JPH0412561A - Ic用リードフレーム - Google Patents
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- JPH0412561A JPH0412561A JP2115208A JP11520890A JPH0412561A JP H0412561 A JPH0412561 A JP H0412561A JP 2115208 A JP2115208 A JP 2115208A JP 11520890 A JP11520890 A JP 11520890A JP H0412561 A JPH0412561 A JP H0412561A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
(産業上の利用分野)
この発明は、特にM CP (−ulti chipp
ackage)等における封止型のIC用リードフレー
ムに関する。
ackage)等における封止型のIC用リードフレー
ムに関する。
(従来の技術)
M CP (multi chip package)
は複数の封止前の半導体チップ(ペアチップ)が同一基
板上に搭載され、1パツケージ化されるものである。こ
の場合のIC用リードフレームは複雑化されるのは必須
であり、リードフレームのベッドを支持スるつりピンも
微細化を考慮して1本であることが多い。
は複数の封止前の半導体チップ(ペアチップ)が同一基
板上に搭載され、1パツケージ化されるものである。こ
の場合のIC用リードフレームは複雑化されるのは必須
であり、リードフレームのベッドを支持スるつりピンも
微細化を考慮して1本であることが多い。
第3図は上記のような従来のIC用リードフレームの上
面図である。11は図示しないペアチップが搭載される
リードフレームのベッド、12は、このベッド11を支
持する一本のつりピン、13はチップとワイヤボンディ
ングされるリードフレームのリードである。
面図である。11は図示しないペアチップが搭載される
リードフレームのベッド、12は、このベッド11を支
持する一本のつりピン、13はチップとワイヤボンディ
ングされるリードフレームのリードである。
このようなリードフレームにおけるボンディング工程に
おいて、ベッド11にペアチップがダイボンディングさ
れ、リード13とワイヤボンディングされる際、治具1
4によって固定される。治具14は例えばベッド11及
びその周囲のり一ド13を露出させ、回りを押さえる枠
形である。この治具14とリードフレームの下に存在す
るヒータプレート(図示せず)とでリード13およびつ
りピン14を挾むように固定する。
おいて、ベッド11にペアチップがダイボンディングさ
れ、リード13とワイヤボンディングされる際、治具1
4によって固定される。治具14は例えばベッド11及
びその周囲のり一ド13を露出させ、回りを押さえる枠
形である。この治具14とリードフレームの下に存在す
るヒータプレート(図示せず)とでリード13およびつ
りピン14を挾むように固定する。
しかしながら、上記つりピン12が一片側一本のみの構
成では、治具14で押さえてもベッド11が十分に固定
されない。この結果、ボンディング工程の際、ベッド1
1が揺れ動いてしまい、ボンディング不良を起こす部分
が多く、ボンディング性を非常に悪くしていた。
成では、治具14で押さえてもベッド11が十分に固定
されない。この結果、ボンディング工程の際、ベッド1
1が揺れ動いてしまい、ボンディング不良を起こす部分
が多く、ボンディング性を非常に悪くしていた。
(発明が解決しようとする課題)
このように従来ではリードフレームのベッドを支持する
つりピンが片側−本のみの構成では、ボンディング工程
の際、治具の押さえが不十分になり、ボンディング性が
非常に悪いという欠点がある。
つりピンが片側−本のみの構成では、ボンディング工程
の際、治具の押さえが不十分になり、ボンディング性が
非常に悪いという欠点がある。
この発明は上記のような事情を考慮してなされたもので
あり、その目的は、ボンディング性を飛躍的に向上させ
るIC用リードフレームを提供することにある。
あり、その目的は、ボンディング性を飛躍的に向上させ
るIC用リードフレームを提供することにある。
[発明の構成コ
(課題を解決するための手段)
この発明のIC用リードフレームは、半導体チップが固
着されるリードフレームのべ・ンドと、前記ベッドの周
囲に配置された複数のリードフレームのリードと、ボン
ディング工程時、前記リードフレームを押さえる治具に
前記リードと共に押さえられるように前記ベッドよりリ
ード間に伸び、かつアウタリードに繋がらないように設
けられたベッド支持用の補助ピンとから構成される。
着されるリードフレームのべ・ンドと、前記ベッドの周
囲に配置された複数のリードフレームのリードと、ボン
ディング工程時、前記リードフレームを押さえる治具に
前記リードと共に押さえられるように前記ベッドよりリ
ード間に伸び、かつアウタリードに繋がらないように設
けられたベッド支持用の補助ピンとから構成される。
(作用)
この発明ではリードフレームのベッドを支持するつりピ
ン以外にベッド支持用の補助ピンを設ける。これにより
、設計上つりピンが1本しか形成できないMCP等のボ
ンディング工程において、強度が大きくなり、ベッドが
動かないように十分に固定される。
ン以外にベッド支持用の補助ピンを設ける。これにより
、設計上つりピンが1本しか形成できないMCP等のボ
ンディング工程において、強度が大きくなり、ベッドが
動かないように十分に固定される。
(実施例)
以下、図面を参照してこの発明を実施例により説明する
。
。
第1図はこの発明のIC用リードフレームの上面図であ
り、例えば、M CP (multi chippac
kage)タイプのリードフレームを示す。設計上、複
数のペアチップが同一基板上に搭載される。よって、リ
ードフレームの微細化のため、また、リードフレームの
複雑化をさけるため、リードフレームのベッドを支持す
るつりピンは1本である。
り、例えば、M CP (multi chippac
kage)タイプのリードフレームを示す。設計上、複
数のペアチップが同一基板上に搭載される。よって、リ
ードフレームの微細化のため、また、リードフレームの
複雑化をさけるため、リードフレームのベッドを支持す
るつりピンは1本である。
図において、■は図示しないペアチップが搭載されるリ
ードフレームのベッド、2は、このベッドlを支持する
一本のつりピン、3はチップとワイヤボンディングされ
るリードフレームのリードである。また、4は上記つり
ピン2以外にリードフレームのベッドlを支持するよう
に、ベッドlよりリード3間に伸びるように設けられた
ベッド支持用の補助ピンである。
ードフレームのベッド、2は、このベッドlを支持する
一本のつりピン、3はチップとワイヤボンディングされ
るリードフレームのリードである。また、4は上記つり
ピン2以外にリードフレームのベッドlを支持するよう
に、ベッドlよりリード3間に伸びるように設けられた
ベッド支持用の補助ピンである。
このようなリードフレームにおけるボンディング工程に
おいて、ベッド1にペアチップ(図示せず)がダイボン
ディングされ、リード3とワイヤボンディングされる。
おいて、ベッド1にペアチップ(図示せず)がダイボン
ディングされ、リード3とワイヤボンディングされる。
この際、ベッド1及びその周囲のり一ド3を露出させて
その回りを押さえる治具5は、補助ピン4の先端部をも
押さえるようになる。つまり、治具5とリードフレーム
の下に存在するヒータプレート(図示せず)とで挟むよ
うにリード3とつりピン2及び補助ピン4が固定される
ように構成されている。
その回りを押さえる治具5は、補助ピン4の先端部をも
押さえるようになる。つまり、治具5とリードフレーム
の下に存在するヒータプレート(図示せず)とで挟むよ
うにリード3とつりピン2及び補助ピン4が固定される
ように構成されている。
上記構成によれば、つりピン2が1本しかないベッドで
も、対向するつりピン2がない側にベッド支持用の補助
ピン4を設けるので、ボンディング工程において、強度
が大きくなり、ベッドが動かないように十分に固定され
る。なお、この補助ピン4を設ける際、封止後、アウタ
リードと共にはみ出さないように長さを考慮する必要が
ある。
も、対向するつりピン2がない側にベッド支持用の補助
ピン4を設けるので、ボンディング工程において、強度
が大きくなり、ベッドが動かないように十分に固定され
る。なお、この補助ピン4を設ける際、封止後、アウタ
リードと共にはみ出さないように長さを考慮する必要が
ある。
また、第2図に示す構成では、ベッド1がり一ドlの1
本と接続され、実質的にはつりピンが2本になる構成の
ものであるが、この図のようにベッドの固定に不足な箇
所になっていれば、やはり第1図と同様にベッド支持用
の補助ピン4を設ければよい。
本と接続され、実質的にはつりピンが2本になる構成の
ものであるが、この図のようにベッドの固定に不足な箇
所になっていれば、やはり第1図と同様にベッド支持用
の補助ピン4を設ければよい。
[発明の効果]
以上説明したようにこの発明によれば、リ−ドフレーム
のベッドを支持するつりピン以外にベッド支持用の補助
ピンを設けるので、ボンディング工程において強度が大
きくなり、ベッドが動かないように十分に固定される。
のベッドを支持するつりピン以外にベッド支持用の補助
ピンを設けるので、ボンディング工程において強度が大
きくなり、ベッドが動かないように十分に固定される。
これにより、ボンディング性が飛躍的に向上するIc用
リードフレームを提供することができる。
リードフレームを提供することができる。
第1図はこの発明のIC用リードフレームの上面図、第
2図はこの発明のIC用リードフレームの上面図、第3
図は従来のIC用リードフレームの上面図である。 ■・・・リードフレームのベッド、 2・・・つりピン
、3・・・リードフレームのリード、 4・・・補助ピ
ン。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦
2図はこの発明のIC用リードフレームの上面図、第3
図は従来のIC用リードフレームの上面図である。 ■・・・リードフレームのベッド、 2・・・つりピン
、3・・・リードフレームのリード、 4・・・補助ピ
ン。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 半導体チップが固着されるリードフレームのベッドと
、 前記ベッドの周囲に配置された複数のリードフレームの
リードと、 ボンディング工程時、前記リードフレームを押さえる治
具に前記リードと共に押さえられるように前記ベッドよ
りリード間に伸び、かつアウタリードに繋がらないよう
に設けられたベッド支持用の補助ピンと を具備したことを特徴とするIC用リードフレーム。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2115208A JPH0412561A (ja) | 1990-05-02 | 1990-05-02 | Ic用リードフレーム |
KR1019910006925A KR910020875A (ko) | 1990-05-02 | 1991-04-30 | Ic용 리드프레임 |
EP19910107128 EP0455245A3 (en) | 1990-05-02 | 1991-05-02 | Ic lead frame appropriate for multi-chip package |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2115208A JPH0412561A (ja) | 1990-05-02 | 1990-05-02 | Ic用リードフレーム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0412561A true JPH0412561A (ja) | 1992-01-17 |
Family
ID=14657040
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2115208A Pending JPH0412561A (ja) | 1990-05-02 | 1990-05-02 | Ic用リードフレーム |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0455245A3 (ja) |
JP (1) | JPH0412561A (ja) |
KR (1) | KR910020875A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5724726A (en) * | 1992-06-05 | 1998-03-10 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method of making leadframe for lead-on-chip (LOC) semiconductor device |
US8337929B2 (en) | 2007-11-20 | 2012-12-25 | Kao Corporation | Packaged coffee beverage |
US8840948B2 (en) | 2010-10-05 | 2014-09-23 | Kao Corporation | Concentrated coffee composition and method of producing same |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7936053B2 (en) * | 2005-11-17 | 2011-05-03 | Stats Chippac Ltd. | Integrated circuit package system with lead structures including a dummy tie bar |
DE102007003182B4 (de) | 2007-01-22 | 2019-11-28 | Snaptrack Inc. | Elektrisches Bauelement |
CN104443840B (zh) * | 2014-10-15 | 2016-11-30 | 苏州速腾电子科技有限公司 | 一种芯片储运治具用定位件夹具 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0777252B2 (ja) * | 1986-12-11 | 1995-08-16 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置用リ−ドフレ−ム |
JP2536290B2 (ja) * | 1987-01-19 | 1996-09-18 | 日本電装株式会社 | リ−ドフレ−ム |
JPH0754841B2 (ja) * | 1987-04-13 | 1995-06-07 | サンケン電気株式会社 | 絶縁物封止型回路装置 |
JPS6433955A (en) * | 1987-07-30 | 1989-02-03 | Matsushita Electronics Corp | Lead frame |
JPH01171258A (ja) * | 1987-12-25 | 1989-07-06 | Mitsubishi Electric Corp | リードフレーム |
JP2649251B2 (ja) * | 1988-05-12 | 1997-09-03 | イビデン株式会社 | 電子部品搭載用基板 |
-
1990
- 1990-05-02 JP JP2115208A patent/JPH0412561A/ja active Pending
-
1991
- 1991-04-30 KR KR1019910006925A patent/KR910020875A/ko not_active Application Discontinuation
- 1991-05-02 EP EP19910107128 patent/EP0455245A3/en not_active Withdrawn
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5724726A (en) * | 1992-06-05 | 1998-03-10 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method of making leadframe for lead-on-chip (LOC) semiconductor device |
US5900582A (en) * | 1992-06-05 | 1999-05-04 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Lead frame including frame-cutting slit for lead-on-chip (LOC) semiconductor device and semiconductor device incorporating the lead frame |
US8337929B2 (en) | 2007-11-20 | 2012-12-25 | Kao Corporation | Packaged coffee beverage |
US8840948B2 (en) | 2010-10-05 | 2014-09-23 | Kao Corporation | Concentrated coffee composition and method of producing same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR910020875A (ko) | 1991-12-20 |
EP0455245A2 (en) | 1991-11-06 |
EP0455245A3 (en) | 1993-01-07 |
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