JPH04110325A

JPH04110325A - 可溶性芳香族ポリイミド及びその製法

Info

Publication number: JPH04110325A
Application number: JP22838690A
Authority: JP
Inventors: Motozo Yoshikiyo; 元造吉清
Original assignee: Ube Industries Ltd
Current assignee: Ube Corp
Priority date: 1990-08-31
Filing date: 1990-08-31
Publication date: 1992-04-10
Anticipated expiration: 2013-07-02
Also published as: JP2770562B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は、有機溶媒に対して溶解性を有し、耐熱性、
電気的及び機械的性質が高いレベルに維持されていると
共に、接着性、耐吸湿性か優れており、半導体工業にお
ける固体素子への絶縁膜やパッシベーション膜の形成材
料、及び半導体の集積回路や多層プリント配線板などの
層間絶縁材料として好適に使用することができる、シリ
ルオキシ基を側鎖に有する新規な芳香族ポリイミド、な
らびに、その製法に関する。

〔従来技術の説明〕

近年、耐熱性、耐薬品性、機械的特性及び卓越した電気
絶縁性が要求される工業材料の分野において、耐熱性高
分子と呼ばれる一連の新規ポリマーが採用されるように
なってきた。これらの耐熱性高分子の中でも芳香族ポリ
イミドはエナメル電線被覆材、銅張印刷回路基板用フィ
ルム、絶縁フィルム・シート接着剤、クロス含浸剤等の
多方面の用途にわたって用いられており、その優秀なる
特性か発揮されている。

しかるに、公知の芳香族ポリイミドは、その溶液を各種
ガラス、セラミック、シリコンウェハーなどの基材上に
塗布しその塗膜を乾燥してポリイミド被膜を形成した場
合に、前述の基材に対して被膜の接着性又は密着性が劣
るか又は早期に劣化するという問題があった。このため
芳香族ポリイミドをこれら基材の被覆材料として利用す
る場合、芳香族ポリイミド本来の優れた特性を活かしき
れないという問題があった。

そこで、このような接着性又は密着性を改良するために
、芳香族テトラカルボン酸又はその酸二無水物と芳香族
ジアミンとを反応させて得られる可溶性の芳香族ポリア
ミド酸に官能性シラン化合物を作用させて、該ポリアミ
ド酸（ポリイミド前駆体）の分子の直鎖内もしくは、分
子鎖末端の活性基（遊離のカルボキシル基、活性水素、
アミン基、酸無水物基等）にシラン化合物を結合させて
芳香族ポリアミド酸を変性することか試みられているか
、この変性された芳香族ポリアミド酸は、前述の基材上
に被膜を形成する際に、ポリマーのイミド化をかなり高
温で行う必要かあり、基材を熱劣化させてしまうという
問題かあった。

〔解決すべき問題点〕

本願の発明者らは、上述の現状に鑑み、耐熱性、耐吸湿
性、電気的及び機械的性質を高いレベルに保持している
と共に、基材上に被膜を形成した場合にその被膜の接着
性が厳しい環境下でも長期間保持される可溶性芳香族ポ
リイミドを提供することを目的として、種々検討した結
果、シリルオキシ基（好ましくはトリエチルシリルオキ
シ基）を側鎖に多数有する芳香族ポリイミドか、広い範
囲の有機溶媒に可溶性であり、上記の目的を達成しうろ
ことを知見した。

〔問題点を解決する手段〕

この出願の第１の発明は、−殺伐（式中、Ａは４価の芳香族残基であり、Ｂはシリルオキ
シ基か芳香環に直接結合している２価の芳香族残基であ
る。）て示される反復単位を５０モル％以上、好ましく
は６０モル％以上、特に好ましくは７０〜１００モル％
有し、対数粘度（濃度；　０．５　ｇ／１００ｍ、ｆｆ
溶媒、溶媒、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、測定温度；
３０℃）が０．２〜５であることを特徴とする可溶性芳
香族ポリイミドに関する。

また、この出願の第２の発明は、芳香族テトラカルボン
酸又はその酸無水物、又はその誘導体と、水酸基が芳香
環に直接結合している芳香族ジアミン化合物とから、重
合及びイミド化して、対数粘度（濃度；　０．５　ｇ　
／　１００ｍＡ溶媒、溶媒：Ｎ−メチル−２−ピロリド
ン、測定温度、３０℃）か０．２〜５であり、側鎖に水
酸基を有する可溶性芳香族ポリイミドを生成させ、次い
て、該芳香族ポリイミドの溶液にシリルクロライドを添
加して脱塩酸剤の存在下に反応させて、該芳香族ポリイ
ミドの水酸基をシリル化することを特徴とする可溶性芳
香族ポリイミドの製法に関する。

以下に、この発明の可溶性芳香族ポリイミド、並びに、
その製法を詳述する。

この発明の可溶性芳香族ポリイミドは、高分子量のポリ
マーであり、例えば、０．５ｇ／１００ｍ溶媒（Ｎ−メ
チル−２−ピロリドン）の濃度のポリマー溶液で、３０
’Ｃの測定温度で測定した対数粘度（ポリマーの重合度
の程度を示す。）が、好ましくは約０．３〜４、特に約
０．５〜３程度であり、また、赤外線吸収スペクトル分
析で測定されたイミド化率が約９０％以上、特に９５〜
１００％であることか好ましい。

この発明の可溶性芳香族ポリイミドは、広い範囲の溶媒
、例えばシクロヘキサノン、クロロホルム、ジクロロメ
タン、ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）１．Ｎ−メチル
−２−ピロリドン（ＮＭＰ）　、ジメチルスルホキシド
（ＤＭＳＯ）等に溶解し、特にシクロヘキサノン、クロ
ロホルム等の吸湿性の低い溶媒中では、保存安定性が非
常に高い。

前記の可溶性芳香族ポリイミドは、分子主鎖の反復単位
当たり、少なくとも０．５個、特に０．７〜４個、さら
に好ましくは１〜３個のシリルオキシ基（シリルエーテ
ル基）を有していることが好ましい。

前記のシリルオキシ基は、一般式　（Ｒ）ｓＳｉ−〇−（ＩＩ） −殺伐　（ＲＯ）ｓ　Ｓ　ｌ−〇−（Ｉ［）（Ｒは、芳
香族基、アルキル基などを示す）などで示されるシリル
オキシ基であればよく、例えば、トリメチルシリルオキ
シ基、トリエチルシリルオキシ基、トリプロピルシリル
オキシ基などのトリ低級アルキルシリルオキシ基、トリ
メトキシシリルオキシ基、トリエトキシシリルオキシ基
などのトリアルコキシシリルオキシ基などを好適に挙げ
ることができる。

この発明の芳香族ポリイミドは、そのポリマー主鎖を形
成しているベンゼン環などの芳香環にシリルオキシ基を
多数有しているけれども、前記の芳香環には水酸基など
の他の官能基を実質的に有していないことが、耐熱性、
耐薬品性などの点から好ましい。

この発明の製法において使用される芳香族テトラカルボ
ン酸又はその酸二無水物、あるいは、その酸誘導体とし
ては、３．３’　、　４．４’−ビフェニルテトラカル
ボン酸又はその酸二無水物、２．３．３°、４°−ビフ
ェニルテトラカルボン酸又はその酸二無水物、あるいは
それらの酸誘導体などのビフェニルテトラカルボン酸類
、３．３’　、　４．４°−ベンゾフェノンテトラカル
ボン酸又はその酸二無水物、あるいは、その酸誘導体な
どのベンゾフェノンテトラカルボン酸類、３．３’　、
　４．４°−ビフェニルエーテルテトラカルボン酸又は
その酸二無水物、あるいは、その酸誘導体などのビフェ
ニルエーテルテトラカルボン酸類、１，４−ビス（３，
４−ジアミノフェノキシ）ベンゼン又はその酸二無水物
、あるいは、その酸誘導体＝　７− などのビス（ジアミノフェノキシ）ベンゼン類などの「
ベンゼン環を複数（特に２〜４個）有する芳香族テトラ
カルボン酸類ｊを好適に挙げることができる。

この発明の製法において使用される「水酸基か芳香環に
直接結合している芳香族ジアミン」としては、例えば、
■−ヒドロキシー２．５−ジアミノベンゼン、１−ヒド
ロキシ−３，５−ジアミノベンゼンなどのヒドロキシジ
アミノベンゼン類、３，３゛−ジヒドロキシ−４，４°
−ジアミノビフェニル、２，２°−ジヒドロキシ−４，
４°−ジアミノビフェニル、４，４°−ジヒドロキシ−
３，３′−ジアミノビフェニルなどのジヒドロキシジア
ミノビフェニル類、３，３′−ジヒドロキシ−４，４′
−ジアミノジフェニルエーテル、２゜２゛−ジヒドロキ
シ−４，４′−ジアミノジフェニルエーテル、４．４°
−ジヒドロキシ−３，３′−ジアミノジフェニルエーテ
ルなどのジヒドロキシジアミノジフェニルエーテル類、
１，４−ビス（３−ヒドロキシ−４−アミノフェノキシ
）ベンゼン、１．４−ビス（４−ヒドロキシ−３−アミ
ノフェノキシ）ベンゼン、１．３−ビス（３−ヒドロキ
シ−４−アミノフェノキシ）ベンゼンなどのビス（ヒド
ロキシアミノフェノキシ）ベンゼン類などの「少なくと
も１個、特に１〜３個のヒドロキシル基が、ベンゼン環
などの芳香環の炭素原子に直接に結合している芳香族ジ
アミン化合物」を好適に挙げることができる。

この発明の製法では、例えば、３．３′−ジヒドロキシ
−４，４゛−ジアミノビフェニル（ＨＡＢ）などの「水
酸基をベンゼン環に有する芳香族ジアミン化合物」を５
０モル％以上、特に６０〜１００モル％含有している芳
香族ジアミン成分と、ビフェニルテトラカルボン酸二無
水物（ＢＰＤＡ）、好ましくは２．３．３’　、　４’
−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物（ａ−ＢＰＤＡ
）などの「ベンゼン環を複数有する芳香族テトラカルボ
ン酸類」を５０モル％以上、特に６０〜１００モル％含
有する芳香族テトラカルボン酸成分とを、略等モル、有
機極性溶媒中、高温下（好ましくは１００〜３００℃、
特に約１４０〜２５０℃の高温度下）で、−段で重合反
応及びイミド化反応させて高分子量の可溶性芳香族ポリ
イミド（対数粘度、０．２〜５程度）を生成させ、次い
で、該ポリイミドにトリアルキルシリルクロライド類（
特にトリメチルシリルクロライド、トリエチルシリルク
ロライド、トリイソプロピルシリルクロライド）なとの
シリル化剤と、イミダゾール、トリエチルアミン、ピリ
ジンなどの脱塩酸剤とを加えて、該ポリイミドの水酸基
を実質的に全部シリル化して、シリルオキシ基を多数有
する可溶性芳香族ポリイミドを製造することか好ましい
。

また、この発明の可溶性芳香族ポリイミドは、前述の酸
成分とジアミン成分との二成分を、略等モル、有機極性
溶媒中、８０℃以下の低温下（特に０〜６０℃の低温下
）で重合して、高分子量の芳香族ポリアミック酸（芳香
族ポリイミドの前駆体、対数粘度；０．２〜５程度）を
生成し、次いで、該芳香族ポリアミック酸を適当な条件
てイミド化して可溶性芳香族ポリイミドを製造し、さら
に、該ポリイミドの溶液に、トリ低級アルキルシリルク
ロライド類などのシリル化剤と、イミダゾールなとの脱
塩酸剤とを加えて、該ポリイミドの水酸基をシリル化し
て、シリルオキシ基含有の可溶性芳香族ポリイミドを製
造することかできる。

前記の触媒としては、特に、イミダゾールなとの脱塩酸
剤を好適に挙げることができ、その使用割合は、シリル
他剤１モルに対して、１〜１０モル程度であることが好
ましい。

さらに、水酸基を有する芳香族ポリイミドをシリル化す
る温度は、０〜６０℃程度であることが好ましい。

前記の重合及びシリル化反応に使用する有機極性溶媒と
しては、前述の芳香族ポリイミドを均一に溶解する有機
極性溶媒が好ましく、例えば、Ｎ−メチル−２−ピロリ
ドン、ジメチルフォルムアミド、ジメチルアセトアミド
、ジメチルスルホンなどを好適に挙げることができる。

なお、この発明の製法においては、シリルオキシ基を多
数有する芳香族ポリイミドか生成した溶液を、多量のメ
タノール、エタノールなどの低級アルコール、水なとの
溶媒中に、添加して、ポリマーを粉末状に析出させ、濾
別し、さらに、必要であれば、前述の低級アルコールで
充分に洗浄して、精製された粉末状の芳香族ポリイミド
として回収することが好ましい。

〔実施例〕

次に実施例によりこの発明を更に詳細に説明するか、こ
の発明はこれらの例によってなんら限定されるものでは
ない。

実施例１２、３．３’　、　４’−ビフェニルテトラカルボン酸
二無水物（ａ−ＢＰＤＡ）　７．０３６ｇ　（２３，９
ｍｍｏ、ｆｆ）、３．３゛−ジヒドロキシ−４，４”−
ジアミノビフェニル（ＨＡＢ）　　５．１６７　ｇ　　
（２３，９ｍｍｏβ）を、Ｎ−メチル−２−ピロリドン
（ＮＭＰ）１００ｍｌに加え、室温で溶解させた後、窒
素気流中１８０℃で３時間、加熱攪拌して、生成水を含
むＮＭＰ５０ｍ、ｆｆを流出させて重合およびイミド化
を１段で行って水酸基を有する可溶性芳香族ポリイミド
を生成させた。得られた均一なポリマー溶液にＮＭＰ　
１００ｍｌを加え、ガラスフィルター（Ｇ−３）て不溶
分を除去した後、メタノール１０００ｒ＋ｌ中てポリマ
ーを析出させた。得られたポリマーは、更に１０００ｍ
ｌのメタノールで洗い、減圧乾燥し、１０．１ｇ（８９
％）の粉末状のポリマーを得た。

このポリマー粉末は、ＤＭＳ○、ＤＭＦなどの溶媒に高
い割合（２５℃て約１０重量％以上の割合）て均一に溶
解し、対数粘度（濃度；０．５ｇ／１００ｍβ溶媒、溶
媒、ＮＭＰ、測定温度；３０’Ｃ）か０．８６４である
可溶性芳香族ポリイミド（イミド化率；１００％）であ
った。

前述のようにして得られた芳香族ポリイミドの粉末の熱
重量分析の結果を第１図に示し、そして、芳香族ポリイ
ミドのプロトンＮＭＲの結果を第２図に示す。

次いで、前述のようにして得られた水酸基を有する芳香
族ポリイミド０．６６　ｇと、イミダゾール（脱塩酸剤
）０．９４７ｇをＮＭＰ溶媒３０ｍ、ｇに溶解させ、ト
リエチルシリルクロライド（シリル化剤）２２．３４ｍ
ｌを加え、その反応液を、２５℃で４時間、攪拌して反
応させた。得られた均一なポリマー溶液を、２５℃て５
００ｒｙｌのメタノールに滴下し、可溶性芳香族ポリイ
ミドを０．８８ｇ（９０％収率）析出させた。

この芳香族ポリイミドは、赤外吸収スペクトル分析した
結果によれば、実質的に水酸基を有しておらず、トリエ
チルシリルオキシ基を反復単位あたり約２個有する芳香
族ポリイミド粉末てあり、ＤＭＦ、ＮＭＰ、ＤＭＳ○と
いった溶媒から、クロロホルム、シクロヘキサノンまで
の幅広い溶媒に室温で１０重量％以上の割合で均一に溶
解する。

前述のようにして得られた芳香族ポリイミドの粉末の熱
重量分析の結果を第３図に示す。

前述のようにして得られた芳香族ポリイミドのプロトン
ＮＭＲの結果を第４図に示す。

前述のようにして得られた芳香族ポリイミドをＮＭＰに
溶解して、ポリマー濃度１０重量％の均一な芳香族ポリ
イミド溶液を調製した。

そのポリマー濃度１０重量％のＮＭＰ溶液を、２００Ｏ
ｒｐｍでシリコンウェハー上にスピンコートシて、塗布
層を８０℃で乾燥させて、ビール試験用の試料を作成し
た。その試料を２００℃１３０分間、熱処理した後、１
ｍｍ間隔て１００個の排口を付け、１２０℃水蒸気の気
流中で２０時間処理をして、最後に、粘着テープでビー
ル剥離試験を行って接着性を測定した。その結果を第１
表に示す。

実施例２実施例１と同様にして、水酸基を有する可溶性芳香族ポ
リイミド１０．１ｇ（収率８９％）を得た。

このポリマーは、実施例１と同様の性状を有するもので
あった。

前述のようにして得られた水酸基を多数有する芳香族ポ
リイミド１．０３３　ｇと、イミダゾール１、４８　ｇ
をＮＭＰ４０ｍＡに溶解させ、更にその溶液にトリイソ
プロピルシリルクロライド４．６５ｍｌｌを加え、その
溶液を４時間、攪拌して、シリル化反応を行った。得ら
れた均一なポリマー溶液を、５００ｒｒｌのメタノール
に滴下し、ポリマー１゜５４ｇ（９０％収率）を析出さ
せた。

このポリマーは、水酸基を実質的に有しておらず、トリ
イソプロピルオキシを反復単位あたり約２個有する芳香
族ポリイミド粉末であり、ＤＭＦ、ＮＭＰ、ＤＭＳ○と
いった溶媒から、クロロホルム、シクロヘキサノンまで
、幅広い溶媒に、２５℃で、ポリマー濃度１０重量％以
上の割合で溶解した。

前述のようにして得られた芳香族ポリイミドの粉末の熱
重量分析の結果を第５図に示す。

前述のようにして得られた芳香族ポリイミドのプロトン
ＮＭＲの結果を第６図に示す。

前述のようにして得られた芳香族ポリイミドをＮＭＰに
溶解して、ポリマー濃度１０重量％の均一な芳香族ポリ
イミド溶液を調製し、実施例１と同様にして粘着テープ
によるビール剥離試験を行ってその接着性を測定した。

その結果を第１表に示す。

実施例３実施例１と同様にして、水酸基を有する可溶性芳香族ポ
リイミド１０．１ｇ（収率８９％）を得た。

このポリマーは、実施例１の芳香族ポリイミドと同様の
性状を有するものであった。

前述のようにして得られた水酸基を多数有する芳香族ポ
リイミド０．８４０　ｇと、イミダゾール１、２０　ｇ
とをＮＭＰ４０ｍｊ？に溶解させ、その溶液にトリメチ
ルシリルクロライド４ｒｒｌを加え、さらに、その溶液
を４時間、攪拌して、シリル化反応を行った。得られた
均一なポリマー溶液を、５００ｍｌのメタノールに滴下
し、ポリマー１．０ｇ（９１，３％収率）を析出させた
。

このポリマーは、トリメチルシリルオキシ基を反復単位
あたり約２個有する芳香族ポリイミド粉末であり、ＤＭ
Ｆ、ＮＭＰ、ＤＭＳ○といった溶媒から、クロロホルム
、シクロヘキサノンまでの幅広い溶媒に、２５℃でポリ
マー濃度１０重量％以上の割合で溶解する芳香族ポリイ
ミドてあった。

その結果を第１表に示す。

第　　１　　表水酸基のみ　　　　　７６実施例４ａ−ＢＰＤＡ６．８ｇ　（２３，１ｍｍｏｌ）、ＨＡＢ
５、０　ｇ　（２３，１ｍｍｏｌ）をＮＭＰ４００ｍｆ
２に加え、室温で溶解させた後Ｎｏ２の濾紙で濾過し、
その反応液を窒素気流中、１８０℃て１１時間、加熱攪
拌し、反応水を含むＮＭＰｌｌｏｍ、ｆｆを流出させた
。得られた均一なポリマー溶液を室温に戻した後、イミ
ダゾール６．３ｇ　（９２，５ｍｍｏｐ）、トリイソプ
ロピルシリルクロライト１９．７６ｍＡ（９２，５ｍｍ
ｏβ）を加え、室温で６時間攪拌を続けてシリル化反応
を行った。得られた均一なポリマー溶液を水１０００ｍ
β中に析出し、更に水１０００ｍｌ、メタノーノ目００
０ｍ、＋７て洗浄し、五酸化リンの存在下−晩真空乾燥
して、１７ｇ（収率９３％）の白色粉末を得た。

このポリマーは、実施例２と同様な性状を有する芳香族
ポリイミド粉末であり、ＤＭＦ、ＮＭＰ、ＤＭＳ○とい
った溶媒からクロロポルム、シクロヘキサノンまで、幅
広い溶媒に１０重量％以」二の濃度にまで溶解した。

この芳香族ポリイミドの対数粘度（濃度：ｏ、５ｇ／１
００ｍＡ溶媒、溶媒＋ＮＭＰ、測定温度；３゜℃）は　
０．２７７であった。

更に、この芳香族ポリイミド溶液を、ドクターナイフを
用いてガラス」二に塗布し、７μｍの厚さの芳香族ポリ
イミド製の薄膜を形成させた。

この薄膜を２００℃で３０分間熱処理した膜について、
自記分光光度計（日立製作所銖）製、３３０型）を使用
して、５６０−２００ｎｍの波長の光線の光透過量を測
定した。その結果、４６０〜５６０ｎｍの波長の光の透
過率か７５〜８３％であり、３６０ｎｍ以下の波長の紫
外線の透過率か２％以下であった。

前述のようにして得られた７μｍの薄膜と実施例１に記
したシリル化前のポリマーの７μｍの薄膜を、熱風循環
式乾燥機にて２００℃て１時間で乾燥し、すばやく窒素
気流中に移し室温まて冷やし、ｏ、　ｏ　ｏ　ｏ　ｉ　
ｇ精度の化学天秤にですはやく秤量し、この試験片を恒
温恒湿槽内（ＲＨ９１％）に放置し、所定時間毎に試料
重量を精秤し、その重量増加量からポリマーの吸湿性を
比較した。

そのポリマーの吸湿性の試験の結果を第２表に示す。

第２表時間　　　　　吸湿性（吸水率％）シリル化前　シリル化後１０　　　　１．９　　　　３．４２０’　　　２．３　　　　４．６６０　　　　２、７　　　　５．９１００　　　　２、９　　　　６．３実施例５ａ−ＢＰＤＡ４．５４　ｇ　（１５，４ｍｍｏＡ）　、
５−ＢＰＤＡ２．２７　ｇ　（７，７ｍｍｏ７）　、Ｈ
ＡＢ５．　Ｏｇ（２３，１ｍｍｏ、ｆｆ）をＮＭＰ２０
０ｍＡに加え、窒素気流中、１８０℃で３時間、加熱攪
拌し、生成水を含むＮＭＰ２５ｍＡを流出させた。室温
まで冷却の後、イミダゾール６．３ｇ　（９２，５ｍｍ
ｏＡ）、および１リエチルシリルクロライド１５．６　
ｍｌ（９２，５ｒｒｌ）を加え、室温で７時間攪拌した
。

得られた均一溶液を水１０００ｍβ中に加えたポリマー
を析出させ、更にメタノール１０００ｍｌｌで２回洗浄
し一晩真空乾燥し１４ｇの白色粉末を得た。（収率８６
．１％）〔本発明の作用効果〕この発明のシリルオキシ基を側鎖に多数有する可溶性芳
香族ポリイミドは、シリル化前のポリイミドと比較して
、吸湿性か低く、シリコンウェハーなどに対する接着性
が、かなり向上し、しかもその接着性が長時間維持され
る。

この発明の可溶性芳香族ポリイミドは、シリルオキシ基
を多数有していると共に既にイミド化されているのでそ
の溶液から被膜を形成することが容易であり、高い熱処
理を必要とせず、さらに、基体上に形成された被膜が基
体に対して高い接着性を示すと共に、高いレベルの耐熱
性、体薬品性などを保持している。

この発明の製法は、前述の芳香族ポリイミドを容易に製
造することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第３図及び第５図は、ポリマーの熱重量分析の
結果のチャートを示す図面であり、第２図、第４図及び
第６図は、ポリマーのＨ−ＮＭＲスペクトルのチャート
を示す図面である。 −特許出願人　宇部興産株式会社トリエチルシリル化ポリイミドトリイソプロピルシリル化ポリイミドトリエチルシリル化ポリイミドのＨ−ＮＭＲスペクトル
第４図シリル化ポリイミドのＨ−ＮＭＲスペクトル第６図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）一般式 ▲数式、化学式、表等があります▼ （式中、Ａは４価の芳香族残基であり、Ｂはシリルオキ
シ基が芳香環に直接結合している２価の芳香族残基であ
る。）で示される反復単位を５０モル％以上有し、対数
粘度（濃度；０．５ｇ／１００ｍｌ溶媒、溶媒；Ｎ−メ
チル−２−ピロリドン、測定温度；３０℃）が０．２〜
５であることを特徴とする可溶性芳香族ポリイミド。
（２）芳香族テトラカルボン酸又はその酸無水物、又は
その誘導体と、水酸基が芳香環に直接結合している芳香
族ジアミン化合物とから、重合及びイミド化して、対数
粘度（濃度；０．５ｇ／１００ｍｌ溶媒、溶媒；Ｎ−メ
チル−２−ピロリドン、測定温度；３０℃）が０．２〜
５であり、側鎖に水酸基を有する可溶性芳香族ポリイミ
ドを生成させ、次いで、該芳香族ポリイミドの溶液にシ
リルクロライドを添加して脱塩酸剤の存在下に反応させ
て、該芳香族ポリイミドの水酸基をシリル化することを
特徴とする可溶性芳香族ポリイミドの製法。