JPH0639783Y2 - 積層型フィルタカートリッジ - Google Patents
積層型フィルタカートリッジInfo
- Publication number
- JPH0639783Y2 JPH0639783Y2 JP1988095709U JP9570988U JPH0639783Y2 JP H0639783 Y2 JPH0639783 Y2 JP H0639783Y2 JP 1988095709 U JP1988095709 U JP 1988095709U JP 9570988 U JP9570988 U JP 9570988U JP H0639783 Y2 JPH0639783 Y2 JP H0639783Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core material
- laminated
- filter element
- lower plate
- filter cartridge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 考案の目的 （産業上の利用分野） 本考案は、半導体製造工業等において用いられる積層型
フイルタカートリッジに関し、特に、酸、アルカリ等の
反応性の高い化学薬品及び有機溶剤などに混入した微粒
子を高効率に除去するようにした超精密濾過機能を有す
る弗素樹脂製積層型フイルタカートリッジに関するもの
である。
フイルタカートリッジに関し、特に、酸、アルカリ等の
反応性の高い化学薬品及び有機溶剤などに混入した微粒
子を高効率に除去するようにした超精密濾過機能を有す
る弗素樹脂製積層型フイルタカートリッジに関するもの
である。
（従来の技術） 従来この種のフイルタカートリッジには、上板と膜支持
体、膜支持体の相互並びに膜支持体と下板と各層間との
接合によってフイルタカートリッジの積層強度を保持す
るようにしている。
体、膜支持体の相互並びに膜支持体と下板と各層間との
接合によってフイルタカートリッジの積層強度を保持す
るようにしている。
（考案が解決しようとする課題） 積層型フイルタカートリッジを構成する場合の最も重要
な課題は、極めて繊細な微細多孔膜に悪影響を与えるこ
となく、各層間に確実に封止すると共に積層体としての
十分な強度を与えることにある。
な課題は、極めて繊細な微細多孔膜に悪影響を与えるこ
となく、各層間に確実に封止すると共に積層体としての
十分な強度を与えることにある。
一般に、汎用プラスチック相互の接合方法としては、有
機用材や接着剤を用いる方法や超音波振動による摩擦溶
着や分子自身を振動させ内部発熱させる高周波溶着その
他被接合部を何等かの手段によって加熱溶融する方法が
知られている。
機用材や接着剤を用いる方法や超音波振動による摩擦溶
着や分子自身を振動させ内部発熱させる高周波溶着その
他被接合部を何等かの手段によって加熱溶融する方法が
知られている。
上記いずれかの方法を用いる場合においても十分信頼で
きる封止性のみならず十分強度をも得えようとする場合
には、過剰な接着剤の塗布乃至は接合部への過剰な加熱
を必要とする。
きる封止性のみならず十分強度をも得えようとする場合
には、過剰な接着剤の塗布乃至は接合部への過剰な加熱
を必要とする。
しかしながら、精密濾過のための微細多孔膜は、極めて
薄く、大きな表面積を有しているために、同一材質の板
材や棒材などでは見られない挙動を示すのが常であり、
化学的、物理的な条件変化によって、その性能が変化し
易い。このため、余剰な溶剤や接着剤の塗布或は過剰な
与熱は少なからずの悪影響を微細多孔膜に与える可能性
があって好ましくない。従って、層間の接合によっての
み積層体全体の強度を保持するためには、大きな矛盾を
含んでいる。
薄く、大きな表面積を有しているために、同一材質の板
材や棒材などでは見られない挙動を示すのが常であり、
化学的、物理的な条件変化によって、その性能が変化し
易い。このため、余剰な溶剤や接着剤の塗布或は過剰な
与熱は少なからずの悪影響を微細多孔膜に与える可能性
があって好ましくない。従って、層間の接合によっての
み積層体全体の強度を保持するためには、大きな矛盾を
含んでいる。
特に、弗素樹脂のように化学的、熱的に極めて安定であ
る難接着性樹脂の場合には、非接着部位をなんらかの手
段によって外部より加熱溶融する以外の接着方法は現在
まで知られていない。
る難接着性樹脂の場合には、非接着部位をなんらかの手
段によって外部より加熱溶融する以外の接着方法は現在
まで知られていない。
しかしながら、弗素樹脂は熱伝導性が悪いため、封止性
のみならず、十分な接合強度を得るためには非溶着部の
みを選択的に長時間加熱し、深部まで溶融させる必要が
ある。
のみならず、十分な接合強度を得るためには非溶着部の
みを選択的に長時間加熱し、深部まで溶融させる必要が
ある。
積層型フイルタにおいては、当該層間溶着部と微細多孔
膜の表面が近接しているため、被溶着部からの余剰熱が
膜面へ移行することを防ぐのは難しく、膜への悪影響な
しに十分な強度を持って層間を接合するには、設備的、
作業性などの点において多くの困難性があった。このた
め、十分な層間強度を得ようとすると、微細多孔膜に影
響があり、一方、微細多孔膜に影響を及ぼさないように
するのでは、十分な層間接合強度を得ることが難しかっ
た。
膜の表面が近接しているため、被溶着部からの余剰熱が
膜面へ移行することを防ぐのは難しく、膜への悪影響な
しに十分な強度を持って層間を接合するには、設備的、
作業性などの点において多くの困難性があった。このた
め、十分な層間強度を得ようとすると、微細多孔膜に影
響があり、一方、微細多孔膜に影響を及ぼさないように
するのでは、十分な層間接合強度を得ることが難しかっ
た。
本考案は、上記した従来の課題に鑑み開発したものであ
り、微細多孔膜に影響を与えることなく十分な層間強度
を得た積層型フイルタカートリッジを提供することを目
的としたものである。
り、微細多孔膜に影響を与えることなく十分な層間強度
を得た積層型フイルタカートリッジを提供することを目
的としたものである。
考案の構成 （課題を解決するための手段） 上記の目的を達成するため、本考案は、上板の中央開口
部に中空状の芯材を挿入し、この開口部の内周面と芯材
の頭部に設けた突条部とを熱溶着し、一方、中央開口部
を有する円盤形状の膜支持体の両面に微細多孔膜を封止
してユニット部材とし、各ユニット部材の中央開口部周
縁を溶着して積層し、積層したユニット部材の中央開口
部を上記した芯材に挿入し、この芯材の下端に設けたね
じ部をユニット部材の最下端に設けた下板の中央めねじ
部に螺着して第１のフイルタエレメントを構成し、上記
した第１のフイルタエレメントと同一の構造で構成した
第２のフイルタエレメントの芯材の頭部の上端面と第１
のフイルタエレメントの下板に形成した突条部9aの下端
面とを熱溶着してフイルタエレメント同志を接合し、最
下端部のフイルタエレメントの下板の螺着部分に密封部
を設けた。
部に中空状の芯材を挿入し、この開口部の内周面と芯材
の頭部に設けた突条部とを熱溶着し、一方、中央開口部
を有する円盤形状の膜支持体の両面に微細多孔膜を封止
してユニット部材とし、各ユニット部材の中央開口部周
縁を溶着して積層し、積層したユニット部材の中央開口
部を上記した芯材に挿入し、この芯材の下端に設けたね
じ部をユニット部材の最下端に設けた下板の中央めねじ
部に螺着して第１のフイルタエレメントを構成し、上記
した第１のフイルタエレメントと同一の構造で構成した
第２のフイルタエレメントの芯材の頭部の上端面と第１
のフイルタエレメントの下板に形成した突条部9aの下端
面とを熱溶着してフイルタエレメント同志を接合し、最
下端部のフイルタエレメントの下板の螺着部分に密封部
を設けた。
この場合、微細多孔膜はPTFEよりなる最大孔径0.01〜５
μであるのが好ましい。
μであるのが好ましい。
また、主要構成部材はPFA、EPE、FEP、ECTFE、PCTFE、E
TFE、PVDF等の熱可塑性弗素樹脂を選択するものとす
る。
TFE、PVDF等の熱可塑性弗素樹脂を選択するものとす
る。
（作用） 膜支持体の両面に微細多孔膜を封止したユニツト部材を
積層して構成したエレメントは、十分な強度を有してお
り、第１のフイルタエレメントの下板と第２のフイルタ
エレメントの芯材の頭部とを接合して少なくとも２個以
上のフイルタエレメントを連結するように構成したもの
であるから、多数枚のユニット部材を積層したフイルタ
カートリッジであっても微細多孔膜に影響を与えること
なく十分な強度を確保することができる。しかも、エレ
メント同志の芯材は中空状で、密封状態で連結されてい
るため、洗浄流体を確実に得ることができる。
積層して構成したエレメントは、十分な強度を有してお
り、第１のフイルタエレメントの下板と第２のフイルタ
エレメントの芯材の頭部とを接合して少なくとも２個以
上のフイルタエレメントを連結するように構成したもの
であるから、多数枚のユニット部材を積層したフイルタ
カートリッジであっても微細多孔膜に影響を与えること
なく十分な強度を確保することができる。しかも、エレ
メント同志の芯材は中空状で、密封状態で連結されてい
るため、洗浄流体を確実に得ることができる。
（実施例） 本考案における弗素樹脂製積層型フイルタカートリッジ
の実施例を図面に従って詳述する。
の実施例を図面に従って詳述する。
第１図乃至第３図において、中央開口部１を有する膜支
持体２の両面に微細多孔膜３を封止してユニット部材４
を構成する。膜支持体２の両面には、リング状のリブ2a
と連通孔2bを設け、膜支持体２の中央開口部１に、流路
5aを有するカップリング５を装着する。本例において
は、カップング５同志を溶着接合して積層しているが、
膜支持体２の中央部周辺に設けたボス部同志を溶着積層
しても良い。いずれにしても、膜支持体２の各ユニット
部材４の中央開口部周縁を溶着積層してフイルタカート
リッジを構成するものとする。各ユニット部材４の外周
縁に係合部６を複数個設け、これらの係合部６に接合芯
材７を係合させて溶融接合すると同時に各ユニット部材
４相互を溶融接合する。
持体２の両面に微細多孔膜３を封止してユニット部材４
を構成する。膜支持体２の両面には、リング状のリブ2a
と連通孔2bを設け、膜支持体２の中央開口部１に、流路
5aを有するカップリング５を装着する。本例において
は、カップング５同志を溶着接合して積層しているが、
膜支持体２の中央部周辺に設けたボス部同志を溶着積層
しても良い。いずれにしても、膜支持体２の各ユニット
部材４の中央開口部周縁を溶着積層してフイルタカート
リッジを構成するものとする。各ユニット部材４の外周
縁に係合部６を複数個設け、これらの係合部６に接合芯
材７を係合させて溶融接合すると同時に各ユニット部材
４相互を溶融接合する。
膜支持体２は円盤状型に形成すると良く、微細多孔膜３
はPTFEよりなる最大孔径0.01〜５μの膜が好ましく、膜
支持体２及び接合芯材７はPFA、EPE、FEP、ECTFE、PCTF
E、ETFE、PVDF等の熱可塑性弗素樹脂を適宜に選択する
ものとする。
はPTFEよりなる最大孔径0.01〜５μの膜が好ましく、膜
支持体２及び接合芯材７はPFA、EPE、FEP、ECTFE、PCTF
E、ETFE、PVDF等の熱可塑性弗素樹脂を適宜に選択する
ものとする。
積層した複数のユニット部材４の最上端に上板８を設
け、最下端に下板９を設けると共に、前記した上板８の
洗浄流体流出用の開口部10より中空状の芯材11を挿入
し、芯材11の頭部14に形成した突条部11aを熱溶着して
第１のエレメント12を構成し、第１のエレメント12の下
板９に形成した突条部9aと第２のエレメント13の芯材11
の頭部14とを接合して少なくとも２個以上のフイルタエ
レメントを連結する。芯材11の頭部14の最大径は、上板
８及び膜支持体２の中央開口部１の最大径よりも大きく
形成している。
け、最下端に下板９を設けると共に、前記した上板８の
洗浄流体流出用の開口部10より中空状の芯材11を挿入
し、芯材11の頭部14に形成した突条部11aを熱溶着して
第１のエレメント12を構成し、第１のエレメント12の下
板９に形成した突条部9aと第２のエレメント13の芯材11
の頭部14とを接合して少なくとも２個以上のフイルタエ
レメントを連結する。芯材11の頭部14の最大径は、上板
８及び膜支持体２の中央開口部１の最大径よりも大きく
形成している。
また、中空状の芯材11の側面に複数の連通口15を形成し
ており、芯材11の下端と下板９との接合手段は、芯材11
のねじ部11bと下板９のめねじ部9cとをねじ込む螺着構
造17であり、下板９の最下端の突条部9aと芯材11の頭部
14との接合手段は、熱溶着18を施して接合するものとす
る。19は第１のエレメント12の下板９の突条部9aの位置
に形成した連通孔であり、第２のエレメント13の芯材11
と内部とが連通している。
ており、芯材11の下端と下板９との接合手段は、芯材11
のねじ部11bと下板９のめねじ部9cとをねじ込む螺着構
造17であり、下板９の最下端の突条部9aと芯材11の頭部
14との接合手段は、熱溶着18を施して接合するものとす
る。19は第１のエレメント12の下板９の突条部9aの位置
に形成した連通孔であり、第２のエレメント13の芯材11
と内部とが連通している。
また、最下端部のフイルタエレメント13の下板９の螺着
部分に密封部9dを設けている。
部分に密封部9dを設けている。
第１図において、第１のエレメント12の上板８には、Ｏ
リングの装着部8aが形成されているが、第２のエレメン
ト13の上板16には、第１のエレメント12の下板９の当接
部9bと接合する突部16aを形成している。この当接部9b
と突部16aとの接合手段も、熱溶着を施して接合するも
のとする。本例においては、エレメントを２個接合して
いるが、これに限ることなく実施に応じて任意の数のエ
レメントを接合してフイルタカートリッジの強度を保持
させる。
リングの装着部8aが形成されているが、第２のエレメン
ト13の上板16には、第１のエレメント12の下板９の当接
部9bと接合する突部16aを形成している。この当接部9b
と突部16aとの接合手段も、熱溶着を施して接合するも
のとする。本例においては、エレメントを２個接合して
いるが、これに限ることなく実施に応じて任意の数のエ
レメントを接合してフイルタカートリッジの強度を保持
させる。
次に、上記実施例の作用について説明する。
膜支持体２の両面に微細多孔膜３を封止したユニット部
材４を積層して構成したエレメントは、十分な強度を有
しており、第１のフイルタエレメント12の下板９と第２
のフイルタエレメント13の芯材11の頭部14とを熱溶着手
段で接合して少なくとも２個以上のフイルタエレメント
を連結するように構成したものであるから、多数枚のユ
ニット部材４を積層したフイルタカートリッジであって
も微細多孔膜に影響を与えることなく十分な強度を確保
することができる。更に、一定枚数のユニット部材４を
積層したエレメントを複数連結し、実質的により多段の
積層を構成する場合において、第１のエレメント12の下
板９の最下端9aと第２のエレメント13の芯材11の頭部14
を強度に熱溶着し、実質的に一本となる芯材11にて複数
のエレメントが固定補強される。当該溶着は、溶着部を
過剰に加熱しても、余剰な熱は膜を封止していない下板
９と上板８の間に設けた為、膜への影響を及ぼすことな
く容易に行なえる。
材４を積層して構成したエレメントは、十分な強度を有
しており、第１のフイルタエレメント12の下板９と第２
のフイルタエレメント13の芯材11の頭部14とを熱溶着手
段で接合して少なくとも２個以上のフイルタエレメント
を連結するように構成したものであるから、多数枚のユ
ニット部材４を積層したフイルタカートリッジであって
も微細多孔膜に影響を与えることなく十分な強度を確保
することができる。更に、一定枚数のユニット部材４を
積層したエレメントを複数連結し、実質的により多段の
積層を構成する場合において、第１のエレメント12の下
板９の最下端9aと第２のエレメント13の芯材11の頭部14
を強度に熱溶着し、実質的に一本となる芯材11にて複数
のエレメントが固定補強される。当該溶着は、溶着部を
過剰に加熱しても、余剰な熱は膜を封止していない下板
９と上板８の間に設けた為、膜への影響を及ぼすことな
く容易に行なえる。
考案の効果 以上のことから明らかなように、本考案によると、微細
多孔膜に全く悪影響を与えることなく十分な層間接合強
度を得た積層型フイルタカートリッジを提供することが
できる等の有用な効果がある。
多孔膜に全く悪影響を与えることなく十分な層間接合強
度を得た積層型フイルタカートリッジを提供することが
できる等の有用な効果がある。
第１図乃至第３図は、本考案における積層型フイルタカ
ートリッジの一実施例を示したもので、第１図はフイル
タカートリッジの半截断面図、第２図は芯材の断面図、
第３図は膜支持体の平面図である。 １……中央開口部、２……膜支持体 ３……微細多孔膜、４……ユニット部材 ８……上板、９……下板 10……開口部、11……芯材 12……第１エレメント、13……第２エレメント 14……頭部、16……第２エレメントの上板
ートリッジの一実施例を示したもので、第１図はフイル
タカートリッジの半截断面図、第２図は芯材の断面図、
第３図は膜支持体の平面図である。 １……中央開口部、２……膜支持体 ３……微細多孔膜、４……ユニット部材 ８……上板、９……下板 10……開口部、11……芯材 12……第１エレメント、13……第２エレメント 14……頭部、16……第２エレメントの上板
Claims (3)
- 【請求項１】上板の中央開口部に中空状の芯材を挿入
し、この開口部の内周面と芯材の頭部に設けた突条部と
を熱溶着し、一方、中央開口部を有する円盤形状の膜支
持体の両面に微細多孔膜を封止してユニット部材とし、
各ユニット部材の中央開口部周縁を溶着して積層し、積
層したユニット部材の中央開口部を上記した芯材に挿入
し、この芯材の下端に設けたねじ部をユニット部材の最
下端に設けた下板の中央めねじ部に螺着して第１のフイ
ルタエレメントを構成し、上記した第１のフイルタエレ
メントと同一の構造で構成した第２のフイルタエレメン
トの芯材の頭部の上端面と第１のフイルタエレメントの
下板に形成した突条部9aの下端面とを熱溶着してフイル
タエレメント同志を接合し、最下端部のフイルタエレメ
ントの下板の螺着部分に密封部を設けたことを特徴とす
る積層型フイルタカートリッジ。 - 【請求項２】微細多孔膜はPTFEよりなる最大孔径0.01〜
５μである請求項１記載の積層型フイルタカートリッ
ジ。 - 【請求項３】主要構成部材はPFA、EPE、FEP、ECTFE、PC
TFE、ETFE、PVDF等の熱可塑性弗素樹脂である請求項１
又は２記載の積層型フイルタカートリッジ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988095709U JPH0639783Y2 (ja) | 1988-07-21 | 1988-07-21 | 積層型フィルタカートリッジ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988095709U JPH0639783Y2 (ja) | 1988-07-21 | 1988-07-21 | 積層型フィルタカートリッジ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0217229U JPH0217229U (ja) | 1990-02-05 |
| JPH0639783Y2 true JPH0639783Y2 (ja) | 1994-10-19 |
Family
ID=31320412
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988095709U Expired - Lifetime JPH0639783Y2 (ja) | 1988-07-21 | 1988-07-21 | 積層型フィルタカートリッジ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0639783Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4544727B2 (ja) * | 2000-11-15 | 2010-09-15 | オルガノ株式会社 | ろ過エレメントのコアソケット及びろ過エレメント |
| JP4511921B2 (ja) * | 2004-12-27 | 2010-07-28 | クリタック株式会社 | 浄水カートリッジ |
| JP5272440B2 (ja) * | 2008-02-20 | 2013-08-28 | Ｊｓｒ株式会社 | ダミーフィルター、フィルター装置、及び濾過方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62241505A (ja) * | 1984-10-31 | 1987-10-22 | ヘクスト・セラニーズ・コーポレイション | ２つ以上の異る物質を分離するための分離装置 |
-
1988
- 1988-07-21 JP JP1988095709U patent/JPH0639783Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0217229U (ja) | 1990-02-05 |
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