JPH0365918B2 - - Google Patents

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JPH0365918B2
JPH0365918B2 JP60106271A JP10627185A JPH0365918B2 JP H0365918 B2 JPH0365918 B2 JP H0365918B2 JP 60106271 A JP60106271 A JP 60106271A JP 10627185 A JP10627185 A JP 10627185A JP H0365918 B2 JPH0365918 B2 JP H0365918B2
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2221/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
    • H01L2221/67Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L2221/683Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L2221/68304Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
    • H01L2221/68313Auxiliary support including a cavity for storing a finished device, e.g. IC package, or a partly finished device, e.g. die, during manufacturing or mounting

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  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は、チツプ部品の保持プレートに関
し、特にたとえば超小型積層コンデンサのような
チツプ部品の外部電極形成のために用いられるチ
ツプ部品の保持プレートに関する。
(従来技術) 従来、積層コンデンサのようなチツプ部品に外
部電極を形成するために用いられる保持プレート
として、たとえばアメリカ合衆国特許第4395184
号(特開昭57−207328号公報に対応する)に示さ
れている複雑な構造のものが知られている。
(発明が解決しようとする問題点) 従来の保持プレートは、チツプ部品がたとえば
幅、長さおよび厚み寸法がそれぞれ0.8mm、1.6mm
および0.8mmのように非常に小さい場合、そのプ
レートを製造する上においても、またそのプレー
トを使用する上においても、解決すべき次のよう
な問題があつた。すなわち、チツプ部品が非常に
小さい場合は、その中にチツプ部品を圧入して保
持するための孔を非常に小さくしなければならな
い、孔の小さいものを作るのは困難であつた。な
ぜならば、保持プレートに含まれるゴムシートは
孔を形成するための成型用ピンを備えた金型内に
液状ゴム材料を加圧注入し成形して作るが、孔が
小さいということは成型用ピンも極めて細くしな
ければならず、ピンが細いとゴム材料を金型に注
入するときに加圧によつてピンが曲がつてしま
い、所定の孔のあいたゴムシートはできにくい。
一方、使用に際しては、多数のチツプ部品を保
持するように保持プレートの面積を大きくすれ
ば、これを用いて平板面に塗布した導電ペイント
層へ押し付けて外部電極を塗布する様に、保持プ
レートに反りが生じ、チツプ部品の電極塗布部分
が面一とならず、外部電極形成位置が不揃いとな
る。また、一方端部に外部電極の形成されたチツ
プ部品を保持プレートの孔にさらに押し込んで外
部電極の形成されていない他方端部をプレートか
ら露出させるためにプレスピンが用いられるが、
このプレスピンはチツプ部品の長さより数倍長い
ものが必要となるにもかかわらず、チツプ部品の
径が細いため強度が弱くなり、チツプ部品を保持
プレートの孔に押し込む際にプレスピンの曲がり
を生じ易い。
それゆえに、この発明の主たる目的は、非常に
小さいチツプ部品の場合であつても問題の生じな
い、チツプ部品の保持プレートを提供することで
ある。
(問題点を解決するための手段) この発明は、チツプ部品の端部に外部電極形成
等の処理を施すときに複数のチツプ部品を保持す
るためのチツプ部品保持プレートであつて、弾性
材料からなるシート状部材、シート状部材に形成
され、それぞれがチツプ部品の少なくとも一方端
部をシート状部材から突出させた状態で、チツプ
部品を弾性的に保持し得る複数個の貫通孔、およ
びシート状部材の少なくとも一方面上に形成され
た磁力吸着可能な材料からなり、かつシート状部
材の各貫通孔に対応する位置にその貫通孔よりも
大きな貫通孔が形成された磁力吸着用プレートを
備える、チツプ部品の保持プレートである。
(作用) シート状部材の複数の貫通孔には、チツプ部品
の一方端部が押し込まれて、チツプ部品の他方端
部がシート状部材の面より露出した状態で保持さ
れる。複数個のチツプ部品を装着した状態で磁力
吸着用プレートの面がマグネツトプレートにその
磁力によつて吸着される。このとき、チツプ部品
の他方端部が露出されているシート状部材の面が
下向きとなり、その状態でたとえば外部電極材料
のペースト層にチツプ部品の露出している端部を
押し付け、その端部に外部電極を塗布することが
できる。
(発明の効果) この発明によれば、極めて小さいチツプ部品を
保持することができる保持プレートが容易に製造
でき、使用上の問題を生じることもない。すなわ
ち、この発明の保持プレートは、シート構造が単
純でしかもシート状部材の厚みが薄くできるの
で、極小径の貫通孔を形成することができる。さ
らに、シート状部材は磁力吸着用プレートによつ
てマグネツトプレートに保持され得るので、その
マグネツトプレートの平面度さえ精度よくつくれ
ば、保持プレートがそりを生じたりすることもな
く、したがつて、チツプ部品の加工精度の向上が
期待できる。さらに、シート状部材の厚みを薄く
すればチツプ部品を貫通孔に圧入するためのプレ
スピンの長さも短くすることができ、したがつて
ピン強度が高められ得る。
この発明の上述の目的、その他の目的、特徴お
よび利点は、図面を参照して行う以下の実施例の
詳細な説明から一層明らかとなろう。
(実施例) 第1図、第2図および第3図はこの発明の一実
施例を示す図であり、特に第1図は要部拡大断面
図を示し、第2図は要部拡大平面図を示し、第3
図は保持プレートの平面図を示す。
チツプ部品の保持プレート10は、たとえばシ
リコンゴムのような弾性材料からなるシート状部
材12と、たとえばステンレス(SUS430)のよ
うな可撓性に富む鉄系合金であつて磁力吸着可能
な材料からなる磁力吸着用プレート14との積層
一体構造を含む。
このシート状部材12の縦方向と横方向には、
それぞれ複数の貫通孔16が形成される。貫通孔
16の内系は、チツプ部品(図示せず)の外形と
ほぼ同じか、それよりもやや小さい断面4角状に
形成される。このように、やや小さい貫通孔16
を形成するのは、それら貫通孔16へ、チツプ部
品を押し込む(圧入する)ことによつて、シート
状部材12の弾性力でチツプ部品を保持するため
である。
磁力吸着用プレート14には、シート状部材1
2の複数の貫通孔16位置毎に対応して、貫通孔
16の内径より大きな円形状の貫通孔17が開け
られ、その円形状の貫通孔17は4角形状の貫通
孔16の周囲を囲む。この磁力吸着用プレート1
4は、それを磁力によつて吸着して保持プレート
10を支持するために利用される。
保持プレート10の縦方向(または横方向)中
心の両端部近傍には、位置決め用孔18aおよび
18bが形成されてもよい。
次に、保持プレート10の製造方法について、
第4図を参照して簡単に説明する。第1の金型
(下金型)20には、保持プレート10の平面形
状に応じた形状の凹みが形成され、その凹みの深
さは保持プレート10の厚さとほぼ等しく選ばれ
る。その凹みの底面には、シート状部材12のそ
れぞれの貫通孔16を形成するため4角柱状の成
型用ピン22が直立して形成される。そして、こ
の第1の金型20の凹みの底面には、離型剤24
が塗られる。
一方、複数の貫通孔16に対応する位置毎に円
形の貫通孔17がたとえばプレス成型やエツチン
グなどで形成されている磁力吸着用プレート14
が準備される。この磁力吸着用プレート14は、
その上面にプライマー26が塗られ、その各円形
の貫通孔17が成型用ピン22に挿通されるよう
に位置決めされかつその下面が凹みの底面に(離
型剤24に)接触するように、第1の金型20内へ
入れられる。そして、この第1の金型20内にシ
ート状部材12の材料である液状シリコンゴムが
注入される。
第1の金型20の上部には、その下面に離型剤
24が塗られた第2の金型28が重ね合わせら
れ、その全体を加熱することによりシリコンゴム
を硬化させる。これによつて、第1図〜第3図に
示すようにそれぞれの貫通孔16を有するシリコ
ンゴムからなるシート状部材12と磁力吸着用プ
レート14とが一体的に成型される。
次に、第5A図〜第5D図を参照して、この実
施例の保持プレート10を用いて、チツプ部品に
外部電極を形成する工程の一例を説明する。
まず、第5A図に示すように、保持プレート1
0が磁力吸着用プレート14を下向きにして適宜
位置決めされ、シート状部材12の上面にローデ
イングプレート30が載せられる。ローデイング
プレート30は保持プレート10すなわちシート
状部材12の複数の貫通孔16に対応する位置に
形成された漏斗状のガイド孔32を有する。そし
て、ローデイングプレート30の上面に積層コン
デンサなどの多数のチツプ部品34が供給され、
保持プレート10およびローデイングプレート3
0が左右前後にゆさぶられる。このとき、チツプ
部品34は、各ガイド孔32に嵌り込み、各貫通
孔16の上部位置にもたらされる。
続いて、第5B図に示すように、各ガイド孔3
2の上方からプレスピン36がガイド孔32を通
して挿入される。このプレスピン36の挿入によ
つて、チツプ部品34の一方端部(第5B図では
下端部)がシート状部材12の貫通孔16に圧入
され、チツプ部品34がその他方端部をシート状
部材12の面から突出した状態で貫通孔16すな
わちシート状部材12によつて弾性的に保持され
る。このとき、プレスピン36の挿入行程を一定
にすれば、シート状部材12の面より突出してい
るチツプ部品34の他方端部(第5B図では上端
部)の長さが一定に揃うことになる。
続いて、第5C図に示すように、複数の貫通孔
16へチツプ部品34を弾性的に保持した保持プ
レート10が上下面を逆転されて、磁力吸着用プ
レート14が上向きとされる。この状態で、マグ
ネツトプレート38の磁力によつて、その吸着用
プレート14が吸着される。このとき、磁力吸着
用プレート14は、可撓性を有するものであるの
で、マグネツトプレート38の吸着面が平坦な面
であれば、保持プレート10に反りが生じること
なく、したがつて、シート状部材12から下向き
に突出している複数のチツプ部品34の他方端部
(第5C図では下端部)が面一に揃うことになる。
このマグネツトプレート38は支持部材40に
よつて垂下された状態で支持される。マグネツト
プレート38の下方には、外部電極の材料となる
銀などのペースト状の導電ペイントを薄くひきの
ばした状態の平板42が置かれる。そして、支持
部材40が下方に下げられて、保持プレート10
によつて保持された複数のチツプ部品34の先端
部が平板42に押し付けられる。したがつて、各
チツプ部品34の他方端部に導電ペイントが付着
する。その後、支持部材40すなわちマグネツト
プレート38が引き上げられて、加熱乾燥され
る。これによつて、保持された複数のチツプ部品
34のシート状部材12から露出している他方端
部に外部電極が形成される。
続いて、第5D図に示すように、同じ構造の別
の保持プレート10′が磁力吸着用プレート14
を下向きにした状態で準備される。別の保持プレ
ート10′の上方には、スペーサ44を介して、
先の工程で他方端部に外部電極の形成されたチツ
プ部品34を保持している保持プレート10がも
たらされ、貫通孔16および16′が互いに対応
するように位置決めされる。その後、その上部か
らプレスピン36が圧入されて、複数のチツプ部
品34が別の保持プレート10′に移される。こ
のため、別の保持プレート10′の各貫通孔1
6′には、外部電極の形成された他方端部が挿入
され、まだ外部電極の形成されていない一方端部
がシート状部材12′の面から突出した状態で、
チツプ部品34が保持プレート10′によつて弾
性的に保持されることになる。この保持プレート
10′が再び第5C図に示す工程にもたらされ、
チツプ部品34の外部電極の形成されていない一
方端部に外部電極が形成される。そして、この一
方端部の外部電極を加熱乾燥したのちに、チツプ
部品34をプレスピンにて保持プレート10′か
ら押し出し、チツプ部品34の外部電極に焼付処
理が施される。
第6図はこの発明の他の実施例を示す要部拡大
断面図である。この実施例では、保持プレート5
0は、シリコンゴムなどのシート状部材52とス
テンレスなどの磁力吸着用プレート54とが貼り
合わせて構成される。すなわち、シート状部材5
2には、縦方向および横方向の一定間隔毎のそれ
ぞれに、プレスまたは射出成型などによつて断面
4角形状の貫通孔56が形成される。磁力吸着用
プレート54には、シート状部材52の各貫通孔
56に対応する位置に、貫通孔56の内径よりも
少し大きな円形の貫通孔58がたとえばプレスや
エツチングによつて形成される。このシート状部
材52および磁力吸着用プレート54の対向する
面に接着剤が塗られ、両者が貫通孔56と58と
を一致させるように位置決めされて、貼り合わさ
れる。
この実施例のような貼り合わせ構造の保持プレ
ート50であれば、特別の金型を必要としないの
で安価に構造できる利点がある。
第7図はこの発明のさらに他の実施例を示す要
部拡大断面図である。この実施例の保持プレート
60は、第1図に示す保持プレート10の裏面に
さらに磁力吸着用プレート54を貼り合わせたも
のである。
また、第1図,第6図および第7図に示す保持
プレート10,50および60の厚さをチツプ部
品の長さより薄くし、保持プレートの両面からチ
ツプ部品34の両端部を突出させるようにしてチ
ツプ部品を保持しておき、チツプ部品34を保持
した保持プレートを第8図に示すような突出して
いるチツプ部品端部を収納する凹みを有するマグ
ネツトプレート38′に吸着させるようにしても
よい。こうした場合は、チツプ部品の両端部に外
部電極を形成するのに、別の保持プレートに移し
かえる必要がなくなり、チツプ部品をプレスピン
36で押し込む工程が1回に省略できる利点があ
る。
以上のいずれの実施例においても、チツプ部品
を保持する貫通孔は断面4角形状のものとして説
明しているが、丸形状等の他の形状でもさしつか
えはない。また、磁力吸着用プレート14,54
は、それ自身が磁力を有していてもよく、この場
合は、マグネツトプレート38,38′は、磁力
を有しない単なる支持プレートであつてもよい。
【図面の簡単な説明】
第1図、第2図および第3図はこの発明の一実
施例を示す図であり、時に第1図は要部拡大断面
図を示し、第2図は要部拡大平面図を示し、第3
図は保持プレートの平面図を示す。第4図は保持
プレートの製造方法を示す断面図である。第5A
図〜第5D図は保持プレートを用いてチツプ部品
に外部電極を形成する工程を示す図であり、特に
第5A図は保持プレートの各貫通孔上にチツプ部
品を位置決めする工程を示し、第5B図に位置決
めされたチツプ部品を貫通孔に圧入する工程を示
し、第5C図は保持プレートをマグネツトプレー
トに磁力吸着させて外部電極を付着する工程を示
し、第5D図は別の保持プレートにチツプ部品を
移す工程を示す。第6図はこの発明の他の実施例
を示す要部拡大断面図である。第7図はこの発明
のさらに他の実施例を示す要部拡大断面図であ
る。第8図はマグネツトプレートの他の例を示す
要部拡大断面図である。 図において、10,50および60は保持プレ
ート、12および52はシート状部材、14およ
び54は磁力吸着用プレート、16および56は
貫通孔を示す。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 チツプ部品の端部に外部電極形成等の処理を
    施すときに複数の前記チツプ部品を保持するため
    のチツプ部品保持プレートであつて、 弾性材料からなるシート状部材、 前記シート状部材に形成され、それぞれが前記
    チツプ部品の少なくとも一方端部を前記シート状
    部材から突出させた状態で、前記チツプ部品を弾
    性的に保持し得る複数個の貫通孔、および 前記シート状部材の少なくとも一方面上に形成
    された磁力吸着可能な材料からなり、かつ前記シ
    ート状部材の各貫通孔に対応する位置にその貫通
    孔よりも大きな貫通孔が形成された磁力吸着用プ
    レートを備える、チツプ部品の保持プレート。 2 前記磁力吸着用プレートは、前記シート状部
    材の両面に形成される。特許請求の範囲第1項記
    載のチツプ部品の保持プレート。 3 前記磁力吸着用プレートは、前記シート状部
    材と一体的に形成される、特許請求の範囲第1項
    または第2項記載のチツプ部品の保持プレート。 4 前記磁力吸着用プレートは、前記シート状部
    材に貼り合わせて形成される、特許請求の範囲第
    1項または第2項記載のチツプ部品の保持プレー
    ト。 5 前記磁力吸着用プレートは、可撓性に富む鉄
    系合金からなる、特許請求の範囲第1項ないし第
    4項のいずれかに記載のチツプ部品の保持プレー
    ト。 6 前記シート状部材は、シリコンゴムからな
    る、特許請求の範囲第1項ないし第5項のいずれ
    かに記載のチツプ部品の保持プレート。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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JPS5153259A (ja) * 1974-11-06 1976-05-11 Hitachi Ltd
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