JPH0352115A - 金属薄膜型磁気記録媒体 - Google Patents
金属薄膜型磁気記録媒体Info
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- JPH0352115A JPH0352115A JP18642189A JP18642189A JPH0352115A JP H0352115 A JPH0352115 A JP H0352115A JP 18642189 A JP18642189 A JP 18642189A JP 18642189 A JP18642189 A JP 18642189A JP H0352115 A JPH0352115 A JP H0352115A
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は高記録密度を有する量産性に優れた金属薄膜型
磁気記録媒体に関するもので その産業上での利用分野
は映像機器及び情報機器分野等多岐にわたも 従来の技所 近毛 磁気記録媒体は磁気記録密度の向上に見られるよ
うにその技術的発展はめざましいものがあも 従来の磁
気記録媒体の例としてオーディオ、ビデオ用テープ材料
に用いられるｒ Ｆｅ象Ｏｓ粉太 ＣｒＯ粉太 純鉄
粉末などを樹脂等のバインダーと共に高分子フイルム上
に塗着せしめた いわゆる塗布型の磁気記録媒体があも しかし 従来の塗布型テープより保持九 記録密庇 電
磁変換特性を改良するため真空蒸着肱メッキ、イオンプ
レーティング、スパッタリングなどの方法でＦｅ，
Ｎｉ， Ｃｏ、Ｃｒ等の磁性金属を単独もしくは合金
で高分子フイルム上に蒸着する金属薄膜型磁気記録媒体
の検討がなされていも また強磁性金属薄膜型の記録媒体として、斜方蒸着法を
もちいたオーデオ用テーズ ビデオ用テープが既に実用
化されていも しかし 斜方蒸着法による金属薄膜媒体
は面内の異方性が強くテープ以外の用途に適さ吠 また
磁気特怯 電磁変換特性においてもテープのバランスを
考えた場合限界に達していａ また 強磁性金属薄膜のもう一つの応用とじて情報機器
のコンピュター等に見られるハードディスク用記録媒体
あるいはフロッピーディスク用記録媒体がある。フロッ
ピーディスク用記録媒体は塗布型が現在中心であるが今
後更に高密度化をはかるため金属薄膜タイプの研究が積
極的に行われていも ハードディスク用記録媒体は高記録密度なため金属薄膜
型が用いられ主にアルミニウム基板上に磁性金属として
ＣｏＳ ＮｉＳ Ｃｒ，Ｆｅ等を単独あるいは合金の形
でスパッター法で造る方法が検討されていも しかし 一般的にスッパター法は膜形戒において皮膜速
度が遅く，真空蒸着法等と比較するとその速度は桁違い
であも まな 一方メモリー媒体においては記録密度の向上と高
画質化が要望され 今後これら従来の薄膜型磁気記録媒
体の磁気特性と電磁変換特性の大きな飛躍が期待されて
いも 発明が解決しようとする課題 しかしなか板 例えば従来のハードディスク用金属薄膜
型磁気記録媒体はアルミニュウム基板上にＮｉ−Ｐ等の
下地処理 テクスチュアーによる形状付与した表面上に
Ｃｏ，Ｎｉ、Ｃｒ，Ｆｅ等の磁性金属をスバックー法で
付着し その表面に保護膜と潤滑膜層を形或しているバ
これらスッパター法による磁性金属の付着方法の最大
の欠点は磁性金属の或膜速度が非常に遅く、数十人／Ｓ
ｅｃ。で量産性に乏しい欠点があり、かつ磁気特性ある
いは電磁変換特性を高めるために非常に複雑な工程とな
ん またこのような工程でできた媒体の磁気特性も保磁
力８５００ｅ、残留磁束密度６０００Ｇａｕｓｓ、角形
比０．９前後の値で更に記録密度を上げるのに磁気特性
の改善が重要視されていも また一六 同じ金属薄膜型磁気記録媒体である斜方蒸着
法による面内記録膜は現在主としてＣｏＮｉ合金を磁性
金属とし酸素ガスとの反応性蒸着で或膜すも しかし
この系において磁気特性を改善するためには多量の酸素
ガスの導入をはからねばならない力ｔ 酸素ガスの導入
量に比例して保磁力は大きくなるが残留磁束密度は減少
し 磁気特性の大幅な改善が難しいという問題があａこ
のように量産性に富んだ高記録密度な金属薄膜型記録媒
体の開発が急務とされていも課題を解決するための手段 本発明（友 高分子フィルム あるいはディスク基板上
に磁性金属を蒸着するとき，磁気特性の異なる磁性金属
を積層し 或はＣｏ系磁性金属表面にＦｅ系磁性金属を
単ａ もしくは混合の形で積層したことを特徴とす瓜 作 用 本発明の金属薄膜型磁気記録媒体の上記構或によれば
真空蒸着法で高保磁力を有する磁性薄膜を積層すること
或｛友 磁性金属の組戒を限定することで高出力で、量
産性にすぐれた薄膜型記録媒体が得られも 実施例 次に 本発明の実施例について述べん （第ｌ実施例） 第１図は本発明の第１実施例において、２層蒸着のため
の蒸着装置の概略図を示す。まず、高分子フイルムを送
りアンワイダーｌにセットし 冷却ローラ２、 １０を
経てワインダー３で巻取もこの時下方より電子銃４、５
でるつぼ内の磁性金属６、７例えばＣ ｏ − Ｎ ｉ
（２０ｗｔ．％）合金６、７を溶解し フイルム上に
酸素ガス雰囲気中で蒸着す瓜 蒸着時に不用な蒸気流は
遮蔽板８、９でカットし まず蒸着時の高入射角が９０
度から低入射角３０度までの蒸着を行い次にその表面に
入射角が９０度から５０度までの蒸着を連続的に蒸着し
積層すも この時蒸着レートに応じた酸素ガス量を真空
系に導入すも 第２図は上記製造法による磁性金属薄膜媒体の断面図で
あん 高分子フイルム１１上に５００人の入射角或分を
含む磁性金属膜１２を蒸着Ｌ 該膜表面に５００人の
高入射角或分の磁性金属膜ｌ３を積層すも この時冷却
ロール２、 ！０の温度は３０度とした （第２実施例） 第３図は本発明の第２実施例で耐熱性高分子フィルム１
１をアンワイダ−２１にセットし 加熱ローラ２２、冷
却ローラ３０を経てワインダ−２３で巻取も この時下
方より電子銃２４でＣｏ−Ｃ ｒ （２０ｗｔ％））合
金２６を溶解し 高分子フイルム１１上にノーマルな蒸
着５００人をおこなＬｘ Ｍ１層とすも その表面に
実施例ｌと同様に酸素ガスを用いた反応性による斜法蒸
着でＣｏ−Ｎｉ（２０ｗｔ％）合金２７を５００人を蒸
着すも この時加熱ロール２２の温度は２５０嵐 冷却
ロール３０の温度は３０度とした （第３実施例） 上記第ｌ、第２実施例と同様の方法により、耐熱性高分
子フィルム１１表面にＣｏ系金属を酸素ガス雰囲気中の
反応性蒸着法で５００入蒸着し該表面に同じ反応性蒸着
法でＦｅ系金属を５００人蒸着すも この時第１層の蒸
着時は冷却ロールを、第２層には加熱ロールを用いて蒸
着したここで、本発明の実施例のポイントを整理すると
本発明は磁気特性の異なる金属薄膜型磁気記録媒体を２
層以上積層することで記録媒体の記録媒体の向上を計る
こと、 もうひとつはＦｅ，Ｃｏ系金属を１種類以上酸
素雰囲気中で蒸着Ｌ 磁気特性の異なる金属薄膜を積層
することにあ瓜以上の様な実施例による金属薄膜型磁気
記録媒体の性能と効果について従来法のスバッター法に
よる薄膜型磁気記録媒体および塗布型磁気記録媒体と比
較しながら述べも 金属薄膜媒体の評価法はＶＳＭにより磁気特性伝磁変換
特性については市販のビデオデッキを評価装置用に改造
し ヘッドはメタルヘッドを用いた また磁性金属薄膜
の厚みと蒸着速度から蒸着レート算出しｔラ その結
果を次表に示す。
磁気記録媒体に関するもので その産業上での利用分野
は映像機器及び情報機器分野等多岐にわたも 従来の技所 近毛 磁気記録媒体は磁気記録密度の向上に見られるよ
うにその技術的発展はめざましいものがあも 従来の磁
気記録媒体の例としてオーディオ、ビデオ用テープ材料
に用いられるｒ Ｆｅ象Ｏｓ粉太 ＣｒＯ粉太 純鉄
粉末などを樹脂等のバインダーと共に高分子フイルム上
に塗着せしめた いわゆる塗布型の磁気記録媒体があも しかし 従来の塗布型テープより保持九 記録密庇 電
磁変換特性を改良するため真空蒸着肱メッキ、イオンプ
レーティング、スパッタリングなどの方法でＦｅ，
Ｎｉ， Ｃｏ、Ｃｒ等の磁性金属を単独もしくは合金
で高分子フイルム上に蒸着する金属薄膜型磁気記録媒体
の検討がなされていも また強磁性金属薄膜型の記録媒体として、斜方蒸着法を
もちいたオーデオ用テーズ ビデオ用テープが既に実用
化されていも しかし 斜方蒸着法による金属薄膜媒体
は面内の異方性が強くテープ以外の用途に適さ吠 また
磁気特怯 電磁変換特性においてもテープのバランスを
考えた場合限界に達していａ また 強磁性金属薄膜のもう一つの応用とじて情報機器
のコンピュター等に見られるハードディスク用記録媒体
あるいはフロッピーディスク用記録媒体がある。フロッ
ピーディスク用記録媒体は塗布型が現在中心であるが今
後更に高密度化をはかるため金属薄膜タイプの研究が積
極的に行われていも ハードディスク用記録媒体は高記録密度なため金属薄膜
型が用いられ主にアルミニウム基板上に磁性金属として
ＣｏＳ ＮｉＳ Ｃｒ，Ｆｅ等を単独あるいは合金の形
でスパッター法で造る方法が検討されていも しかし 一般的にスッパター法は膜形戒において皮膜速
度が遅く，真空蒸着法等と比較するとその速度は桁違い
であも まな 一方メモリー媒体においては記録密度の向上と高
画質化が要望され 今後これら従来の薄膜型磁気記録媒
体の磁気特性と電磁変換特性の大きな飛躍が期待されて
いも 発明が解決しようとする課題 しかしなか板 例えば従来のハードディスク用金属薄膜
型磁気記録媒体はアルミニュウム基板上にＮｉ−Ｐ等の
下地処理 テクスチュアーによる形状付与した表面上に
Ｃｏ，Ｎｉ、Ｃｒ，Ｆｅ等の磁性金属をスバックー法で
付着し その表面に保護膜と潤滑膜層を形或しているバ
これらスッパター法による磁性金属の付着方法の最大
の欠点は磁性金属の或膜速度が非常に遅く、数十人／Ｓ
ｅｃ。で量産性に乏しい欠点があり、かつ磁気特性ある
いは電磁変換特性を高めるために非常に複雑な工程とな
ん またこのような工程でできた媒体の磁気特性も保磁
力８５００ｅ、残留磁束密度６０００Ｇａｕｓｓ、角形
比０．９前後の値で更に記録密度を上げるのに磁気特性
の改善が重要視されていも また一六 同じ金属薄膜型磁気記録媒体である斜方蒸着
法による面内記録膜は現在主としてＣｏＮｉ合金を磁性
金属とし酸素ガスとの反応性蒸着で或膜すも しかし
この系において磁気特性を改善するためには多量の酸素
ガスの導入をはからねばならない力ｔ 酸素ガスの導入
量に比例して保磁力は大きくなるが残留磁束密度は減少
し 磁気特性の大幅な改善が難しいという問題があａこ
のように量産性に富んだ高記録密度な金属薄膜型記録媒
体の開発が急務とされていも課題を解決するための手段 本発明（友 高分子フィルム あるいはディスク基板上
に磁性金属を蒸着するとき，磁気特性の異なる磁性金属
を積層し 或はＣｏ系磁性金属表面にＦｅ系磁性金属を
単ａ もしくは混合の形で積層したことを特徴とす瓜 作 用 本発明の金属薄膜型磁気記録媒体の上記構或によれば
真空蒸着法で高保磁力を有する磁性薄膜を積層すること
或｛友 磁性金属の組戒を限定することで高出力で、量
産性にすぐれた薄膜型記録媒体が得られも 実施例 次に 本発明の実施例について述べん （第ｌ実施例） 第１図は本発明の第１実施例において、２層蒸着のため
の蒸着装置の概略図を示す。まず、高分子フイルムを送
りアンワイダーｌにセットし 冷却ローラ２、 １０を
経てワインダー３で巻取もこの時下方より電子銃４、５
でるつぼ内の磁性金属６、７例えばＣ ｏ − Ｎ ｉ
（２０ｗｔ．％）合金６、７を溶解し フイルム上に
酸素ガス雰囲気中で蒸着す瓜 蒸着時に不用な蒸気流は
遮蔽板８、９でカットし まず蒸着時の高入射角が９０
度から低入射角３０度までの蒸着を行い次にその表面に
入射角が９０度から５０度までの蒸着を連続的に蒸着し
積層すも この時蒸着レートに応じた酸素ガス量を真空
系に導入すも 第２図は上記製造法による磁性金属薄膜媒体の断面図で
あん 高分子フイルム１１上に５００人の入射角或分を
含む磁性金属膜１２を蒸着Ｌ 該膜表面に５００人の
高入射角或分の磁性金属膜ｌ３を積層すも この時冷却
ロール２、 ！０の温度は３０度とした （第２実施例） 第３図は本発明の第２実施例で耐熱性高分子フィルム１
１をアンワイダ−２１にセットし 加熱ローラ２２、冷
却ローラ３０を経てワインダ−２３で巻取も この時下
方より電子銃２４でＣｏ−Ｃ ｒ （２０ｗｔ％））合
金２６を溶解し 高分子フイルム１１上にノーマルな蒸
着５００人をおこなＬｘ Ｍ１層とすも その表面に
実施例ｌと同様に酸素ガスを用いた反応性による斜法蒸
着でＣｏ−Ｎｉ（２０ｗｔ％）合金２７を５００人を蒸
着すも この時加熱ロール２２の温度は２５０嵐 冷却
ロール３０の温度は３０度とした （第３実施例） 上記第ｌ、第２実施例と同様の方法により、耐熱性高分
子フィルム１１表面にＣｏ系金属を酸素ガス雰囲気中の
反応性蒸着法で５００入蒸着し該表面に同じ反応性蒸着
法でＦｅ系金属を５００人蒸着すも この時第１層の蒸
着時は冷却ロールを、第２層には加熱ロールを用いて蒸
着したここで、本発明の実施例のポイントを整理すると
本発明は磁気特性の異なる金属薄膜型磁気記録媒体を２
層以上積層することで記録媒体の記録媒体の向上を計る
こと、 もうひとつはＦｅ，Ｃｏ系金属を１種類以上酸
素雰囲気中で蒸着Ｌ 磁気特性の異なる金属薄膜を積層
することにあ瓜以上の様な実施例による金属薄膜型磁気
記録媒体の性能と効果について従来法のスバッター法に
よる薄膜型磁気記録媒体および塗布型磁気記録媒体と比
較しながら述べも 金属薄膜媒体の評価法はＶＳＭにより磁気特性伝磁変換
特性については市販のビデオデッキを評価装置用に改造
し ヘッドはメタルヘッドを用いた また磁性金属薄膜
の厚みと蒸着速度から蒸着レート算出しｔラ その結
果を次表に示す。
この結果本発明の実施例では従来問題であったスパッタ
ー法における或膜速度の遅さと比較してはるかに高速で
或膜できも これば 真空蒸着法の方がスバッター法と
比較して蒸着レートが５０００人／ Ｓ ｅ ｃ．
と２桁以上高いためであもム 本発明の最大の特徴であ
る磁気特性は第１層目に従来のスッパター法 あるいは
塗布型と同等程度の保磁力８００〜１ ０ ０ ００ｅ
位で、第２層目に保磁力がｌ０００〜３ ５ ０ ００
ｅの磁性薄膜を積層すも 例えば 第１実施例では第ｌ
層目の保磁力は８ ５ ０ ０ ｅ， 第２層目の保
磁力は１８０００ｅ、第２実施例では第１層目の保磁力
は８０００ｅ、第２層目の保磁力１ ３ ０ ００ｅ、
また第３実施例では第１層目９ ０ ０ ０ ｅ，
第２層目３５０００ｅ値の保磁力をそれぞれ示す。
ー法における或膜速度の遅さと比較してはるかに高速で
或膜できも これば 真空蒸着法の方がスバッター法と
比較して蒸着レートが５０００人／ Ｓ ｅ ｃ．
と２桁以上高いためであもム 本発明の最大の特徴であ
る磁気特性は第１層目に従来のスッパター法 あるいは
塗布型と同等程度の保磁力８００〜１ ０ ０ ００ｅ
位で、第２層目に保磁力がｌ０００〜３ ５ ０ ００
ｅの磁性薄膜を積層すも 例えば 第１実施例では第ｌ
層目の保磁力は８ ５ ０ ０ ｅ， 第２層目の保
磁力は１８０００ｅ、第２実施例では第１層目の保磁力
は８０００ｅ、第２層目の保磁力１ ３ ０ ００ｅ、
また第３実施例では第１層目９ ０ ０ ０ ｅ，
第２層目３５０００ｅ値の保磁力をそれぞれ示す。
表
次に本発明の実施例のビデオデッキを用いた電磁変換特
性の比較検討を行っ１， その結果本発明の実施例で
はいずれも従来例と比較して５ＭＨＺのＹ一信号出力は
＋３ｄＢ以上高賎 これは本発明の実施例では第１層目は従来の磁気特性を
有する磁性胤 第２層目に従来より磁気特性の優れた磁
性層を積層するこどで磁気記録媒体としての面密度を高
へ 記録容量が向上したものと考えられも またヘッドの記録再生時の磁界分布は磁性層表面に近い
層程強い磁界を受け磁性層内部方向に従い弱くなるた△
この結果本発明のように表面の磁気特性が大きい効果
が電磁変換特性に現れたと考えられも しかし 保磁力の大きな実施例３については記録面密度
が大きく、メタルヘッドでもまだ十分に飽和記録がなさ
れず今後更に高保磁力を有するヘッドの開発が待たれも また 真空中での反応性蒸着法でＣｏ系磁性金属表面に
Ｆｅ系磁性金属を積層することで高保磁力を有する磁気
記録媒体とすることもできも これは実施例３にその代
表例を示したが非常に大きな磁気特性を得ることができ
る。
性の比較検討を行っ１， その結果本発明の実施例で
はいずれも従来例と比較して５ＭＨＺのＹ一信号出力は
＋３ｄＢ以上高賎 これは本発明の実施例では第１層目は従来の磁気特性を
有する磁性胤 第２層目に従来より磁気特性の優れた磁
性層を積層するこどで磁気記録媒体としての面密度を高
へ 記録容量が向上したものと考えられも またヘッドの記録再生時の磁界分布は磁性層表面に近い
層程強い磁界を受け磁性層内部方向に従い弱くなるた△
この結果本発明のように表面の磁気特性が大きい効果
が電磁変換特性に現れたと考えられも しかし 保磁力の大きな実施例３については記録面密度
が大きく、メタルヘッドでもまだ十分に飽和記録がなさ
れず今後更に高保磁力を有するヘッドの開発が待たれも また 真空中での反応性蒸着法でＣｏ系磁性金属表面に
Ｆｅ系磁性金属を積層することで高保磁力を有する磁気
記録媒体とすることもできも これは実施例３にその代
表例を示したが非常に大きな磁気特性を得ることができ
る。
本発明を実施するにあたり上記実施例に限定することな
く他の方法も可能であも 例えば磁性金属はＣｏ，Ｆｅ
，Ｎｉ，Ｃｒ等の金属を単独あるいは合金として用いて
もよく、また蒸着法も斜法ノーマルな蒸着をどの様な組
合せで用いてもよし１基板として高分子フイルムを用い
たがガラ入 金風 樹服 プラスッチク等をロール状或
は板状にして用いてもよＩ，％ ただこの場合蒸着時
のアウトガスが影響されないように十分前処理による脱
ガスを行う必要があム 蒸着時の加熱温嵐 加熱法あるいは冷却法についてＬ
上記実施例に限定されることなく他の方法も可能であり
、反応性蒸着についても酸素ガス以外にオゾンガス等の
他の酸化性ガスを用いてもよちも また 第３実施例においても第１層目のＣｏ金属に他の
磁性金属Ｆｅ，Ｃｒ，Ｎｉなどを第二層目にＣｏ，Ｃｒ
，Ｎｉ等を単独あるいは混合で用いてもよ（℃ 蒸着法についてもノーマルな蒸着以外の斜法蒸着等と組
み合わせてもよしち また蒸着基板 加冷却法反応性蒸
着法についても上記同様に行える。
く他の方法も可能であも 例えば磁性金属はＣｏ，Ｆｅ
，Ｎｉ，Ｃｒ等の金属を単独あるいは合金として用いて
もよく、また蒸着法も斜法ノーマルな蒸着をどの様な組
合せで用いてもよし１基板として高分子フイルムを用い
たがガラ入 金風 樹服 プラスッチク等をロール状或
は板状にして用いてもよＩ，％ ただこの場合蒸着時
のアウトガスが影響されないように十分前処理による脱
ガスを行う必要があム 蒸着時の加熱温嵐 加熱法あるいは冷却法についてＬ
上記実施例に限定されることなく他の方法も可能であり
、反応性蒸着についても酸素ガス以外にオゾンガス等の
他の酸化性ガスを用いてもよちも また 第３実施例においても第１層目のＣｏ金属に他の
磁性金属Ｆｅ，Ｃｒ，Ｎｉなどを第二層目にＣｏ，Ｃｒ
，Ｎｉ等を単独あるいは混合で用いてもよ（℃ 蒸着法についてもノーマルな蒸着以外の斜法蒸着等と組
み合わせてもよしち また蒸着基板 加冷却法反応性蒸
着法についても上記同様に行える。
発明の効果
本発明によれば 以上のように磁気特性の異なる磁性層
を積層し 最外層に高保磁力層を設けることで電磁変換
特性の改善を図ることができる。
を積層し 最外層に高保磁力層を設けることで電磁変換
特性の改善を図ることができる。
また さらに保磁力を飛躍的に高める方法としてｃｏ系
磁性金属にＦｅ系磁性金属を積層することで電磁変換特
性の向上を図ることができも またスッパター法等で問
題である戒膜速度からくる量産性の問題をも解決するこ
とができも このような本発明の磁性金属薄膜をハードディス久 フ
ロッピーディス久 あるいはビデオ用テプとして使用し
た場合メモリー媒体としての記録容量の向上 あるいは
ビデオ映像の高画質化等の改善が図れ かつ量産性に優
れ工業的なメリットが犬であも
磁性金属にＦｅ系磁性金属を積層することで電磁変換特
性の向上を図ることができも またスッパター法等で問
題である戒膜速度からくる量産性の問題をも解決するこ
とができも このような本発明の磁性金属薄膜をハードディス久 フ
ロッピーディス久 あるいはビデオ用テプとして使用し
た場合メモリー媒体としての記録容量の向上 あるいは
ビデオ映像の高画質化等の改善が図れ かつ量産性に優
れ工業的なメリットが犬であも
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の第１実施例における金属薄膜型磁気記
録媒体を製造する蒸着装置の概略構或は第２図は同磁気
記録媒体の断面飄 第３図は本発明の第２実施例におけ
る金属薄膜型磁気記録媒体を製造する蒸着装置の概略構
戊図であも１、 ２ｌ・・・アンワインダー ２、 ｌ
Ｏ、 ３ｏ・・・冷却ローラ、 ３、 ２３・・・ワイ
ングー、４、 ５・・・電子坑 ６、７・・・るつぼと
磁性金属（Ｃｏ−Ｎｉ合金）、 １１・・・高分子フィ
ルＡ １２・・・低入射角戊分を含む磁性金属跣 ｌ
３・・・高入射角或分の磁性金属ｉ ２２・・・加熱
ローラ、 ２６・・・Ｃｏ−Ｃｒ合全 ２７−Ｃｏ−Ｎ
ｉ合金
録媒体を製造する蒸着装置の概略構或は第２図は同磁気
記録媒体の断面飄 第３図は本発明の第２実施例におけ
る金属薄膜型磁気記録媒体を製造する蒸着装置の概略構
戊図であも１、 ２ｌ・・・アンワインダー ２、 ｌ
Ｏ、 ３ｏ・・・冷却ローラ、 ３、 ２３・・・ワイ
ングー、４、 ５・・・電子坑 ６、７・・・るつぼと
磁性金属（Ｃｏ−Ｎｉ合金）、 １１・・・高分子フィ
ルＡ １２・・・低入射角戊分を含む磁性金属跣 ｌ
３・・・高入射角或分の磁性金属ｉ ２２・・・加熱
ローラ、 ２６・・・Ｃｏ−Ｃｒ合全 ２７−Ｃｏ−Ｎ
ｉ合金
Claims (2)
- （１）真空蒸着法により磁気特性の異なる金属薄膜媒体
を積層し、最外表皮層を下地層より保磁力を大きくした
ことを特徴とする金属薄膜型磁気記録媒体。 - （２）反応性真空蒸着法によりコバルト系薄膜媒体に鉄
系薄膜媒体を積層したことを特徴とする金属薄膜型磁気
記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18642189A JPH0352115A (ja) | 1989-07-19 | 1989-07-19 | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18642189A JPH0352115A (ja) | 1989-07-19 | 1989-07-19 | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0352115A true JPH0352115A (ja) | 1991-03-06 |
Family
ID=16188134
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18642189A Pending JPH0352115A (ja) | 1989-07-19 | 1989-07-19 | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0352115A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05114128A (ja) * | 1991-10-23 | 1993-05-07 | Fujitsu Ltd | メタル薄膜型磁気デイスク媒体およびその製造方法 |
| EP0561546A2 (en) * | 1992-03-17 | 1993-09-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Video tape recorder capable of recording and reproducing wide-band chrominance signal |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6093628A (ja) * | 1983-10-26 | 1985-05-25 | Hitachi Maxell Ltd | 磁気記録媒体およびその製造法 |
-
1989
- 1989-07-19 JP JP18642189A patent/JPH0352115A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6093628A (ja) * | 1983-10-26 | 1985-05-25 | Hitachi Maxell Ltd | 磁気記録媒体およびその製造法 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05114128A (ja) * | 1991-10-23 | 1993-05-07 | Fujitsu Ltd | メタル薄膜型磁気デイスク媒体およびその製造方法 |
| EP0561546A2 (en) * | 1992-03-17 | 1993-09-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Video tape recorder capable of recording and reproducing wide-band chrominance signal |
| US5465158A (en) * | 1992-03-17 | 1995-11-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Video tape recorder capable of recording and reproducing wide-band chrominance signal |
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