JPH0376014A - マルチトラック薄膜磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産工」Ｊｌｔ曲立身− この発明は、ＤＡＴあるいは、コンピュータ等の磁気記
録装置に用いるマルチトラック薄膜磁気ヘッドに関し、
特にコア構造の改良に関するものである。

従え仁皮直 磁気テープ等の磁気記録媒体への情報の記録及び、磁気
記録媒体からの再生に使用される電磁誘導型の薄膜磁気
ヘッドは、強磁性体であり下部コアとなるフェライト基
板上に、薄膜コイル等のパターンを積層形成し、その後
さらにパターン形成済み基板上に、薄膜パターン保護を
兼ね、各薄膜ヘッド素子に、各々対応し、上部コアとな
る強磁性体板を固着した構造をとっている。この電磁誘
導型ヘッドの製造方法の従来例を、第５図ないし第６図
を参照しながら説明する。

まず、第５図（ａ）に示すような、下部コアとなる適当
な大きさのＮｉ−Ｚｎフェライト等のフェライト基板９
の表面９ａを研磨などにより鏡面に仕上げる。この表面
に第５図（ｂ）に示すよりに、多数の薄膜コイルパター
ン１３を、定ピッチで、かつ、複数個スパッタリング装
置などにより形成する。その後、パターン形成基板１７
を機械加工により、破線ａ−ａに沿って個々に切断し、
第５図（Ｃ）のような薄膜へラドチップ１５が得られる
。次に第６図（ａ）に示されるようなガラスなどの非磁
性体で充填されたトラック溝２およびトラック分離溝１
で分離されたコアをもつ上部コアチップ４と、薄膜ヘッ
ドチップ１５とを、上部コアチップ４の鏡面に研磨され
た貼合わせ面３及び薄膜へラドチップ１５、パターン形
成面６で、突き合わせて、薄膜へラドチップ１５と上部
コアチップ４の各々の両側面を側面から観察可能な、専
用顕微鏡を使用して、目合わせを行い、接着接合して、
第６図（ｂ）のような、電磁誘電型薄膜磁気ヘッド１６
を得る。

ところで、上述した従来のへラドコア突合せでは、上部
コアチップのトラック溝２，２間に、下部コアを有する
薄膜へラドチップ１５の薄膜コイルパターン１３が、夫
、々対応するように目合せしなければならない。

しかし、薄膜コイルパターン１３，１３．・・・は、第
６図（ｂ）に示す摺動面Ｓ□上では、極めて細い破線状
にしか見ることができず、目合せは非常に困難である。

そこで、上部コアチップ４と薄膜コアチップ１５の各側
面４ｂ、１５ｂを、目合せ専用光学顕微鏡により観測し
、画像のピントが両側面とも一致した時、目合せが実行
できたと判定していた。が、この方法では、トラック溝
２．　２の間隔寸法精度不良などにより、実際に良好な
目合せが行われているか否かを判定できない欠点があっ
た。

課の 本発明は、前記課題に鑑みて提案されたもので、薄膜へ
ラドチップの下部コアとなるフェライトの磁気ヘッド体
を形成したときに摺動面となる部分にあらかじめ、薄膜
非磁性材料で充填され、薄膜コイルパターン形成と同一
ピッチで形成する分離溝を、設けることを特徴としてい
る。

血且 上記の構成によると、薄膜へラドチップと上部コアチッ
プ両者の両側面より目合せが可能な専用顕微鏡およびＣ
ＯＤカメラやモニターテレビなどを用意しなくてもよく
、汎用の金属顕微鏡で、薄膜ヘッドチップと上部コアチ
ップ両者の摺動面となる部分を観察することができ、簡
単に、かつ正確な目合せをすることができる。

災胤旌 以下、この発明について図面を参照して説明する。

第２図は、この発明の一実施例の下部コア製造方法を示
すものである。まず、適当な大きさのフェライト基板９
に、第２図（ｂ）のように、成膜パターンに従って定ピ
ッチで、薄膜磁気ヘッド単体となったときの摺動面ＳＱ
を機械研削加工を行ってもこの下部コアトラック溝５１
が消失しない程度の深さに溝形成を行う。

溝形成面にモールドガラス材を配置し、高温炉により加
熱・溶融する。第２図（Ｃ２）のようにトラック溝に、
流れ込めずに余分となったモールドガラス１０を除去し
、第２図（ｄ）に示されるガラス充填フェライト基板１
１を得る。このガラス充填フェライト基板１１を破線ｂ
−ｂに沿って、所望の下部コア厚に切断して、第２図（
ｅ）の下部コア１２を得る。

この下部コア１２の下部コア表面１２ａを鏡面に研磨し
、第３図（ａ）のように、下部コア表面１２ａを上向き
に数枚前べて、スパッタリング装置などにより薄膜コイ
ルパターン１３を形成し、第３図（ｂ）のような薄膜ヘ
ッドチップ７を得る。その後、第１図（ａ）のように、
上部コアチップ４と、薄膜へラドチップ７をそれぞれの
貼合わせ面３とパターン形成面６とで突き合わせて、金
属顕微鏡などにより、第１図（ｂ）に示す摺動面Ｓ２で
トラックを目合わせし、接着接合して、電磁誘導型薄膜
磁気ヘッド８が得られる。

この実施例によれば、専用の顕微鏡を使うことなく、汎
用の金属顕微鏡で簡単に目合わせすることができる利点
がある。

尚、上記実施例では、ＭＴ用薄膜磁気ヘッドの電磁誘導
型薄膜磁気ヘッドの構成について説明したが、本発明は
、これに限定されることなく、その他、マルチトラック
のバルクコアを用いるマルチトラック薄膜磁気ヘッドの
製造にも適用可能であるのは勿論である。

実血超【と 第４図はこの発明の第２実施例の斜視図である。この実
施例は、電磁誘導型薄膜磁気ヘッドの上部コアと下部コ
アのトラック溝をそれぞれの突き合わせ面に対して角度
をつけて斜め形状を用いた点を除いては第１の実施例と
同様であるため、同一部分には、同一参照符号を付して
その説明を省略する。この第２実施例は、第２図（ｂ）
のトラック溝を形成する際に、フェライト基板を所望の
角度に固定して、溝形成を行うことにより斜めのトラッ
ク溝が得られるものである。

この実施例では、摺動面Ｓ３に角度のついた斜め溝であ
るためテープ摺動時に、この角度により、テープに付着
している塵埃などが凹部のトラック溝に流れ込みやすく
排除できるという利点がある。

尚、以上はこの発明の分離溝を浅く形成した例について
説明しましたが、この分離溝の深さを、薄膜コイルパタ
ーンの近傍迄深く形成すると、隣接トラック間の相互干
渉を防止できるという別の効果も奏することは明白であ
ります。

金粧盆羞果 以上説明したように、この発明は、下部コアを有する薄
膜へラドチップにもトラック溝を形成したことにより、
コア突合わせ時に、簡単に１かつ、正確な目合わせがで
き、トラックずれを極力防止できる効果がある。また、
トラック溝がガラスなどの非磁性材料であるため、フェ
ライト部とに凸凹ができ、フェライト部が凸となる形状
を選択することにより薄膜ヘッド素子とのテープタッチ
改善効果がある。また、凹のトラック溝に微細な塵埃が
流れ排除しやすいという効果もある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例に関する薄膜へラドコア斜
視図、第２図は、第１図の薄膜ヘッドチップの下部コア
製造工程図、第３図は、下部コアへの薄膜パターン形成
工程図、第４図は、他の実施例に関する薄膜へラドコア
斜視図、第５図は、従来例の薄膜へラドチップ製造工程
図、第６図は、従来例に関する薄膜へラドコア斜視図を
示したものである。 １・・・トラック分離溝、 ２・・・トラック溝、 ２′・・・斜トラック溝 ３・・・貼合わせ面、 ４．４′・・・上部コアチップ、 ６．５ゝ・・・下部コアチップ、 ６・・・パターン形成面、 ７・・・薄膜へラドチップ、 ８．８′・・・電磁誘導型薄膜磁気ヘッド、８・・・フ
ェライト基板、 ９ａ・・・フェライト基板表面、 １０・・・モールドガラス、 １１・・・ガラス充填フェライト基板、１２・・・下部
コア、 １２ａ・・・下部コア表面、 Ｉ３・・・薄膜コイルパターン、 １４・・・薄膜へラドチップ、 １５・・・薄膜へラドチップ、 １８・・・電磁誘導型薄膜磁気ヘッド、１７・・・パタ
ーン形成基板、 Ｓ２．Ｓ３・・・摺動面。 （０） （ｂ） 艙 （（１） 第 図 （ｅ） １　トララフ４ト角区月４ （α） （ｂ） 第 図 （（１） ＣＣ） １　トラ・ンフイケ）φｌＬシ舞 桟勢釦 （ｂ） 第 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　下部コアとなるヘッド基板上の一側縁に沿って多数の
   薄膜コイルパターンを定ピッチ間隔で並設し、その上に
   、上部コア板を固着してなるマルチトラック薄膜磁気ヘ
   ッドの製造において、上部コア基板にあるコア分離ガラ
   ス溝と対応してなる同等の分離溝を下部コア基板に形成
   する工程を含むことを特徴とするマルチトラック薄膜磁
   気ヘッドの製造方法。