JPH0372324B2 - - Google Patents
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- JPH0372324B2 JPH0372324B2 JP57172961A JP17296182A JPH0372324B2 JP H0372324 B2 JPH0372324 B2 JP H0372324B2 JP 57172961 A JP57172961 A JP 57172961A JP 17296182 A JP17296182 A JP 17296182A JP H0372324 B2 JPH0372324 B2 JP H0372324B2
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- 229920000840 ethylene tetrafluoroethylene copolymer Polymers 0.000 claims description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 9
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims description 7
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 7
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229920006026 co-polymeric resin Polymers 0.000 claims description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 4
- PEVRKKOYEFPFMN-UHFFFAOYSA-N 1,1,2,3,3,3-hexafluoroprop-1-ene;1,1,2,2-tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F.FC(F)=C(F)C(F)(F)F PEVRKKOYEFPFMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000000706 filtrate Substances 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 7
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 5
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 5
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 4
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 4
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 4
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 3
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000002952 polymeric resin Substances 0.000 description 1
- QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N propylene Natural products CC=C QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Filtering Materials (AREA)
- Filtration Of Liquid (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は積層式精密フイルタに用いられるフ
イルタユニツトに関する。
イルタユニツトに関する。
（従来の技術）
積層式精密フイルタユニツトは、円板状をなし
中央に貫通孔が設けられ、その周囲に多数の開口
を有する網目部がもうけられた支持体の表面を環
状をなす多孔質膜状濾材で被つたものである。こ
のフイルタユニツトは適宜の段数だけ積層され、
中央に重なつた貫通孔の一方端が閉塞され、他方
端を濾液出口としてフイルタエレメントを形成す
るものである。
中央に貫通孔が設けられ、その周囲に多数の開口
を有する網目部がもうけられた支持体の表面を環
状をなす多孔質膜状濾材で被つたものである。こ
のフイルタユニツトは適宜の段数だけ積層され、
中央に重なつた貫通孔の一方端が閉塞され、他方
端を濾液出口としてフイルタエレメントを形成す
るものである。
従来の積層式精密フイルタユニツト１は第１図
に示すように、中央に貫通孔３，３′、その周囲
に多数の開口を有する網目部４，４′を有する２
枚のステンレス製の支持板２，２′を重ね合わせ、
合わせ面に設けた溝５，５′で前記網目部４，
４′の開口と貫通孔３，３′とを連通させ、この網
目部４，４′を四弗化エチレン製の環状多孔質薄
膜濾材６，６′で被つたものである。精密濾過用
のフイルタユニツトにおいては支持板の合わせ目
が濾材外に露出していると、合わせ目に生ずるわ
ずかな洩れも濾過機能上の障害となる。
に示すように、中央に貫通孔３，３′、その周囲
に多数の開口を有する網目部４，４′を有する２
枚のステンレス製の支持板２，２′を重ね合わせ、
合わせ面に設けた溝５，５′で前記網目部４，
４′の開口と貫通孔３，３′とを連通させ、この網
目部４，４′を四弗化エチレン製の環状多孔質薄
膜濾材６，６′で被つたものである。精密濾過用
のフイルタユニツトにおいては支持板の合わせ目
が濾材外に露出していると、合わせ目に生ずるわ
ずかな洩れも濾過機能上の障害となる。
従つて濾材６，６′を支持板２，２′の外周より
外方にはみ出させ袋状にその周縁部７を溶着して
いる。この場合四弗化エチレン同志の熱溶着は困
難なので、濾材６，６′の間に、四弗化エチレン
共重合体である四弗化エチレン−エチレン共重合
樹脂または四弗化エチレン−六弗化プロピレン共
重合樹脂で成る溶着材８を挟んで加熱圧着してい
る。
外方にはみ出させ袋状にその周縁部７を溶着して
いる。この場合四弗化エチレン同志の熱溶着は困
難なので、濾材６，６′の間に、四弗化エチレン
共重合体である四弗化エチレン−エチレン共重合
樹脂または四弗化エチレン−六弗化プロピレン共
重合樹脂で成る溶着材８を挟んで加熱圧着してい
る。
（発明が解決しようとする課題）
このようなフイルタユニツト１は、積層する際
パツキン１０を挟んで締つけられるが、パツキン
材のクリープや締め付けゆるみ等により、精密濾
過に適する程度のシール性を維持できない。この
ことから、濾過前の原液側と濾過後の濾液側との
隔絶はパツキン締付け等の機械的手段によらず、
すべて溶着によつてシールしたフイルタエレメン
トが望まれている。しかも、その濾液は例えば
LSIやICの生産に用いる洗浄液や蝕刻用酸液など
に使用する目的の場合が多いので、金属や溶剤な
どを濾液中に含まないことが必要である。従つ
て、シール部分に溶剤や接着剤等を用いたものは
不適当であり、フイルタエレメントは酸や溶剤そ
の他の薬品に侵されない材料ですべての部材が構
成されていなければならない。
パツキン１０を挟んで締つけられるが、パツキン
材のクリープや締め付けゆるみ等により、精密濾
過に適する程度のシール性を維持できない。この
ことから、濾過前の原液側と濾過後の濾液側との
隔絶はパツキン締付け等の機械的手段によらず、
すべて溶着によつてシールしたフイルタエレメン
トが望まれている。しかも、その濾液は例えば
LSIやICの生産に用いる洗浄液や蝕刻用酸液など
に使用する目的の場合が多いので、金属や溶剤な
どを濾液中に含まないことが必要である。従つ
て、シール部分に溶剤や接着剤等を用いたものは
不適当であり、フイルタエレメントは酸や溶剤そ
の他の薬品に侵されない材料ですべての部材が構
成されていなければならない。
（課題を解決するための手段）
四弗化エチレンの共重合体である四弗化エチレ
ン−六弗化プロピレン共重合樹脂（以下FEPと
称す）、四弗化エチレン−パ−フルオルアルキル
ビニルエーテル共重合樹脂（以下PFAと称す）、
またエチレン−四弗化エチレン共重合体樹脂（以
下ETFEと称す）でなり、貫通孔を有するボス部
と網目部と外枠部とを備えた支持体、及び四弗化
エチレン（以下PTFEと称す）でなる環状多孔質
薄膜濾材とで構成され、薄膜濾材の外周縁が外枠
部に熱溶着され、内周縁が網目部の内方に熱溶着
されて、網目部の上下面がそれぞれ薄膜濾材で被
われたものである。
ン−六弗化プロピレン共重合樹脂（以下FEPと
称す）、四弗化エチレン−パ−フルオルアルキル
ビニルエーテル共重合樹脂（以下PFAと称す）、
またエチレン−四弗化エチレン共重合体樹脂（以
下ETFEと称す）でなり、貫通孔を有するボス部
と網目部と外枠部とを備えた支持体、及び四弗化
エチレン（以下PTFEと称す）でなる環状多孔質
薄膜濾材とで構成され、薄膜濾材の外周縁が外枠
部に熱溶着され、内周縁が網目部の内方に熱溶着
されて、網目部の上下面がそれぞれ薄膜濾材で被
われたものである。
（作用）
この積層式精密フイルタユニツトは積層されで
同軸上に重なる貫通孔の一方端を閉塞し、他方端
を濾液出口としたフイルタエレメントとして使用
される。薄膜濾材はPTFEであるが溶着される相
手の支持体はFEP、PFAまたはETFEであるか
ら、これら共重合樹脂が加熱圧着されるとPTFE
膜の内部に侵入し投描効果により溶着される。ま
たボスの端面が積層されフイルタエレメントを形
成させる場合は、ボス端面はFEP、PFAまたは
ETFEでなり互に加熱圧着されると投描効果を生
じ溶着される。これらの溶着は接着剤や溶剤を用
いない熱溶着であり、シール性は確保され、強酸
等に侵されることはない。支持体の材質も四弗化
エチレンの共重合体で濾液中に溶出することがな
い。
同軸上に重なる貫通孔の一方端を閉塞し、他方端
を濾液出口としたフイルタエレメントとして使用
される。薄膜濾材はPTFEであるが溶着される相
手の支持体はFEP、PFAまたはETFEであるか
ら、これら共重合樹脂が加熱圧着されるとPTFE
膜の内部に侵入し投描効果により溶着される。ま
たボスの端面が積層されフイルタエレメントを形
成させる場合は、ボス端面はFEP、PFAまたは
ETFEでなり互に加熱圧着されると投描効果を生
じ溶着される。これらの溶着は接着剤や溶剤を用
いない熱溶着であり、シール性は確保され、強酸
等に侵されることはない。支持体の材質も四弗化
エチレンの共重合体で濾液中に溶出することがな
い。
（実施例）
この発明を実施例により説明する。第２図にお
いて積層式精密フイルタユニツト２０は四弗化エ
チレン共重合体すなわちFEP、PFAまたは
ETFEで成る２枚の支持板２１，２１′を重ね合
わせて支持体２２とし、その上下表面にPTFE材
の多孔質環状薄膜濾材２３，２３′を熱溶着した
ものである。支持板２１，２１′は重ね合わされ
たとき上下の表面側に突出するボス部２４，２
４′を有しその中央部は貫通孔２５，２５′が穿設
されている。ボス部２４，２４′の周囲に円板状
に網目部２６，２６′が設けられ、多数の開口２
７，２７′が網目状に穿設されている。
いて積層式精密フイルタユニツト２０は四弗化エ
チレン共重合体すなわちFEP、PFAまたは
ETFEで成る２枚の支持板２１，２１′を重ね合
わせて支持体２２とし、その上下表面にPTFE材
の多孔質環状薄膜濾材２３，２３′を熱溶着した
ものである。支持板２１，２１′は重ね合わされ
たとき上下の表面側に突出するボス部２４，２
４′を有しその中央部は貫通孔２５，２５′が穿設
されている。ボス部２４，２４′の周囲に円板状
に網目部２６，２６′が設けられ、多数の開口２
７，２７′が網目状に穿設されている。
支持板２１，２１′の背面の重ね合わせ面には
溝２８，２８′が設けられ、これにより支持体内
部に通路が形成されて開口２７，２７′と貫通孔
２５，２５′を連通する。網目部２６，２６′の外
方は外枠部２９，２９′となり、支持板２１の外
枠２９は支持板２１の外枠部２９の内側に嵌合
し、その表面が同一平面をなすように組み合わさ
れる。支持板２１，２１′は溶融成形により所望
の形状のものが得られる。環状の薄膜濾材２３は
網目部２６の内方に内周縁が、外枠部２９に外周
縁が熱溶着される。また薄膜濾材２３′は網目部
２６′の内方に内周縁が熱溶着され、外周縁は支
持２１′外枠部２９′を被つて支持板２１の外枠部
２９に熱溶着される。これらの熱溶着は支持体２
２がFEP、PFAまたはETFEであるから薄膜濾
材と支持体を直接接触させて圧着加熱することが
可能で、前記の支持体材料が流動性を持ち、多孔
質薄膜濾材の組織に侵入してからみあい投描効果
により結合して溶着されるものである。
溝２８，２８′が設けられ、これにより支持体内
部に通路が形成されて開口２７，２７′と貫通孔
２５，２５′を連通する。網目部２６，２６′の外
方は外枠部２９，２９′となり、支持板２１の外
枠２９は支持板２１の外枠部２９の内側に嵌合
し、その表面が同一平面をなすように組み合わさ
れる。支持板２１，２１′は溶融成形により所望
の形状のものが得られる。環状の薄膜濾材２３は
網目部２６の内方に内周縁が、外枠部２９に外周
縁が熱溶着される。また薄膜濾材２３′は網目部
２６′の内方に内周縁が熱溶着され、外周縁は支
持２１′外枠部２９′を被つて支持板２１の外枠部
２９に熱溶着される。これらの熱溶着は支持体２
２がFEP、PFAまたはETFEであるから薄膜濾
材と支持体を直接接触させて圧着加熱することが
可能で、前記の支持体材料が流動性を持ち、多孔
質薄膜濾材の組織に侵入してからみあい投描効果
により結合して溶着されるものである。
上記のような積層式精密フイルタユニツトは所
要の段数だけ積層し、突合せたボス部端面を熱溶
着シールし、連通した貫通孔の一端を閉塞してフ
イルタユニツトとして使用され、薄膜濾材外面か
ら入つて濾過された濾液（又は気体）は網目部開
口、支持体内部の通路、中央の貫通孔を経て所要
個所に導かれる。
要の段数だけ積層し、突合せたボス部端面を熱溶
着シールし、連通した貫通孔の一端を閉塞してフ
イルタユニツトとして使用され、薄膜濾材外面か
ら入つて濾過された濾液（又は気体）は網目部開
口、支持体内部の通路、中央の貫通孔を経て所要
個所に導かれる。
（発明の効果）
この積層式精密フイルタユニツトはすべての材
料が四弗化エチレンまたはその共重合体でなり、
溶剤等を用いていないので耐薬品性、耐酸性等に
すぐれ、濾液中に金属や合成樹脂成分等が溶出す
ることはない。また支持体外周縁を袋状に包むた
めの無駄な濾材面積を必要としない。さらに支持
体はボス部の突出部分同士を直接熱溶着してフイ
ルタエレメントを形成することができるから、ス
ペーサを介在させて機械的に締付けたり、フイル
タエレメント形成の際薄膜濾材内周縁にシール手
段を施したりする必要がない。
料が四弗化エチレンまたはその共重合体でなり、
溶剤等を用いていないので耐薬品性、耐酸性等に
すぐれ、濾液中に金属や合成樹脂成分等が溶出す
ることはない。また支持体外周縁を袋状に包むた
めの無駄な濾材面積を必要としない。さらに支持
体はボス部の突出部分同士を直接熱溶着してフイ
ルタエレメントを形成することができるから、ス
ペーサを介在させて機械的に締付けたり、フイル
タエレメント形成の際薄膜濾材内周縁にシール手
段を施したりする必要がない。
第１図は従来の積層式精密フイルタユニツトの
断面図、第２図は本発明の実施例の断面図であ
る。 ２２……支持体、２３，２３′……薄膜濾材、
２４，２４′……ボス部、２６，２６′……網目
部、２９，２９′……外枠部。
断面図、第２図は本発明の実施例の断面図であ
る。 ２２……支持体、２３，２３′……薄膜濾材、
２４，２４′……ボス部、２６，２６′……網目
部、２９，２９′……外枠部。
Claims (1)
- １ 四弗化エチレンの共重合体である四弗化エチ
レン−六弗化プロピレン共重合樹脂、四弗化エチ
レン−パ−フルオルアルキルビニルエーテル共重
樹脂またはエチレン−四弗化エチレン共重合樹脂
でなり、ボス部とその側方周囲に円板状をなす網
目部と外枠部とを備え、ボス部は上下方向に突出
して上下方向の貫通孔が設けられ、網目部の上下
表面に設けた多数の開口を内部の通路によつて貫
通孔に連通させた支持体と、該支持体の外枠部に
外周縁が熱溶着され、内周縁が網目部の内方に熱
溶着されて、網目部の上下表面を被う四弗化エチ
レン製の環状多孔質薄膜濾材とでなる積層式精密
フイルタエレメント。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57172961A JPS5962323A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 積層式精密フイルタユニツト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57172961A JPS5962323A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 積層式精密フイルタユニツト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5962323A JPS5962323A (ja) | 1984-04-09 |
| JPH0372324B2 true JPH0372324B2 (ja) | 1991-11-18 |
Family
ID=15951564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57172961A Granted JPS5962323A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 積層式精密フイルタユニツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5962323A (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE8502177U1 (de) * | 1985-01-28 | 1985-08-08 | Kemmelmeyer, Werner H., 8201 Rohrdorf | Filtervorrichtung in Segmentbauweise |
| JPS6125607A (ja) * | 1984-07-13 | 1986-02-04 | Sanki Eng Co Ltd | 膜使用の分離装置 |
| DE3577404D1 (de) * | 1984-09-10 | 1990-06-07 | Hr Textron Inc | Vollstaendig aus fluorkohlenstoffharz hergestelltes filterelement. |
| EP0187358A3 (en) * | 1984-12-24 | 1987-03-18 | Kurashiki Boseki Kabushiki Kaisha | Filter element and its production |
| JPS6249922A (ja) * | 1985-08-28 | 1987-03-04 | Kurabo Ind Ltd | 多層構造フイルタ−エレメント |
| JPH01163504U (ja) * | 1988-05-02 | 1989-11-15 | ||
| DK178140B1 (en) * | 2014-02-03 | 2015-06-22 | Sani Membranes Aps | Filter plate assembly |
| DK180105B1 (en) | 2018-03-08 | 2020-05-04 | Sani Membranes Aps | A FILTER-PLATE WITH EXTERNAL FLOW AREA |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56129016A (en) * | 1979-11-05 | 1981-10-08 | Rimipoa Corp | Filter cartridge and method of manufacturing said filter cartridge and its forming element |
| JPS57110310A (en) * | 1980-12-26 | 1982-07-09 | Tsuchiya Mfg Co Ltd | Filter element unit |
-
1982
- 1982-09-30 JP JP57172961A patent/JPS5962323A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56129016A (en) * | 1979-11-05 | 1981-10-08 | Rimipoa Corp | Filter cartridge and method of manufacturing said filter cartridge and its forming element |
| JPS57110310A (en) * | 1980-12-26 | 1982-07-09 | Tsuchiya Mfg Co Ltd | Filter element unit |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5962323A (ja) | 1984-04-09 |
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