JPH0355804B2 - - Google Patents

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JPH0355804B2
JPH0355804B2 JP14240488A JP14240488A JPH0355804B2 JP H0355804 B2 JPH0355804 B2 JP H0355804B2 JP 14240488 A JP14240488 A JP 14240488A JP 14240488 A JP14240488 A JP 14240488A JP H0355804 B2 JPH0355804 B2 JP H0355804B2
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  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
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Description

【発明の詳細な説明】 この発明はホログラム及びホログラムの製造方
法及びホログラムを利用した光ビーム走査装置に
関する。
干渉縞を記録したホログラムというものがあ
る。このホログラムは多岐にわたつて利用される
が、その一例として光ビーム走査装置に利用した
ものがある。
ホログラムを用いた光ビーム走査装置は、ホロ
グラムを回折格子として利用し、ホログラム内で
格子周期に分布があるホログラムを一次元的に移
動することによつて、回折角を変化させて光偏向
を行なう。この様な光ビーム走査装置に使用され
るホログラムに記録されるべきホログラム上の干
渉縞の位相分布は理論的に知られており、ホログ
ラム上にx−y軸をとると、位相分布φ1(x,
y)は φ1(x,y)=(Πr2)/(ΛF) (1) となる。
ここにr2=x2+y2、Λは光の波長、Fはホログ
ラムの焦点距離である。この様な、位相分布の干
渉縞の半径roはφ1(x,y)=2Πoから次式のよう
になる。
ro=√2o (2) ここに、nは干渉次数を表す整数である。従
来、(2)式の干渉縞を光学的に得るためには、平面
波と球面波の干渉による方法がとられていた。
この場合に、得られる干渉縞の位相は、 φ2(x,y)=2Π/Λ[√22−F] (3) であり、干渉縞の半径ro′はφ2(x,y)=2Πoから ro′=√2o+(o2 (4) となる。したがつて、この干渉縞が理想的な干渉
縞に近似できるのは、 2ΛFo≫(oΛ)2 (5) すなわち F≫oΛ/2 (6) の場合である。この様な位相分布を有する干渉縞
を記録したホログラムを光ビーム走査装置に利用
すると、ホログラムの周辺に行くに従い収差が増
加し、走査スポツトが走査方向に伸びることが知
られている。このため分解能が劣化し、大きな走
査角の光ビーム走査装置が得られなかつた。
この様な走査スポツトの変形を小さくするた
め、従来は、干渉させる平面波に位相板を入れて
位相を補正する方法が試みられていたが、この方
法は、位相板として計算機で合成された干渉縞を
記録したホログラムを使うため、位相板内の位相
分布がデイジタル的で、この様な位相板を高精度
に作る手段が無いため十分な収差補正ができなか
つた。又、本願出願人による特願昭53−11711号
においては、従来の平面波と球面波との干渉に変
えて、発散球面波と集束球面波との干渉で干渉縞
を生成する方法を提案している。
その方法においては、ホログラムに記録された
干渉縞の位相分布は φ=2Π/Λ[√22 1−F1+√22 2−F2] である。この場合の第(6)式に対応する近似条件
は、 F≫oΛ/8 (7) であるから、干渉次数で4倍の改善がされ、この
ような干渉縞を記録したホログラムを用いた光ビ
ーム走査装置では従来の4倍程度の走査角に改善
されることが述べられている。しかし、この特願
昭53−11711号に記載された方法によつてもまだ
収差補正効果が不十分であるため、大走査角を必
要とし、又走査ビーム径の許容変動のきびしい、
画像記録等への応用はできなかつた。
この発明の目的は3つあり、その1つは従来に
なく近似度が高く収差補正が充分になされたホロ
グラムを提供する。2つめは前記ホログラムを製
造する方法を提供する。そして最後の3つめは走
査スポツトの収差が小さい光ビーム走査装置を提
供することにある。
まずホログラムとその製造方法について併せて
説明する。この発明のホログラムに記録すべき干
渉縞の生成方法は、2つあり、その一つはN個
(Nは整数)の球面波の位相を減算して得られる
位相減算発散波及び位相減算集束波のどちらか一
方の位相減算波と球面波との干渉によつて干渉縞
を生成する方法であり、もつ一つはN個球面波の
位相を減算して得られる位相減算発散波とM個の
球面波の位相を減算して得られる位相減算集束波
(M=Nも含む)との干渉によつて干渉縞を生成
する方法である。
位相減算波を得る具体的な方法としては、減算
するべき複素振幅透過率の画像を記録した透明板
を物理的にN個重ね合せ、これに平面波を照射す
ることで得られる。または別な方法としては発散
球面波と集束球面波の干渉により得られる第1の
干渉縞を記録したホログラムに平面波を照射して
生成される前記2つの球面波の位相が減算された
位相減算波と球面波を干渉させて第2の干渉縞を
生成し、さらにこの第2の干渉縞を記録したホロ
グラムに平面波を照射し、前記3つの球面波の位
相減算波を発生させて、この位相減算波と球面波
とで第3の干渉縞を生成させる工程をくり返すこ
とでN個の球面波の位相減算波を得る方法があ
る。さらには前述の位相減算波どうしをくり返し
干渉させて得られる干渉縞を記録したホログラム
に平面波を照射してK個の球面波の位相減算波を
得る方法もある。本発明のホログラムの製造方法
は上述の後二者により得られる位相減算波を使つ
て、位相減算波と球面波または位相減算波どうし
を干渉して得られる干渉縞を記録媒体に記録して
ホログラムを製作する方法である。
次に図面を参照してこの発明を詳細に説明す
る。
第1図は、この発明で言うところの、2つの波
面の位相減算された波面を得る方法を説明するた
めの光学系を示す図である。
第1図において、ホログラム面3に垂直なZ軸
を光軸とし、この光軸上の点1から発散する発散
球面波と、ホログラム面を対称面として点1と対
称な点2に集束する集束球面波の干渉縞がホログ
ラム面3で感光体に記録される場合を考案する。
今、簡単のため、2つの球面波の位相についての
み着目すると、点1から発散する発散球面波O1
及び点2に集束する集束球面波R1の座標(r,
z)の点における位相は次の様に表される。な
お、rはホログラム面3上の極座標の動径であ
る。
O1=exp[−ik(√2+(−)2+Zo)] (8) R1=exp[ik(√2+(−R2−ZR)] (9) ここにkはk=2Π/Λ(Λは光の波長)であ
る。Zo、ZRは各々点1及び点2のZ座標である。
今、Zo=−f1、ZR=f2として、Z=0すなわち
ホログラム面3上では、(8)、(9)式は O1=exp[−ik(√21 2−f1)] (10) R1=exp[ik(√22 2−f2)] (11) となる。
ホログラム面上に記録される干渉縞H1は H1=R* 1O1+R1O1 * (12) で表され、*は複素共役を表す。(12)式に(10)、
(11)式を代入すると H1=exp[−ik(√21 2−f1+√22 2−f
2)]+exp[ik(√21 2−f1+√22 2 −f2)]=2cos{k(√21 2−f1+√2
2 2−f2)}(13) となる。(13)式で表される干渉縞を記録したホ
ログラムを平面波exp[−ikz]で照射すると、再
生される光W1は W1=exp[−ikz]H1=exp[−ik(√21 2−f1
+√22 2−f2+Z)] +exp[ik(√21 2−f1+√22 2−f2
−Z)](14) となる。(14)式右辺第1項は、球面波ではない
発散波、第2項は球面波でない集束波であること
が知れる。
(14)式を、このホログラムを製作するのに使
用した2つの球面波の位相(10)、(11)式と比較す
ると、(14)式の2つの光の位相はもとの2つの
球面波の位相を互いに減算したものであることが
わる。このことは干渉縞を表す一般式(12)式を
考案しても容易に理解される。
今、(14)式右辺第1項の発散波をO2とする
と、O2はZ=0の面では、 O2=exp[−ik(√21 2−f1+√2
2 2−f2)](15) となる。前述の点1,2と同じように光軸(Z
軸)上にあるもう一つの点30(O、f2)に集束
する集束球面波をR2とすると次式で表される。
R2=exp[ik(√23 2−f3)] (16) 次に発散波O2と集束球面波R2の2つの光を干
渉させて得られる干渉縞は、(12)式に従つて H2=exp[−ik(√21 2−f1+√22 2−f
2+√23 2−f3)]+exp[ik(√21 2−f1 +√22 2−f2+√23 2−f3)]=2cos
{k3n=1 (√2o 2−fo)} (17) となる。Z=0の平面上干渉縞の位相の分布を
φ3とすると φ3=k3n=1 (√2o 2−fo)} (18) となつている。この様にして得られた干渉縞を記
録したホログラムを平面波で照射して再生させる
集束波とこれに可干渉で上記3つの球面波と同じ
光軸を有する球面発散波、又は再生される発散波
と、これに可干渉で、上記3つの球面波と同じ光
軸をもつ集束球面波の干渉で再び干渉縞を作るこ
とを繰り返し行なつて得られるZ=0における平
面上の干渉縞の位相分布は φN=kNn=1 (√2o 2−fo)} (19) となることは容易に理解される。又、上記の説明
では、ホログラムの再生波と球面波でホログラム
を作つたが、ホログラムからの再生波(集束波)
と他の同様なホログラムからの再生波(発散波)
でホログラムを作ることを繰り返して行なえば同
様に(19)式の位相分布のホログラムが得られ
る。(19)式においてNは、使用した球面波の数
である。
本発明のホログラムは記録された干渉縞の位相
分布が前述の(19)式で表される干渉縞を記録し
たものであり、原理的には前述の方法によつて得
られる。この本発明のホログラムは以下に述べる
ような優れた点を有する。
本発明のホログラムの焦点距離をFとすると
(19)式のホログラムは球面波の合成であるから 1/F=Nn=1 1/fo (20) 今、説明の便宜上、foは全て等しいとしてfe
おくと 1/F=N/fe (21) したがつて fe=NF (22) (22)式を(19)式に代入すると φN=Nk(√2+()2−NF) (23) となり、n次の干渉縞の半径をφN=2Πnから求め
ると となり、このホログラムが理論上のホログラムで
ある(2)式に近似できるのは 2ΛFo/(Λo/N)2 (25) すなわち、 F≫Λo(/(2N2) (26) のときである。
例えばN=3の場合は F≫Λo/18 (27) となる。これは、従来の平面波と球面波の干渉で
得られる干渉縞を記録したホログラムの近似条件
である(6)式と比べると同じ近似度になるのは、
(27)式のnが(6)式のnの9倍になつたときであ
る。
すなわち、従来の場合に比べ干渉次数にして9
倍まで同一近似度で使えるから、干渉縞の半径に
して3倍迄同一近似度で使える。したがつて本発
明の方法によればホログラムの大きさとして、従
来の3倍の大きさ迄使えることになる。
以上はN=3の場合であるが、Nの増加と共に
(26)式でわかるようにさらに近似がよくなつて
いく。
この発明に使用するホログラムについて、上で
は理論式上の説明をしたが、次にホログラムを製
作する実際の光学系について説明をする。具体例
としてN=3、すなわち、3つの球面波を使つて
位相減算したホログラムを作る場合について説明
する。
第2図は第1段階のホログラムを製作する光学
系を示した平面図で、レーザ(図示していない)
からの光ビームはビームスプリツタ(図示せず)
で2つに分けられその一方が光ビーム4としてレ
ンズ5で集束点6に集束し、発散球面波7とし
て、ホログラム記録媒体、例えばホログラフイツ
ク乾板8に到達する。ビームスプリツタからのも
う一方の光ビームはビームエキスパンダ(図示せ
ず)で拡げられたビーム9となりレンズ10によ
り集束点12に集束する集束球面波11となりホ
ログラフイツク乾板8上で発散球面波7と干渉し
ホログラフイツク乾板8上に干渉縞が記録され
る。ホログラフイツク乾板8を現像処理すると、
第1段階のホログラムができる。この第1段階の
ホログラムを使つて、N=3の光走査用ホログラ
ムを製作する光学系が第3図a及び第3図bであ
る。第3図aでは、第2図の光学系で製作したホ
ログラム8を平面波13で照射すると直接透過光
14の他に集束点15に集束する集束波16とみ
かけ上点17から発散する発散波18が発生す
る。もちろん他に高次回折光を生じるが、第3図
aでは省略してある。発散波18と集束波16
は、各々上述の(14)式右辺の第1項および第2
項に対応するもので2つの球面波の位相減算した
波面である。この波面を用いてN=3の光走査用
ホログラムを製作するためには、上述の第(15)
式及び(16)式で示すようにZ=0すなわち、ホ
ログラム8上でこれら波面を第3の球面波と干渉
させなければならない。しかし、実際には、ホロ
グラム8上でこれら波面を使うことはできない。
なぜなら、ホログラム8からは直接透過光14の
他高次回折光も同時に再生されており、ホログラ
ム8上ではこれらが空間的に重なつており、所望
の波面のみならず、全ての波面が記録されてしま
う。そこでN=3のホログラムを製作するため
に、集束波16のみを空間的に分離するために、
第3図aに示す様に、ホログラム8からの集束波
16が直接透過光14や高次回折光と空間的に分
離される位置で可干渉な平面波19と干渉させ
て、ホログラフイツク乾板20に記録する。次に
第3図bに示す光学系で、第3図aの光学系で製
作したホログラム20を製作時の平面波(第3図
aの19)に対し逆進する平面波19′で照射し
て再生すると、第3図aの集束波16の逆進波で
ある点15′から発散する発散波16′が得られ
る。この発散波16′のホログラフイツク乾板3
1上の位相分布は、第3図bでホログラム20と
ホログラフイツク乾板31の位置関係を第3図a
のホログラフイツク乾板20とホログラム8の位
置関係と同一にすれば第3図aの集束波16のホ
ログラム8上での位相分布と同じになる。そこで
第3図bで発散波16′と点21に集束する第3
の集束球面波22とを干渉させて、ホログラフイ
ツク乾板31に記録し、現象処理すれば、N=3
の光走査用ホログラム、すなわち、本発明でいう
3つの球面波の位相減算したホログラムが得られ
る。第3図aでは集束波16を使つたが、他の製
作方法を述べると、第3図aの発散波18と平面
波の干渉でホログラムを製作し、逆進する平面波
で照射して発散波18の逆進波である集束波を再
生して第3の発散球面波との干渉でホログラムを
作つてもN=3のホログラムとなる。さらに次に
N=4のホログラムの製作方法を述べると、上述
の説明で、N=2のホログラム8を使つて、第3
図a及び第3図bの光学系でN=3のホログラム
30を使つたのと同じ様に第3図aのホログラム
8のかわりにN=3のホログラムを使えば、第3
図a及び第3図bの光学系でN=4のホログラム
が製作できる。N=4のホログラムの他の差異策
方法を述べると、第3図aの集束波16と発散波
18の各々の逆進波を干渉させてホログラムを製
作してもN=4のホログラムが得られる。
以上、第2図、第3図a、第3図bで説明した
様な光学系で、所望の走査用ホログラムを作るこ
とができる。
次に前述した本発明のホログラムを使用した光
ビーム走査装置について説明する。
第4図は、この発明の一実施例を示す平面図で
ある。
レーザ23とレンズ24とから成る光ビーム発
生器とホログラム25と以下に説明するホログラ
ム移動機構(図示せず)とから構成されている。
レーザ23から発生した光ビームはレンズ24で
集束し、発散球面波としてホログラム25を照射
する。ホログラム25は、0次回折光と1次回折
光の分離を図るためにさきに第3図bで示したよ
うにオフアクシスに光を干渉させてN個の球面波
を使つて製作してある。ホログラムからの1次回
折光は走査面26へ集束し、ホログラム移動機構
によつて本図において紙面垂直方向にホログラム
が移動するに従い紙面垂直方向に走査される。本
実施例において、ホログラムの1次元移動機構は
ホログラムをデイスク盤上に形成してデイスク
を、又はホログラムをドラム面上に形成してドラ
ムをモータで回転することによつても行なうこと
ができる。
次に、さらに、この発明を詳細に説明するため
に、第4図の実施例の走査面上のビーム径変動に
ついて説明する。第5図は、この発明の光ビーム
走査装置の結像関係を説明するための図である。
図において、27は前述したφNの位相を干渉
縞として記録したホログラムである。
光ビーム走査装置として、使うときは、28か
ら発散する球面波をホログラムに照射して、ホロ
グラム27を、x軸方向に移動することにより走
査ビーム29が走査面上を走査する。今、走査ビ
ームの結像距離b(x)を偏向角(走査角)β
(x)に対して求めてみる。簡単のため上の説明
のrをxとして、1次元方向についてのみ考察す
る。ホログラムからの再生光、すなわち、走査ビ
ームの回折角(偏向角)β(x±△x)は回折格
子の回折角の関係から sinβ(x±△x)=sin(T-1 ao±△x/a
)−1/k∂φN(r)/∂r|r=x±△x(28) (複号同順) となる。又結像距離b(x)は2光線の交点とし
て、次の様に求まる。
b(x)=2・△x/tanβ(x+△x)−tanβ(x−△
x)(29) 第6図から第9図迄は結像距離b(x)を偏向
角β(x)に対して計算した結果を示す図である。
第6図は従来の平面波と球面波の干渉で製作した
ホログラムの場合、第7図は発散球面波と集束球
面波の干渉で製作したホログラムの場合、すなわ
ち、昭和53年特許願第11711号の光ビーム走査装
置の場合で、第8図、第9図は、本発明に使うホ
ログラムの場合である。これらの計算は、全て、
F=100mm、走査面上の走査スポツト半径100μm
の場合について行なつたもので、ホログラムと走
査面の距離b(o)を変えて結像特性の相違を示
したものである。
走査倍率Mを M≡b(o)/F (30) で定義する。
第6図は、従来のホログラムの場合で、M=5
のときであるが、走査角β(x)と共に結像距離
は急激に大きくなつてしまう。ことため走査スポ
ツトが走査面上では増大してしまうため、実際に
使える走査角は±数度程度にすぎない。
第7図は、昭和53年特許願第11711号の光ビー
ム走査装置の場合について、各々M=3(図7
a)、M=4(図7b)、M=5(図7c)のときで
ある。M<4では、ホログラムの製作に使う2つ
の球面波の焦点距離の比を選ぶことで、走査角に
よらず結像距離をほとんど一定にできる。
第7図aは、2つの球面波の焦点距離の一方が
左上から順に各々300mm、285mm、275mm、250mm、
200mmの場合である。
第7図bは、2つの球面波の焦点距離の一方
が、左上から順に各々300mm、250mm、200mmの場
合である。
又、第7図cは2つの球面波の焦点距離が共に
200mmの場合である。したがつて、この場合はM
<4迄は、大きな走査角迄使用できる。
第8図は、本発明に使うホログラムの場合につ
いてホログラムの製作にN=3の球面波を使つた
時の結像を示す。
使つた3つの球面波のうち、f1=f2とした。第
8図a,b,cは各々M=6、M=8、M=9の
場合である。
第8図aでは使つた球面波の焦点距離f1が左上
から、順に420mm、410mm、400mm、390mm、300mm
の場合である。例えばf1=400mmとすれば、結像
距離の変化がほとんどなく、走査角±40°迄使え
る(図は正の走査角のみ示してあるが、負の走査
角も同じである)。
第8図bでは、使つた球面波の焦点距離f1が左
上から順に、350mm、340mm、330mm、320mm、310
mm、300mmの場合である。したがつて例えばf1
320mmとすれば、結像距離はb(x)=800+10 -125mmの
変化で±40°走査できる。
第8図cでは、f1が300mmの場合である。以上
第8図からわかる様にN=3の場合はM<9迄
は、結像距離の変化がほとんどなく大きな走査角
が得られる。
第9図は、本発明に使うホログラムの場合につ
いて、ホログラムの製作N=4の球面波を使つた
時の結像を示す。
使つた4つの球面波のうち、f1=f2、f3=f4
した。
第9図a,b,cは各々M=8、M=12、M=
16の場合である。
第9図aではf1が左上から順に各々1000mm、
900mm、850mm、800mm、400mmの場合である。
第9図bではf1が左上から順に各々600mm、580
mm、560mm、550mmの場合である。
第9図cでは、f1=400mmの場合である。以上
第9図から、N=4ではM<16迄の収差補正が可
能なことがわかる。
以上の計算例か知れるように使つた球面波の数
Nに対してM<N2迄の収差補正ができる。しか
し、Nを増して行くと、ホログラムを介して球面
波の位相を合成していくので、ホログラム記録媒
体、例えば乾板の粒状ノイズ、非線型ノイズ等が
増して来て最終的なホログラムの品質が劣化す
る。しかし、上の例のようにN=3又は4で十分
大きな走査倍率で十分大きな走査角迄収差補正で
きるので、N=3又は4程度ならノイズも少なく
実用的である。
以上説明したように本発明によれば非常に近似
度の高い干渉縞が記録されたホログラムが得ら
れ、またこのホログラムを光ビーム走査装置に用
いると走査角が大きく収差が小さく走査倍率の大
きな光ビーム走査装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明の原理を説明するためのホ
ログラムの製作光学系を示す図、第2図及び第3
図はこの発明のホログラムの製作光学系を示す平
面図、第4図は本発明の光ビーム走査装置の一実
施例を示す平面図、第5図は、この発明の光ビー
ム走査装置の結像関係を説明するための図、第6
図及び第7図a,b,cは従来の光ビーム走査装
置の結像距離を走査角に対して計算した結果を示
す図、第8図a,b,c及び第9図a,b,cは
この発明の光ビーム走査装置の結像距離を走査角
に対して計算した結果を示す図である。 図において1及び6は発散球面波の発散点、
2,12,21及び30は集束球面波の集束点、
3はホログラム面、5,10及び24はレンズ、
7は発散球面波、8,20,25,27及び31
はホログラム、11及び22は集束球面波、1
3,19及び19′は平面波、16は集束波、1
6′及び18は発散波、23はレーザ、26は走
査面、28は照射ビームの発散点、29は走査ビ
ームの集束点を各々表す。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 記憶媒体に干渉縞を記録したホログラムにお
    いて、前記干渉縞の位相分布φが φ=2Π/ΛNn=1 (√22 o−fo) 〔但しΛは光の波長、rはホログラム上の任意の
    点の位置を示す座標、Nn=1 1/foはホログラムの
    焦点距離の逆数、Nは3以上の整数〕 で表されることを特徴としたホログラム。 2 N個(Nは整数)の球面波の位相を減算した
    位相減算波と球面波との干渉により干渉縞を生成
    して、記録媒体に記録するこを特徴とするホログ
    ラムの製造方法。 3 N個(Nは整数)の球面波の位相を減算して
    得られる位相減算発散波とM個(Mは整数、M=
    Nも含む)の球面波の位相を減算して得られる位
    相減算集束波とを干渉させて干渉縞を生成し、こ
    の干渉縞を記録媒体に記録することを特徴とする
    ホログラムの製造方法。 4 位相分布φが φ=2Π/ΛNn=1 (√22 o−fo) 〔但しΛは光の波長、rはホログラム上の位置を
    示す座標、Nn=1 1/foはホログラムの焦点距離の
    逆数、Nは3以上の整数〕 で表される干渉縞を記録したホログラムと、前記
    ホログラムを照射する光を発生する光ビーム発生
    器と、前記ホログラムを移動する手段とから構成
    されることを特徴とする光ビーム走査装置。
JP14240488A 1988-06-09 1988-06-09 Hologram, its manufacture, and light beam scanner Granted JPS6419321A (en)

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JPS6419321A JPS6419321A (en) 1989-01-23
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CN115078413B (zh) * 2022-06-30 2023-05-05 广西大学 基于透射电镜的新型相移电子全息术

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