JPH0353193A - 微動ｚステージ装置 - Google Patents
微動ｚステージ装置Info
- Publication number
- JPH0353193A JPH0353193A JP1189087A JP18908789A JPH0353193A JP H0353193 A JPH0353193 A JP H0353193A JP 1189087 A JP1189087 A JP 1189087A JP 18908789 A JP18908789 A JP 18908789A JP H0353193 A JPH0353193 A JP H0353193A
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 27
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims abstract description 13
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、微動２ステージ装置に関し、特に半導体フロ
セスにおけるウェハーおよびマスクステージの微動２ス
テージ装置（ステージを上面と垂直な方向に微小距離だ
け動かす装置）に関する。
セスにおけるウェハーおよびマスクステージの微動２ス
テージ装置（ステージを上面と垂直な方向に微小距離だ
け動かす装置）に関する。
従来の微動２ステージ装置について図面を参照して詳細
に説明する。第４図は、従来の微動２ステージ装置の一
例を示す断面図である。第４図に示す微動２ステージ装
置は、ベース部ｌに対して水平方向に移動可能な水平移
動プレート２と、ベース部ｌに対して上下方向に移動可
能な昇降ステージ３と、水平移動プレート２を駆動する
駆動機構２０と、水平移動プレート２に形或されたテー
パブロックｌ５と、昇降ステージ３に形或されたテーパ
ブｐヮク１５のテーパ面と係合するカムフォロワ８と、
昇降ステージ３を上下方向に案内する板ばね９とを含ん
で構成される。
に説明する。第４図は、従来の微動２ステージ装置の一
例を示す断面図である。第４図に示す微動２ステージ装
置は、ベース部ｌに対して水平方向に移動可能な水平移
動プレート２と、ベース部ｌに対して上下方向に移動可
能な昇降ステージ３と、水平移動プレート２を駆動する
駆動機構２０と、水平移動プレート２に形或されたテー
パブロックｌ５と、昇降ステージ３に形或されたテーパ
ブｐヮク１５のテーパ面と係合するカムフォロワ８と、
昇降ステージ３を上下方向に案内する板ばね９とを含ん
で構成される。
ここで、水平移動プレート２を駆動機構２ｏにより水平
方向に動かすと、各テーパブロックｌ５が同時に同方向
に移動し、各カムフォロヮ８との係合点の高さが同時に
上下し、それに伴ない昇降ステージ３が上下方向に移動
する。このとき、板ばね９により昇降ステージは回転お
よび水平方向に移動することなく、上下方向に案内され
る。
方向に動かすと、各テーパブロックｌ５が同時に同方向
に移動し、各カムフォロヮ８との係合点の高さが同時に
上下し、それに伴ない昇降ステージ３が上下方向に移動
する。このとき、板ばね９により昇降ステージは回転お
よび水平方向に移動することなく、上下方向に案内され
る。
上述した従来の微動２ステージ装置は、テーパブロック
のテーパ角を調整する機構が欠如しており、テーパの形
状誤差が、昇降ステージの平面度，真直度をそがいする
大きな要因となっているので、テーパの高い形状精度が
必要となるという欠点があった． 〔課題を解決するための手段〕 本発明は、同時に水平移動する複数のテーパブロックに
より昇降ステージが上下動する微動２ステージ装置にお
いて、前記テーパブロックそれぞれを独立に水平方向に
微小移動させる微小移動機構と、前記テーパブロックそ
れぞれのテーパ角を独立に微小増減する微小チルト機構
とを含んで構威される。
のテーパ角を調整する機構が欠如しており、テーパの形
状誤差が、昇降ステージの平面度，真直度をそがいする
大きな要因となっているので、テーパの高い形状精度が
必要となるという欠点があった． 〔課題を解決するための手段〕 本発明は、同時に水平移動する複数のテーパブロックに
より昇降ステージが上下動する微動２ステージ装置にお
いて、前記テーパブロックそれぞれを独立に水平方向に
微小移動させる微小移動機構と、前記テーパブロックそ
れぞれのテーパ角を独立に微小増減する微小チルト機構
とを含んで構威される。
〔実施例〕
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は、本発明の一実施例を示す断面図である。第１
図に示す微動２ステージ装置は、ベース部１に対して水
平方拘に移動可能な水平移動プレート２と、ベース部ｌ
に対して上下方向に移動可能な昇降ステージ３と、水平
移動プレート２を水平方向に駆動するモータ４とポール
ネジ５と水平移動プレート２に形或された微小移動機構
６および微小チルト機構７を持つテーパブロック１５と
、昇降ステージ３に形或されたテーパブロック１５のテ
ーパ面に係合するカムフォロワ８と、昇降ステージ３を
上下方向に案内する板ばね９とを含んで構成される。
図に示す微動２ステージ装置は、ベース部１に対して水
平方拘に移動可能な水平移動プレート２と、ベース部ｌ
に対して上下方向に移動可能な昇降ステージ３と、水平
移動プレート２を水平方向に駆動するモータ４とポール
ネジ５と水平移動プレート２に形或された微小移動機構
６および微小チルト機構７を持つテーパブロック１５と
、昇降ステージ３に形或されたテーパブロック１５のテ
ーパ面に係合するカムフォロワ８と、昇降ステージ３を
上下方向に案内する板ばね９とを含んで構成される。
第２図と第３図は、各テーパブロック１５を独立に水平
方向に微小移動する微小移動機構６と、各テーパ角を独
立に微小増減する微小チルト機構の断面図と正面図であ
る．第３図に示す微小移動機構６および微小チルト機構
７は、水平移動プレート２に取りつけられたリニアガイ
ド１１により水平方向に案内される水平移動テーブル１
３と、水平移動テーブルを微小に移動させる微小移動用
偏心ピン１２と、水平移動テーブルｌ３に設けられた軸
１４を中心として回転できるテーパプロック１５と、テ
ーパブロック１５を微小に回転させる微小チルト用偏心
ピン１６と、微調整後にテーパブロック１５を水平移動
プレート２に固定するねじ１７とを含んで構成される。
方向に微小移動する微小移動機構６と、各テーパ角を独
立に微小増減する微小チルト機構の断面図と正面図であ
る．第３図に示す微小移動機構６および微小チルト機構
７は、水平移動プレート２に取りつけられたリニアガイ
ド１１により水平方向に案内される水平移動テーブル１
３と、水平移動テーブルを微小に移動させる微小移動用
偏心ピン１２と、水平移動テーブルｌ３に設けられた軸
１４を中心として回転できるテーパプロック１５と、テ
ーパブロック１５を微小に回転させる微小チルト用偏心
ピン１６と、微調整後にテーパブロック１５を水平移動
プレート２に固定するねじ１７とを含んで構成される。
各テーパブロックｌ５の微小移動用偏心ピン１２を各テ
ーパブロックｌ５で独立に回転させることにより、微小
移動用偏心ピン１２が微小リンク機構として働き、水平
移動テーブル１３を微小移動させ、テーパブｐ ｙク１
５とカムフォロワ８能となる。
ーパブロックｌ５で独立に回転させることにより、微小
移動用偏心ピン１２が微小リンク機構として働き、水平
移動テーブル１３を微小移動させ、テーパブｐ ｙク１
５とカムフォロワ８能となる。
また、各テーパブロックｌ５の微小チルト用偏心ピン１
６を各テーパブロック１５で独立に回転させることによ
り、微小チルト用偏心ピン１６が微小リンク機構として
働き、テーパブロック１５を軸１４まわりで微小回転さ
せ、すべてのテーパブロック１５のテーパ角を合わせる
ことが可能となる。このことにより、昇降ステージ３の
真直度を常に高精度にだすことができる。
６を各テーパブロック１５で独立に回転させることによ
り、微小チルト用偏心ピン１６が微小リンク機構として
働き、テーパブロック１５を軸１４まわりで微小回転さ
せ、すべてのテーパブロック１５のテーパ角を合わせる
ことが可能となる。このことにより、昇降ステージ３の
真直度を常に高精度にだすことができる。
本発明の微動２ステージ装置は、各テーパブロ，クを独
立に微小水平移動する微小移動機構と、各テーパ角を独
立に微小増減する微小チルト機構を備えているので、昇
降ステージ面のあおり角の調整および真直度を容易に調
整することができ、テーパブロ，クの高精度加工が不要
となるという効果がある．
立に微小水平移動する微小移動機構と、各テーパ角を独
立に微小増減する微小チルト機構を備えているので、昇
降ステージ面のあおり角の調整および真直度を容易に調
整することができ、テーパブロ，クの高精度加工が不要
となるという効果がある．
第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図は第１
図に示す微小移動機構６および微小チルト機構７を示す
断面図、第３図は第１図に示す微小移動機構６および微
小チルト機構７を示す正面図、第４図は従来の微動２ス
テージ装置を示す断面図である。 ｌ・・・・・・ベース部、２・・・・・・水平移動プレ
ート、３・・・・・・昇降ステージ、６・・・・・・微
小移動機構、７・・・・・・微小チルト機構。
図に示す微小移動機構６および微小チルト機構７を示す
断面図、第３図は第１図に示す微小移動機構６および微
小チルト機構７を示す正面図、第４図は従来の微動２ス
テージ装置を示す断面図である。 ｌ・・・・・・ベース部、２・・・・・・水平移動プレ
ート、３・・・・・・昇降ステージ、６・・・・・・微
小移動機構、７・・・・・・微小チルト機構。
Claims (2)
- （１）同時に水平移動する複数のテーパブロックにより
昇降ステージが上下動する微動Ｚステージ装置において
、前記テーパブロックそれぞれを独立に水平方向に微小
移動させる微小移動機構と、前記テーパブロックそれぞ
れのテーパ角を独立に微小増減する微小チルト機構とを
含むことを特徴とする微動Ｚステージ装置。 - （２）微小移動機構と微小チルト機構は、それぞれ複数
のテーパブロックを独立に微小移動かつテーパ角の微小
増減させる偏心ピンからなる請求項１に記載の微動Ｚス
テージ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1189087A JPH0353193A (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 微動ｚステージ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1189087A JPH0353193A (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 微動ｚステージ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0353193A true JPH0353193A (ja) | 1991-03-07 |
Family
ID=16235107
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1189087A Pending JPH0353193A (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 微動ｚステージ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0353193A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06168983A (ja) * | 1992-04-03 | 1994-06-14 | Shibuya Kogyo Co Ltd | ボンディングマシーンのチップステージｚ軸駆動機構 |
| JP2003062306A (ja) * | 2001-08-27 | 2003-03-04 | Three Stone:Kk | 遊技機取り付け用島の骨材 |
| JP2006247474A (ja) * | 2005-03-08 | 2006-09-21 | Dainippon Printing Co Ltd | 位置制御ステージ装置及び基板処理装置 |
| JP2010016066A (ja) * | 2008-07-01 | 2010-01-21 | Shimadzu Corp | 基板検査装置 |
| TWI469249B (zh) * | 2012-03-02 | 2015-01-11 | Grand Plastic Technology Co Ltd | 夾持裝置及其系統 |
| EP3319118A1 (de) * | 2016-11-02 | 2018-05-09 | Integrated Dynamics Engineering GmbH | Anlage zur prozessierung von halbleiterbauelementen sowie hebeeinrichtung |
-
1989
- 1989-07-20 JP JP1189087A patent/JPH0353193A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06168983A (ja) * | 1992-04-03 | 1994-06-14 | Shibuya Kogyo Co Ltd | ボンディングマシーンのチップステージｚ軸駆動機構 |
| JP2003062306A (ja) * | 2001-08-27 | 2003-03-04 | Three Stone:Kk | 遊技機取り付け用島の骨材 |
| JP2006247474A (ja) * | 2005-03-08 | 2006-09-21 | Dainippon Printing Co Ltd | 位置制御ステージ装置及び基板処理装置 |
| JP2010016066A (ja) * | 2008-07-01 | 2010-01-21 | Shimadzu Corp | 基板検査装置 |
| TWI469249B (zh) * | 2012-03-02 | 2015-01-11 | Grand Plastic Technology Co Ltd | 夾持裝置及其系統 |
| EP3319118A1 (de) * | 2016-11-02 | 2018-05-09 | Integrated Dynamics Engineering GmbH | Anlage zur prozessierung von halbleiterbauelementen sowie hebeeinrichtung |
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