JPH04117607A - 磁気ヘッド装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は、ビデオテープレコーダ（以下ＶＴＲと記す
）等の磁気記録再生装置に使用される磁気ヘッド装置に
関する。

（従来の技術） ＶＴＲにおいては、映像信号の高画質化が進みそれだけ
高密度記録可能なものが要求されるようになっている。

このため磁気テープ等の記録媒体の抗磁力Ｈｅとしては
、ますます大きくなる傾向にある。例えば家庭用ＶＨ８
ＶＴＲに使用されるノーマルテープでは、Ｈｃ　＝　６
００〜７０００ｅであったものが、Ｓ−ＶＨ５用テープ
ではＨｃ−８００〜９０００　ｅとなっており、また８
　ａ＋ｍＶ　Ｔ　Ｒのメタルテープでは、Ｈｃ　＝　１
４００〜１５０００　ｅとなっている。このために、こ
れら高Ｈｅのテープに信号を書き込むために、強い磁界
を発生する磁気ヘッドが要求されるようになっている。

第５図は、従来の磁気ヘッドの外観を示し、第６図はこ
の磁気ヘッドのテープ摺動面からみたギャップ近傍の断
面を示している。例えばＭｎ　−Ｚｎを材質とするフェ
ライトコアａｌ、ａ２は、互いに突き合わせられてヘッ
ドギャップを形成している。フェライトコアａ２には、
フェライトコアａ１との対向部分に巻線溝１０が形成さ
れている。各コアのギャップを形成する部分には、金属
磁性膜ｂｌ、ｂ２がそれぞれスパッタリング等の手段で
数μｍの厚さで形成されており、互いの突き合わせ部は
ガラスＣ等で融着されている。このタイプの磁気ヘッド
は一般にメタルギャップ（Ｍ　Ｉ　Ｇ）ヘッドと称され
る。

このようなヘッドの変形として第７図に示すようなヘッ
ドも提案されている。このヘッドは、フェライトコアａ
３．ａ４のギャップ部を形成する突き合わせ部の形状が
第６図のものと異なる。このヘッドもギャップ形成部に
金属磁性膜ｂ３゜ｂ４が形成されガラス等により融着さ
れている。

ところが上記した２つのタイプの磁気ヘッドに共通した
欠点がある。発生する記録磁界の大きさは金属磁性膜の
厚みに比例するので、金属磁性膜を厚くする傾向がある
。しかし金属磁性膜を厚くすると、逆に渦電流損が大き
くなるという問題が生じる。この結果、記録信号が低域
周波数成分であると強い記録磁界を得ることができるが
、高域周波数成分であると渦電流損のために記録磁界が
大きく低減されてしまう。

第４図の特性（Ａ）は金属磁性膜が薄い場合の特性であ
り、特性（Ｂ）は金属磁性膜を厚くした場合の特性であ
る。この特性かられかるように、金属磁性膜を厚くする
と、渦電流損のために高域周波数成分による記録磁界が
低下し、出力も低下している。

このような欠点を防止するために、第８図に示すような
磁気ヘッドが提案されている。

この磁気ヘッドは、フェライトコアａ５のギャップ部を
形成する部分に、金属磁性膜ｂ　Ｉｔ、　　ｂ　１２゜
ｂ１３を非導電層を介して積層し、フェライトコアａ６
のギャップ部を形成する部分に、金属磁性膜ｂ　２１．
　　ｂ　２２．　　ｂ　２３を非導電層（例えば８１０
２等）を介して積層し、ガラスＣにより融着したもので
ある。このヘッドによると渦電流を低減することはでき
るが、製造過程において次のような問題がある。

即ち、第９図に示すようにフェライトコア基板１１にギ
ャップ突合わせ部を得るための山形部が形成される。そ
して、山形の部分に金属磁性膜１２がスパッタされる。

次に山形部分を点線で示す部分まで、ラッピング等の手
段により削り落とし、トラック幅（ＴＭ）をコントロー
ルする必要がある。このために、製造が極めて困難であ
る。

（発明が解決しようとする課題） 上記したように従来の磁気ヘッド装置によると、第６図
、第７図のヘッドでは渦電流損による影響があり特性の
良好なものを得られないという問題がある。また第８図
のヘッドでは、製造に困難が伴うという問題がある。

そこでこの発明は、製造性が良好であり、かつ性能も高
性能である磁気ヘッド装置を提供することを目的とする
。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） この発明は、２つのフェライトコアを突き合わせてギャ
ップ部を形成する磁気ヘッド装置において、 前記フェライトコアのギャップ部を形成する各々のコア
部分に、クロム（Ｃｒ）をベースとした中間層をスパッ
タし、次に金属磁性膜を形成した積層部分を形成し、互
いの積層部分を突き合わせした構造とするものである。

（作用） 上記の手段により、中間層の存在によりギャップ部にお
いて疑似ギャップが生じにくく、かつ渦電流損も生じ憎
い、また削除工程が不要であり製造性がよく性能が良く
なる。

（実施例） 以下、この発明の実施例を図面を参照して説明する。

第１図はこの発明の一実施例であり、ヘッドのテープ摺
動面からみたギャップ近傍の断面を示し、また一部を拡
大して示している。

フェライトコア２１．２２はギャップを形成するために
突き合わせる部分が、台形状に形成されている。そして
ここには、金属磁性膜がクロム複合物を中間層として積
層されている。即ち、フェライトコア２１には、金属磁
性膜３１．３２が中間層を挟んで積層され、フェライト
コア２２には金属磁性膜４１．４２が中間層を挟んで積
層されている。

拡大図を見るとわかるように、フェライトコア２２の表
面にまず中間層５１（ＣｒＯ１Ｃ２０３等のクロム酸化
物、ＣｒＮ等のクロム窒化物）が形成され、この上に金
属磁性膜４１がスパッタ等により形成される。この金属
磁性膜４１の上面にさらに、中間層５２が形成され、こ
の中間層５２の上面に金属磁性膜４２が形成されている
。中間層５１．５２もそれぞれスパッタ等により形成さ
れるもので。５０〜１５０オングストロームの厚みであ
る。金属磁性膜４１．４２は、例えばＦｅ　−ＡｆＩ−
５ｌ系（センダスト）であり、例えば３〜８μｍ前後の
厚みである。

中間層のスパッタリングにおいては、Ａｒ雰囲気に酸素
または窒素ガスを数％〜数十％混入することによりＣｒ
の酸化物または窒化物の膜とすることができる。

なお図面では２層の金属磁性膜層を示しているが、さら
に中間層を設けて層を多くしてもよい。

第２図は、フェライト２２を切り出すためのフェライト
基板２２０を示しており、第３図は上記した中間層およ
び金属磁性膜層をフェライト基板２２０上に形成してい
くプロセスを示している。

フェライト基板２２０には予め巻線溝２２１が形成され
、またフェライトコアを切り出すための切り出し溝（ト
ラック幅を規定する）２２２も形成されている。

第３図（ａ）は中間層５１がＡｒ雰囲気中で形成された
状態を示し、同図（ｂ）は金属磁性膜４１が形成された
状態を示している。このような工程が繰り返し行われる
。なお第３図（ｃ）の工程ではスパッタ雰囲気中に０２
　、Ｎ２を混ぜることによりクロム酸化物、または窒化
物膜を形成したが、同様な膜はＣ「をＡ「雰囲気でスパ
ッタしたのち酸化雰囲気または窒化雰囲気中で加熱する
ことによっても得られる。

このように加工したフェライト基板を、通常のギャップ
形成工程、ガラス接着工程を経てヘッド化したものの特
性は、第４図に示す特性（Ｃ）のような特性を得ること
ができた。この特性（Ｃ）かられかるように、低域、高
域ともに大きい出力を得ることができた。

このタイプの磁気ヘッドによると、疑似ギャップが小さ
く押さえられ、かつ、トラック幅もフェライトの溝加工
時点で規定されるために、製造性が優れている。単に、
金属磁性膜を積層して渦電流損を低減しようとすると、
疑似ギャップが生じて記録再生機能が不安定になる。し
かしこの実施例によれば、接着効果も兼ねた中間層を設
けるために疑似ギャップも極力押さえられる。

［発明の効果］ 以上説明したようにこの発明によれば、製造性が良好で
あり、かつ性能も高性能な磁気ヘッド装置を得ることが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す構成説明図、第２図
はこの発明のフェライトコアを切り出すためのフェライ
トコア基板を示す図、第３図はこの発明に係わるフェラ
イトコアの製造プロセスを示す説明図、第４図はこの発
明の磁気ヘッド装置と従来のヘッド装置の特性を比較し
て示す図、第５図は従来の磁気ヘッド装置を示す斜視図
、第６図は第５図の磁気ヘッド装置のギャップ部を示す
図、第７図は他の磁気ヘッド装置のギャップ部を示す図
、第８図はさらに他の磁気ヘッド装置のギャップ部を示
す図、第９図は第８図の磁気ヘッド装置を製造する工程
の一部説明図である。 ２１．２２・・・フェライトコア、３１．３２．４１．
４２・・・金属磁性膜、５１．５２・・・中間層。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ２つのフェライトコアを突き合わせてギャップ部を形成
   する磁気ヘッド装置において、 前記フェライトコアのギャップ部を形成する各々のコア
   部分に、クロム（Ｃｒ）をベースとした中間層をスパッ
   タし、次に金属磁性膜を形成した積層部分を形成し、互
   いの積層部分を突き合わせした構造を特徴とする磁気ヘ
   ッド装置。