JPH036477A - 磁束密度検出装置 - Google Patents

磁束密度検出装置

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Publication number
JPH036477A
JPH036477A JP1141106A JP14110689A JPH036477A JP H036477 A JPH036477 A JP H036477A JP 1141106 A JP1141106 A JP 1141106A JP 14110689 A JP14110689 A JP 14110689A JP H036477 A JPH036477 A JP H036477A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
hall element
magnetic flux
magnet
yoke
detection
Prior art date
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Pending
Application number
JP1141106A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshihiko Kawai
俊彦 河合
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP1141106A priority Critical patent/JPH036477A/ja
Publication of JPH036477A publication Critical patent/JPH036477A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Measuring Magnetic Variables (AREA)
  • Rotational Drive Of Disk (AREA)
  • Holding Or Fastening Of Disk On Rotational Shaft (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、ディスク装置のスピンドルモータにディスク
を装着する際に、ディスク・チャッキングの良否を検出
するための磁束密度検出装置に関する。
[従来の技術] 従来から知られる磁束密度検出装置の平面構造を第4図
(八)に示す。
図において、ディスクDKのディスクハブDH及びスピ
ンドルモータ回転部1は、磁性材料(例えばフェライト
系ステンレス鋼)で形成されている。一方、スピンドル
モータ回転部1に配置されたリング状のディスクチャッ
キング用マグネット2としては、スピンドルモータ軸方
向に着磁した永久磁石が用いられている。このマグネッ
ト2の漏洩磁束を検出するためのホール素子3は、第4
図(B)に示す如くボール部(検出部)3aをスピンド
ルモータ回転部1乃至はマグネット2の側周面に向けて
配置されている。
上記の構成において、ディスクDKをスピンドルモータ
回転部1にチャッキング(装着)しない時(以下、°′
ファンチャッキング時°と称す)とチャッキングした時
(以下、°′チャッキング時°′と称す)とのマグネッ
ト2の漏洩磁束りは、それぞれ第5図(A) 、 (B
)に示す如くとなる。ここでポール素子3で検出される
チャッキング時の溜れ磁束密度B。及びアンチャッキン
グ時の漏れ磁束密度Buに対し、下記の判別式 %式%( を適用することによりディスクDKのチャッキングの良
否の判定を行い得る。即ちチャッキングが良好である場
合は判別式 (I)が成り立つ。
尚、このチャッキングの良否判定を正確にする目的で、
ホール素子3の配置位置は漏洩磁束発生位置(スピンド
ルモータ回転部1)になるへく近接させるのが望ましい
[発明が解決しようとする課題] 上記の従来装置においては、アンチャッキング時の漏洩
磁束密度を検出する際に、漏洩磁束りが必ずしもホール
素子3の検出方向を通るとは限らない。換言すれば、ポ
ール素子素子3の向きや位置精度によって漏洩磁束密度
の検出精度が不安定となる。これは例えば第5図(A)
を参照すると明らかである。
また、上述したようにホール素子3はスピンドルモータ
回転部1に近接させるのが望ましいものの、実際に近接
させるには限界がある。これはスピンドルモータ回転部
1の回転が高速であり、更にホール素子3自体の大きさ
や形状による制約を受けるためである。従ってポール素
子3を理想的に配置することは困難であり、それに伴な
い検出感度のダイナミックレンジが狭くなるという不都
合があった。
本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、その
目的とするところは、ポール素子の検出精度の不安定化
を解消すると共に検出感度を向上させ、より正確なチャ
ッキング判定を可能とする磁束密度検出装置を提供する
ことである。
[課題を解決するための手段] 上記目的を達成するために本発明は、スピンドルモータ
の軸方向に着磁され、且つ周方向に均一な磁界を発生す
るマグネットを該スピンドルモータと同心状に配置する
と共に、前記マグネットの側周面近傍に、該側周面に対
向する検出面を有するホール素子を配置し、該ホール素
子により前記マグネ・ントの磁束密度を検出するように
なした磁束密度検出装置において;前記ホール素子の前
記検出面とは反対側の端面にヨークを配置し、該ヨーク
は前記検出面を垂直に貫く長手軸心上に延在するように
したものである。
この場合、前記ヨークの前記長手軸心に垂直な断面の面
積が、前記ホール素子に近い側よりも該ホール素子に遠
い側で犬なるように形成しても良い。
上記の本発明の構成によれば、マグネットから発生して
ヨークを通過する磁束は、全てホール素子の検出面を垂
直に貫く長手軸心上に誘導され、ポール素子の検出面に
対して垂直に入射することになる。従って検出面は磁束
を垂直状態で検出でき、ホール素子の位置精度や向きに
よる不安定さはなくなる。また、従来例ではホール素子
を通過していない磁束も、本発明によればヨークによっ
て誘導されるため、ポール素子の検出感度のダイナミッ
クレンジが向上し、チャッキング判定が更に正確になる
一方、ヨークの形状を例えば曲率な持たせたりテーパ状
に形成し、その長手軸心に垂直な断面の面積がホール素
子に遠い側で犬なるようにすると、ヨークの磁束入射面
積が広く確保される。従ってポール素子の検出感度がよ
り向上する。
本発明の特徴と利点を一層明確にするために、好ましい
実施例について添付図面とともに説明すれば以下の通り
である。
[作 用] [実施例] 第1図に本発明の実施例を示す。この第1図は上記従来
技術の第4図(A)に対応するものである。
第1図において、本発明の上記従来技術との相違点は、
ホール素子3の検出面とは反対側の端面にヨーク4aを
配置したことである。このヨーク4aは、図の如く検出
面を垂直に貫く長手軸心上に延在する形状を採っている
この本発明の構成によるアンチャッキング時のマグネッ
ト2の漏洩磁束りは、第2図に示す如くとなる。この第
2図を上記従来技術の第5図CB)と比較すると、本発
明の利点は明らかである。即ち作用の項で述べた通り、
従来例ではホール素子3を通過し得ない磁束をも含む全
ての磁束りが、本発明ではヨーク4aによりホール素子
3の検出面に垂直に誘導される。
次に本発明の他の実施例を第3図に示す。
図に示されるヨーク4b、4cは、上記実施例のヨーク
4aの変形例として、ホール素子3の反対側のヨーク端
面40の面積、即ち磁束の入射面積を広く確保する構成
例を示すものである。
先ずヨーク4bは、ホール素子3に近い側から遠い側に
向フてテーパ状に太くなるように形成しである。一方、
ヨーク4Cは、図の如く長手方向断面を丁字形状としで
ある。
尚、第1図乃至第3図の実施例では、各ヨークの長手方
向を直線状として図示したが、本発明はこれに限定され
るものではない。例えばヨークの下側に隣接する構造部
品が存在する場合、その部品形状等に応じてヨークに適
宜曲率を持たせ、ポール素子3に近い側から遠い側に向
って放物状に拡がる構成としても上記実施例と同様の効
果が奏される。
[発明の効果コ 以上説明したように本発明の磁束密度検出装置は、全て
の漏洩磁束をヨークによって誘導し、その誘導された磁
束がホール素子の検出面に対して垂直状態で検出される
ように構成されている。それ故、ポール素子の位置精度
や向きによる検出精度の不安定さが解消されると共に、
検出感度のダイナミックレンジが向上する。従って従来
に比してチャッキング判定を正確に行ない得るという効
果がある。
また、ヨークの磁束入射側の端面の面積を適宜に広くす
る構成を採ることにより、更に効果が期待できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例に係る磁束密度検出装置の構
成例を示す平面図、第2図は前図の装置によるアンチャ
ッキング時の漏洩磁束の状態を示す説明図、第3図は本
発明の他の実施例に係る磁束密度検出装置の構成例を示
す側面図、第4図(八)は従来の磁束密度検出装置の構
成例を示す平面図、第4図(B)は前図のA−A方向矢
視側面図、第5図(A)は前図の装置によるアンチャッ
キング時の漏洩磁束の状態を示す説明図、第5図(B)
は同じくチャッキング時の漏洩磁束の状態を示す説明図
である。 [主要部分の符号の説明] 1・・・スピンドルセータ回転部 2・・・チャッキング用マグネット 3・・・ホール素子、3a・・・検出部(ホール部)4
a、4b、4c・・・ヨーク、40・・・ヨーク端面面
、各図中、同一符号は同一または相当部を示す。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)スピンドルモータの軸方向に着磁され、且つ周方
    向に均一な磁界を発生するマグネットを該スピンドルモ
    ータと同心状に配置すると共に、前記マグネットの側周
    面近傍に、該側周面に対向する検出面を有するホール素
    子を配置し、該ホール素子により前記マグネットの磁束
    密度を検出するようになしたものにおいて、 前記ホール素子の前記検出面とは反対側の端面にヨーク
    を配置し、該ヨークは前記検出面を垂直に貫く長手軸心
    上に延在することを特徴とする磁束密度検出装置。
  2. (2)前記ヨークの前記長手軸心に垂直な断面の面積が
    、前記ホール素子に近い側よりも該ホール素子に遠い側
    で大なるように形成されていることを特徴とする請求項
    1に記載の磁束密度検出装置。
JP1141106A 1989-06-05 1989-06-05 磁束密度検出装置 Pending JPH036477A (ja)

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ID=15284319

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Cited By (3)

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WO2011013451A1 (ja) * 2009-07-31 2011-02-03 株式会社 鷺宮製作所 圧力センサ及びその調整方法
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JP2020051917A (ja) * 2018-09-27 2020-04-02 アイシン精機株式会社 円筒状超電導体の検査装置及び検査方法

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