JPH04110007A - セラミックフィルタ及びその製造方法 - Google Patents

セラミックフィルタ及びその製造方法

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JPH04110007A
JPH04110007A JP23159390A JP23159390A JPH04110007A JP H04110007 A JPH04110007 A JP H04110007A JP 23159390 A JP23159390 A JP 23159390A JP 23159390 A JP23159390 A JP 23159390A JP H04110007 A JPH04110007 A JP H04110007A
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porous
dense
ceramic
alumina
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JP23159390A
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Nobuyuki Asaoka
浅岡伸之
Takeshi Sato
武 佐藤
Kazunobu Ogawa
和伸 小川
Osamu Miyazawa
修 宮沢
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Mitsubishi Materials Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はアルミナを主成分としグリーンシート多層積層
法により製造されるセラミックフィルタ及びその製造方
法に関するものである。
[従来の技術] 一般ニ、この種のフィルタは、流体中に懸濁している物
質を濾過するときに、所定の透過速度及び濾過効率を有
することが要求される。
従来、この種のセラミックフィルタの製造方法には、セ
ラミックスラリ−を多孔質高分子物質に含浸させて成形
した後、或いは粒状高分子物質をセラミックスラリ−に
配合して押出し成形した後、これらの成形体を焼成する
方法がある。この焼成により高分子物質部分が孔となり
、セラミックスか骨となって、多孔質のセラミック焼結
体が得られる。
[発明が解決しようとする課題] しかし、従来のセラミックフィルタは所定の透過速度及
び濾過効率を得るために高圧の流体を通したときに、こ
の圧力に耐える高い強度と広い濾過断面積か要求され、
結果としてフィルタか長大化する不具合かあった。この
ためフィルタ内部に緻密質層を形成して強度を高める試
みかなされたか、緻密質層に使用するセラミック粉末の
焼結粒径が大きくなり緻密質層を200μm以上の厚み
にしなければならず、フィルタの大きさをそのままにし
た場合には透過速度及び濾過効率か低下する欠点があっ
た。
また、フィルタが押出し成形により成形される場合には
、その開気孔の孔径は成形時の口金の寸法によって決ま
り、微細な開気孔を形成することか困難な問題点があっ
た。
本発明の目的は、透過速度及び濾過効率を低下させるこ
となく、極めて高い強度を有し、小型化可能なセラミッ
クフィルタ及びその製造方法を提供することにある。
[課題を解決するための手段] 上記目的を達成するために、本発明のフィルタは、アル
ミナ含有量90〜999%の多孔質セラミック層の両面
又は片面にアルミナ含有量90〜99.9%の緻密質セ
ラミック層か積層されて一体的に焼結され、前記多孔質
セラミック層に開気孔が形成され、かつ前記多孔質セラ
ミック層を流体通路とするセラミックフィルタであって
、前記多孔質セラミック層の気孔率が20〜60%の範
囲にあり、前記緻密質セラミック層の気孔率が0.01
〜5%の範囲にあることを特徴とする。
また本発明のセラミックフィルタの製造方法では、先ず
水を分散媒とした第1アルミナゾルに第1焼結助剤と第
1水溶性バインダを添加混合して緻密質層用スラリーを
調製し、この緻密質層用スラリーを成膜乾燥して緻密質
層用グリーンシートを成形する。次いで水を分散媒とし
た第2アルミナゾルに焼結助剤を添加しないか又は前記
第1焼結助剤より少量の第2焼結助剤と第2水溶性ノ)
インタを添加混合して多孔質層用スラリーを調製し、こ
の多孔質層用スラリーを成膜乾燥して多孔質層用グリー
ンシートを成形する。次に前記多孔質層用グリーンシー
トの両面又は片面に前記緻密質層用グリーンシートを接
着剤により接着し、前記接着したグリーンシートを10
00〜1600°Cで焼成して積層焼結体を得る。
本発明の多孔質セラミック層及び緻密質セラミック層を
構成するセラミック原料は、ともにアルミナ含有量が9
0〜999%の純度の高いアルミナである。緻密質層用
スラリー及び多孔質層用スラリーはともに水を分散媒と
したアルミナゾルを主成分とする。上記アルミナゾルは
いずれもアルミニウムアルコキシドを加水分解し、この
加水分解生成物を解膠処理して得られるアルミナコロイ
ド液であって、いわゆるゾル−ゲル法において調製され
る粒径が数10〜1000人の微細なコロイド粒子のア
ルミナゾルが好ましい。
緻密質層用スラリーと多孔質層用スラリーの調製方法の
相違点は、前者に焼結助剤がアルミナゾル100重量%
に対して05〜10重量%含まれるのに対して、後者に
はセラミック層の気孔率を増大させるために焼結助剤が
全く含まれないか或いは前者より少量の焼結助剤が含ま
れるところにある。アルミナの焼結助剤としては、二酸
化けい素、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酢酸マ
グネシウム、二酸化チタン等が挙げられる。酸化マグネ
シウム及び二酸化けい素の添加系では酸化カルシウムを
少なくとも0.1ffi量%添加することが好ましい。
水溶性バインダは緻密質層用スラリー及び多孔質層用ス
ラリーにおいて、ともにアルミナゾルの固形分に対して
10〜80重量%添加される。このバインダは焼結時の
脱ハインタによりセラミック層に気孔を生じ易いため、
気孔率を減少させる場合には上記範囲で少なめにアルミ
ナゾルに添加される。水溶性バインダとしてはポリビニ
ルアルコール、水溶性アクリル等か挙げられる。緻密質
層用スラリーに含まれるバインダは多孔質層用スラリー
に含まれるバインダと異なってもよい。
緻密質層用スラリー及び多孔質層用スラリーを成膜する
方法としては、ドクターブレード法、押出し成形法、ロ
ール圧延法、泥しよう鋳込み法等かあるか、成形歪か少
なく成形体の平滑度か良好なドクターブレード法か好ま
しい。多孔質層用スラリーを成膜するときに、このスラ
リーにアンモニア、或いはアミン類のアルカリ物質を添
加してスラリー中にゲルを生成させ、気孔率を増大させ
ることもできる。
緻密質層用のスラリー及び多孔質層用のスラリーを成膜
後、30〜95°Cでそれぞれ乾燥して緻密質層用グリ
ーンシート及び多孔質層用グリーンシートを成形する。
最上層又は最下層となる緻密質層用グリーンシートには
流体を通す孔径60〜100μmの通孔を設けてもよい
次いで多孔質層用グリーンシートの両面又は片面に接着
剤を塗布し、0〜70℃の温度で5〜200 kg/C
m2の圧力で多孔質層用グリーンシートに緻密質層用グ
リーンシートを接着し積層する。
本発明のフィルタの形状は、直方体のフィルタの場合に
は緻密質層グリーンシートと多孔質層用グリーンシート
とを交互に繰返し重ね合わせる。また円柱状のフィルタ
の場合には巻取り機構付きラミネート装置により緻密質
層グリーンシートと多孔質層用グリーンシートとを互い
に接着しなから巻取る。この接着剤としては、セルロー
ス誘導体、アクリル系エマルジョン、酢酸ビニルエマル
ジョン等の水系接着剤又はアクリル系樹脂、ブチラール
系樹脂、ビニール系樹脂等の非水系接着剤を用いること
かできる。
これらの積層数は多孔質層用グリーンシートの両面に緻
密質層用グリーンシートを重ね合わせて積層した3層以
外に、セラミックフィルタの用途、形状等に応じて緻密
質層と多孔質層とを交互に重ね合わせた多数層にするこ
ともできる。
グリーンシートを積層しただけの直方体のグリーン成形
体、或いはグリーンシートを積層して巻取った円柱状の
グリーン成形体をそれぞれ所定の寸法に切断する。円柱
状のグリーン成形体は所定の長さに切断した後、巻取り
芯を抜くことにより形成された中心孔の部分に緻密質層
用のスラリーを充填し、30〜95℃でこのスラリーを
乾燥する。上記グリーン成形体を焼成炉に入れて焼成す
る。第1図に本発明の直方体のセラミックフィルタ10
を示す。また第2図に円柱状に焼結したセラミックフィ
ルタ20を示す。10a、20aは流体通路となる多孔
質セラミック層、10b20bは緻密質セラミック層で
ある。
焼成は目的とする気孔率を得るために1000〜160
0℃の温度範囲で、1〜2時間、大気圧下で行われる。
焼成温度か高まる程、また焼成時間が長くなる程、気孔
率は減少する。1000 ’C未満であると緻密質セラ
ミック層の気孔率が5%を越え、1600℃を越えると
多孔質セラミック層の気孔率か20%未満となり易い。
即ち、本発明のセラミックフィルタは多孔質セラミック
層の気孔率が20〜60%の範囲に、また緻密質セラミ
ック層の気孔率が0.01〜5%の範囲に制御されて作
られる。
上記焼成で得られた積層焼結体の多孔質アルミナ層には
開気孔が形成される。ここで開気孔とは閉気孔とは異な
り、焼結体の一端から他端まで連続した空隙であって流
体が通過可能な微細な孔をいう。
また本発明の緻密質セラミック層の厚みはフィルタ全体
の濾過効率を高めるために、10〜200μmの極薄の
層であることが好ましく、多孔質セラミック層の厚みは
濾過効率を低下させないために、30〜1100Ii程
度にすることか好ましい。
[発明の効果] 以上述べたように、本発明のセラミックフィルタは、グ
リーンシート多層積層法により多孔質アルミナ層の両面
又は片面に200μm以下の極薄の緻密質アルミナ層を
積層して直方体又は円柱体に焼結したため、フィルタの
透過速度及び濾過効率を低下させることなく、極めて高
い強度を有し、小型にすることができる。
また出発原料であるアルミナゾルのコロイド粒子を調整
することにより、多孔質アルミナ層の開気孔を微細な孔
径にすることかできる。
[実施例コ 次に本発明の実施例を図面に基ついて詳しく説明する。
〈実施例1〉 アルミニウムイソプロポキント[A Q (C3F+7
0) 3]を加水分解してベーマイト[AQOOH]を
生成させ、これにpH2〜4に調整した水を加えて解膠
し、粒径が数10〜1000人の微細なコロイド粒子か
分散したアルミナ濃度5重量%の安定な擬へ一マイトゾ
ルを得た。
緻密質層用スラリーを調製するために、このフルに焼結
助剤としてシリカコロイド、酢酸マグネシウム、酢酸カ
ルシウムを、更に水溶性バインダとしてポリビニルアル
コールを添加した。これらの焼結助剤は緻密質セラミッ
ク層に焼結したときの組成比が AflxOs: 5iOz: MgO: Ca0=92
: 7: 2: 1になるようにそれぞれ添加した。ま
たバインダはこの固形分に対して40重量%添加混合し
た。これにより固形分が4重量%のスラリーを調製した
このスラリーを移動担体である高密度ポリエチレンテー
プ上にドクターブレード法によりコーティングした後、
乾燥し、スラリーの分散媒である水を脱離させて厚さ約
60Atmの緻密層用グリーンシートを得た。
一方、多孔化し易くするために焼結助剤を添加しない以
外は上記と同様にして厚さ約200μmの多孔質層用グ
リーンシートを得た。次いで多孔質層用グリーンシート
の片面又は両面に接着剤として1%濃度のポリビニルブ
チラールのイソプロピルアルコール溶液を塗工し、8枚
の緻密質用グリーンシートと7枚の多孔質層用グリーン
シートを交互に重ね合わせて接着し、15層に積層され
た厚さ約2mmのグリーン成形体を得た。
次にこのグリーン成形体を焼成炉に入れた。同時に気孔
率の生成状況を調べるために上記多孔質層用グリーンシ
ートと同じ多孔質層用グリーンシートと、上記緻密質層
用グリーンシートと同じ緻密質層用グリーンシートを焼
成炉に入れ、これらのグリーンシートを1000℃、1
200℃、1300℃、1400℃、1500℃でそれ
ぞれ1時間、大気圧下で焼成した。第1図はその焼結体
の斜視図である。またこの15層積層構造のアルミナ焼
結体の焼成温度による細孔分布の変化及び細孔容積の変
化の状況を第3図に示す。第3図より焼成温度が130
0℃以上になると、セラミックフィルタに適した250
Å以上の細孔径になり、1500℃になると、750〜
1250人の範囲の細孔径が極めて多くなることが判っ
た。
15層セラミックフィルタの緻密質アルミナ層及び多孔
質アルミナ層はそれぞれアルミナ含有量が92%及び9
9.5%のアルミナ焼結体層であった。このセラミック
フィルタの曲げ強度は焼成温度1000℃、1200℃
、1300℃、1400℃、1500℃でそれぞれ20
,20゜50.60.60 kgf/mm”であった。
第4図に単層の多孔質アルミナ焼結シート及び単層の緻
密質アルミナ焼結シートの焼成温度による気孔率の変化
をそれぞれ示す。第4図により、緻密質層用グリーンシ
ート単独を焼成して得られた焼結シートの気孔率が0〜
1%の範囲にあることから15層セラミックフィルタの
うち緻密質アルミナ層の気孔率も0〜1%の範囲にある
と類推される。また多孔質層用クリーンシート単独を焼
成して得られた焼結シートの気孔率か40〜60%であ
ることから15層セラミックフィルタのうち多孔質アル
ミナ層の気孔率も40〜60%と類推される。
また第5図に15層セラミックフィルタの焼成温度によ
るフィルタ全体の気孔率の変化を示す。
更に第6図に1500℃で焼成したときの15啜セラミ
ツクフイルタの要部断面の粒子構造を示す。
第6図はその多孔質層を主に示すために3500倍に拡
大した電子顕微鏡写真図である。第6図から明らかなよ
うに多孔質アルミナ層の両面に緻密質アルミナ層か一体
的かつ強固に積層焼結していた。
このセラミックフィルタに03μm以上の粒径の粉塵を
含むガスを通過させて濾過試験を行ったところ、粉塵の
ないガスを取出すことかできた。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の直方体のセラミックフィルタの斜視図
。 第2図は本発明の円柱体のセラミックフィルタの斜視図
。 第3図はその焼成温度による細孔分布の変化及び細孔容
積の変化の状況を示す図。 第4図は単層の多孔質アルミナ焼結体及び単層の緻密質
アルミナ焼結体の焼成温度による気孔率の変化をそれぞ
れ示す図。 第5図は本発明実施例の15層アルミナ焼結体の焼成温
度による焼結体全体の気孔率の変化を示す図。 第6図はその多孔質アルミナ層の断面の粒子構造を主に
示す電子顕微鏡写真図。 10.20:セラミックフィルタ、 10a、20a:多孔質セラミック層、10b、20b
:緻密質セラミック層。 第1図 第2図 細 )L性  (入) 第3図 第 図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)アルミナ含有量90〜99.9%の多孔質セラミッ
    ク層の両面又は片面にアルミナ含有量90〜99.9%
    の緻密質セラミック層が積層されて一体的に焼結され、
    前記多孔質セラミック層に開気孔が形成され、かつ前記
    多孔質セラミック層を流体通路とするセラミックフィル
    タであって、前記多孔質セラミック層の気孔率が20〜
    60%の範囲にあり、前記緻密質セラミック層の気孔率
    が0.01〜5%の範囲にあることを特徴とするセラミ
    ックフィルタ。 2)緻密質セラミック層の厚みが10〜200μmであ
    って、多孔質セラミック層の厚みが30〜100μmで
    ある請求項1記載のセラミックフィルタ。 3)水を分散媒とした第1アルミナゾルに第1焼結助剤
    と第1水溶性バインダを添加混合して緻密質層用スラリ
    ーを調製し、 この緻密質層用スラリーを成膜乾燥して緻密質層用グリ
    ーンシートを成形し、 水を分散媒とした第2アルミナゾルに焼結助剤を添加し
    ないか又は前記第1焼結助剤より少量の第2焼結助剤と
    第2水溶性バインダを添加混合して多孔質層用スラリー
    を調製し、 この多孔質層用スラリーを成膜乾燥して多孔質層用グリ
    ーンシートを成形し、 前記多孔質層用グリーンシートの両面又は片面に前記緻
    密質層用グリーンシートを接着剤により接着し、 前記接着したグリーンシートを1000〜 1600℃で焼成して積層焼結体を得るセラミックフィ
    ルタの製造方法。 4)第1又は第2アルミナゾルのいずれか又は双方がア
    ルミニウムアルコキシドを加水分解した後、この加水分
    解生成物を解膠処理して得られるアルミナコロイド液で
    ある請求項3記載のセラミックフィルタの製造方法。
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