る。
［課題を解決するだめの手段および作用］本発明名らは
、上記［目的を達成１べく細穴の結果、従来のように中
間相層を介在させなくても、コイルを内蔵Ｌ、たインダ
クタ部分すなわち磁性体部分の１−に直接ＣＶＤ法ある
いはスパッタリング法などで薄膜コンうご〕・ザを形成
して一体化すれば、インダクタ部分に接する誘電体層か
磁性体部分に及ばず歪みは小さく、磁性体部分のインダ
クタンス値が安定１８、か・）前記高さノア向の薄型化
に対応できることを見出１２、本発明に到達１５た。
、上記［目的を達成１べく細穴の結果、従来のように中
間相層を介在させなくても、コイルを内蔵Ｌ、たインダ
クタ部分すなわち磁性体部分の１−に直接ＣＶＤ法ある
いはスパッタリング法などで薄膜コンうご〕・ザを形成
して一体化すれば、インダクタ部分に接する誘電体層か
磁性体部分に及ばず歪みは小さく、磁性体部分のインダ
クタンス値が安定１８、か・）前記高さノア向の薄型化
に対応できることを見出１２、本発明に到達１５た。
し、たがっ“ζ、本発明は、コイルを内蔵【５、該コイ
ルの引出ｔ、７部が同門し露出ｊ２ているｆａｉｉイン
ダクタ部分の」に１４４層あるい（Ｊ積層の薄膜コンデ
ンサを直接形成（２、前：ｉ′はフィルの引出１部とコ
ンデ〕、・号の引出１５部と外部回路とを所定のフィル
タか構成されるように相ｒ１結合場る外部電極端子り形
成し、でなることを特徴とする腹合型１．（：フィルタ
を提（１（ｒるものである。
ルの引出ｔ、７部が同門し露出ｊ２ているｆａｉｉイン
ダクタ部分の」に１４４層あるい（Ｊ積層の薄膜コンデ
ンサを直接形成（２、前：ｉ′はフィルの引出１部とコ
ンデ〕、・号の引出１５部と外部回路とを所定のフィル
タか構成されるように相ｒ１結合場る外部電極端子り形
成し、でなることを特徴とする腹合型１．（：フィルタ
を提（１（ｒるものである。
第１図は本発明に係る複合型に、 Ｃフィルタの基本的
な構造を示す模式断面図であって７″：１イルを内蔵し
たインダクタ部分（磁性体部分） ２１−７に誘電体薄
膜１１と導電体薄膜］−２を交り、に成膜り、てコンデ
ンサ部分を形成し、さらに外部電極端子４が取り４（１
けられている。
な構造を示す模式断面図であって７″：１イルを内蔵し
たインダクタ部分（磁性体部分） ２１−７に誘電体薄
膜１１と導電体薄膜］−２を交り、に成膜り、てコンデ
ンサ部分を形成し、さらに外部電極端子４が取り４（１
けられている。
本発明の複へ・型ＬＣフィルタを得るには、コイルを内
蔵する磁性体部分の」ＬにＣＶＤ法あるいはスパッタリ
ング法などによって薄膜コンデンサを形成することによ
って達成でき、インダクタのコイル引出し部と薄膜コン
デンサ電極引出し部と外部回路とを所定）、イルタが構
成されるよ）に相方結合する外部電極端ｆか形成されて
いる。 さらにこの外部電極端子は磁性体引出し７部と
一部重畳接続する杉で１：、紀／１ｉｌ＠コンデンサ電
極引出り７部を形成するか、あるいは磁性体引出し、部
と誘電体引出し７部とを接続するため別途外部端子とし
５て電極を形成しても良い。
蔵する磁性体部分の」ＬにＣＶＤ法あるいはスパッタリ
ング法などによって薄膜コンデンサを形成することによ
って達成でき、インダクタのコイル引出し部と薄膜コン
デンサ電極引出し部と外部回路とを所定）、イルタが構
成されるよ）に相方結合する外部電極端ｆか形成されて
いる。 さらにこの外部電極端子は磁性体引出し７部と
一部重畳接続する杉で１：、紀／１ｉｌ＠コンデンサ電
極引出り７部を形成するか、あるいは磁性体引出し、部
と誘電体引出し７部とを接続するため別途外部端子とし
５て電極を形成しても良い。
特に、本発明の複合型ＬＣフィルタにおいζは薄膜コン
デンサ部分がＣＶＤ法あるいはスパッタリング法などに
よ−λて形成されるので、従来型の同時焼成）ごよ−っ
で得られる誘電体層に比較（、て磁性体部分り、、 ４
える歪みが非當に小さいたど）、磁性体部分のインダク
タンス値が変化せず、また、薄膜コンデンサ”部分は厚
さを薄くでき、中間材層も必要とＩ、ないため複合部品
の厚みを薄くすることか可能になった。
デンサ部分がＣＶＤ法あるいはスパッタリング法などに
よ−λて形成されるので、従来型の同時焼成）ごよ−っ
で得られる誘電体層に比較（、て磁性体部分り、、 ４
える歪みが非當に小さいたど）、磁性体部分のインダク
タンス値が変化せず、また、薄膜コンデンサ”部分は厚
さを薄くでき、中間材層も必要とＩ、ないため複合部品
の厚みを薄くすることか可能になった。
以下、実施例により本発明をさらに説明する。
Ｅ実施例］
第う図（ａ）、（ｂ）および（ｅ）はインダクタ部分の
作製手順を説明するだめの斜視図である。
作製手順を説明するだめの斜視図である。
これらの図を参照して、インダクタ部分の作製の１−順
を以Ｆに説明する。
を以Ｆに説明する。
中 Ｎｉ−Ｚｎ−Ｃｕ系フェライト粉と、ポリビニルブ
チラール樹脂およびトルエンーエダ、ノール系の溶剤か
らなるビヒクルとをボールミルを用いて混合（７、スラ
リーをつくる。
チラール樹脂およびトルエンーエダ、ノール系の溶剤か
らなるビヒクルとをボールミルを用いて混合（７、スラ
リーをつくる。
（２） スラリ＝をドクターブ１、・・−ド法により
塗−１，（１、厚さｌ０ｆｂｌＡのグリーンシートにす
る。
塗−１，（１、厚さｌ０ｆｂｌＡのグリーンシートにす
る。
（■ グリーンシートを所定の大きさに切断１．てグリ
−゛、・シー ト片６吉し２７、必要ｊこ応して２５
ＤＩｌｍ 、、ａのスルーホール７を開ける。
−゛、・シー ト片６吉し２７、必要ｊこ応して２５
ＤＩｌｍ 、、ａのスルーホール７を開ける。
に）グリーンシート片６にインダクタの導体パターン８
をＡｇを主体とするペーストを用いてスクリーン印刷法
により印刷する。この時、スルーホール７はＡｇペース
トにより埋められる。
をＡｇを主体とするペーストを用いてスクリーン印刷法
により印刷する。この時、スルーホール７はＡｇペース
トにより埋められる。
通常は多数のインダクタが同時につくられるようにする
が、ここでは説明を簡単にするため一つのインダクタコ
イルについて示した。
が、ここでは説明を簡単にするため一つのインダクタコ
イルについて示した。
■ 導体パターン８を印刷したグリーンシート片６を、
同図（ａ）のように、所定の順に積層する。
同図（ａ）のように、所定の順に積層する。
なお導体コイルパターンを形成するグリーンシート群の
上下にはそれぞれ印刷なしのシートを重ねて積層する。
上下にはそれぞれ印刷なしのシートを重ねて積層する。
■ 積層されたグリーンシート片を１００℃、２００ｋ
ｇ／ｃｍ２の条件下で圧着して、同図（ｂ）に示す圧着
成形体９を得る（通常は前述のように多数の導体パター
ンが印刷されたものが圧着一体化されるので圧着後切断
して個々のチップ素子に切り離す）。
ｇ／ｃｍ２の条件下で圧着して、同図（ｂ）に示す圧着
成形体９を得る（通常は前述のように多数の導体パター
ンが印刷されたものが圧着一体化されるので圧着後切断
して個々のチップ素子に切り離す）。
（Ｄ 次いで９００℃で１時間焼成して、同図（ｃ）に
示す焼成体１０を得る。
示す焼成体１０を得る。
次に、コンデンサ部分の作製について第４図の斜視図を
参照して説明する。同図（ａ）は得られたインダクタ部
分（磁性体部分）の上にコンデンサ部分が薄膜で成膜さ
れる順序を示したものであり、図中の矢印はその順序を
示す。
参照して説明する。同図（ａ）は得られたインダクタ部
分（磁性体部分）の上にコンデンサ部分が薄膜で成膜さ
れる順序を示したものであり、図中の矢印はその順序を
示す。
■ まず磁性体部分２の上にＣＶＤ法によりＴｉＯ□誘
電体薄膜１１を形成する。
電体薄膜１１を形成する。
（わ 上記Ｔ ｉ Ｏ２膜上にＣＶＤ法により５ｎ０２
電極用導電体薄膜１２を形成し、不要な部分をエツチン
グにより除去してコンデンサ電極を形成する。
電極用導電体薄膜１２を形成し、不要な部分をエツチン
グにより除去してコンデンサ電極を形成する。
Ｇ）上記ＳｎＯ２膜上にＴｉｅ２膜１１、さらにＳｎＯ
□膜１２膜上２ぞれＣＶＤ法により成膜し、不要な部分
をエツチング除去してコンデンサ電極を形成する。
□膜１２膜上２ぞれＣＶＤ法により成膜し、不要な部分
をエツチング除去してコンデンサ電極を形成する。
に）上記ＳｎＯ２膜の上に同様にしてＴｉＯ２膜を形成
する。
する。
■ 成膜が終了した後、同図（ｂ）に示すように、Ａｇ
を主体とする外部電極ペーストを塗布し、焼付けて外部
電極端子４とする。
を主体とする外部電極ペーストを塗布し、焼付けて外部
電極端子４とする。
以上の工程を経て、第１図の模式断面図のような基本構
造をもつ本発明の複合型ＬＣフィルタ部品が得られる。
造をもつ本発明の複合型ＬＣフィルタ部品が得られる。
［発明の効果］
ＣＶＤ法もしくはスパッタリング法で得られた誘電体薄
膜層は、インダクタ部分である磁性体部分に及ぼす歪み
が小さいため、磁性体部分のインダクタンス値の変化が
ない。したがって、本発明に係る複合部品はインダクタ
ンス値が安定しており、共振回路やフィルタなどをつく
った場合、素子の定数が変化しにくく良好な回路安定性
が得られる。また、本発明による複合部品のコンデンサ
部分の厚みは、従来の複合部品と比較して薄くできるた
め複合部品の全厚を薄くすることが可能となる。
膜層は、インダクタ部分である磁性体部分に及ぼす歪み
が小さいため、磁性体部分のインダクタンス値の変化が
ない。したがって、本発明に係る複合部品はインダクタ
ンス値が安定しており、共振回路やフィルタなどをつく
った場合、素子の定数が変化しにくく良好な回路安定性
が得られる。また、本発明による複合部品のコンデンサ
部分の厚みは、従来の複合部品と比較して薄くできるた
め複合部品の全厚を薄くすることが可能となる。
第１図は、本発明の一実施例における複合型ＬＣフィル
タの基本的な構造を示す模式断面図である。 第２図は、従来の積層ＬＣフィルタ部品を示す斜視図で
ある。 第３図は、本発明の複合型ＬＣフィルタにおいて、該フ
ィルタのインダクタ部分の作製手順を示す工程図であっ
て、同図（ａ）は積層順序、同図（ｂ）および（Ｃ）は
それぞれ積層シートからの圧着成形体および焼成体を示
す斜視図である。 第４図は、上記インダクタ部分の上に薄膜により成膜さ
れるコンデンサ部分の作製手順を示す工程図であって、
同図（ａ）は誘電体および導電体の成膜工程、同図（ｂ
）は成膜後、外部電極端子が焼付けられた複合部品をそ
れぞれ示す斜視図である。 符号の説明 １・・・・コンデンサ部分 ２・・・・インダクタ部分 ３・・・・中間材層 ４・・・・外部電極端子 ５・・・・トリミング用導体 ６・・・・グリーンシート片 ７・・・・スルーホール ９・・・圧着成形体 １．１・・・・誘電体Ｒ膜 １３・・・・コイルの引出（７部 ８・・・・導体バタ〜゛／ １０・・・・焼成体 １２・・・導電体薄膜 特許出願人 太陽誘電株式会社 代 理 人 弁理ｊ 丸岡政彦 第 第 図 １ コ゛ノテ′ン丈い分 ２・・イン９２夕も５分 ３・・・中間相”層 ４５ｙｔ−令い載ド、羽シｉ恥否 ５ トリくンク゛用等体 １１・・・豹電俳、薄」長 １２・・・等１目本簿暎 （ａン 図 （ｂ） ７す゛ンン・］ｂ ス１１．／−ホル 嬶１本ハ０タ ノ ＆Ｔｈ、ＩｉＡ形イ支 ・大充へ１斗 〕・イ１１／（う５ににし壱１） 第 図
タの基本的な構造を示す模式断面図である。 第２図は、従来の積層ＬＣフィルタ部品を示す斜視図で
ある。 第３図は、本発明の複合型ＬＣフィルタにおいて、該フ
ィルタのインダクタ部分の作製手順を示す工程図であっ
て、同図（ａ）は積層順序、同図（ｂ）および（Ｃ）は
それぞれ積層シートからの圧着成形体および焼成体を示
す斜視図である。 第４図は、上記インダクタ部分の上に薄膜により成膜さ
れるコンデンサ部分の作製手順を示す工程図であって、
同図（ａ）は誘電体および導電体の成膜工程、同図（ｂ
）は成膜後、外部電極端子が焼付けられた複合部品をそ
れぞれ示す斜視図である。 符号の説明 １・・・・コンデンサ部分 ２・・・・インダクタ部分 ３・・・・中間材層 ４・・・・外部電極端子 ５・・・・トリミング用導体 ６・・・・グリーンシート片 ７・・・・スルーホール ９・・・圧着成形体 １．１・・・・誘電体Ｒ膜 １３・・・・コイルの引出（７部 ８・・・・導体バタ〜゛／ １０・・・・焼成体 １２・・・導電体薄膜 特許出願人 太陽誘電株式会社 代 理 人 弁理ｊ 丸岡政彦 第 第 図 １ コ゛ノテ′ン丈い分 ２・・イン９２夕も５分 ３・・・中間相”層 ４５ｙｔ−令い載ド、羽シｉ恥否 ５ トリくンク゛用等体 １１・・・豹電俳、薄」長 １２・・・等１目本簿暎 （ａン 図 （ｂ） ７す゛ンン・］ｂ ス１１．／−ホル 嬶１本ハ０タ ノ ＆Ｔｈ、ＩｉＡ形イ支 ・大充へ１斗 〕・イ１１／（う５ににし壱１） 第 図
Claims (2)
- （１）引出し部を周囲に露出させたコイルを内蔵してな
る積層インダクタ部分の上に単層あるいは積層の薄膜コ
ンデンサ部分を形成し、前記コイルの引出し部とコンデ
ンサの引出し部と外部回路とが所定のフィルタを構成す
るように相互結合した外部電極端子を有してなる複合型
ＬＣフィルタ。 - （２）前記積層インダクタ上に形成される薄膜コンデン
サの誘電体薄膜はＴｉＯ＿２を主成分として５００℃以
下の低温で形成される薄膜である請求項１に記載の複合
型ＬＣフィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26366590A JPH04140909A (ja) | 1990-10-01 | 1990-10-01 | 複合型ｌｃフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26366590A JPH04140909A (ja) | 1990-10-01 | 1990-10-01 | 複合型ｌｃフィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04140909A true JPH04140909A (ja) | 1992-05-14 |
Family
ID=17392635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26366590A Pending JPH04140909A (ja) | 1990-10-01 | 1990-10-01 | 複合型ｌｃフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04140909A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0853048A (ja) * | 1994-06-06 | 1996-02-27 | Delco Electronics Corp | 車両用保安装置 |
| JP2006311203A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Tdk Corp | Ｌｃ複合部品及びその製造方法 |
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