JPH03163858A - 樹脂封止型半導体装置 - Google Patents

樹脂封止型半導体装置

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JPH03163858A
JPH03163858A JP2173065A JP17306590A JPH03163858A JP H03163858 A JPH03163858 A JP H03163858A JP 2173065 A JP2173065 A JP 2173065A JP 17306590 A JP17306590 A JP 17306590A JP H03163858 A JPH03163858 A JP H03163858A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的コ (産業上の利用分野) この発明はサイズか非常に小さい半導体チップをパッケ
ージ内に封止する樹脂封止型半導体装置に関する。
(従来の技術) 半導体チップサイズの縮小化は素子の微細化に伴って向
上してきた。一般にサイズの小さい半導体チップほど機
械的応力が小さく破損しにくい。
また、大きいものに比べて温度環境の変化にも信頼性が
高く、コスト的にみても安価でできる。さらに、高速動
作、低消費電力等、電気的特性に優れたものが実現でき
る。
第6図は前記のような特長をもつ非常に小さい半導体チ
ップを樹脂封止した従来の半導体装置の断面図である。
リードフレームのベッドcl上に半導体チップ62がダ
イボンディングされ、リードフレームのリード63とチ
ップ62上の電極パツド64とがボンディングワイヤ6
5により接続され、モールド樹脂66により封止されて
いる。リードフレームの加工寸法に限度があるため、図
示のように非常に小さい半導体チップ62に対してリー
ド63を充分に接近して配置することができず、ボンデ
ィングワイヤ65は必然的に長くなる。
すると、樹脂封止前には正常な位置にあるボンディング
ワイヤ65も樹脂封止後には樹脂封止時の圧力によって
破線Aのようにワイヤ流れを起こしまい、他のボンディ
ングワイヤと接触して不良品になることが少なくない。
そこで、このような問題を舶′決する1つの手段として
は第7図の断面図に示すようにチップ62とリードB3
との間をT A B ( tape automate
dbonding )方式によるTABテープ67で接
続するものが知られている。TABテープ67は樹脂封
止時の圧力にも耐えることができ、変形することはない
。しかし、TAB方式の場合、ボンディングの際、チッ
プのエッジ部分と接触しな・いように、また、圧着動作
でチップ側にダメージを与えないようにチップ62の電
極パッド64上にバンプ(突起電極)68を形成する必
要があり、このバンプ68を形成する特殊な装置を必要
とする。このため、製造工程上の設備投資がコスト高に
つながり、売価の小さい製品にこのTAB方式を採用す
ることは経済的に困難である。
(発明が解決しようとする課題) このように従来では、サイズが非常に小さい半導体チッ
プを樹脂封正により製品化する場合、リードフレームの
加工寸法に限度があって、ボンディングワイヤが長くな
る。このため、樹脂封止時においてワイヤ流れ等が生じ
て不良が発生しゃすくなる。この対処策としてチップの
電極パッドとリードとのボンディングはTAB方式が採
用される。しかし、特に売価の小さい製品にこのTAB
方式を採用することは製造工程上の設備投資にコストが
かかることになり経済的に問題かある。
この発明は上記のような事情を考慮してなされたちので
あり、その目的は、安価で、信軸性が高<、量産性に富
む樹脂封止型半導体装置を堤供す5 ることにある。
[発明の構或] (課題を解決するための手段) この発明の樹脂封止型半導体装置は、複数個の電極が表
面上に配設された半導体チップと、前記半導体チップが
固着されるべッドと、前記ベッドの表面もしくは裏面の
周辺部に、ベッドからはみ出すように固定され、表面に
配線パターンが形成された絶縁配線基板と、前記ベッド
の周囲に配置された複数のリードフレームと、前記半導
体チップの表面上に配設された電極と前記絶縁配線基板
の表面に形成された配線パターンの一方端部とを接続す
る第1の接続手段と、前記リードフレームと前記絶縁配
線基板の表面に形成された配線バターンの他方端部とを
接続する第2の接続手段とから構成される。
また、この発明の樹脂封止型半導体装置は、複数個の電
極が表面上に配設された半導体チップと前記半導体チッ
プが固着されるべッドと、前記半導体チップ周辺に隣接
して前記ベッド上に固定さ6 れ、表面に配線パターンを有して前記電極と配線される
絶縁配線基板と、前記ベッドの周囲に配置された複数の
リードフレームと、前記絶縁配線基板内の配線パターン
と前記リードフレームとが接続されるフィルムキャリャ
方式の配線とを具備したことを特徴としている。
(作用) この発明では、ベッドからはみ出すように固定され、表
面に配線パターンが形成された絶縁配線基板により、ベ
ッドとリードフレームのり一ドまでの間隔をうめる。こ
れにより、半導体チップの電極パッドと絶縁配線基板と
の間は短くなり、TAB方式を採用しなくてもワイヤボ
ンディングによる接続て信頼性は十分となる。従って、
チップの電極パッド上に、TAB方式採用時に必要なバ
ンプ(突起電極)を形戊することもないので、製造コス
トが低減する。
また、絶縁配線基板とリードとの接続にはTAB方式を
採用してもよい。この場合、バンプを形成する必要がな
いため、それ程コスト高にはならず、むしろ量産性向上
に寄与する。これを応用して、マルチチップパッケージ
(MCP)の半導体装置等において、絶縁配線基板とリ
ードとの接続をTAB方式にすれば、多ピン構造のMC
Pに対し、信頼性、量産性の向上をもたらす。
(実施例) 以下、図面を参照してこの発明を実施例により説明する
第1図はこの発明の樹脂封止型半導体装置の構成を示す
断面図である。リードフレームのベッド1上に半導体チ
ップlがはんだ等でダイボンディングされている。ベッ
ド1の表面の端部には絶縁配線基板3がベッドlからは
み出すようにベッドI上に固定されている。この絶縁配
線裁板3上には所望の配線パターンが形成されており、
この基板3上の配線は加工寸法上これ以上接近すること
ができないリードフレームのリード4とチップ2とを接
続するために使用される。チップ2上の複数の人出力電
姓バッド5のそれぞれは、絶縁配線基板3上に形成され
ている図示しない複数の配線パターンの1つの一方の接
続端6に、ボンディングワイヤ7により接続されている
。また、絶縁配線基板3上の他方の接続端8はリ一ド4
とTABテープ9により接続されている。そして、絶縁
配線基板3を含む半導体チップ2周辺全体がモールド樹
脂10で覆われ、リード4の一部がアウターリードとし
て外部に露出されている。
上記実施例によれば、非常にサイズの小さい半導体チッ
プ2を樹脂封止して製品化しても、ボンディングワイヤ
7の距離か短いので、樹脂封止時の圧力でボンディング
ワイヤーが変形してもシヨート等の恐れはなく、信頼性
に影響を及ぼすことはない。よって、ワイヤボンディン
グで接続しても十分歩留り良くできる。しかも、チップ
2と絶縁配線基板3とはボンディングワイヤ7により接
続されるので、半導体チップ2の人出力電極パッド5上
にバンプ(突起電極)を形成する特殊な装置を必要とし
ない。従って、新規に設備する装置としてはTABテー
プ9による接続の絶縁配線基板3とリ一ド4とを接続す
るO L B (outer lead9 bonding )装置だけである。この結果、製造工
程上の設備投資が削減できる。
従って、電極パッド5にバンプを形成し、リード4とを
T−ABテープによって接続することが経済的に困難な
売価の小さい製品では、絶縁配線基板3を設けることに
よって安価で信頼性のあるものができる。
また、絶縁配線基板3とリード4との接続はTAB方式
を採用して量産性を高めることができる。この場合、バ
ンプを形成する必要がないため、それ程コスト高にはな
らない。
なお、チップ2と絶縁配線基板3との電気的接続、絶縁
配線基板3とリ一ド4との電気的接続は上記実施例に限
定されない。例えば、第2図に示すように絶縁配線基板
3とリード4とはボンディングワイヤ11で接続するこ
とも考えられる。また、第3図に示すように絶縁配線基
板3とリード4との電気的接続は、絶縁配線基板3の裏
面にコンタクト部12を形成し、ワイヤレスボンディン
グするようにしてもよい。このように、半導体チップに
10 合わせて最適なボンディングが行われるようにすればよ
い。また、ベッド1が小さく絶縁配線基板3を固定する
余裕がない場合などはベッド1の表面上でなく、裏面に
固着するなど種々の応用が可能である。
第4図はこの発明の他の実施例を示す構成図であり、前
記第1図の構成をM C P (mulN chipp
ackage )に応用したものである。
つりピン20で固定された各リードフレームのベッド2
1〜24上には各半導体チップ25〜3lが適当なレイ
アウトでダイボンディングされている。絶縁配線基板3
2〜35が各半導体チップ周辺に隣接するように、この
ベッド21〜24上にそれぞれ固定されている。この絶
縁配線基板32〜35上にはそれぞれ所望の配線パター
ンが形成されており、これらの配線パターンは加工寸法
上これ以上接近することができないリードフレームのリ
ード36とチップ25〜3lそれぞれとの電気的な接続
をするため、または、チップ25〜31それぞれが互い
に接続関係を持つために使用される。チップ25〜3l
それぞれの表11 面上に形成されている複数の入出力電極パッド37のそ
れぞれは、各絶縁配線基板82〜35上に形成されてい
る複数の配線パターンそれぞれのチップ側の接続端38
に、ボンディングワイヤ39によって接続されている.
J糺線パターンそれぞれの基板周縁側端部は他の絶縁h
己線基板の配線パターンの一つと接続関係を持つJうに
、また、リードフレームのリード3U= U気的1接続
関係を持つように構威される。前者は例えばVンディン
グワイヤ40により行われる。しかし、後者にはTAB
方式を採用し、TABテープ4lにより前記各配線パタ
ーンと各リード3Bが接続される。”lA.Bテープ4
lは、例えばポリイミド樹脂フィルム4 ヒにおいて、
リードフレームのりード36に対応−    j二銅メ
ッキのリード線43が形戊されてい,.ものである。そ
して、絶縁配線基板32〜35の配紅パターンそれぞれ
の基板周縁側端部と、それに幻,うするリードフレーム
のり一ド36とを一括接合さ゛る。
第5図は上記第4図のような1成を樹脂封止したMCP
の断面図である。第5l;と同一の箇所に12 は同一の符号を付して示している。このように、絶縁配
線基板間やチップと絶縁配線基板とはワイヤボンディン
グされ、絶縁配線基板とそれぞれのり一ド36とはTA
Bテープ4lにより接続され、モールド樹脂51により
封止されている。このような構或によれば、第1図の構
或と同様にバンプを形成する必要がないため、それ程コ
スト高にはならず、リード36の数が非常に多い多ビン
構造のMCPに対し、信頼性、量産性の向上をもたらす
[発明の効果] 以上説明したようにこの発明によれば、安価でも、信頼
性の高い樹脂封止型半導体装置が提供できる。また、特
にマルチチップパッケージにおいては、信頼性、量産性
の向上が達成できる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例による構或の断面図、第2
図及び第3図はそれぞれこの発明の応用例による構成の
断面図、第4図はこの発明の他の実施例を示す構成図、
第5図は第4図のような構成を樹脂封11シたマルチチ
ップパッケージの断1 3 面図、第6図及び第7図はそれぞれ従来の樹脂封止型半
導体装置の構成を示す断面図である。 1 ,  21.  22,  23. 24・・・リ
ードフレームのベッド、2 , 25. 2B, 27
, 28, 29, 30, , 31・・・半導体チ
ップ、3 , 32, 33, 34. 35・・・絶
縁配線基板、4,36・・・リードフレームのリード、
5 . 37・・・人出力電極パッド、8,8.38・
・・接続端、7 , 39.40・・・ボンディングワ
イヤ、9 . 41・・・TABテープ、10. 51
・・・モールド樹脂、20・・・つりビン。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)複数個の電極が表面上に配設された半導体チップ
    と、 前記半導体チップが固着されるべッドと、 前記ベッドの表面もしくは裏面の周辺部に、ベッドから
    はみ出すように固定され、表面に配線パターンが形成さ
    れた絶縁配線基板と、 前記ベッドの周囲に配置された複数のリードフレームと
    、 前記半導体チップの表面上に配設された電極と前記絶縁
    配線基板の表面に形成された配線パターンの一方端部と
    を接続する第1の接続手段と、前記リードフレームと前
    記絶縁配線基板の表面に形成された配線パターンの他方
    端部とを接続する第2の接続手段と を具備したことを特徴とする樹脂封止型半導体装置。
  2. (2)複数個の電極が表面上に配設された半導体チップ
    と、 前記半導体チップが固着されるベッドと、 前記半導体チップ周辺に隣接して前記ベッド上に固定さ
    れ、表面に配線パターンを有して前記電極と配線接続さ
    れる絶縁配線基板と、 前記ベッドの周囲に配置された複数のリードフレームと
    、 前記絶縁配線基板内の配線パターンと前記リードフレー
    ムとが接続されるフィルムキャリヤ方式の配線と を具備したことを特徴とする樹脂封止型半導体装置。
  3. (3)前記半導体チップは前記べッド上に複数搭載され
    ることを特徴とする請求項1または2記載の樹脂封止型
    半導体装置。
  4. (4)前記絶縁配線基板は複数分離して存在し、これら
    配線基板どうし接続関係を持つことを特徴とする請求項
    1または2記載の樹脂封止型半導体装置。
JP2173065A 1989-08-25 1990-06-29 樹脂封止型半導体装置 Expired - Fee Related JPH0777256B2 (ja)

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